TW200903591A - Semiconductor device - Google Patents
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Description
200903591 九、發明說明： 【發明所屬之技術區域】 本發明係有關於一種半導體裝置。 【先前技術】 在習知技術中，如下述之特許文獻1所示，揭露以Si (石夕）為半導體材料之3次元構造的半導體裝置。根據特 許文獻1之技術的話，在半導體基板上形成半導體集積回 路，再於前述基板上隔著層間膜形成Si層。而且，使用此
Si層，並形成半導體集積回路，而構成3次元構造之半導 體裝置。 【特許文獻1】特開2006-203250號公報 【特許文獻2】特開平5-75018號公報 【特許文獻3】特開2000-1 50900號公報 【特許文獻4】特開2003-1 79233號公報 【發明内容】 在形成3次元構造之半導體裝置之際，可以在良好的 精度下將各半導體層之半導體 元件形成於所欲之位置。
之構造的位置關係。 於开> 成3次元構造之情況，
但是’在上述習知技術中， 首先，在基/ 一‘ 在上述構成 造。結果， 度下把握位且。
2118-9303-PF 200903591 馮了避免上述問題，在基板 ，—一 …，日π观卞守通兀件 也可以考慮所謂藉由圖案化製程移除半導體元件以外 f刀的手法。藉此，可以看見基板上之半導體元件。在 使用此手法之情況下，招致步驟數之增加。 、為了解決上述課題’此發明之目的係提供一種3次元 =造之半導體裝置，其中，此半導體裝置除了避免製造步 驟之複雜化，亦可以户a 在南精度下把握分別形成於複數個半 導體層之半導體元件的位置關係而進行製造。 為了達成上述目的，第i發明係提供一種半 第半導體層1半導體層，I1半導體元件，形成於前述 ，2+㈣層’以與前述第1半導體元件重 :成積於前述第1半導體層’且由透明半導體材料 ;’延:半導體元件，形成於前述第2半導體層；以及 伸至前述第2半導體體層内且與前述第卜2半導 體7C件電性連接。 卞守 積之ΓΛ 話’由於以覆蓋〶1半導體元件而疊 此，可、、# t體層係由透明半導體材料形成的緣故，因 此可以透過前述第2半導體層而以杏 本盡辦-π 媸層而以先學的方式檢出第1 +導體兀件之位置。結果， 日m ^ u , f知蚁良造步驟之複雜化， 且了以南精度地把握第卜2半導 成半導體裝置。 件之位置關係’而形 【實施方式】 第1實施例 [第1實施例之構成]
2118-9303-PF 200903591 第1圖係繪示本發明之第丨實施例之半導體裝置之剖 面圖。在本實施例中，係顯示以作為高頻率元件之半導體 装置的例子。如第1圖所示，本實施例之半導體袭置係具 備透明基板之Sic (碳化秒）基板2。在SiC基板2形成電 曰曰體10。電晶體1 〇係具有閘極電極丨2、源極電極丨4、汲 極電極1 6。
^在SlC基板2疊積GaN (氮化）層6。GaN層6係以覆 蓋電晶體10之方式而疊積之單結晶透明半導體層。在GaN 層6還疊積AlGaN層8。在AlGaN層8形成電晶體20。電 晶體20係具備閘極電極22、源極電極24、没極電極 閘極電極22之周圍係具備絕緣膜28。 ^本實她例之半導體裝置係具備配線18。配線18係與 電晶體ίο之汲極電極16、電晶體2〇之汲極電極26電性 連接。配線18係貫通GaN層6之内部而形成。另外，本實 施例之半導體装置係具備與電晶體10之源極電極14接續 之配線30、或與電晶體2〇之源極電極24接續之配線32。 配線30、32也分別貫通A1GaN層8、GaN層6、基板2 等内部而形成。 如此一來，本實施例之半導體裝置乃是具備包含SiC 基板2、GaN層6、AlGaN層8之多層構造，且在前述多層 構造之相異層分別具備電晶體1〇、20之3次元構造的半導 體裝置。
e例如，本實施例之半導體裝置係可以藉由下列述步驟 而製4。首先，準備透明基板之Sic基板2,並在前述SiC
2118-9303-PF 200903591 基板2上形成配線30、32、電晶體10。此後，在SiC基板 2之上蟲晶成長GaN層6。接著，在GaN層6形成配線^、 3 2，並开> 成電晶體2 〇以與配線1 8、3 2電性連接。 、而且，在使用GaN之高頻率元件中，以㈣之結晶構 造為六方晶構造較佳。在本實施例中，考慮到此點，將成 為下方之面之SiC基板2的結晶® (或是結晶構造）作成 GaN層6是六方晶構造的構造。 而且，本實施例中所謂「透明」係指「既存之半導體 製造所用之曝光裝置之晶圓位置檢出用雷射光線之光實質 上不會被吸收」之特定光學特性的意思。具體而言，例如， 可以將本實施例之透明半導體材料作成對於位在可見光波 長區域之光而言具有光透過性的半導體材料。以作為透明 半導體材料之一例而言，例如有能量間隙為2 5#以上且 使用此透明半導體材料而可以形成半導體元件# Μ。、
GaN、ZnO (氧化辞）等。 而且，本實施例之說明t，所謂「能量間隙」之用語 係以與「能帶間隙」「禁制帶幅」相同意思而使用。換言 之’在本實施例之說明中，也可以將「能量間隙」替換為 「能帶間隙」。 述第 第1 係相 係相 而且，在上述第1實施例中，SiC基板2係相當於前 1發明之「第1半導體層」；電晶體i 〇係相當於前述 發明之「帛i半導體元件」；Ga…及編層8 當於前述第i發明之「第2之半導體層」；電晶體2〇 當於前述第1發明之「第2半導體元件」；配線18係
2118-9303-PF 8 200903591 相當於前述第1發明之「配線」。 [第1實施例之效果] 、下"兒明以上所述之第1實施例之半導體裝置的效 果。 、在本實施例中’以SiC基板2上形成之半導體層作為 由透明半導體材料構成之GaN層6。藉此，使用光學的手 法，可以透過GaN層6而檢出電晶體1〇之位置。結果，可 以一邊在高精度下把握電晶體1〇、2〇之位置關係，一邊形 成半導體裝置。 / 換吕之，使用既存之半導體製造所用之曝光裝置之晶 圓位置檢出機構，可以容易識別在Sic基板2形成之電晶 體1 0之位置。而且’可以正確進行相對於電晶體1 〇之電 曰曰體20的位置決定。尤其是，藉由合於既存之光學設備（例 如，曝光裝置之晶圓位置檢出用雷射裝置）之光的波長而 適切地選擇透明半導體材料，不需在前述光學設備作大幅 的變更，即可進行3次元半導體裝置之製造。 另外，根據本實施例之半導體裝置的話，使用Sic基 板2作為基板。由於s i C係透明之故，因此可以從電晶體 1 〇未形成之面侧（從第1圖之紙面下方側）檢出電晶體】〇 之位置。 另外’ GaN等能量間隙（能帶間隙）為2. 5eV以上之 透明半導體材料通常具有半絕緣性之性質。關於此點，在 本實施例中，由於變成在電晶體丨〇、2〇之間夾著GaN層6 之構成的緣故’因此，可以確保各層間之良好絕緣性。結
2118-9303-PF 9 200903591 果，可以得到光透過性與絕緣性同時兼備之優異3次元構 造的半導體裝置。而且，根據上述構成的話，即使省略了 用於使H 10、20絕緣之絕緣層（層間絕緣膜），也可 以得到充分之絕緣性。因此，也有所謂半導體裝置之構造 簡化、製造步驟之簡化的優點。 另外，如上所述’在本實施例中，於Μ基板2上成 “aN層6。可以製造3次元構造之半導體裝置，而多層 疊積之各半導體層係具備良好的結晶品質。 為了滿足要求，例如，有所謂在半導體基板上形成非 晶質或多結晶之半導體層，且之後再對此半導體層進行再 結晶化的技術。但是，在包含上述再結晶化步驟之製造步 驟中，有所謂步驟數增加與耗費時間的問題。 關於此點，根據第1實施例的話，由於藉由結晶成長 而形成疊積在基板上之半導體層的緣故，因此，可以得到 製造步驟簡略化的效果。尤其是，在本實施例中，以Sic 基板2上成長之透明半體層的材料而言，選擇與w晶格 常數接近之GaN。藉此，可以使GaN^ 6在加基板^上 蟲晶成長，且形成Ga…以作為具有良好品質之單社曰 半導體層。結果’可以省略用於再結晶化之煩雜步驟。 另外，由於本實施例之半導體裝置係藉由蟲晶成長而 ㈣層6的緣故’因此’即便在GaN層6之任一區域 也具備良好之結晶性。因此’可以任意定電晶體2。之形成 位置，而可以在高的自由度下進行設計。 另外，在使用GaN或SiC等材料而形成半導體裝置之
2118-9303-PF 200903591 情況下，通常可以在1 ooot以上之溫度下進行製造。例如， 基板之加熱處理溫度會影響藉由磊晶成長步驟而得之結晶 品質。因此，可以在高的加熱處理溫度下製造。關於此點， 在本實施例中，由於使用通常可以在丨〇〇〇 =c以上之溫度下 製造之GaN或Si C的緣故，因此，可以在高溫環境下製造。 而且，例如，在主要考慮Si而形成3次元構造之半導 體裝置的情況（使用特許文獻丨之技術的情況）下，不會 對基板之加熱處理溫度產生制約。具體而言，在特許文獻 1中，記載了 900°C左右之極限。這是因為在使用Si之3 次元構造的情況下，由於過熱的緣故，而產生形成於基板 之半導體元件之性能降低的弊害。 相對地，本實施例即使進行基板溫度為9〇(rc以上之 加熱處理也不會損壞SiC基板2與電晶體1〇。因此，本實 施例相較於特許絲丨之技術而言係具備優異《熱性之構 造。 如以上說明所述，第i實施例之半導體裝置係藉由使 用SlC、GaN作為透明半導體材料，而可以形成具有下列條 件之3次元構造，例如，高的位置決定精度、良好的絕緣 性、高耐熱性、高的結晶品質、步驟之複雜化之避免。總 之’根據第1實施例的話，不僅 个惶』以侍到所謂咼的位置決
定精度的效果，另外，從拟士、 Q A 從形成3-人TL構造之半導體裝置的 觀點來看，亦可得到總合的優異效果。 而且，如第1實施例所述，總合來說，可以實現優異 之3次元構造之半導體裝署沾^^在止 菔衮置的材枓並不限於siC與GaN之
2118-9303-PF 11 200903591 · 組合。具體而言，藉由從SiC、GaN、Zn0選擇基板及透明 半導體層之材料，可以得到與第丨實施例同樣之效果。例 如’也可以使用GaN基板以取代SiC基板2，而作成GaN 基板與GaN層之組合。 [弟1實施例之變形例] 以下’說明第1實施例之變形例。 在第1實施例中，分別以Sic作為基板之材料，且以 GaN作為基板上形成之透明半導體材料。藉此，所謂高的 位置決定精度之思想（為了方便說明，區分為「第】甲、 想」）、所謂關於3次元構造之半導體裝置的總合優異效 果之思想（為了方便說明，區分為「第2之思想」）得以 同時實現。但是’本發明並不限定於此。 例如，可以單獨用第丨思想。換句話說，以所謂使用 應可得至，J高的纟置決定精纟之透明半$體材肖的觀點而 言，可以廣泛的選項之中選擇適宜、透明的半導體材料。 在此種情況下，可以不拘泥於與上述第2思想相關之制約 (材料之種類、組合、製法、結晶構造等），而選擇基板 及半導體層之材料。 土 如上所述，本實施例中所謂「透明」係指「既存之半 導體製造所用之曝光裝置之晶圓位置檢出用雷射光線之光 實質上不會被吸收」t特定光學#性的意思。可以使用具 備上述特定光學特性的半導體材料。 另外，在第1實施例中，使用Sic基板 但是，本發明並不限定於此。在不要求來自基板之
2118-9303-PF 12 200903591 光透過性的情況下，也可以使用由 由不透明的半導體材料（例 如’ S1 )構成的基板。在此種情 & > ^ 裡度况下，也可以透過基板上 形成之透明半導體層，而以光學的方式檢出基板上之構造。 另外’例如，也可以倍用读aB ,, 士 L甘 便用透明的材料而形成基板，並 在此基板上形線層作為下方層，並進一步疊積㈣層。 在此種情況下，形成於透明基板上且作為下方層之W層 係相當於前述第1發明之「帛1半導體層」；疊積於前述 SiC層之GaN係相當於前述第i發明之「第2之半導體層」。 另外，第1實施例係成為既述之第U想與第2思想 同時實現的構成。第2思想係由⑴得到良好的絕緣性之 思想、製造步驟簡略化之思想、（iU)得到高品質 之思想、（iv)得到高耐熱性之思想開始，且包含複數個 思想。第1實施例之半導體裝置係兼備基於上述第2思想 之特徵。但是，本發明並不限定於此。可以個別利用含於 第2思想之複數個思想。例如，可以因應需要而選擇上述 (i)〜（iv)之各種思想之一或將其組合而利用。 例如’可以在第1思想内加人⑴良確保好的絕緣性 之思想，並選擇透明的半導體材料。具體而言，可以適當 地選擇能量間隙（能帶間隙）為2. 5eV以上之其它種種的 半導體材料。藉此，可以得到良好的絕緣性之確保、層間 絕緣膜之省略等利益。 另外，例如，可以在第i思想内加入（u)利用結晶 成長之製造步驟之簡略化的思想或（iii)得到高結晶品質 的思想。具體而言，不拘泥在受能量間隙制約之第丨實施 2118-9303-PF 13 200903591 例之材料選擇的思想，使用SiC、GaN以外之材料，可以藉 由使基板上形成之透明半導體層結晶成長而形成。製造步 驟之簡略化行。尤其是，藉由選擇晶格常數相近之透明半 導體材料之組合，可以在基板上磊晶成長透明半導體層， 了 乂彳于到具有良好結晶品質之3次元構造的半導體裝 置。 ’ 另外，例如，也可以在第i思想内僅加入第2思想中 之（1 v )得到高耐熱性的思想。具體而$，可以利用训、
GaN以外的材料，亦即在通常之製造程序中於高溫下使用 之透明半導體材料。 另外，在第1實施例中’雖然將GaN層6之結晶構造 作成六方晶構造，但是，本發明並不限定於此。也可以因 應形成之半導體裝置的種類、用途，而選擇在SiC基板2 上成長之半導體層的結晶構造。 在第1實施例中，於電晶體20形成前形成配線18。 但是’本發明並不限定於此。也可以在電晶體2〇形成後， 形成配線18。藉此’可以任意選擇電晶體2〇之形成位置， 且可以在高的自由度下進行製造。 另外，藉由將成長於Sic基才反2上之半導體層作成複 數層，可以㈣具備多層構造之3次元半導體元件構造的 裝置。而且，藉由將形成之多層半導體層全部作成透明材 料，可以在高的精度下容易地對準各層構造的位置。 而且’在本實_中’以電晶體1G、2G作為半導體元 件之一例。但是，並不限定於在本發明之3次元構造之半
2118-9303-PF 14 200903591 以將公知技術之 於SiC基板2、 導體裝置所形成之半導體元件的種類。可 包含種種電晶體的半導體元件適當地形成
GaN 層 6 、 AlGaN 層 8 。 而且，如上述說明一樣，才目較於特許文獻i之使用石夕 之3人it構&的半導體裝置而言，本實施例之半導體裝置 係具備材料之選擇性高的優點。 【圖式簡單說明】 [圖1 ]本發明之帛i實施例之半導體裝置之剖面圖。 【主要元件符號說明】 2〜SiC基板 6〜GaN層 8〜AlGaN層 10、20〜電晶體 12、22〜閘極電極 14、2 4〜源極電極 1 6、2 6〜汲極電極 18〜配線 28〜絕緣膜 3 0、3 2〜配線
2118-9303-PF 15
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- 200903591 十、申請專利範圍： 1. 一種半導體裝置，包括： 第1半導體層； 第1半導體元件，形成於前述第1半導體層； 第2半導體層’以與前述第1半導體元件重疊之方式 疊積於前述第1半導體層，且由透明半導體材料構成； 第2半導體元件，形成於月ίι述第2半導體層；以及 配線，延伸至前述第2半導體體層内且與前述第丨、2 半導體元件電性連接。 2_如申請專利範圍第1項所述的半導體裝置，其十， 别述第1半導體層為使用透明半導體材料而形成之半導體 基板。 3. 如申請專利範圍第1項所述的半導體裴置，其中， 前述第2半導體層係藉由能量間隙為2· 5eV以上之半導體 材料而形成。 4. 如申請專利範圍第2項所述的半導體裝置，其中， 月ϋ述第2半導體層係藉由能量間隙為2. 5 e V以上之半導體 材料而形成。 5. 如申請專利範圍第1項所述的半導體裝置，其中， 前述第2半導體層係由成長前述第1半導體層上之前述透 明半導體材料所組成的結晶層。 6. 如申請專利範圍第2項所述的半導體裝置，其中， 别述第2半導體層係由成長前述第1半導體層上之前述透 明半導體材料所組成的結晶層。 2118-9303-PF 16 200903591 7.如申請專利範圍第3項所述的半導體裝置，其中， 前述第2半導體層係由成長前述第1半導體層上之前述透 明半導體材料所組成的結晶層。 8_如申請專利範圍第4項所述的半導體裝置，其中， 前述第2半導體層係由成長前述第1半導體層上之前述透 明半導體材料所組成的結晶層。 9·如申請專利範圍第5項所述的半導體裝置，其中， 月1J述第1半導體層為單結晶層； 前述第2半導體層之晶格常數係前述第1半導體層之 晶格常數的近似值，而前述近似值係使前述第2半導體層 磊晶成長於前述第丨半導體層上之程度。 10. 如申請專利範圍第6項所述的半導體裝置，其中， 前述第1半導體層為單結晶層； 前述第2半導體層之晶格常數係前述第1半導體層之 曰曰格吊數的近似值，而前述近似值係使前述第2半導體層 磊晶成長於前述第丨半導體層上之程度。 11. 如申請專利範圍第7項所述的半導體裝置，其中， 前述第1半導體層為單結晶層； 前述第2半導體層之晶格常數係前述第1半導體層之 晶格常數的近似值，而前述近似值係使前述第2半導體層 磊晶成長於前述第1半導體層上之程度。 1 2.如申請專利範圍第8項所述的半導體裝置，其中， 前述第1半導體層為單結晶層； 、 前述第2半導體層之晶格常數係前述第1半導體層之 2118-9303-PF 17 200903591 日日格吊數的近似值，而前述近似值係使前述第2爭導體層 遙晶成長於前述第1半導體層上之程度。 1 3 ·如申睛專利範圍第1乃至1 2項之1項所述的半導 體裝置，前述第1半導體層係使用SiC(碳化矽）、GaN(氮 化鎵）及ZnO (氧化辞）之任一】個材料而形成； 前述第2半導體層係使用SiC(碳化矽）、_ (氮化 鎵）及ZnO (氧化辞）之任—i個材料而形成。 2118-9303-PF 18
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