TW200914347A - Transport device in an installation for the treatment of substrates - Google Patents

Description

200914347 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 .續 本發明係關於一種設備中的運輸裝置，用於以〆 ' 饥少^運輸 運輸區段之基板處理，以沿著經過數個處理區段 線進行基板連續同軸運輸，其中一轉移裝置係提供以 基板定位於一靜止處理位置。 【先前技術】 ^ (例如 在數個連續處理區段内用於處理基板之設備干 、a右這種 在用於特殊玻璃的多重塗伟之真空塗佈設備中） 運輸裝置，其涉及了一種同軸（in-line)配置’亦即串聯 連接的不同塗佈區段，其中基板係藉由運輸裝置而從一’ 佈區段運輸到下一個。根據塗佈區段中塗佈處理的配置順 序’即可藉由例如蒸鍍或濺鍍方式而將具有變化材料與厚 度之數種膜層的所有種類的膜層系統施加在基板上；膜層 系統中的變化導致個別塗佈區段中基板的不同停留時間。 舉例而§ ’以塗佈處理之連續濺艘速率的不同膜層厚度導 致重佈時間大約與膜層厚度成比例，因此，相對於膜層系 統的其他膜層厚度，雙倍的膜層厚度需要兩倍的停留時間 以對該塗佈區段中的基板施加此一膜層厚度。然而在以連 續塗佈進行之設備的同軸配置的情形中，在其中一個處理 站之基板的最長停留時間決定了通過塗佈設備之連續基板 生產率的循環時間’如果需要具有比基板處理中其他處理 步驟特別長之停留時間的塗佈處理步驟，其將導致未能有 5

200914347 效利用具有較短停留時間之塗佈區段的結果，因而導致 佈設備整體之低生產率。 為了解決同軸配置的此一問題，習知技藝提出了一 運輸裝置，其具有一轉移裝置以使每一基板各定位在運 線的外部，如W 0 2 0 0 4 / 0 1 3 3 7 5 A 1所示。此設備配置包 了用於真空處理基板之線性連續之數個模組Μ，其具有 運輸裝置以於模組Μ之間運輸基板，且具有一轉移裝置 分別定位基板於模組Μ内，例如藉由轉移裝置而使欲特 處理之基板被放置在模組内部，而運輸裝置可運輸通過 另一基板，以於一鄰近模組Μ中處理。運輸裝置的各模 具有一運輸段，其包括由轉輪3、4所驅動之成對配置的 送帶1、2 (揭示内容與相關說明參照第1圖）；在這些 送帶1、2上，一基板固持件9係水平移動於較低平面 上之同軸傳輸方向中，並轉移於模組之間。針對線性動 之轉移，基板固持件中具有刻痕9 a，其與傳送帶1、2 凸出物 8接合（揭示内容與相關說明參照第3圖與第 圖）。轉移裝置包括一支撐框11，其具有一平台10，藉 一驅動舉升裝置14而由旋轉固定之槓桿12與13加以 撐，而可垂直調整（揭示内容與相關說明參照第3圖與 4圖）。轉移裝置的此一架構可於傳送帶1、2之間降低 傳送帶1、2的功率傳輸平面而進入模組的下方部分，使 基板S之未受阻礙的運動可藉由傳送帶而產生（揭示内 與相關說明參照第3圖與第4圖）。一旦基板到達與處理 室C相對於開口 1 6b —致之適當位置時，該舉升裝置 塗 種 輸 括 以 定 之 組 傳 傳 B 力 的 4 由 支 第 至 得 容 腔 6 14

200914347 係被啟動’其產生平台10與基板s及基极固持 上方平面A之垂直運動，藉此，基板固拉 U得件9係自 1、2分離（揭示内容參照第5圖舆第6圖）。♦帶 之平台10係位於上方位置A中，且基虹忐 吞板處理係於 室C中執行；另一基板S1可自一模組線性 1工呼箱!）通過 而到下一個模組，以於一下游處理腔室c中進一處 示内容參照第1圖）。因此，能夠同時對其 了 τ丞板進行特 時間的處理步驟，使得同軸配置的循環拉Μ ΗW间不再由 理程序決定而藉以減少循環時間。此外， 错由此分 的輔助，可以在一設備中連續製造不同的膜層系統 然而’習知技術之解決方式的缺點在於 直運動之改變路線以定位 將基板轉移到特殊的轉移 件）轉移至轉移裝置時， 相配連接係被釋放，且相 專輪裝置時則必須再次精 立傳輸系統轉移至其他獨 锖確度之偏差，不管傳輸 、或是任何其他系統，因 干擾與誤差來源；此外， 動的轉移裝置之架構必須 真Α處理模組内部之大量 【發明内容】 9朝向 傳送帶 基板S 處理腔 基板S 理（揭 別耗費 此一處 流功能 〇 於處理 裝置， 用於傳 反地在 確地恢 立傳輸 是否射 此在處 用於未 被設計 空間。 從水平同軸運動至垂 位置中需要藉由運輸裝置 在將基板（包括基板固持 送水平線性運動力之形狀 基板或基板固持件轉移至 復此一連接。基板從一獨 系統係規則地相關於定位 極傳送帶、傳送軌之傳輪 理循環中形成一種固定的 受阻礙之基板水平線性運 為適合傳輸裝置，其需要 7 200914347 由此開始，本發明之任務在於進一步發展一般方法的 運輸裝置，使得其用於以簡單裝置來保證減少循環時間之 功能付以提升。 藉由如申請專利範圍第i項所述之運輸裝置 發明而達成此一目的。 # 兩 個相配 、 可 動 成 一運輪 區 段 0 輸 線之連 續 運 輪 定 位於運 輪 線 外 鍵 結的方 式 而 利 如 在其他 運 輪 區 或 基板固 待 件 與 產 生此組 合 區 段 理 位置中 9 其 中 在 運輪線 中 所 發 個 相同的 組 合 區 組 合區段 之 運 輪 產 生先前. 塊 之 擾: 影響下 > —** 同軸運輪 > 使 得 根據本發明之運輸裝置具有—轉移裝置其 兩個相配、可動組合區段…一交二广 成一運輪區段。” έ t 傳輪線而形 該4組合區段的其中之一係配置為沿著運 之連續運銓Ε机丄·.〜1. __ 巧β者運 C, 之間的鏈結一樣。當沿著運輪線的基板 一組合區段連接時，轉移裝置從運輸線 外送（outfeed)以將基板定位於靜止處 基板較佳為相對於一處理工具。同時， 之“間隔，，係可交替地由轉移裝置的另一 合區段之.苗予以消除’此一組合區段結合代替外送 生先前^輪區段’並與運輸裝置之相鄰運輸區段再次 影響下”之鏈結：運輪裝置因而能夠在沒有限制或干 以一種簡單的方式連锖佳用LV & / 同軸運輪，蚀， 建續使用以進仃基板的連續 吏得另一基板可以被運裁 板，例如至〜/ 及建戰通過先前外送之基 旋續處理區段。太& f + 輸線之合併b入 在相反的程序♦，隨著從運 &區段的外送，外样細人、签认 至已經變成 卜送，α運輪兀件同時移回 成可用於運輸區段中之間隔内， 口此即使定位於 8 200914347 向 特 實 被 即 根 組 升 或 電 裝 聯 理 、 後 理 基 運輸線外部的基板也可以進一步藉由運輸裝置而在無逆 轉換或干擾影響下進行運送。本發明也涉及一種設備， 別是一種真空塗佈設備。 申請專利範圍第1項所述之本發明運輸裝置的較佳 施例係與申請專利範圍附屬項中所指明的方式有關。 在一較佳實施例中，組合區段係彼此平行間隔開來 因此，組合區段的位置可以藉由一部伺服驅動器而同時 調整或移位。

若組合區段可特別以相對於運輸線呈直角而移動， 可進一步減少組合區段的交替分配之定位效應，藉此， 據運輸裝置的設計與運輸線的方向，較佳為，運輸線之 合區段的水平或垂直外送可為適合。水平推動或垂直舉 以及組合區段的下降係藉由對應適合且良好設計之滚輪 齒輪驅動器或滑輪或傳送帶驅動器而實現，其各可為 力、氣動或水力操作。 較佳為，在至少兩個連續的處理區段中提供一轉移 置、或將一轉移裝置指定至至少兩個連續處理工具；因此 可設想多個長時間的處理程序，且可執行兩個串聯與並 之基板處理。同軸配置的循環時間不再由此一久時之處 程序所決定，並因而減少；因此，可以在第一處理區段中 或藉由第一處理工具來處理第一基板，而在運輸方向上 續的第二基板可以被運輸通過該第一基板而到下一個處 區段、或到下一個處理工具，並同時被處理。 特別有利的是，當組合區段及/或指定至處理工具之 9 200914347 板的基板固持件係形成為腔室隔板，由於含有腔室隔板之 組合區段對處理工具之外送，可將處理區段分離地分為一 處理腔室與一運輸腔室；較佳為，藉由形成之腔室隔板對 腔室壁密封元件的連接，欲處理之基板係真空緊密密封於 處理腔室内。在基板靜止處理期間經由運輸裝置而運輸通 過處理區段的基板並不受到此一處理程序的影響，因此， 可以在相鄰的處理區段中彼此獨自進行不同的處理程序。

技術上需要的是，在一平面中靜止處理期間，一平坦 基板與其處理表面能保持與基板運輸平面平行配置，亦即 其係僅平行於表面推動而不改變其方向。在根據本發明之 具有轉移裝置的運輸裝置中，平坦基板的處理表面較佳為 平行或本質上為垂直配置。 在另一較佳實施例中，運輸裝置具有具至少一運輸區 段之一旋轉模組，其可被指定至兩處理區段之運輸區段； 同樣地，可經由一線性方向之運輸模組而將兩處理區段之 運輸區段互連至至少一運輸區段。根據本發明，若相鄰的 處理區段各具有一轉移裝置，在此方式中實現了用於靜態 處理之一處理設備，其可以同軸設備以及類似於對個別處 理區段具有串聯或並聯入口之群組設備兩者進行運作；對 個別處理區段之選擇性入口確保在任何操作條件下基板沿 運輸線的前進動作都不會中斷，各基板可以於運輸方向上 在任何時間移動至一自由處理區段。由於本發明之運輸裝 置，在特定處理序列中可具有較高的生產量，例如高於具 有中央旋轉模組之習知群組設備，當處理區段完全被佔滿 10 200914347 時，其具有有限的基板固持能力而因此超負荷。 【實施方式】 在第1圖中根據實施例A之垂直同軸塗佈設備是由兩 個相鄰塗佈區段1與兩個比鄰的鎖定腔室2所組成，其中 塗佈區段1與鎖定腔室係彼此藉由真空緊密腔室閥3而分 隔；本發明之運輸裝置通過鎖定腔室2與塗佈區段1，該 裝置是由沿著運輸線4連續排列之數個運輪區段5所形 成。根據本發明實施例A之運輸區段5係形成以供本質上 為垂直配置之平坦基板8之運輸，其中特別是第1圖中之 運輸區段5係氣體缓衝運輪裝置之元件，其中運輸區段5 各具有一傾斜或本質上為垂直方向之基板導板6，其具有 配置於基部之運輸滚輪7(可直接從第2a圖中所見），藉 由其輔助使得平坦基板8係沿著通過同軸設備之運輸線4 而呈稍微傾斜之運輸佇立。基板8浮在運輸區段5的整個 基板導板6之氣體緩衝上；各塗佈區段1具有一轉移裝置 9，其具有兩個平行、水平可動組合區段 1 0，其結構上彼 此相同，並同樣具有沿著運輸線4的運輸區段5。第1圖 說明了組合區段1 0的兩種可行位置I與11中各別之轉移 裝置9，其中各一組合區段1 0係被指定為對運輸線4的運 輸區段5。在位置I中，運輸線4外部的組合區段10係面 向一塗佈工具1 1 ;在位置II中，運輸線4外部的組合區段 1 0係面離該塗佈工具11。 第2a圖以側視圖說明了轉移裝置9，從第2a圖亦可 11 200914347

見組合區段1 0的結構，其如前述說明並與運輸區段5相 同，且其位置改變之移動模式亦同。分隔開來且平行的組 合區段1 0係連接至一載板1 2，其係固定至轉移滾輪1 3， 其例如由一電動馬達或一氣動活塞（圖中未示）加以驅動。 載板1 2與轉移滾輪1 3係與彼此對齊排列，使得在沿著運 輸線4運輸期間，沿著轉移方向1 4之組合區段1 0得以根 據排列而維持。載板1 2與轉移滚輪1 3係配置在組合區段 1 0下方，使得指定至運輸線4之各組合區段1 0結合自身 無阻地作為沿著運輸線4至其他運輸區段5之一運輸區段。 第2b圖說明了轉移裝置9的一替代實施例，其同時暗 示了作為執道運輸裝置之運輸裝置的替代實施例。與此一 實施例之運輸區段5相同之組合區段1 0各由具有雙側向配 置驅動運輸滚輪1 6之一軌道區段1 5所組成；在組合區段 10其中之一上的是基板8，其係由一平坦載體17(基板固 持件）所固持，並連接至可移動於滾輪18上之一載車19。 在组合區段10形成運輸區段5的位置中，由運輸滾輪16 所驅動之載車1 9係與基板8沿著運輸線4而移動於連續配 置的軌道區段15上，基板運輸也可藉由軌道系統（未示） 的方式而進行，其中軌道區段1 5係形成為一線性馬達，在 其磁場上載車19係為浮動；此外，取代於載板12，第2b 圖顯示了兩個U型載軌20的其中一個，而轉移滾輪13係 與其接合，因此組合區段1 〇在其沿著轉移方向1 4之移動 上良好運輸。 面向塗佈工具11之轉移裝置9的組合區段10將基板 12

200914347 定位至相對塗佈工具11的一塗佈位置，如第1圖中組合 段10的位置I所示者，因此組合區段1 0以一組合方式 用為運輸區段5與作為將基板8定位至處理位置之“定位 件”。 根據第2 a圖之組合區段1 0的基板導板6或者是根 第2b圖之平坦載體1 7係設計為一腔室隔板2 1，在組合 段10之位置I中，其功能性地將塗佈區段1的處理腔 22自一運輸腔室23分離；具有密封元件24之腔室隔板 對應至塗佈區段1的腔室壁2 5，因此處理腔室2 2係於 板8的塗佈期間與該運輸腔室23真空緊密地隔離。 第3圖說明了根據第1圖之延伸同軸塗佈設備，其 有四個塗佈區段1，其中兩個相鄰的塗佈區段1係藉由 旋轉模組2 6而彼此連接；或者是旋轉模組2 6的運輸區 5連接至沿著運輸線4的塗佈區段1之運輸裝置5。旋轉 組2 6的運輸區段5不只執行旋轉動作，也執行沿著運輸 4之縱向移動，以能夠以一小距離而將此運輸區段5連 至塗佈區段1之各別運輸區段5。在此方式中，同軸塗 設備係類似於群組塗佈設備而配置，其具有對相鄰旋轉 組26之塗佈區段1的選擇性入口。 第4a圖與第4b圖說明了根據實施例B之水平同軸 佈設備，其與實施例A之同軸設備同樣由兩個相鄰的塗 區段1所組成，其中相鄰的鎖定腔室2與真空緊密腔室 3已基於圖式簡化之目的而予以省略。根據本發明，經 塗佈區段1與比鄰的鎖定腔室2所運行之運輸裝置，其 區 作 元 據 區 室 2 1 基 具 段 模 線 接 佈 模 塗 佈 閥 由 依 13 200914347 次由沿著運輸線4之連續數個運輸區段4所組成。在水平 同軸塗佈設備中的運輸區段5係形成以供水平配置平坦基 板8之運輸之用，其中，舉例而言，第4a圖與第4b圖中 的運輸區段5係一滾輪運輸裝置的滾輪區段2 7，其中平坦 基板8係以運輸區段2 7之運輸滾輪2 8上的平躺位置進行 運輸，並因而沿著運輸線4運輸通過同軸塗佈設備。

如實施例A所示之水平同軸塗佈設備的情形所示，在 實施例B所示之同軸塗佈設備中同樣也有具兩平行組合區 段1 0之轉移裝置9，該區段的結構與運輸區段5相同，在 此特別具有沿著運輸線4之滾輪區段2 7。第4 a圖說明了 組合區段10之兩可行位置I與II中各別的轉移裝置9,其 中一組合區段1 0係被指定為對運輸線4之一運輸區段5。 組合區段1 0的分組係以與實施例A之同軸塗佈設備的組 合區段10相似的方式行之，然其中實施例B之組合區段 10係藉由舉升裝置30而可垂直移動，如第4b圖所示。為 此，彼此分隔開來且平行的組合區段1 〇係連接至導引剖面 29，其中導引剖面29係舉升裝置30的一組件，其係經由 未詳細說明之一傳送器予以驅動，例如藉由一伺服馬達或 一氣動活塞；因此，組合區段10係可於垂直轉移方向31 而同步移動至位置I或Π，其中，在位置I中，位於組合 區段1 0之水平配置平坦基板8係運輸向配置於運輸裝置上 方之塗佈工具（同樣見於第4b圖）。 根據第4a圖與第4b圖之實施例B，係提供管型腔室 隔板21，其排列於各組合區段10的運輸滾輪28的下方， 14 200914347 其中各排列於成對之組合區段 1 〇之間的平面上的腔室隔 板21係用於功能性地將處理腔室2 2自位置I中的運輸腔 室2 3分隔開來；管型腔室隔板21的周圍邊緣（其部分包 括運輸滾輪28)係與塗佈區段1的腔室壁25的密封接觸 框3 2相應，使得同樣在此實施例中處理腔室2 2係於基板 8的塗佈期間真空緊密地與運輸腔室2 3分隔開來。 根據實施例Α與Β之同軸塗佈設備之作用機制： 基板8係經由腔室鎖1而内送，並藉由沿著運輸線4 之運輸區段5而運輸；一旦基板8抵達其運輸路徑上的第 一塗佈區段1，基板8係由該處的轉移裝置9的其中一個 組合區段1 0所接收，其於當時係作為運輸區段5。藉由轉 移滚輪13的方式、或藉由舉升裝置30的方式，轉移裝置 9於水平轉移方向14中或垂直轉移方向31中皆可從位置 II移向塗佈工具11，直到轉移裝置9已將基板8定位於相 對於塗佈工具1 1的處理位置（組合區段10之位置I )上 為止；在連續的運輸區段5中所產生的間隔會在同時間藉 由平行的組合區段1 0關閉，其因此輪流形成沿著運輸線4 之一運輸區段5。沿運輸線4運輸之後續基板8現可不受 阻礙與任何干擾地通過第一塗佈區段 1，以抵達通過前一 個基板8的相鄰塗佈區段1。在此，基板8係由轉移裝置9 的組合區段1 0予以接收，其係位於組合區段1 0的位置11， 並可以接著被定位於處理位置（組合區段1 〇的位置I )。 基板8在第一塗佈區段1中之塗佈期間，處理腔室2 2係藉 由腔室隔板21而與運輸腔室23分隔開來，使得通過的基 15

200914347 板8不會受到第一塗佈區段1中塗佈程序的影響 因此，在相鄰的塗佈區段1中可進行基板8 串聯塗佈，特別是，可利用並聯、省時的方式對 行長時間的塗佈處理。基板8之轉移至同軸運輸 輸之對應的運輸系統以將基板定位於靜止處理位 移回係可有效發生，而不易受到基板8轉移至不 統之干擾。 【圖式簡單說明】 第1圖係一平面圖，其說明根據本發明之垂 佈設備，其具有兩塗佈區段與一本發明之運輸裝 於本質上垂直配置之基板； 第2 a圖係一側視圖，其說明具有兩運輸區段 裝置中根據本發明之一轉移裝置； 第 2b圖係本發明之轉移裝置之一替代實施 圖； 第3圖係一平面圖，其說明了根據實施例A 軸塗佈設備，其具有配置於其中之一旋轉模组； 第4 a圖係一側視圖，其說明根據實施例B 軸塗佈設備，其具有兩塗佈區段與一本發明之運 其用於水平配置之基板； 第4b圖係一截面圖，其說明根據實施例B 佈設備。 之並聯與 基板8進 或轉移運 置並再次 同運輸系 直同軸塗 置，其用 之此運輸 例的側視 之延伸同 之水平同 輸裝置， 之同軸塗 16 200914347 【主要元件符號說明】 1 處理、塗佈區段 2 鎖定腔室 3 真空緊密腔室閥 4 運輸線 5 運輸區段 6 基板導板 7 基板導板的運輸滾輪 8 基板 9 轉移裝置 I 0 組合區段 II 處理、塗佈工具 12載板 1 3 轉移滾輪 1 4水平轉移方向 1 5 軌道區段 16軌道區段的運輸滚輪 17基板固持件、載體 1 8 載車滚輪 19載車 20載軌 2 1 腔室隔板 22 處理腔室 23 運輸腔室 17 200914347 24 密封元件 25 塗佈區段的腔室壁 2 6 旋轉模組 2 7 滚輪區段 2 8 滾輪區段的運輸滾輪 29 導引剖面 30 舉升裝置 31垂直轉移方向 3 2 密封接觸框

I 組合區段的位置I

II 組合區段的位置II 〇 18

Claims (1)

1. 200914347 十、申請專利範園·· 1 · 一種設備（特別B古… 真空塗佈設備）中的運輸裝置，用於 以一連續運輪區伴 奴之基板處理，以沿著經過數個處理區 段之一運輪線谁奸甘。 丁基板連續同軸運輸，其中一轉移裝置 係提供以定位一苴 基板各於一靜止處理位置，其特徵在於 该轉移裝置（9)旦古 ，具有至少兩個相配、可動組合區段（1〇)， 藉其該基板（8)係可定位，其中對該運輪線⑷之一交替 才曰疋令的該等組合區段（10)形成一運輸區段（5)。 2. 如申清專利範圍第1項所述之運輸裝置，其特徵在於該 等處理區段（1)其中之一具有至少一處理工具（11)，其與 該靜止處理位置中的該基板（8)所指定者相對。 3·如申請專利範圍第1或2項所述之運輸裝置，其特徵在 於該等組合區段（1 〇)係平行且間隔分開。 如申請專利範圍第1項所述之運輸裝置’其特徵在於該 等組合區段（丨〇)係可橫向移動，且較佳為與該運輸線（4) 5. 如申請專利範圍第4項所述之運輸裝置’其特徵在於該 等組合區段（1〇)可水平及/或垂直移動。 6. 如申請專利範圍第*項所述之運輪裝置’其特徵在於該 轉移裝置（9)具有一滾輪或齒輪驅動、或一滑輪或滑帶 驅動，其可電力、氣動、或水力操作。 7.如申請專利範圍第1項所述之運輸裝置’其特徵在於一 轉移裴置（9)係各提供於炱少兩個連續處理區段（1)中， 19 200914347 或扣疋至至少兩個連續處理工具（11)。 如申凊專利範圍第1項所述之運輸裝置’其特徵在於該 轉移裝置（9)具有一腔室隔板（21)’其配置於該等組合區 段（1 0)之間的—平面。 如申蜎專利範圍第丨項所述之運輸裝置，其特徵在於該 組Q區^又（10)係被指定至該處理工具（11)，及/或該基板 (9)之一基板固持件（17)係形成為一腔室隔板（21)。 10. 如申凊專利範圍第8或9項所述之運輸裝置，其特徵在 於該腔室隔板（2 1)與具有密封元件（24，32)之該處理區 段（1)的一腔室壁（25)相應。 11. 如申請專利範圍第1項所述之運輸裝置，其特徵在於該 等運輸區段（5)係一滚輪、軌道或氣體緩衝運輸裝置的 元件。 12. 如申請專利範圍第1項所述之運輸裝置，其特徵在於該 基板（8)具有一處理表面’其於該基板（8)的同軸運輸沿 著該運輸線（4)時形成一運輸平面’且其於該基板（8)定 位至該處理位置期間係排列於與該運輪平面平行的一 平面中。 13_如申請專利範圍第12項所述之運輸裝置，其特徵在於 該基板（8)的該處理表面係水平或本質上垂直排列。 1 4.如申請專利範圍第1項所述之運輸裝置，其特徵在於該 運輸裝置具有含至少一運輸區段（5)之一旋轉模組 (2 6)，其可被指定至兩處理區段（1)的運輪區段（5)。 20 200914347 之塗 申請 1 5. —種具有一連續數個處理站之處理（特別是基相 佈）設備，特別是一真空塗佈設備，其特徵在於士 專利第1至14項其中之一所述之一轉移裝置（9)。

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