TW200821751A - Alkali soluble polymer and positive working photosensitive resin composition using the same - Google Patents

Alkali soluble polymer and positive working photosensitive resin composition using the same Download PDF

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Description

200821751 25912pif.doc 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域] 、本發明係關於可溶驗聚合物 式感光樹脂組成物，此組成物 更用此聚合物之正片 【先前技術】 u ^用於光阻及其類似領域。 圖案化透簡⑽使肖於顯 如隔片、絕緣膜及保護膜，且已提^ =多兀件中，諸 片式感細组成物（參見例如專利二二=用途之正 已知包含以4·錄苯乙烯作 :至此外’ 樹脂組成物（參見例如專利文之…物之正片式感光 像感(諸如具有薄膜電晶體及固態影 雪H 夜日曰顯示裝置）具有絕緣膜以使排列成層之 r相m _ 為成緣Μ之材料的正片式感光樹 少之乏地使用，此正片式感光樹脂組成物藉由較 有所需圖案的絕緣膜。此外，正片式感光 =、、且成物在形成絕緣獻製程中S要很大的製程範圍。 制、iL使用正片式感光樹脂組成物之絕緣膜或顯示裝置在 猶後步驟中，—定要藉由浸潰與溶H驗溶液 或其頌似物接觸且需要熱處理。
[專利文件 1]JP 51-34711 A [專利文件 2] JP 56-122031 A [專利文件 3] JP 5-165214 A
[專利文件 4] JP 52-41050 B 【發明内容】 200821751 25912pif.doc 物，ΐϊ形下，需要—種正片式感光樹脂組成物或其 耐夠於驗水溶液中顯而獲得具有極佳的高 :嘛性、高耐酸性、高耐鹼性、高耐熱性、 =^^及具與基板之_性之®案化赫膜，亦即有 圖木形成之透明膜（圖案化透明膜）。 地’亦需要具雜佳的高_溶劑性、高耐水性、 ^ 高餐性、高耐熱性、高透贿、具鱼基板之 =，特性之圖案化透明膜、絕緣膜、顯示裝置 T 糾共聚由町通式⑴表示之 ^卞則—種自由基可聚合單體（Β)而獲得；以及 感先劑，且基於此發現完成了本發明。 (1)表示之單體（Α)而獲得。
[1]本發明提供可溶驗聚合物，其係藉由聚合由 ⑴ 在通式（1) t · R、R及R3各自表示氨或 碳原子之絲，此絲中的任何氫可以 汇 f R6、r7#各自表示氬、齒素、抓々換’二厂 -OH、具有！至5個碳料之貌基，此絲中的任㈣ 可以經-ax)-、:〇C〇4CO_置換且任何氫可以經^素^ 200821751 25912pif.doc 換、或具有1至5個碳原子之烧氧基，此統氧基中的任何 氫可以經鹵素置換，其中，R4至R8中之至少—者為_〇11。 [2]此外，本發明提供可溶鹼聚合物，其係藉由共聚由 通式（1)所表示之單體（A)與除單體（A)以外之自由 基可聚合單體（B)而獲得。
在通式（1)中：尺1、#及R3各自表示氫或具有！至 们石反原子之纟元基，此烧基中的任何氫可以經氟· 心及Μ各自表示氫 -OH、具有1至5個碳原子之烷基，此烷基中 二以經-COO…⑽_或⑶_置換且任何氫可以經7齒素置-二、或具有1至5個碳原子之烷氧基，此烷氧基中的任 風可以㈣素置換’其中’ R4至R8中之至少-者為-OH。 [3]本發明提供如第[2]項之可溶鹼聚合物，其中Rl R及R8各自表示氳且R6表示_〇H。 可明提供如第[2]項之可溶驗聚合物，其中自由基 至Γ二脰B)包含由下列各物所構成的族群中選出之 體1Μ V 氧⑽基（GXimnyl)之自由基可聚合單 單體（b2’r】乳雜環丁烧基（〇XetanyI)之自由基可聚合 體r j /、有N經取代馬來醯亞胺之自由基可聚合單 X及具有二裱[5.2丄〇2,6]癸基之自由基可聚合單 200821751 25912pif.doc 可聚料合物’其中自由基 可聚合單體⑽中合單體⑽與自由基 [6] 本發明提供如第[5];决 可聚合單體（B)由下列各 :合物，其中自由基 ⑽、自由基可聚合單體ϋ組成··自由基可聚合單體 (Μ)至（b4)以外之自由| 从及除自由基可聚合單體 乂外之自由基可聚合 [7] 本發明提供如第[习項 ()〇 可聚合單體⑻係由自由美；^聚合物’其中自由基 及（b3)組成。 基了來合早體（M)、（b2)以 [8] 本發明提供如第[5] 可聚合單體（B)係由自由基可合物’其中自由基 及（M)組成。 來σ早肢（bl)、（b2)以 [9] 本發明提供如第[51 ^ k ‘可聚合單體w勤自由基可合物，其中自由基 及（b4)組成。 :早體（bl)、（b3)以 [10] 本發明提供如第[5 基可聚合單體（B)係由自由，二聚合物，其中自由 [11] 本發明提供如中請^ =早體（M)組成。 物，其中自由基可聚合單 f圍弟5項之可溶驗聚合 (M)以及（Μ)組成。 係由自由基可聚合單體 [12] 本發明提供如第[6]至⑴] 合物’其中·· 、 項之可溶鹼聚 200821751 25912pif.doc 自由基可聚合單體（bl)為由下列各物所 中選出之一者或兩者或多者··丙烯酸縮水甘油酯、之麵鮮 烯酸縮水甘油酯以及甲基丙烯酸甲基縮水甘油醋曰j甲基丙 ^由=聚合單體（b2)為由下列各物所構成之 中廷出之一者或兩者或多者：丙烯酸(3_乙基_3_氧雜产 基）甲酯、曱基丙烯酸(3-乙基-3-氧雜環丁烷基）甲酯衣= (、: 酸(2_乙基-2-氧雜環丁烷基）甲酯以及甲基丙烯酸其 - 2_氧雜環丁烷基）甲酯； 土 -自由基可聚合單體（b3)為N_苯基馬來醯亞胺以及 N-環己基馬來醯亞胺中之一者或兩者，·且 々·自由基可聚合單體（M)為曱基丙烯酸三環[5·2·ι.02,6] [13]本發明提供如第項之可溶鹼聚合物，其中自由 基可聚合單體（b5)為甲基丙:if酸节酯及苯乙烯中之_者 或兩者。 [14]本發明提供包含如第[2]項至第[13]項中任一項之 可溶驗聚合物以及感光劑（C)之正片式絲_組成物。 /二[15]本發明提供如第[14]項之感光樹脂組成物，其中 光劍（C)為酸產生化合物。 心 本發明提供如第[14]項之正片式感光樹脂組成物，立 中感光劑⑹為1為重氮化合物。 /、 ^在本發明之說明書中，為表示丙烯酸以及曱基丙烯 =可以將其統—描述為“（甲基)丙烯酸，，。此外，為以 六、以方式表不丙烯酸酯以及曱基丙烯酸酯，可以將其統一 200821751 25912pif.doc 描述為“（甲基)丙烯酸酯”。 本發明說明書中之院基”指直鏈或支鏈烧基。其實 例包含甲基、乙基、丙基、正丁基、第三丁基、戊基以及 己基。 本發明說明書中之“晞基，’指具有包含個雙鍵 之直鏈或支鏈的烯基。特定實例包含乙稀基、i丙稀基、 2-丙烯基、1-甲基乙烯基、卜丁烯基、2_丁稀基、3•丁婦^、 〇 2_甲基_2_丙職、μ戊婦基、2-戊烤基、4-戊烯基、3.甲基 2-丁烯基、μ己稀基、2-己婦基、j•庚稀基、2_庚稀基、 1-辛烯基、2-辛烯基、辛二烯基、2_壬烯基、丨，3-壬二 烯基以及2-癸烯基。 ’ 一 “烘基”指具有包含丨至3個參鍵之直鏈或支鏈的炔 基。特定實例包含乙块基、丨_丙块基、2_丙块基、丁炔 基、2-丁炔基、3-丁炔基、丨_戊炔基、戊炔基、冬戊炔基、 1-辛炔基、6-甲基_；[-庚炔基及2_癸炔基。 、土 、 本發明之正片式感光樹脂組成物具有聚合物組成物一 ^所需要之特徵’諸如高耐溶劑性、高财水性、高耐酸性、 高财驗性、高耐熱性、高透明度以及與基板之黏附性。 此外，本發明可以在不使用任何具有羧基之 聚合單體下，提供正片式感光樹脂組成物。 土 此外，本發明之正片式感光樹脂組成物可以具有極佳 的耐;容劑性、耐酸性、耐驗性、耐熱性及透明度。因此， 使用本發明之正片式感光樹脂組成物的樹脂膜（諸如透明 膜、絕緣膜以及顯示裝置）即使在製造樹脂膜製程之稍後 10 200821751 25912pif.doc 行後處理（諸如浸潰於溶劑、酸溶液以及驗溶液 其接觸）以及熱處理之後亦幾乎都不會使樹脂膜表 m / 口此，使用本發明正片式感光樹脂組成物製備之 、曰膜制透明膜）具有增力0的透光率且使用此樹月旨膜 之顯示裝置的顯示品質亦增加。 、 【實施方式】 <1可溶鹼聚合物> 本!X月之可溶驗聚合物為具有以下程度之驗溶性的聚 3物：以溶液旋塗的方式且纟12(rc下加熱3〇分鐘所形成 =厚度，0.01至100微米的膜，當其在（例如）約25。〇下， 重i百分濃度為2 38 %的氫氧化四甲基銨水溶液中歷 日:：> 分鐘’隨後以純水洗滌此膜時，此膜完全轉而未殘 留0 <M第一可溶鹼聚合物> 一本發明之第一可溶鹼聚合物為藉由聚合由通式（丨）表 單體（A)獲得之聚合物。單體（A)可⑽單一麵 之單體形式使用‘可以以兩種或兩種以上單體之組合；使 用。 、
在通式（1)中’R〗、R及R。各自表示氫或具有1至 個碳原子之烧基，此：!:完基中的任何氫可以經氟置換；且 200821751 25912pif.doc R、R、R、R 及 R 各自表示氫、鹵素、_CN、-CF3、-〇cf3、 -OH、具有1至5個碳原子之烷基，此烷基中的任何 可以經-COO-、-OCO-或_c〇_置換且任何氫可以經自素置 ，、或具有1至5個碳原子之烧氧基，此垸氧基中的任 氣可以經鹵素置換’其中，r8中之至少—者為领。 本發明之第-可落驗聚合物可以藉由單 ;、 由基聚合而獲得。自由基聚合可以使 ）的自 ;進仃。預期本發明之第一可溶鹼聚.合物 知釗 領域之圖案化樹脂膜。 用於光阻技術 <1-2弟一可〉谷驗聚合物> 一本發明之第二可溶鹼聚合物為藉由聚人 示^單體（A)與除單體⑷以外之自由基⑴表 所後得之聚合物。換言之，可溶驗聚合 ^單體（Β) 思合物而獲得之共聚物。在第二可溶驗聚=由聚合單體 體u)之含量，只要單體(A)與二:二， (b)之^聚物具有上述鹼溶性即可，土可♦合單 ，言’較佳為G.5至85%，更佳為丨至8()广重量百分比 為5至80%。 C，進—步更佳 此外，自由基可聚合單體（B)之含息 ί而言，較佳為15至殃5%，更佳為2〇二以重量百分 更佳為20至95%。 99%，進一步 12 200821751 25912pif.doc
⑴ R5 R4 R3 f通式（1)中，R]、R2&R3各自表示氫或具有^至 3個妷原子之烷基，此烷基中的任何氫可以經氟置 (、R、R、^及^各自表示氫^素、·、％、^^、 〇H、具有1至5個碳原子之烷基，此烷基中的任何_CH _ 可以經-COO-、-〇C〇_或·c〇_置換且任何氯可以經齒素赢 換、或具有1至5個碳原子之垸氧基，此烧氧基中的任何 虱可以_素置換，其中，R4至R8中之至少-者為_0H。 、此外，關於本發明之可溶鹼聚合物，可以評估單體組 份’例如是將可溶鹼聚合物熱分解後，卩GC_M 敎 分解所產生之氣體。 、…、 (, :1-2·1由通式（1)表示之單體（A):> '體#(A)為在紛衍生物上具有自 之基團作為可聚合基團的自由基可聚合單體。單體 )可以以單-義單體形式使用，或可 ^組合使用。藉由使用以此自由基可聚 二驗聚合物丄可以輕易地得到，於顯影過程中，對 :化^/夜具有較南溶解度（亦即具有高顯影特性）之圖 ί酸Γ膜。+此外，所得膜具有耐溶劑性、高耐水性、高 黏附H 性、高耐熱性及高透明度以及與基板之高 13 200821751 25912pif.doc 當進行第二可溶鹼聚合物之聚合時，所使用之單體 (A)的重量相對於全部單體之重量較佳為〇·5至85%，更 佳為1至80 %。當單體（Α)的重量介於此範圍時，自本 每明之正片式感光樹脂組成物獲得之透明膜可以具有改良 之耐;谷劑性、耐水性、耐酸性、对驗性、财熱性、透明度 及其類似特性。 卜單體（Α)之實例較佳包含R1至R5、R7及！^各自為 虱且R6為_〇H的化合物。在下文中，單體（a)亦稱作“單 <1-2·2除單體（A)以外之自由基可聚合單體（B)〉 自由基可聚合單體⑻可以為除單體 不包 丞合早體。自由基可聚合單體（B 環氧乙燒基之自由基可聚合單體（Μ)、^ ^具有 之自由基可聚合單體（b2)、具有N經取=雜環丁烧基 】由基可聚合單體（b3)、具有三環[521亞月= 基可聚合單體（b4)，以及除了這些單‘ ]六基之自由 基可聚合單體⑽。其中，較佳者二之另一種自由 自由基可聚合單體（B)可以為丄至（b4)。 (bl)至(b4)構成之族群選出之一種二由基可聚合單體 基可聚合單體。自由基可聚合單體或多種之自由 可聚合單體（M)及（b2)中之一者 較佳包含自由基 有自由基可聚合單體（M)至者，更佳包含所 明效果之範圍内，自由基可聚合單 在不損害本發 " )可以更包含除 14 200821751 25912pif.doc 自由基可聚合單體㈤）至（b4)以 體（b5)。舉例而言，自由基可聚合單體土可聚合單 基可聚合單體(M)形成;可以由自 ：二由自由 (b2)以及(b5)構成;可以由自由基可聚體⑽、 以及（b3)構成；可以由自 二體(M)、(b2) 以及(⑷構成;可以由自由侧 下文將描述自由基可聚合單體⑻ 自由基可聚合單體⑻亦稱作“單體B”。订描述中， 環氧乙烷基之自由基可肀人& 此外，具有 之自由基可聚合單早；;基 基早脰（b4)，以及另一種自由基可聚合單 亦7刀別稱作“單體bl”、“單體b2”、“單體b3”、i 體b4”以及“單體b5” 。 早 〈1 2 ϋ具有&氧乙烧基之‘自由基可聚合單體（bl ) > 班具有環氧乙燒基之自由基可聚合單體（b2)，其可為包 含環氧乙院基而用於本發明之單體B，但是並不特別限制 於此，只要其包含此官能基即可。單體Μ之特定實例包含 (甲基)丙烯酸縮水甘油酯、（甲基)丙稀酸曱基縮水甘油酉旨、 α-乙基丙烯酸縮水甘油酯以及（曱基）丙烯酸3,4_環氧基 己酯。 又 在以上特定實例中，可以輕易地獲得丙烯酸縮水甘油 15 200821751 25912pif.doc 酯、甲基丙稀酸縮水甘、、占 <甲基丙_34^1 ·θ、f基_酸甲基縮水甘油醋 1 Γ 魏基環己_，且所得圖案化透明膜就 “使广*耐水性、耐酸性、耐驗性、耐熱性、透明 度及其類似特性而言為較佳的。 鐘以以單—種類之單體形式使用且可以以兩 種或兩種以上皁體之組合使用。 叩 發:可?驗聚合物之聚合時，以控制可溶驗 寸而δ，單體bl為較佳的。單體Μ ,以重量 Ζ二Γ土較佳相對於全部單體之總重量在5至90 %之 Ϊ二二佳在1Q至8G %之範圍内使用。當使用於此i ===圍内的單體bl時，可以進-步改良由本發明: 1式感光樹脂組成物所獲得之透_的各種特徵，諸如 劑性、耐水性、耐酸性、耐·、_性以及透明度。 (b2)〈r_2_2具有氧雜環丁垸基之自由基可聚合單又體 包含院基之自由基可聚合單體（b2)，其可為 二働，但是並不特别 包含（甲美^基 皁體b2之特定實例 土）丙烯酉文(3·甲基—3-氧雜環丁烷基）甲酯、（甲 ' =(3-乙基·3_氧雜環丁烷基）甲醋、（甲基 ^ =丁燒基)乙醋、(甲基)丙稀酸一 (甲、(甲基)丙烯酸(2_甲基冬氧雜環丁烷基)甲酯、 (甲基^丙_(2_乙基_2_氧雜環丁炫基)？酯、對 _3·乙基氧雜環丁跡3-f _、2_格3_( $ 200821751 25912pif.doc 基甲基氧雜環丁 ：!：完、2 - > ^ 氧雜環丁烧以及心三^氣甲終(甲基)丙烯醯氧基甲基 環丁烷。 弗基_2 —(甲基)丙烯醯氧基甲基氧雜 口口雕=使用由k些自由基可聚合單體選出之至少一者用作 液具有較高溶解度二，，可以輕易地獲得對於驗性水溶 膜。此外，就增力有〶顯影特性）之_化透明 鹼性、高耐敎性、」^性、高耐水性、高耐酸性、高耐 為較佳。 巧透明度以及對基板之黏附性而言，亦 牡Μ上狩疋實例由 乙基-3-氧雜環丁燒^ ’ ^以輕㈣獲得(甲基)丙烯酸(: 雜環丁燒基)甲醋，^1、酉曰以及（甲基)丙稀酸(2_乙基_4 溶劑性、耐水性、耐^加如此獲得之圖案化透明膜之而 言，為較佳。 欠、耐鹼性、耐熱性以及透明度rfj 車體b2可以以粟—、，
種或兩種以上嚴雕+ 種類之單體形式使用或可以以兩 當進行二。 ‘ 鹼聚合物的特性而士，合物的聚合時，就控制可溶 w的重量相對於全佳，所使用的單體 之範圍内，更佳在5 _之‘重1而言，較佳在1至80 % 分比範圍内的單雕至士3〇%之範圍内。當使用於此重量百 鐵光樹脂組成物以進—步改良由本發明正片式 性、耐水性、耐、 明膜的各種特性，諸如耐溶劑 <1-2^3 耐鹼性、耐熱性以及透明度。 N經取代馬來醯亞胺之自由基可聚合 200821751 25912pif.doc 單體（b3) > 具有N經取代馬來醯亞胺之自由基可聚合單體（於）， 其可為包含N經取代馬來醯亞胺而用於本發明之單體B， 但是並不特別限制於此，只要其包含此官能基即可。單體 b3之特定實例包含N_甲基馬來醯亞胺、队乙基馬來醯^ 胺、N-丁基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺、苄基馬 來醯亞胺、N-苯基馬來醯亞胺、N_(4_乙醯基苯基）馬來醯 (% 亞私、N-(2,6-二乙基苯基)馬來醯亞胺、N-(4-二甲胺基·3 5 二硝苯基）馬來醯亞胺、N_(1_苯胺基萘基_4)馬來醯亞胺、 N-[4-(2-苯並噁唑基)苯基]馬來醯亞胺以及n 來醯亞胺。 丞）馬 當使用由此自由基可聚合單體選出之至少—者的可溶 ，聚t物時，可以㈣地獲得對於驗性水溶液具有高溶解 度以及對練絲雜μ，其^難=、性、㈣明 亞胺輕易地獲得Ν·環己基馬來酿 透明膜的耐溶增加如此獲得之圖案化 及透明度而言，其為較佳的。、猶性、耐熱性以 種或單體形式使用且侧兩 聚合時，制可溶驗 早版b3為較佳。以所使用的單體b3 18 200821751 25912pif.doc sr ^單體之總重量而言’較佳在山· f:〇%之範圍内如 、、7 耐駄性、耐鹼性、耐熱性以及透明产。其中， 就改良耐熱性及減低介電常數而言，其更為有效又。，、 體^2·Γ奸三環[5.2.i.Q2,6]癸基之自㈣可聚合單 立可ίΐΐίϋ.1.02’6]癸基之自由基可聚合單體（b3)， 二3二地2·1·02’6]癸基而用於本發明之單體B，但 別::於此’只要其包含此官能基即可。單體μ 寸合貝例匕3 (甲基）丙烯酸三環[5·2·1·〇2,6]癸酯。 ρίί!由此自由基可聚合單體選出之至少—者的可溶 輕易地獲得對於驗性水溶液具有高溶解 又、二Ρ具有向頒影特性）的圖案化透明膜。此外，就可 易於，得$增加耐溶劑性、高耐水性、高耐酸性、高耐驗 }±回耐熱性、尚透明度以及對基板之黏附性《而言，其亦 為車父佳的。 ι 單體b4可以以單一種類之單體形式使用且可以以兩 種或=種以上單體之組合使用。 取人田進仃本發明可溶鹼聚合物之聚合時，就控制可溶鹼 4 δ物1特性而言，以單體b4為較佳。以所使用的單體 b4f重量相對於全部單體之總重量而言，較佳在1至80 % 之範圍内，更佳在5至30 %之範圍内。當使用於此重量百 19 200821751 25912pif.doc 分比範圍内的單體b4時，可以進—步 感光樹脂組成物所獲得之透明膜的各種^本發明正片式 性、耐水性、耐酸性、耐驗性 以^諸如耐溶劑 之，就改良耐熱性及減低介電常數而言=，明度:詳言 :1-2-2-5另一種自由基可聚合單體“” ^有效。 -> 〇，) 溶驗聚合物的聚合時，若自由基可聚可 :、:==、耐水性‘ 她^ =的影響不大且上述顯影陶 二負似者的…圍在可接受的範圍内 ） 可以以至?4=卜之任何其他自由基可聚合單體b5^:r5 二=之單體形式使用或可-兩種細以上 甲苯單實例包含苯乙烯、甲基苯乙烯、乙婦基 戊稀r二甲基)丙_胺、(甲基)丙烯酸二環 =二環戊烯氧基乙醋、(甲基)丙卿 甲酷、_丙_“甲(:)基丙):=甲= =;、(;_ 苯醋、(甲基)，:二:: =丁~二酸1水衣雜、聚笨㈣ 而、 烯酉欠甲酯巨單體、Ν-丙烯醯基嗎啉以及茚。 Κ 土丙 在以上特定實例中，由於製備的正Ρ 物具有優良的Ι»Μ寺性以及極高的耐溶輸=耐二^耐 20 200821751 25912pif.doc 物構成之族群中選出之至明度，故藉由共聚由下列各 脂組成物較佳··笨乙烯 者，而製備的正片式感光樹 乙酯、（甲基)丙烯酸苄酉旨、）丙烯、甲酿、（甲基）丙烯酸 烯巨單體。 甲基）丙埽酸環己酯以及聚苯乙 當進行本發明可溶鹼 聚合物之特性而言，以單娜〇勿之#合時，就控制可溶鹼 重量相對於全部單體之麴:b5較佳。以使用的單體b5的 内，更佳在5至50ζ之m’。較佳在1至8〇 %之範圍 :1】:：溶鹼聚合物:聚合方法〉 iii g不特別限制萝供 + 以藉由聚合單體A *單赠聚合物之聚合方法，但可 物，且較彳之混合物來獲得可溶驗聚合 別限制聚合的i度^!=溶液中進行自由基聚合。不特 劑產生_的自由基聚合引發 至24小時之範圍内。此外，可以力以㈣、^一般在3 壓力下或在大氣壓下進^^在以城、减壓所施加之 A、單體反應中之溶劑’較佳為可溶解單體 定實例包含;Γίΐ 聚合物的溶“ 匕δ甲g予、乙酉予、1-丙醇、丙醇、丙 衣己酮、乙二醇單乙基醚、丙二醇單 二醇單曱基铺旨、二乙二醇二甲基醚、二甲2 21 2·21 /!)丄 25912pif.doc 乙基醚、3、甲 τ乳暴丙酸甲 甲基甲醯胺 甲酉日 Τ7吞Τ 按、乙酸以及’ 1乙氧基丙酸乙酯、Ν，Ν-二 式使用或可以以上述之兩種以以上述之單一種類形 可以用於合成可溶㈣=以上之混合物使用。 來產生自由基之化 =物之聚合引發劑包含藉由熱 腈；以及過氧類引發劑，=颂^發劑，諸如偶氮-雙異丁 當量之鏈轉移劑， 。過氧化笨曱醯。可以添加適 f 之分子量。 氣硫基乙酸’以調控可溶驗聚合物 量平i分子量，具有1000至100000範圍内的重 婦作為縣，崎的單位是❹聚氧化乙 這是因為藉由驗二二1，（GPC)分析所定義出來的。 為適當的且膜表面ϋ影二部分所需之顯影時間 佳地，重量平均八早旦;^間中幾乎不變粗糙。此外，更 由驗顯影劑來溶解⑽至50000之範圍内，因為藉 面在顯影之顯影時間為適當的，膜表 極少量交粗趟，且顯影過程中的殘餘物為 分子量特別較佳。 < 重里千均 可以使用具有1000至51〇〇〇〇分子量之聚氧化乙婦（例 由丁osoh Corporation製造之TSK標準）作為聚 烯標準，以 Shodex KD-806 M (由 Showa Denk〇 κ κ 制 作為管柱以独DMF作為移_，來㈣可溶驗^= 之重量平均分子量。 口 <2本發明之正片式感光樹脂組成物〉 200821751 25912pif.doc 本叙明正片式感光樹脂組成物包含··藉由I ⑴^表示之單體⑷與另-種自錄可聚合單體⑻ 而獲得的可溶鹼聚合物（為第二可溶鹼聚合物）；以及感光 劑（C)。本發明正片式感光樹脂組成物中之可溶驗聚合物 可為W述第二可溶鹼聚合物或可以更包含另一種可溶鹼聚 合物’只要其不損害本發明之任何效果即可。 <2-1感光劑（c) > “關於以上感光劑（C)，可以為以波長為190至5⑻奈 米之輻射來照射會產生酸的化合物。感光劑之實例 包含以輻射來照射會產生酸之酸產生化合物以及以輻二來 照射會轉化成酸的醌重氮化合物。在本發明中，可使 用其中之任一者為感光劑（C)。 <2-1-1酸產生化合物> 酸產生化合物之實例包含··各種類型之鏽化合物，諸 如叙鹽、重氮鏽鹽、鎭鹽、疏鹽、砸鹽以及神鹽·，有機鹵 素化合物，諸如苯基三鹵代甲基磺酸化合物、_代甲基三 嗪化合物以及函代曱基噁二唑化合物；硝基苄醇之·項酸酯 化合物；肟之磺酸酯化合物；N_羥基醯胺或醯亞胺之磺^ 酯化合物；β-酮砜類化合物；以及磺酸產生劑，諸如安幸、 香之磺酸酯化合物。此化合物可以單獨或以兩種 = 上之組合使用。 1 Χ 酸產生化合物之特定實例包含：三氟甲烷磺酸二(對第 三丁基苯)二苯基鎭、四氟硼酸二苯基鎭、六氟磷酸二笨美 鎭、三氟甲烷磺酸二苯基錤、對曱苯磺酸苯重氮鹽、六^ 23 200821751 25912pif.doc 磷酸4-對曱苯基-毓基-2,5-二乙氧基_苯重氮鹽、二笨基胺 -4-重氮硫酸鹽、三氟曱烧石黃酸三（第三丁基苯基)疏、三氟 曱烷磺酸三苯基銃、四氟硼酸三苯基硒、對曱苯磺酸鄰硝 基苄酯、女息香曱本石頁酸g旨（benzointosylate)、安息香甲 文元石κ酸@曰、女息香二氟甲燒石黃酸酯、安息香_2_三氣甲燒笨 磺酸酯、大茴香偶姻曱苯磺酸酯（anis〇int〇sylate)、 香偶姻甲烷磺酸酯、大茴香偶姻三氟甲烷磺酸酯、= 偶姻-2-三氟曱烷苯石黃酸醋、;μ苯曱酿基小曱基磺醯基氧^ •環己烷、2-[(對甲苯基磺醯基)氧基H_苯基辛酮、^ 蔡基續酿基)氧基Η-苯基小丙_、2顿乙酿胺苯基綠酿 基）氧基Η-苯基小丙_、笨甲酸酿胺曱苯福酸酉: (armdetosylate benzoate)、苯甲酸酿胺甲烧磺酸醋、ν : =基氧基鄰笨二甲醯亞胺、Ν.三氟甲絲麵基)氧 本一:醯亞胺、Ν•曱笨確酸基氧基·认蔡二甲酿亞 3苯^焼苯磺酿基)氧基]-1，8.萘二甲酸亞胺: ▲基氧基-2,3·一本基馬來酿亞胺、Ν_[(2_三 =基卿，3·二苯基馬來酿亞胺、四氟酸4_(二 一 Ϊ ί : 苯鑌鹽、4·甲基心三氯甲基》比喃、4-(3,4,5- J 基一 2~吡喃、心(4-曱氧基苯乙 唾、三射基-醌、2,4_m 基_本並味 乙醯基_苯甲_旨、M_n —f乙喊苯、4_二漠 ，又—肩τ基_苯、參-二 嗪、2-(6_甲氧基-萘基_2_基)_4 6_德_ 、甲土 -s-二 基小基)-46雔1田I 二虱甲基小三嗪、2_(萘 ，又乳甲基-s-二嗪、2_(萘基冬基)_4,6_雙-三 24 200821751 25912pif.doc 氯甲基-S-三嗪、2-(‘乙氧美 三嗪、2-(苯並旅喃基^基土):基雜L基HA雙-三氯甲基-s— 曱氧基-蒽-1-基)-4,6-錐-—，又-二虱甲基_S_三嗪、2_(4-雙-三氯甲基-S-三唪Γϋ甲基_S_三嗪、2-(菲冬基)_4,6-氧基苯基)-5-三氯甲基:=5_三氯甲基°惡二唾、2_(對甲 二唾、2_(正丁基>5_三^；^、2·苯乙烯基士三氯甲㈣ 羥基苯石黃酸酉旨、9-(4辛其:噪—唆、α_三氟乙酿苯酿冬 9-(4-甲基丙_胺甲爲\：\本f酿基氧基亞胺基)_苐以及 物可以單獨或以兩種基氧基亞胺基)-蔡。此化合 詳種以上之組合使用。 t，較佳由下列久曰从17正片式感光樹脂組成物之透明度而 :氣ST:，之族群中選出酸產生化合物: 基节酯、安息香三本細、對Γ苯讀酸鄰靖 基)氧基]鄰苯二甲酿亞Hi曰、邮2_二既甲院苯石黃醯 卿-二苯基馬來^^及叫三鼠甲絲磺醯规 重量Ξΐ-ίί發明正片式感光樹脂組成物中，以100份 至50 物而言，酸產生化合物之姆含量為5 2 1-2 1，2-醌重氮化合物〉 術二=，氮化合物中，例如可以採用於光阻技 氮-5-石黃酸^夕績❻苯酿重氮_4_石黃酸或以苯酿重 1，2-萘醒重氮_5_二=，物與U·萘醌重氮_4·續酸或. “ 3次形成之酯；酚系化合物之羥基經胺基 25 200821751 25912pif.doc 置換之化合物與1，2-苯醌重氮-4-磺酸或1，2-苯醌重氮-5-石黃 酸形成之績酿胺；以及紛系化合物之經基經胺基置換之化 合物與1，2-萘醌重氮_4_磺酸或1，2-萘醌重氮-5-磺酸形成之 磺醯胺。此化合物可以單獨使用或以兩種或兩種以上之組 合使用。以下將描述以上盼系化合物之特定實例。 2,3’4-二基二苯甲酮、2,4,6-三經基二苯甲酮、 2,2’，4,4匕四羥基二苯甲酮、2,3,3丨，4_四經基二苯曱嗣、 2,3,4,4-四羥基二苯曱酮、雙(2,4-二羥基苯基）甲烧、雙(對 羥基苯基）曱烷、三(對羥基苯基）甲烷、丨1 1_ 幻乙烧、彻，㈣基苯基顺、2,2.雙 本基)丙烧、1，1，3，(2,5_二甲基领基苯基)_3_苯基丙烧、 Γ[=·Γ4姻苯基H_f基叫苯細乙基]雙 齡、雙(2,5-二甲基_4老基苯基)趣 四甲基-1,1，-螺聯茚_5,6,7 5丨6丨 曱兀，，、3 _ -7,2,,4,_三經基黃垸。 ，7 #以及2,2,4-三甲基 就增加正片式感氺 言，較佳使用由下列各物所構成之S、/曰組成物之透明度 氮化合物：由2,3，‘三經基二乂之族群中選出之U酿 酸形成之醋；由2,3,4-三二陶與U^S昆重氮冰 磺酸形成之酯；由4,441^4甲_與丨，2-萘醌重氮· 本基]亞乙基]雙盼與1，2_萘酉昆重^ &基本基]-1-甲基乙^ 由4,4，·[ΗΗΗ4_經基笨基]1^4、石黃酸形成之酯；以 驗與1，2_萘1昆重氮_5_石黃酸形成之 >基乙基]本基]亞乙基] 此外，在本發明之正片式=。 方式感光樹脂組成物中，以1( 26 200821751 25912pif.doc 份重量的可溶鹼聚合物而言，1,2-醌重氮化合物之相對含 量為5至50份重量。 <2-2溶劑> 除可溶鹼聚合物以及1，2-醌重氮化合物以外，本發明 之正片式感光樹脂組成物較佳地可以包含溶劑。在此情況 下，所使用之溶劑較佳為可溶解可溶鹼聚合物以及1,2-醌 重氮化合物之溶劑。 / 此外，用於本發明之溶劑較佳為具有至少一種沸點為 \ 100°C至300°c的化合物或包含重量百分比為20 %或更多 之此類化合物的混合溶劑。具有沸點為100°C至300°C之溶 劑的特定實例包含水、乙酸丁酯、丙酸丁醋、乳酸乙酯、 氧乙酸甲酯、氧乙酸乙酯、氧乙酸丁酯、曱氧基乙酸曱酯、 曱氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙 氧基乙酸乙酯、3-氧丙酸曱酯、3-氧丙酸乙酯、3-曱氧基 丙酸曱酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙 / 氧基丙酸乙酯、2-氧丙酸曱酯、2-氧丙酸乙酯、2-氧丙酸 V 丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-曱氧基 丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸曱酯、2-乙氧基丙酸乙醋、2-氧 基-2-甲基丙酸曱酯、2-氧基-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-曱基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、 丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、 2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯、二噁烷、乙二醇、二 乙二醇、三乙二醇、丙二醇、二丙二醇、三丙二醇、1,4-丁二醇、乙二醇單異丙基醚、乙二醇單丁基醚、丙二醇單 27 200821751 25912pif.doc 甲基醚、丙二醇單曱基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、 丙二醇單丙基醚乙酸酯、乙二醇單丁基醚乙酸酯、環己酮、 環戊酮、二乙二醇單曱基醚、二乙二醇單曱基醚乙酸酯、 二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單乙基醚乙酸酯、二乙二醇 單丁基醚、二乙二醇單丁基醚乙酸酯、二乙二醇二甲基醚、 二乙二醇二乙基醚、二乙二醇曱基乙基醚、曱苯、二曱苯、 γ-丁内酯以及N，N-二曱基乙醯胺。除了上述之混合溶劑以 外，只要已知溶劑為具有100至300°C之沸點的任何溶劑， 也可以使用一種、兩種或兩種以上的已知溶劑。 在這些溶劑中，當正片式感光樹脂組成物包含由下列 各物所構成之族群中選出之至少一者以作為溶劑時：丙二 醇單甲基醚、丙二醇單曱基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙 酸酯、3-甲氧基丙酸曱酯、3-乙氧基丙酸乙酯、二乙二醇 單乙基醚乙酸酯、二乙二醇單丁基醚乙酸酯、二乙二醇二 曱基醚、二乙二醇甲基乙基醚、乳酸乙酯以及乙酸丁酯， 為較佳的，因為這些溶劑能提高塗覆的均勻性。此外，當 至少有一種溶劑是選自由下列各物所構成之族群時：丙二 醇單曱基醚乙酸酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙 酯、二乙二醇甲基乙基醚、乳酸乙酯以及乙酸丁酯，就正 片式感光樹脂組成物之較高塗覆均勻性以及對人體之安全 性而言，其為更佳。 此外，較佳地將溶劑添加至本發明正片式感光樹脂組 成物中，使得固體部分（亦即可溶鹼聚合物以及感光劑） 之總量相對於可溶鹼聚合物、感光劑以及溶劑之總量，以 28 821751 25912pif.doc 重量百分比來看，為5至50 %。 <2-3其他組份> <2_3-1添加劑> 可以於本發明正片々、卜士 劑，以改良其解析度、^樹脂組成物中添加各種添加 這些添加劑包含··以兩、'，^+勻陡、顯影特性以及黏附性。
酸酯為主之巨分子分散::、聚乙烯亞胺或胺基甲 氟之界面活㈣；料、陽離子、非離子或 改良劑，諸如石夕垸偶人」曰:之延展性改良劑；黏附性 氧基二苯甲鋼;凝予二”卜線(uv)吸收劑，諸如烷 諸如環氧化合物、^==聚__;熱交聯劑’ 驗溶性促進劑，諸:物或雙疊氮化… ’价加制之特定實例包含Polyflow No. 45、 P〇lyfl〇W-KL_245、Polyflow Νο· 75、p〇lyf]〇w Ν〇· 9〇 以及
Polyflow No· 95 (皆為由 Kyoeisha Chemical Co·，Ltd·戶斤製 造之產品商標）；Disperbyk 161、Disperbyk 162、Disperbyk 163、Disperbyk 164、Disperbyk 166、Disperbyk 170、 Disperbyk 180、Disperbyk 18卜 Disperbyk 182、BYK300、 BYK306、BYK310、BYK320、BYK330、BYK344 以及 BYK346 (皆為由BYK-Chemic JapanK.K.所製造之產品商 標）；KP-341、KP-358、KP-368、KF-96-50CS 以及 KF-5(M〇〇CS (皆為由 Shin-Etsu Chemical Co·，Ltd·所製造 之產品商標）；Surflon SC-101以及SurflonKH-40(皆為由 Seimi Chemical Co.，Ltd·所製造之產品商標），Ftergent 29 200821751 25912pif.doc 222F ? Ftergent 251 以及 FTX-218 (皆為由 Neos Co·，Ltd· 所製造之產品商標）；EFTOP EF-351、EFTOP EF-352、 EFTOPEF-601、EFTOPEF-801 以及 EFTOPEF-802 (皆為 由 Mitsubishi Materials Corporation 所製造之產品商標）； Megaface F-l71、Megaface F_177、Megaface F-475、 Megaface R-08 以及 Megaface R-30 (皆為由 Dainippon Ink and Chemicals Incorporated所製造之產品商標）；苯磺酸氟 烷酯、羧酸氟烷酯、氟烷基聚氧乙烯醚、氟烷基碘化銨、 氟烷基甜菜鹼、磺酸氟烷酯、二甘油肆（氟烷基聚氧乙烯 ，）、氟烷基三甲基銨鹽、胺基磺酸氟烷酯、聚氧乙烯壬基 本基麵、聚氧乙稀辛基苯基_、聚氧乙婦燒基醚、聚氧乙 ，月诖基醚、聚氧乙稀油基醚、聚氧乙烯十三烷基轉、聚 烯十=烷基醚、聚氧乙烯十八烷基醚、聚氧乙烯月桂 酉欠酉曰、聚氧乙烯油酸酯、聚氧乙烯硬脂酸酯、聚氧乙烯月 桂胺、脫水山梨糖醇月桂酸酯、脫水山梨糖醇檸櫚酸酯、 ^水山梨糖醇硬脂酸酯、脫水山梨糖醇油酸醋、脫水山 f醇脂肪酸酯、聚氧乙烯脫水山梨糖醇月桂酸S旨、聚氧乙、 酉旨旨 '聚氧乙稀脫水山梨糖醇硬脂酸 基笨；唐Γ酸醋、聚氧乙稀蔡基⑽、烧 擇這些物質中之%酸酉1 °較佳地’可以選 、之至乂 種用於上述添加劑。
勻性而卜中’就增加正片式感光組成物之塗覆均 較佳地添加自下列各物選出之 Z 界面活性劑，諸如苯碏 ^百3亂 +敗亂/凡§日、羧酸鼠烷酯、氟烷基聚 30 200821751 25912pif.doc 氧乙_、氟絲蛾化錢、氟垸基甜級、雜氟燒酉旨、 肆(找基聚氧乙_)、氟燒基三甲基錢鹽以及胺 2 = 以及_脂延展性改良劑，諸如肝讓、 ΒΥΚ346 ' ΚΡ_341、ΚΡ·358 以及 ΚΡ-368。 <2-3-2其他聚合物： r> ί 上述可溶驗聚合物以外，也可以於本發明之正片 =先驗成物中添加任何其他的聚合物 ==及其類似特性。待添加之聚合物，較佳為 聚合物或不具有任何, 何羧1::C之含環氧乙烷基的聚合物或不具有任 丙稀酸 另-種自由基可 丙烯嶋甲共聚物;3·乙基烟 丙稀酿氧基甲Γί:Γ: _以及3·乙基_3-甲基 單體之絲物。；dt與另-種自由基可聚合單官能 特性及其類似特性二，=耐f生、耐化學性、顯影 組錢中添加這些物==明正片式感先樹脂 言〒，公 顯影特i，更能進—步地改良耐熱性、耐化學性以及 力口以下物質：ψ 於本*明正片式感光樹脂組成物中添 酸縮水甘油S旨與=烯酸縮水甘㈣之均聚物、甲基丙烯 丙烯醯氧基曱^ 土丙烯酸甲自旨之共聚物、3_乙基_3-曱基 4 I軋雜環丁烷之均聚物、甲基丙烯酸縮水甘 31 200821751 25912pif.doc 油酯與Ν-苯基馬來酸亞胺之共聚物以及甲基丙婦 甘油酯與3-乙基-3-甲基丙烯醯氧基甲基氧雜環丁 聚物。 八 Γ 此外’只要不會降低組成物之耐熱性以及耐化學 那麼就可以於組成物中，混合添加少量具有叛基之含 乙，基的聚合?或具有縣之含氧雜環丁烧基的聚合二 此等聚合物之實例包含如JP 4_198937 Α中的甲基兩歸酸 縮水甘油酯/甲基丙烯酸共聚物；甲基两婦酸之均聚物 基丙稀酸縮水甘油酉旨與六氫化鄰笨二甲酸單甲基丙稀 基乙共聚物，但並不特別限制，只要這些聚合物各自 具有壤氧乙烧基或氧雜環丁絲以及縣即可。 可以作為這些聚合物之原料而具有缓基之自由基可聚 合=體的特定實例包含（甲基）丙婦酸、丁稀酸（⑽論 acuO、w丙炸酸、肉桂酸、順丁稀二酸、反 酸、 寧康酸、甲基反丁稀二酸、鳴聚己 甲 甲轴職氧紅基⑽義、單 [2-（曱基）丙細g脸氧基乙基]川貝丁嫌_ 丙烯醯氧基乙基]環己稀_3,]4_二^=旨以及車[2_(甲基） 之自這些聚合物之原料而具有環氧乙炫基 ΙΠΐ it 例’包含：（甲基）丙稀酸縮 =物基縮水甘油醋、乙基丙_ 了以，為攻些來合物之原料而具有氧雜環丁烧其之自由基 可聚5早體的特定實例，包含：（甲基)汚烯酸(3t乙基冬氧 200821751 25912pif.doc
_ A及（甲基）丙稀酸(2-乙基^氧雜環丁 f 基）曱酯。各自具右私* J ；7L 這些自由基可平人夂基以及環氧乙烧基或氧雜環丁烧基的 叫兩種或兩種2?可以以單一種類單體形式使用或可 :一 i酸:體之— (' 酸，諸如偏笨ί二^片牛式感光樹脂組成物中添加多元幾 二叛酸酐。在這二]鄰苯二甲酸酐或4_f基環己烧、1，2· 杳將70羧酸中，偏苯三酸酐為較佳。 成物中 將元羧酸添加至本發明正片:感光樹脂組 *樹脂組成物；乙:基與正片式感 環氧乙院基或氧雜淨丁;^ 衣丁力元基（若其中存在 化學性。此外，當於以_反,、，以改良其对熱性及财 光樹腊組成物中；:可以加=發明正片式感 合物分解，因而防卜·ρ ΰd㈢，防止〗，2_醌重氮化 若將多开获缺片式感光樹脂組成物變色。 竣1添加至本發明正片式咸夹；^ 4 中，相對於_份重量的可溶驗聚人物ΐ先=組成物 較佳為1至30份重量，更佳2至如份重^狀的含量 <2-4正片式感光樹脂組成物之儲存〉 當將本發明正片式感光樹 至机時，為較佳的，因為組成物讀存在⑽ ，溫度介於傭至邮之間時mrn定性。當 有沈澱物產生。 為更倥的，因為不會 <3由本發明正片式感光樹㈣成物製成之樹腊膜〉 200821751 25912pif.doc 本赉明感光樹脂組成物適 圖案化時，其具有相當高的广成透明樹脂膜，且於 具有10微米或更小孔徑之小孔^因+此很適合用來形成 膜”例如是指於成層排列之、、、巴緣版。此處術語“絕緣 絕緣體）。 _、、、之間提供絕緣的膜（層間 以上透明膜、絕緣膜以及苴 =咖域中用於形成樹脂膜的藉二 例而S，可以如下文所述來形成。 去认成。舉 首先藉由習知方法（諸如旋、、 將本發明正片式感光樹腊組成物塗覆;==塗法)， 製成之基板上。基板之f彳 ，、 肖或其類似物 色玻璃板、藍色包 合成樹m或基板，諸如由;^=、色破璃板； 丙烯酸系樹脂、乙烯基氯樹脂、芳族二胺〕：風、，酯、 醒亞胺以及聚酿亞胺製成者；金屬基板，諸如=、、=胺 鎳板以及不鏽鋼板；陶瓷板，·以呈 、♦ _、’5板、 導體基板。這些基板可以接受任何預處理件之半 合劑或其類似物處理之化學處理 矽烷偶 賤錄:化學氣相沈積;以及真空沈：處理部入； 隨後，以熱板或供箱使基板上 =膜乾燥。—般而言，將其在6。=;= 類似者之輻射來照Lr 罩，以諸如紫外線或其 視正片式❹丹月i\、:之已乾無的膜。照射條件可以 片式感先祕月曰組成物中之感光劑的種類而定。舉例而 200821751 25912pif.doc 言，當感光劑為1，2-醌重氮化合物時，適合以每平方公分 5至1000兆焦之i光線來進行照射。位於紫外線照射部二 的1，2-醌重氮化合物會轉化成茚羧酸，且處於在顯影溶液 中可以快速溶解的狀態。 可以使用顯影溶液（諸如鹼溶液）使輻射後的膜進行 顯影。顯影會使得膜中被照射的部分快速地溶解於顯影溶 液中。顯影方法可以為（但不特別限於）浸入顯影 (d，-deVel〇pment)、攪拌顯影（paddle_devd〇pment)或噴 淋絲員衫（shower-development)。 —上述之頭衫;谷液較佳為驗溶液。驗溶液中的驗之特定 =例包錢氧化四甲基錢、氳氧化四乙基録、氫氧化2, =^基二甲基銨、碳酸鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀、碳酸氫鉀、 以及風氧化鉀。此外，任何前述之驗的水溶液都 i二水夜:換言之’顯影溶液之實例包含:有機 ^ /合液，諸如氫氧化四曱基錢、氯氧 氫氧化2邊基乙，⑽化四乙基叙以及 笼⑴ 土—甲基銨之水溶液；以及無機鹼之水溶 液诸如石反酸納、氫氧化鈉以及氫氧化钾之水溶液。 少顯:it:::::::醇、乙醇或界面活性劑以減 性,可以：二 成合適的圖案。舉例而言，界面活 成之族群;選:::者陽:子以f非離子界面活性劑所構 言，以添加為非離+尺品、其中’洋吕之’就增加解析度而 將顯^Λί 性劑的聚氧乙稀院麵為較佳。 輻射來照：：板上：：水，樣滌’且接著再次以特定 、土 正個膜的表面。舉例而言，當輻射為 35 200821751 25912pif.doc =線日=其以每平方公分1〇〇线〇〇兆焦之強 '，?、射L將基板上且再次經輻 、進订 J25〇rT^10^120^o^b，T：^ 180 案的透明膜。 有所需圖 也可以將由此所獲得之圖案化 :正:緣膜:所形成的孔洞，在直接從上方:⑵ 為正方形、長方形、圓形或擴圓形。 車4 f t形成透明電極，且接著可以藉由_來進行::緣膜 後形成可進行定向加工的膜。 °木化，隨 («ng 一)，因此即使“ 膜上也不出現毅折，故可保持較高的透明度Γ交’絕 <4包含上述樹脂膜之顯示裝置> 諸如:===似物之顯示裝置中，採用^ 脂膜來製造顯示裝置，也就是 」而"’可以利用相 透明膜或絕緣膜，而後;==反上形成圖案偏彳 過濾基板對準且加紗a 相對於基板的色彩 晶漏出而製造出來的。 筏者私其岔封以防止液 口此’可以在液晶顯示梦罢由 感光樹脂組成物所形成之具有極佳透^==正片式 36 200821751 25912pif.doc 此外 -物以及液明液晶顯示裝置之液晶（亦即液晶化 物以及液晶組成物中之任一$。(仁不‘別限於）液晶化合 有一實施例之正片式感光樹腊組成物，且且 ::=物巧物所需要之各種特性，諸如高财溶劑 冋才X f生、回耐酸性、高古 _ 度以及對基板絲·。 —性、尚透明 此外，在本發明—實施例中 之自:Γ=單體下，提供正片式感光=成: 物，由於實施例之正片式感光樹脂組成 透明产極i㈣^制性、耐酸性、耐驗性、而f熱性以及 之透二土 =生’故由此正片式感光樹脂組成物所製備 气、膜、顯示装置或其類似物，即使浸潰於溶 i類二其接觸或經受熱處理或 成千不會引起樹脂膜的表面粗糙。因此， 根據本發明—實施例之正片式感光樹脂組成物所製備 或其類似物，能使透光率增加且改良使用此= 、3 :1、似物衣備之產品（諸如顯示裝置）的顯示品質。 L貫例] &下文將苓知貫例，而進一步地描述本發明。缺而，本 發明將不限於這些實例。 …、而才 [合成實例1]可溶鹼聚合物（1)之合成 基乙四，财’裝入下述量之4德苯 馮早脰A)、丙烯酸縮水甘油酯（作為單體 37 200821751 25912pif.doc
Di) 帀其兩、膝舻土 --虱雜環丁烷基）曱酯（作為單俨b2)及 曱基丙、職卞自旨(作為 ，早趾b2)及 流溫度下，彼此埶¥人 ），接者使，、於厶丁酮之回 偶氣雙-(2,4-二曱、基；^)'、時。所使用之聚合引發劑為2,2，- 200.0公克 25.0公克 3〇,〇公克 20·〇公克 25·〇公克 2.0公克 2-丁酮 ‘羥基笨基乙烯基酉同 丙烯酸縮水甘油酉旨 '丙稀酸(3-乙基j氧雜環丁烧基）甲酯 甲基丙烯酸苄酯 2=偶氮雙(2,4_二^基賴） 2 〇公免 將叹應溶液冷卻至室溫，且接著將其加到大量的己$ =轉ΓΓ溶解於3_甲氧基丙酸¥si (下嫌 膽）中，接著於1〇〇t以及133 χ 1〇4帕之減壓下 =出聚合溶劑（己垸），因而得到可溶驗聚合物之 溶液。 9费對二部分的溶液進行取樣，且使此體積之樣本在 下l燥30刀|里，隨後，量測乾燥後之 鱼 =所減輕的重量。接著，以所得到的重量作為聚 、里’來測定產率。此外，以所得的重量值為基準，藉由 1'加ΜΜΡ ’以彳亍到聚合物之重量百分濃度4 3G%的溶液， 隨，’ ^由GPC分析（聚氧化乙烯標準）來量測其重量平 勻。刀子畺。結不如下，所得可溶驗聚合物（1 )之產率為 0此外，以GPC分析（聚氧化乙稀標準），所得到: 可/奋鹼聚合物（1)的重量平均分子量為58⑻。 38 200821751 25912pif.doc [合成實例2]可溶鹼聚合物（2)之人 以與合成實例i類似之方式進行聚: 烯酸縮水甘油酯作為單體bl ; 认仁使用曱基丙 其以下述重量裝入燒瓶中 2-丁酮 ‘羥基苯基乙烯基酮 甲基丙細酸縮水甘油酉旨 環丁烧基)曱ί旨作為單體b2; f=酸(3~乙基各氧雜 及本乙烯作為單體b5，且將 200.0公克 20.0公克 甲基丙烯酸(3-乙基_3_氧 30.0公克 苯乙烯 乳麵、丁烧基）甲酉旨咖公克 2,2i-偶氮雙(2,4_二甲基戊睛） 克 以如同合成實例}之方式 丄^么兑 合物⑵之重量百分灌产上仃處理，且獲得可溶鹼聚 的產率為勝以GP= 2的着溶液。聚合物 (2) [合成貫例3]可溶驗聚合物 以類似於合成實例1之古 · 稀酸甲基縮水甘油§旨料單^進行聚合，但使用曱基丙 ^^夕甘 卞马早粗b2;及N-苯基馬來醯亞胺作 為仏且將私下述重聽^瓶中。 丁酮 4〜苴埜贫 200.0公克 2基本紅3G.0公克 ^丙稀酸甲基、财甘㈣ ⑽公克 ^ 土丙烯乙基_2_氧雜環丁炫基）^醋綱公克 39 200821751 25912pif.doc N-苯基馬來I亞胺 2 π a 3U.0公支 2,2M禺氮雙(2,4-二甲基戊腈） 2·〇公克 以合成實例之方式進行處理，且獲得可溶驗聚合物 (3)之重量百分浪度為30 %的ΜΜρ溶液。聚合物的產去 為82%。以GPC分析（聚氧化乙烯標準），所得的可溶二 聚合物（3)之里i平均分子量為5〇〇〇。 [合成貫例4]可>谷驗聚合物（4)之合成 以類似於合成貫例1之方式進行聚合，但使用 烯酸縮水甘油自旨作為單體bl ;曱基_酸(2_乙基_2 $ 環丁烧基）甲_作為單體b2;及曱基丙稀酸三郎？ 癸酯作為b4且將其町述重量裝人餘巾。 · 2_丁酮+ 2〇〇.〇公克 4-經基苯基乙稀_ 3〇〇克 甲基丙烯酸縮水甘油g旨 兄 甲基丙_，錢雜環丁卿二J 甲基丙烯酉欠二被[5·2·102,6]癸酉旨 250 2,2，-偶氮雙(2,4-二曱基戊腈） 2；〇 ⑷之重量百分濃度為可溶驗聚合物 為⑽。以GPC分析液。聚合物的產率 聚合物⑷之重量平均分準，所得的可溶驗 [合成實例5]可溶驗聚合 以類似於合成實例1之方々、隹1取人/ 烯酸縮水甘油料為單體Χ2^ΤχΚσ但使用甲基兩 早組bl;队環己基馬來醯亞胺作為單 40 200821751 25912pif.doc 體b3 ;及甲基丙烯酸三環[5·2·1·〇2,6]癸酯作為b4，且將复 以下述重量裝入燒瓶中。 ：〃 200.0公克 4〇·〇公克 4〇·〇公克 10.0公克 ιο·ο公克 2.0公克 且獲得可溶驗聚合物 2-丁酮 4-羥基苯基乙烯基酮 曱基丙烯酸縮水甘油醋 N-環己基馬來醯亞胺 甲基丙烯酸三環[5.2丄〇2,6]癸酯 2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈） 以合成實例1之方式進行處理 -Λ|/ν (5) 之重量百分濃度為30 %的]VtMP溶液。聚合物 令 為75%。以GPC分析（聚氧化乙烯標準），所得的可、、六= 聚合物（5)之重量平均分子量為4700。 [合成實例6]可溶鹼聚合物（6)之合成 採用與合成實例1中相同之裝置，使用如下之組 物，且使用2-丁酮作為溶劑，同時在冗它下加熱〇 /、、= 來進行聚合。 …、·）小時 (； 200.0公克 15·〇公克 85·〇公克 4·〇公克 2-丁酮 、 4-經基苯基乙稀基酉同 甲基丙細酸細水甘油g旨 2,2 -偶氮雙(2,4-二曱基戊腈） 以合成實例1之方式進行處理，且獲得可 ^ (6) 之重量百分濃度為㈣的讀？溶液。聚^=、勿 為85%。以GPC分析（聚氧化乙稀標準）， 合物（5)之重量平均分子量為897〇〇。 于了岭軚聚 41 200821751 25912pif.doc [合成實例η可麵聚合 以類似於合成實例i之古/、i 烯酸縮水甘油酯作為單體 I行聚&仁使用甲基兩 b4 ? 2_ 丁酮 、一里衣入燒瓶中。 200.0公克 3〇·〇公克 45.0公克 25·0公克 2·〇公克 得可溶鹼聚合物 ‘羥基苯基乙烯基酮 甲基丙細酸縮水甘油酉旨 甲基丙烯酸三環[5.2.i.〇y]癸r 偶氮雙(2,4-二曱基戊腈)' 曰 以合成實例1之方式谁广二m ⑺之重量百分濃度為30%::二：得;==物 為72%。以GPC分析（聚氧 / ^物的產率 聚合物⑺之重量平均分子2㈣準）’所得的可溶驗 里马4600。 [比較合成實例1R較共聚物⑴之 以類似於合成實例1之方々口 ^ ^ r /丄_ 万式進仃聚合，且於燒瓶中萝 入具有如下所述之重量的組份。 〜肌甲衣 200.0公克 15.0公克 30.0公克 20.0公克 35.0公克 2.0公克 2-丁酮 · 丙稀酸 丙稀酸縮水甘油酉旨 丙稀酸(3_乙基_3_氧雜環丁垸基）甲醋 甲基丙烯酸苄酯 θ 2,2’-偶氮雙(2,4-二曱基戊腈） μ公見 以合成實例1之方式谁耔泠/ 曰x ^ 、運仃處理，且獲得比較共聚物（1 之重里百分濃度為30 〇/0的仙 〕ΜΜΡ >谷液。聚合物的產率j 42 200821751 25912pif.doc
72%。以GPC分析（窄每 X 物m夕會晉平朽八化姑旱’戶斤得的比較共聚 物（1)之重里+均分子量為62〇〇。 [比較合成實例2]比較共聚物⑵之合成 以類似於合成實例1之方式進行聚合，且抑瓶中裝 入具有如下所述之㉔的組份。 且妓戒中衣 200.0公克 18.0公克 30.0公克 20.0公克 32.0公克 2.0公克 入丁酮 曱基丙烯酸 甲基丙稀酸縮水甘油酯 丙烯酸(3_乙基I氧雜環丁烧基）甲酯 N-苯基馬來醯亞月安 2,2'·偶氮雙(2,4'二曱基戊腈） 20八克 以合成實例1之方彳、仓"是m # 人υ a兄 之重量百分濃度為3G，獲4比較共聚物⑵ 83%。以GPC分析（ Λ\ΜΜΡ溶液。聚合物的產率為 物⑺之重量平均分標準），所得的比較共聚 [比較合成實例3]比較絲 以類似於合成實例七』# 口敗 Λ S X 、 1之方式進行聚合，且於_瓶中裝 入具有如下所述之重量的組份。 狀瓶Τ衣 200.0公克 10.0公克 90.0公克 4.0公克 且獲得比較共聚物（3 ) 2-丁酮 甲基丙烯酸 甲基丙烯酸縮水甘油酯 2,2’-偶氮雙(2,4·二^戊腈） 之重量百分漠度為3。‘二== 以合成實例1之方式、隹巧 詈百…普…式進行處理 43 200821751 25912pif.doc 所得的比較共聚 8：)%。以GPC分析（聚氧化乙烯標準）， 物（3)之重量平均分子量為％〇〇。 [實例1] [正片式感光樹脂組成物之製造] 藉由混合且溶解如下所示之重量的下列各物，以製備 正片式感光樹脂組成物：合成實例〗中所獲得之可溶鹼聚
合物⑴、4,441_[4-[1·[4-經基苯基H-甲基乙基]苯基]亞 乙基]雙紛與1,2_萘酸重氮·5_續醯氯之縮合產物（平均醋化 率為58%，下文稱作“PAD”）、作為添加劑的含氟界面活 性齊丨I，為由 Dai-Nipp〇n Ink Chemicals 所製造的 Megaface R-〇8(下文縮寫為“R-08”）以及作為溶劑的％〜^。 1·4〇公克 %的溶液
MMP 可溶鹼聚合物（1)之重量百分濃度為3〇 10.00公克 0.60公克 0.006公克
PAD R-08 [正片式感光樹脂組成物之評估方法] (1)圖案化透明膜之形成 將貫例1中所合成之正片式感光樹脂組成物以8⑽ rpm之速度’旋塗於玻璃基板上iq秒鐘，接著，於 之熱板上乾燥2分鐘。於空氣中，使用由Topc〇I1c0e，Ltd. 製造之 Proximity Exposure System TME-150 PRC，經由用 於形成孔洞圖案的遮罩，以100微米的曝露間隙，將基板 曝露於g、h以及i光線，上述的g、h以及i光線是經由 44 200821751 25912pif.doc 可截止350奈米或更小之古 的。使用由Ushio Inc所Λ 皮長截止過濾器而獲得 =使用由Usln〇Inc.所製造的累計測j 度計光量，細 150兆焦。曝光後，藉由將玻璃基板浸入氫氧二ί f溶液中6〇秒，以移除曝露之部分的樹脂'二物而:， 基板以純水洗㈣秒，接著於靴之^^ “刀4e °在不使料何遮罩下 兆焦之曝光量的曝露系S : ^ 之<、相中進行曝後烘烤（post-bake) 30分鐘， m 3微米之膜厚度的圖案化透明膜。利用由 -tep 均厚度。、 同^處量測的膜厚度，來量剛膜的平 (2) 顯影後殘餘膜比率 殘餘=爾之膜厚度，且由以下等式來計算顯影後 顯影_厚χ 、 (3) 解析度 俨而學顯微鏡，以400倍之放大率觀察由⑴所獲 、^円二^ ^烤後之具有®案化透類之基板，來嫁認孔 网圖案底部上，經曝光之玻璃處的遮罩尺寸。 (4) 透明度 旦丨 C (由 Tokyo Denshoku Co. Ltd.製造）來 妹形成透明膜之玻璃基板，在波長為400奈来下的透 45 200821751 25912pif.doc 无平 將由（1 )所獲得之圖案化透明膜 、 Ν-甲基_2吻社酮中5分鐘，且膜 y ’ =入 入前後量顺厚度，且由灯等 ^化。在浸 比： 、Tt胰尽度之變化百分 (浸入後财度/浸人前膜厚度）χ⑽ Γ 當膜厚度之變化百分比為、2至2 a 當其因膨m而超過2 %或因溶解科於^ = Κ其為優良。 良。 、。化’列斷其為不 (6) 耐酸性 將由（1)所獲得之圖案化透明 酸/石肖酸/水之重量比為4/2/4之溶液中3八^下，浸入鹽 度的變化。在浸入前後量測膜厚声，、里且里測膜厚 厚度之變化百分比： 又 由以下等式計算膜 (浸入後之膜厚度/浸入前之膜 當膜厚度之變化百分比為、2至;;日:，100，） 當其因膨脹而超過2%或因溶解 _其為優良。 良。 、^2%時，判斷其為不 (7) 耐驗性 將由（1)所獲得之圖案化透 的氳氧化鉀溶液中10分鐘，' 60°C下，浸入5% 前後量_厚度，且㈣下變化。在浸入 (浸入後之膜厚度/浸人前=厚度之變化百分比： 、与度）M〇〇(%) 46 200821751 25912pif.doc ^膜厚度之、t切分比為_2至2 ^因膨服而超過2%或因溶解而小於二 良。 (8)耐熱性 將由⑴賴得之具有_化透 之烘箱中再烘烤(額外供烤n小時 =板在23υ c 於⑷料方式來量測其透光率。將曝彳^彳^= =):t=為τ, ’且將額外罐的透光率 烤後 前後吾測膜厚产。接菩± =為越佳。此外，於加熱 #者，由以下等式計算膜厚度之變化百 ㈨（額外烘烤後謂厚度/曝後輯後之轉度）χ _ (9 )黏附性 ==:平方亳米)，，__::: (10)耐濺鍍性 在由（1)所獲得之具有圖案化 在靴下，騎峨具有叫3=^：藉由 錫（肋）所製成的透明電極。A =度之由氧化銦 溫，且藉由目測來觀察膜表面上是 47 200821751 25912pif.doc 面上不形成皺折時，判斷耐濺鍍性為優良（G)。另一方面， 當膜表面上形成皺折時，判斷其為不良（NG)。 藉由上述的評估法來評估實例1中所合成之正片式感 光樹脂組成物’評估的結果列於表1。 Γ 48 200821751 25912pif.doc T懈 卜 {鹏 rH 卜 3.04 97.0 100.2 ΙΟ ο ο CSI ί—Η rH 96.0 3· 01 ο σ! CH) 〇 τ-Η ο 累 魏〇 94.2 〇- 3.02 〇 00 100. 0 I 100.3 100· 7 ! & 3.00 CO σ> 100 ο 94.8 卜 3. 00 00 1 99· 9 I I 100.3 1 Ι 100.9 CO 2. 97 ο α> 〇' 〇 r-H ο 魏寸 94.9 卜 3.05 S； 100.2 1 100.8 1 100.8 00 3· 01 卜 00 ③ 〇 r-H ο 實例 3 ο LO σ> 00 2. 96 96.8 ί 100.5 1 100· 7 CO r-~t ο CO LO 2· 91 CO οό ο τ—< ο 實例 2 CO LO σ> 00 3· 01 00 100.2 UD Ο τΗ 101· 0 CO 05 2. 97 卜 od CT) ο τ-Η ο 實例 1 94.9 !>- 2· 98 97.0 1 99.7 I ί 100.8 1 101· 2 t—H CD 2. 92 卜 卜· cn ο ο ι—Η ο 顯影後之殘餘膜比率(%) 解析度(微米） 曝後烘烤後之膜厚度(微米） 透光率Ί\ (%) 耐溶劑性 耐酸性 耐鹼性 · 透光率τ2(%) ι 額外烘烤後之膜厚度(微米） 耐熱性 (膜厚度變化百分比，％) 黏附性 耐濺鍍性 49 200821751 25912pif.doc [實例2] 以合成實例2中所獲得之可溶鹼聚合物（2)取代實例 1中的可溶鹼聚合物（1)，使用類似於實例1之方式來製 備正片式感光樹脂組成物，且進行評估。結果如表1中所 示。 [實例3] 以合成實例3中所獲得之可溶鹼聚合物（3)取代實例 1中的可溶鹼聚合物（1)，使用類似於實例1之方式來製 備正片式感光樹脂組成物，且進行評估。結果如表1中所 示。 [實例4] 以合成實例4中所獲得之可溶鹼聚合物（4)取代實例 1中的可溶鹼聚合物（1)，使用類似於實例1之方式來製 備正片式感光樹脂組成物，且進行評估。結果如表1中所 示。 [實例5] 以合成實例5中所獲得之可溶鹼聚合物（5)取代實例 1中的可溶鹼聚合物（1)，使用類似於實例1之方式來製 備正片式感光樹脂組成物，且進行評估。結果如表1中所 示0 [實例6] 以合成實例6中所獲得之可溶鹼聚合物（6)取代實例 1中的可溶鹼聚合物（1)，使用類似於實例1之方式來製 備正片式感光樹脂組成物，且進行評估。結果如表1中所 50 200821751 25912pif.doc 示。 [實例7] 以合成實例7中所獲得之可溶鹼聚合物（7)取代實例 1中的可溶鹼聚合物（1)，使用類似於實例1之方式來製 .備正片式感光樹脂組成物，且進行評估。結果如表1中所 示。 [比較實例1] / , 以比較合成實例1中所獲得之比較共聚物（1)取代實 例1中的可溶鹼聚合物（1)，使用類似於實例1之方式來 製備正片式感光樹脂組成物，且進行評估。結果如表2中 所示。 表2
比較實例 1 比較實例 2 比較實例 3 顯影後之殘餘膜比率(%) 92. 1 91. 5 93.7 解析度(薇米） 7 8 7 曝後烘烤後之膜厚度(微米） 3.01 2.97 3,03 透光率Ti (%) 93.8 92.8 95.8 耐溶劑性 99. 5 99· 8 100. δ 耐酸性 100.9 100. 8 101.2 耐鹼性 101.2 101. 6 101.4 * 透光率1 (%) 90.6 89.4 94.2 額外烘烤後之膜厚度(微米） 2. 89 2. 85 2.94 耐熱性 (膜厚度變化百分比,％) 96.0 96.0 97.0 黏附性 100 100 100 耐濺鍍性 G G G
[比較實例2] 以比較合成實例2中所獲得之比較共聚物（2)取代實 例1中的可溶驗聚合物（1 )，使用類似於實例1之方式來 製備正片式感光樹脂組成物，且進行評估。結果如表2中 所示。 200821751 25912pif.doc [比較實例3] 以比較合成實例3中所獲得之比較共聚物（3)取代實 例1中的可溶鹼聚合物（1)，使用類似於實例1之方式來 製備正片式感光樹脂組成物，且進行評估。結果如表2中 所示。 舉例而言，本發明正片式感光樹脂組成物可以用於製 造液晶顯示裝置的製程。 【圖式簡單說明】 無。 【主要元件符號說明】 益。 52

Claims (1)

  1. 200821751 25912pif.doc 十、申請專利範圍： 1)表示 1·一種可溶鹼聚合物，其係藉由聚合以通式 之單體（A)獲得，
    (1) ^中：RKR2及R3各自表示氫或具有i至3個碳原子之 烧基，該烷基中的任何氫可以經氟置換；且R4、r5、反6、 R7及R8各自表示氫、鹵素、_CN、-eh、·〇α?3、七h、 具有1至5麵原子之絲，該絲中的任何· =0-、彻·或_Cq_置換且任何氫可以經_素置換二 4 1至:仅綠基，魏氧 經《置換，其中m8中，至少-者為 广可减聚合物，其係藉由共聚由通式⑴表示 卿顿·外之自由㈣合單細
    其中：R1、R2及只3夂 ⑴ 烧基，該院基中的任^:虱或具有1至3個破原子之 . 订乳可以經氟置換；且R4、R5、r6、 53 200821751 25912pif.doc 尺7及R8各自表示氫、鹵素、_CN、-CF3、-〇CF3、_〇H、 具有1至5個碳原子之烷基，該烷基中的任何_CH^可以經 •COO-、-OC〇4_c〇置換且任何氫可以經鹵素置換、或 具有1至5個碳原子之烷氧基，該烷氧基中的任何氫可以 經鹵素置換’其中，;p4至R8中之至少一者為_〇H。 3·如申請專利範園笫2項所述之可溶鹼聚合物，其中 該Rl至、R7及R8I自表示氫且該R6表示-OH。 fx 4·如申請專利範園第2項所述之可溶鹼聚合物，其中 ^ 該自由基可聚合單體（Β)包含由下列各物所構成的族群 中述出之至少一者：具有環氧乙烧基（oxiran》，丨）之自由基 可聚合單體（bl);具有氧雜環丁烷基（oxetanyl)之自由 基可聚合單體（b2);具有N經取代之馬來醯亞胺之自由 基可聚合單體（b3);以及具有三環[5·2·1·02,6]癸基之自由 基可聚合單體（b4)。 ' 5·如申請專利範圍笫4項所述之可溶驗聚合物，其中 ㈣由基可聚合單體（B)包含該自由基可聚合單體（Μ) 、 及該自由基可聚合單體（½)中之一者▲兩者。 6.如申請專利範jj第5項所述之可紐聚合物，其中 該自由基可聚合單體（B)由下列各物組成：該自由基可 聚合單體（M )、該自由基可聚合單體㈤）以及除該自由 基可聚合單體（M)至外之自由基可聚合單體㈤）。 7·如申請專利範®第5項所述之可紐聚合物，其中 該自由基可χΚ合單體（Β)由該自由基可聚合單體（匕1)、 (b2)以及（b3)組成。 54 200821751 25912pif.doc 圍第項㈣之可祕聚合物，发中 該自由基可聚合單體⑻由該自 ;、中 (b2)以及(b4)組成。 “口早脰（M)、 =巾請翻範圍第5項所述之可溶㈣合物， (b3 (Β) (Μ) (b3)以及（b4)組成。 …0.Γ請專·圍第5項所述之可溶驗聚合物，其中 以 土可來合單體（Β)由該自由基可聚合單體（bi ) 組成。 y ;11.如中請專觀㈣5項所述之可溶驗聚合物，其 n亥自由基可聚合單體⑻由該自由基可聚合單體（ 以及（b4)組成。 J 12.如申請專纖圍第6幻丨項中任 鹼聚合物，其中： 」心 亥自由基可聚合單體（bl)為由下列各物所構成 ，群中選出之一者、兩者或多者：丙烯酸縮水甘油醋、甲其 丙稀酸縮水甘油醋以及甲基丙蝉酸、基縮水甘油醋；土 ":亥自由基可聚合單體（b2)為由下列各物所構 群:選出之-者、兩者或多者:丙烯酸(3_乙基各氧雜琴二 鉍基）甲酯、甲基丙烯酸(3_乙基；氧雜環丁烷基）甲酯： 烯酉文(2-乙基-2-氧雜環丁烷基π酯以及甲基丙烯酸 -2-氧雜環丁烷基酯； 0基 該自由基可聚合單體（bs)為Ν_苯基馬來酿亞 Ν-環己基馬來酿亞胺令之—者或兩者；以及 及 200821751 25912pif.doc 該自由基可聚合單體（b4)為甲基丙烯酸三環[5·2·1·02,6] 癸酯。 13. 如申請專利範圍第6項所述之可溶鹼聚合物，其中 該自由基可聚合單體（b5)為曱基丙烯酸苄酯以及苯乙烯 中之一者或兩者。 14. 一種正片式感光樹脂組成物，其包含如申請專利範 圍第2項所述之可溶鹼聚合物以及感光劑（C)。 15. 如申請專利範圍第14項所述之正片式感光樹脂組 成物，其中該感光劑（C)是酸產生化合物。 16. 如申請專利範圍第14項所述之正片式感光樹脂組 成物，其中該感光劑（C)是1，2-醌重氮化合物。 56 200821751 25912pif.doc 七、指定代表圖·· (一) 本案指定代表圖為：無。 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明: 無0 八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵 的化學式：
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