TW200812890A - Electronic component handling apparatus, method for operating the electronic component handling apparatus, test tray and pusher - Google Patents

Description

200812890 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種可移送為了測試1(:元件等電子元件 而收納複數個電子元件的測試用托盤的電子元件運搬裝置 及其運用方法以及該電子元件運搬裝置所使用的測試用托 盤及推送件。 【先前技術】 • 纟1c元件等電子元件的製程中，需要用來測試最後製 造出來之電子元件的測試裝置。在該測試裝置中，藉由稱 為運搬器的電子元件運搬裝置，將多數個ic元件收納至測 試托盤中來搬運，各個IC元件的外部端子和設置於測試托 盤上的插槽的連接端子作電子接觸，在測試用主裝置（測試 器）上進行測試。如此，IC元件受到測試，至少可分出良品 和不良品這兩類。 測試頭上，一般設置測試部單元（有時稱為Hi-Fix)。 籲此測試部單元包括性能埠和該性能埠作電子連接且被設置 成複數個的插槽埠。此測試部單元以可針對測試頭本體進 行交換的方式被設置。 在此，測試時裝設於1(：元件上的插槽必須隨著1(：元件 的種類而作適當的交換。例如，若1(：元件的大小改變，必 須據此變更插槽的大小，又，若插槽的大小改變，有可能 需要變更插槽的配置。 因此，在測試部單元方面，提供了複數個插槽大小、 2192-9013-PF 5 zuuoizoyu 試頭本“選取 【發明内容] 【發明所欲解决的課題】 不過，如上所述，插槽大小、 本身的外形的尺 寸也相異，“、配置相異的測試部單元 供支援。換言之，當測試部單運搬器中無法提 送測試托盤的裝置、驅動推送件的二同二必須變更搬 在同-運搬器提供支援極為困難。於f4衣置，現實上， 插槽大小、配置相異的測疋過去必須在各個 援的運搬器。 上，提供複數個可供支 又，當變更1C裝置的同時測定數 測試部單元上的插槽的數目， & H頁變更 开太I 、插槽的配置和測試部單 外形的尺寸需要隨之不同。於是，插槽數目相： 的測试部單元過去無法在同-運搬器上得到支援，必須提 :複數個可支援插槽數目相異之各個測試部單元的運搬 态。 本發明鑑於此種現實情況，提供一種可在同一運搬裝 置上對插槽大小、配置或個數相異的複數個測試部單元提 i、支援的電子元件運搬裝置、該電子元件運搬裝置之運用 方法以及可在該電子元件運搬裝置上使用的測試用托盤及 推送件。 【用以解決課題的手段】 6

2192-9013-PF 200812890 為了達成上述目的，笛_ 弟一 ’本發明提供一種電子元件 運搬裝置，其可將收納了遴軏 、T设數個電子元件之測試用托盤搬 送至設置於測試頭上之測” Α σ — 、減σ卩早元（Hi-Fiχ)所具有的複數 個插槽的位置，其中，葬由击 稭由使插槽之大小、配置（包含高度 及平面方向之面對方向)及個數中之至少其令一種不同的 複數個測試部單元料形為約略相同的大小，冑其可配合 上述複數個測試部單亓ψ & y 早70中的任何一者來使用（第1發明）。 在上述發明（第1發明）中 a )〒’使複數種測試部單元的外形 為約略相同的大小，於县 、、，狀 於疋不品要變更搬送測試用托盤的搬 运衣置、驅動推送件的裝置等裝置，於是，可在同一 兀件運搬裝置上支援複數種測試部單元。 在上述發明（第1發明）中， … 了根據所使用的測試部單开 的種類來父換測試用托盤 t 现所具有的電子元件收納元件，以 在該測試部單元具有的插 僧上裝載電子元件（第2發明）。 在上述發明（第2發明）中， 了根據所使用的測試部單元 的種類自動進行上述測試 平7^ 说（μ ]式用托盤的電子元件收納元件的六 換（第3發明）。 ^丨卞的父 在上述發明（第3發明） 士 .中可頃取所使用的測試部單亓 的貧訊，並根據所讀取的資 丨早兀 ^ 扪貝σί1種類自動進行上述測試用扛 』的電子元件收納元件的交換(第4發明 在上述發明（第2發明） 見“而 )中上述測試用托盤包括可古杜 及釋放電子元件收納元件 支持 衣置包括用來驅動上述可動 牛運搬 <』動το件的裝置（第5發明）。 在上述發明（第5發） 上述可動元件為鉤狀元件，

2192-9013-PF 7 200812890 在上述電子元件收納元件上 合的嚙合部（第6發明）。 形成上述鉤狀可動元件可嚙 在上述發明（第2發明）中，在上述電子元件 上，形成複數個在z軸方向站立的突條部，在上述突 出的凹口部可收納電子元件（第7發明）。 在上述發明⑷發明）中，在上述突條部上，存在有在 X軸方向延伸的複數個突條部和在γ軸方向延伸 條部（第8發明）。 ^

又，在上述發明（第7發明）中，上述突條部從平面視角 看略呈L形’從上述電子元件收納元件的其中—角朝向其對 角逐㈣大’以既^間隔排列成複數個’上述凹π部形成 於上述其中一角和對角的位置上（第9發明）。 -在上述發明（第8發明）中，上述凹口部形成於上述電子 兀件收納元件的約略中央部位’在上述χ軸方向延伸的突條 部及在上述Υ轴方向延伸的突條部位於上述凹口部的周圍 (第10發明）。 在上述發明（第7發明）中，在上述電子元件運搬裝置所 具有的推送件的電子元件按壓部分上，設置複數個可插入 上述電子元件收納元件中的上述複數個突條部之間的凸 部，並在上述複數個凸部之間形成可插入上述電子元件收 納元件之突條部的凹部（第U發明）。 在上述發明（第11發明）中，上述推送件的凸部的形成 方式為，上述凹口部不和在複數種電子元件收納元件之中 最小的電子元件收納元件中的上述突條部產生干涉（第υ

2192-9013^PF 8 200812890 發明）。 在上述發明（第11發明）中，在上述推送件的凸部，存 在設置於上述電子元件按壓部分之其中一角且在平面視角 略呈矩开》的凸部和從上述電子元件按壓部分之其中一角朝 向其對角逐件變大、以既定間隔形成複數個且在平面視角 略呈L形的凸部（第13發明），上述推送件的凸部以上述電子

元件按壓部分的約略中央部位為中心，在χ軸方向及¥軸方 向延伸（第14發明）。 在上述發明（第1發明）中，上述電子元件運搬裝置將電 子元件從供給用托盤移送至測試用托盤，其可根據所使用 的測試部單元的種類’在將電子元件從供給用托盤移送至 測試用托盤的過程中，變更電子元件的配置(第15發明 古在上述發明（第15發明）中，上述電子元件運搬裝置具 可支持供給用托盤所收納的電 ^ ^ , μ扪％千7^件亚將其移送至測試 用托盤的移送裝置，上述一送 衣置匕括可變更所支持之電 子凡件之配置的功能（第】6發明）。 在上述發明（第j 6發明）中 所支持之…放 移送裝置包括可變更 π叉符之电子兀件之平面方向之 明）。 f方向的功能（第17發 社上述發明（第15發明）中 在將電子it件從供給用托盤移送至❸兀件運搬裝置可 時載置電子元件，上述载置部包 期間，暫 在上述發明(弟18發明）。 这載置部可包括變更所

2192-9013-PF 9 200812890 面對方向的功能（第 支持之電子元件的間距及平面方向的 19發明）。 在上述發明（第1 8發明）中 元的種類，自動進行上述電子 明）〇 可根據所使用的測試部單 兀件的配置的變更（第20發 可讀取所使用的測試部單 自動進行上述電子元件的

在上述發明（第20發明）中， 元的資汛，並根據所讀取的資訊 配置的變更（第21發明）。 尽兔明提供一種測試用牦盤 雷；士放—兩 六〜i納複數個 妒 在電子元件運搬裝置中將其搬送至測試部，1 ::徵在於：上述測試用托盤包括電子元件收納元件及以； :卸的方式支持上述電子元件收納元件的支㈣ ί持體上，設有可支持及釋放上述電子元件㈣元件= 動元件（第22發明）。 一根據上述發明（第22發明）的說明，可根據所使用的測 式部皁兀的種類(插槽之大小、配置或個數)來提供電子元 件收納幻牛，適當選取的電子元件㈣元件藉由可動元件 讓支持體來支持，藉此，可支援複數種測試部單元。 在上述發明（第22發明）中，上述可動元件為為釣狀元 件，在上述電子元件收納㈣上，形成上述釣狀可動元件 可嚙合的嚙合部（第23發明）。 在上述發明（第22發明）中，在上述電子元件收納元件 上，形成複數個在Ζ轴方向站立的突條部，在上述突條部切 出的凹口部可收納電子元件（第24發明）。 2192-9013-PF 10 200812890 在上述突條部上，存在有 ϋ在Y軸方向延伸的複數個 在上述發明（第24發明）中 在X軸方向延伸的複數個突條部 突條部（第25發明）。 在上述發明(第24發明)中，上述突條部從平面視角看 略呈L形，從上述電子元件收柄分丛α # 祝再看 件納7"件的其中-角朝向其對角 、漸受大’以既定間隔排列成複數個，上述凹口部形成於 上述其中—角和對角的位置上（第26發明）。

在上述發明(第25發明)中，上述凹口部形成於上述電 子元件收納元件的約略中央部位，在上《軸方向延伸的突 條部及在上述Υ軸方向延伸的突條部位於 圍（第27發明）。 Ρ的周 弟二’本發明提供-種推送件，其形成在ζ軸方向站立 的突條部’對應包括可在上述突條部切出之凹口部收納電 子凡件之電子元件收納部的測試用托盤，並使用於電子元 =搬裝置，其特徵在於：在上述推送件的電子元件按壓 4分上’言免置複數個可插入上述電子元件收納元件中的上 述複數個突條部之間的凸部，並在上述複數個凸部之間形 成可插入上述電子元件收納元件之突條部的凹部（第辦 明）ο Χ 在上述發明(第28發明)中，上述推送件的凸部的形成 :式為，上述凹口部不和在複數種電子元件收納元件之中 最小的電子元件收納元件中的上述突條部產生干涉 發明）。 在上述發明（第28發明）中，在上述推送件的凸部，存

2192-9013-PF 11 200812890 在設置於上述雷早；从> π 〇 件按壓部分之其中-角且在平面視角 略王矩形的凸部和從ρ、+、+ 7 月 丨矛处上述電子元件按壓部分之其中一 向其對角逐件變大、以既令 y 月 略呈L·形的凸部（第3〇發明）， 視角 一 )上逑推迗件的凸部以上述带羊 元件按壓部分的約略中麥邱 电 J唂平央邛位為中心，在χ轴方向 向延伸（第31發明）。 叹ί种方 弟四’本發明提供-種電子元件運搬裝置之運用方 法，該電子元件運搬裝置可將收納了複數個電子 試用托盤搬送至設置於制叫_s, ^ 置於測4碩上之測試部單元所具有的滿 數個插槽的位置，j：特糌力 灵 ，、知徵在於：根據從插槽之大小、 及個數中之至少ΐ中一錄X t -置 ’、 $不冋、外形為約略相同大小的藉 數個測試部單元中所選用的 口口一 元疋判忒口p早兀，在該測試部 早兀所具有的插槽上裝盤雷；〜 衣戟電子凡件，以交換測試用托盤所 具有的電子元件收納元件（第32發明）。 在上述發明（第32發明）中·，可4日站_ J中了根據所使用的測試部罩 凡自動進行上述測試用托般的 干 (第33發明）。 丁幻又換 、第五’本發明提供-種電子元件運搬裝置之運用方 法，該電子元件運搬裝置可將 — 、 <置』將包子7G件從供給用托盤移 至測试用托盤，並將收納了複靠- 、 "旻數個電子兀件的測試用托般

搬达至設置於測試頭上之測試部 I I早7G所具有的禝數個 的位置，其特徵在於··根據從插槽之大小、配置及個曰 之至少其中-種不同、外形為約略相同大小的複數個測$ 部早凡中所選用的既定測試部單元，^將電子元件從供^

2192-9013-PF 12 200812890 t 用托盤移送至測試用托盤的過程中，變更電子元件的配置 (第34發明）。 在上述發明（第34發明）中，可根據所使用的既定測試 部單元自動進行上述電子元件的配置的變更（第35發明）。 【發明效果】 根據本發明之電子元件運搬裝置、測試用托盤或推送 件的說明，可在同一電子元件運搬裝置上支援插槽之大 _ 小、配置或個數不同的複數個測試部單元。 【實施方式】 以下根據圖面詳細說明本發明的實施型態。 第1圖為包含本發明其中一 装置（以下稱為「運搬器」）的I丨 一實施型態之電子元件運搬

百先，說明包括本發明實施型態 试裝置的整體構造。 内的重要部位剖面圖。 態之運搬器的1C元件測

2192-9013-PF 線7和測試用主裝置6作 番槽的1C元件透過纜線7 13 200812890 連接至測試用主裝置6，藉由來自測試用主裝置6的測試用 電子訊號來進行測試。· w 狀在運搬器1的下部，主要内建用來控制運搬器1的控制 裝置，在其中一部分則設置空間部分8。此空間部分 1由更換的狀態配置於測試頭5 ’彳貫通形成於運搬器】的 貫通孔將1C元件裝在測試頭5上的插槽。 、 ^此運搬器1為用來在比常溫高的溫度狀態（高溫）或比 Φ 吊/里低的溫度狀態（低溫）下測試作為待測試之電子元件的 Κ元件的裝置。另外’運搬器」如第2圖所示，具有由怪温 才曰1 〇 1 /則忒至1 〇 2及除熱槽1 〇 3所構成的工作室1 〇 〇。測气 頭5的上部（測試部單元5〇)如第3圖所示，插入測試室工⑽ 的内部，因此，得以進行IC元件2的測試。 如第2圖所示，本實施型態之運搬器丨由儲存之後進行 這些測試的ic元件然後分類並儲存測試後之ic元件的ic= 存部200、將從Ic儲存部2⑽送來之被測試1(：元件送進工作 φ 至邛1 〇 〇的載入部3 0 〇、包含測試頭的工作室部1 〇 〇、取出並 分類在工作室100進行測試之後的測試後IC元件的釋出部 400所構成。 " 多數放置於運搬器i上之前的IC元件收納於未圖示出 來的客戶托盤内，在此狀態下，其被供給至第2圖所示的運 搬器1的1C收納部200。IC元件在此從客戶托盤改成放在後 面將會敘述、進行運搬器1内的搬送時所使用的測試托盤 5〇〇(參照第7圖）。在運搬器^的内部，如第3圖所示，ic: 件在放置於測蜮托盤5 〇 〇上的狀態下移動，被賦予高溫或低

2192-9013-PF 14 200812890 《丨 溫壓力’測試（檢查）是否可適當地動作，根據該測試結果 被分類。 在測試頭5上，設有第4圖所示的測試部單元5〇a〜5〇(i。 測試部單元50a〜5〇d包括性能埠52、和性能板52作電子連接 且設置複數個插槽40a〜40d的插槽板51。測試部單元 50a〜5Od以可和測試頭本體交換的方式來設置。 在本貝施型怨中’測試部單元5〇a〜5〇d上設有複數個 (在第4圖中為12個）插槽板51，各插槽版51上設有複數個 (在第4圖中為4個或6個）插槽40a〜40d。 各測試部單元50a〜50d上的插槽40a〜40d之大小、配置 (高度或平面方向之麵對方向）或個數不同，根據各個待測 試1C元件的種類，適當設定插槽4〇a〜4〇d的大小、配置及個 數。例如，關於插槽4〇a〜4〇d的配置（尤其是高度），會考慮 到在測試部單元50a〜50d内分支的電子訊號的特性，可為了 使測試部單元5〇a〜50d的電子特性達到最佳狀態，換言之， _ 使測π式用主衣置6的性此達到最大限度，而作適當的設定。 在本貫施型態中，上述的插槽4〇a〜4〇d的配置的變更在 複數個設置於測試部單元5〇a〜5〇d的插槽板51的每一個上 進行，藉此，可進一步提高在測試部單元5〇a〜5〇d内分支的 電子訊號的特性。 當參照第4圖來說明時，測試部單元5〇b的插槽4〇b顯得 比測試部單元50a的插槽4〇a小，又，高度也顯得較小，另 外，其靠近插槽板51的中央部位而設置。又，.測試部單元 50c的插礼40c相對於測試部單元5〇a的插槽4〇a旋轉qq度而

2192-9013-PF 15 200812890 設置。再者，測試部單元50a地插槽40a在各插槽板51上設 置了 4個，相對於此，測試部單元5〇d的插槽4〇d在各插槽板 51上設置了 6個，個數比測試部單元50a的插槽40a多。 各測忒部單兀5〇a〜5〇d如上所述，其上的插槽4〇a〜4〇d 之大小、配置或個數不[5]，外形則為相@大小。如此，藉 由使各测試部單元50a〜50d的外形為相同大小，可在不變更 搬达測試牦盤500的裝置、驅動推送件3〇的裝置等裝置的情 _ 況下，在同一運搬器ί中支援各測試部單元50a〜50d。月 以下將說明運搬器1 〇 如第2圖所示，在運搬器1的1(：儲存部2〇〇上，設置用來 儲存測試前IC元件的測試前！ C小盒2 〇 i和用來儲從根據測 試結果分類之後的1C元件的測試後Ic小盒2〇2。 第2圖所示的測試前IC小盒2〇1受到客戶托盤的積層支 持，該客戶托盤收納之後進行這些測試的IC元件。又，測 試後1C小盒2D2受到客戶托盤的積層支持，該客戶托盤收納 Φ 測試完畢且被分類的1C元件。 儲存於測試前1C小盒201内的客戶托盤如第2圖所示， 藉由設置於1C儲存部200和裝置基板1〇5之間的托盤移送臂 202，從裝置基板1〇5的下側被搬運至載入部3〇〇的窗部 306。然候，在此載入部300,置放於客戶把盤的被測試ic 元件藉由X-Y搬送裝置304(相當於本發明之移送裝置），一 次被移送至定位器305,在此，修正被測試IC元件彼此之間 的位置，之後，再使用Χ-γ搬送裝置3〇4移送之前被移送至 此定位器305的被測試ic元件，將其置放於在載入部3〇〇停

2192-9013-PF 16 200812890 止的測試托盤500。 從客戶托盤將被測試1C元件置放於測試柁盤5〇〇的χ — γ 搬送裝置304如第2圖所示，包括架設於裝置基板1〇5上部的 2條軌道301、可藉由此2條執道3〇1在測試托盤5〇〇和客戶托 盤之間往返（將此方向設為γ軸方向）的可動臂3〇2、受到此 可動臂302支持且可沿著可動臂3〇2在1軸方向移動的可動 頭 303 〇 在此Χ-Υ搬送裝置304的可動頭3〇3上，朝下裝載了複數 ®個（在第5圖中為4個）吸附頭313，此吸附頭31 3從客戶托般 受到吸附被測試1C元件2，將該被測試1C元件2收納於測試 托盤500。 # 在本實施型態之運搬器1中，插槽40之平面方向之面對 方向不同的測試部單元5〇 (例如測試部單元5〇a，5〇b，$ μ 及測試部單元50c)能得到支援，如第5(a)圖至第5(b)圖所 示，X-Y搬送裝置304的可動頭303可旋轉。換言之，各吸附 瞻頭313如第5(a)圖所示，吸附被測試Ic元件2，在此狀態下， 如第5(b)圖所示，旋轉90度，將旋轉之後的被測試“元件2 收納於測試托盤5〇〇。如此，χ-γ搬送裝置3〇4可使lc元件2 之平面方向之面對方向作90度的變化，所以，運搬器1可支 援測試部單元5〇a，50b，50d及測試部單元5〇c中任何一者。 關於上述可動頭303的旋轉，所使用的測試部單元“ 的資訊宜由運搬器丨讀取，根據所讀取的資訊來自動進行。 此外，在上述實施型態中，為χ-γ搬送裝置3〇4的可動 頭303可旋轉的構造，不過，也可不採用該構造，而採用設

2192-9013-PF 17 200812890 置於可動頭303之各吸附頭31 3可旋轉的構.造。 在本貫施型態之運搬器1中，也可不使χ — γ搬送裝置3 4 的可動頭3 0 3旋轉，而是如第β圖所示，使定位器3 〇 5 (相當 於本發明之載置部）旋轉，甚至可變更其高度。本例之定位 器305包括基板305、複數個（在第6圖中為4個）設置於基板 305的可動部315,在可動部315上，形成凹狀的元件收納部 325。此元件收納部325為與被測試IC元件2對應的形狀。 • 在本例之定位器305中，將1C元件2收納於元件收納部 325的各可動部315如第6(a)圖至第6(b)圖所示，可藉由旋 轉90度或移動至X軸/γ軸方向，使IC元件2之平面方向之面 對方向作9 0度的變化或變更高度等。 將被測試1C元件2置放於載入部3〇〇的測試托盤5〇〇被 送入工作室10 0的恆溫槽1 〇 1，接著被送入測試室丨〇 2，在測 試室1 0 2内，被測試I c元件2受到測試。 如第3圖所示，測試室102的下部配置有測試頭5的測試 φ 部單元50。收納iC元件2的測試托盤500被搬運至此測試部 單元50的上面。收納於測試托盤5〇〇的1(：元件2藉由推送件 30的按壓，受到設置於測試部單元5〇的插槽4〇推擠。藉此， 1C元件2的外部端子和插槽4〇的連接端子作電子接觸，在此 狀態下，對IC元件2施加測試訊號並進行測試。然後，當測 试完畢時，測試托盤5 0 0在除熱槽1 〇 3除熱，IC元件2的溫度 恢復至至/孤，之後，被排放置第2圖所示的釋放部仙〇。 如第2圖所示，釋放部4〇〇上，亦設有設置於載入部3〇〇 的X-Y搬送裝置304和相同構造的X —γ搬送裝置4〇4，.4〇4，藉

2192-9013-PF 18 200812890 由該Χ-Υ搬送裝置404，404，從被運送至釋放部4〇〇的測試 托盤5 0 0將測5式後的IC元件2改成置放在客戶托盤。 本實施型態中之測試托盤5〇〇如第7圖所示，在構造上 包括複數個載具516和以自由組裝的方式支持載具的框架 510 〇 如第7圖及第8圖所示，載具516包括複數個（在第7圖中 為4個）載具核心51 8 (相當於本發明之電子元件收納元件） _ 和以自由組裝的方式支持載具核心51 8的載具體51 7 (和框 架51 0合起來相當於本發明之支持體）。複數個载具核心5 i 8 對應測試部單元50的插槽40的位置，配置於載具體5〗7上。 例如’在第7圖所示的範例中，載具核心518配置成2行χ 2 列的型態。 載具體51 7為與載具核心518對應的位置所開口的框架 形狀，包括延伸至下方且可旋轉的鉤子51 7a。 在載具核心518上，如第8圖所示，形成嚙合部518 a (在 _ 第7圖中省略）。載具體51 7的鉤子517a嚙合至載具核心518 的°齒合部51 8 a ’藉此’載具核心51 8受到載具體517的支持。 另外，鉤子517a可旋轉，鉤子517a和嚙合部518a的喷合分 離，藉此，載具核心51 8從載具體51 7分離，可和其他的載 具核心518交換。 在各載具核心518上，形成與被測試1C元件2之形狀對 應的元件收納部519，被測試IC元件2嵌合至此元件收納部 51 9而被收納。此外，關於與載具核心518的推送件3 〇之間 的關係的構造，後面將會敘述。 2192-9013-PF 19 200812890 如弟7圖所示，載且核心r 1 β + 戰，、h 518方面，根據測試部單元5〇 的種類（插槽40之大小、配置及個教） 丨口要文）而k供了複數種，配 合插槽之大小、配置及個數而作出適#選擇，$裝於載具 體517上。各載具核心518的元件收納部519在载具核心518 中形成於與插槽40之位置對應的位置。例如，在第7圖所示 的範例中，各載具核心518中的各元件收納部519形成靠近 載具核心518的中央部位。 載具體517的鉤子517a可藉由設置於運搬器1±的驅動 裝置（未圖示出來）自動旋轉。又，運搬器工可收納複數種載 具核心518，自動選擇與被測試Ic元件2之種類對應的載具 核心518,將其搬送至載具體517的下方。藉此，可將所要 的載具核心518自動安裝至載具體517以及測試托盤5〇〇,於 疋可在一台運拣^為1上支援複數種測試部單元5 〇。 關於上述載具核心518的交換，所使用的測試部單元5 〇 的資訊宜由運搬器1讀取，根據所讀取的資訊自動進行。 此外，在上述的範例中，插槽板51上的插槽4〇的數目 為4個，不過，當插槽板51上的插槽4〇的數目為6個時，可 k供支持6個載具核心518的載具516，使該載具516支持測 試托盤500的框架510。測試托盤500中的載具516的交換亦 可由運搬器1自動進行。 根據上述測試托盤500的說明，根據所使用的測試部單 元5 0的種類（插槽4 0之大小、配置或個數）提供載具核心 518，使適當選擇後的載具核心518以自由組裝的方式支持 載具體517 (測试托盤5 Q 0)’藉此，可支援複數個種測試部 2192-9013-PF 20 200812890 單元50。 另一方面，推送件30設置於測試部單元5〇 第3圖及第7圖所示，受到配對板6()的支持。此配對板恤 於測試部單元50的上方’以可在推送件3〇和插槽4〇之間插 入測試托盤500的方式受到z軸驅動裝置7〇的支持，受到該 配對板6。支持的推送件3〇藉由z轴驅動裝置7。的驅動在z軸 方向自由移動，藉此，裝載於測試托盤500上的ic元件2可 受到插槽4 0的推擠。

則述之載具核心518如第9圖所示，形成複數個在^軸方 向站立2突條部521，複數個突條部521之間形成凹溝52〇。 本實施型態之各突條部521由在χ軸方向延伸的突條部 矛在Y軸方向延伸的突條部組成，在平面視角呈L形。[形的 突條部521從載具核心518的其中一角朝向其對角（在此將 其％為「對角部」）逐漸變大，以既定間隔排列成複數個， 藉由该對角部在突條部521上切出凹口。此凹口部為前述的 元件收肩邛519，在此被測試I c元件2被收納。被放入元件 收納邛51 9的1C元件2藉由和具有凹口的突條部521的端部 接觸來決定位置。此外，如第11圖所示，具有凹口的突條 部521的端部的上部為斜切狀態，以使IC元件2容易放入元 件收納部519。 在上述載具核心518中，如第12(a)圖至第12(c)圖所 不，藉由改變突條部521的凹口量，可支援大小、高度或平 面方向之面對方向不同的插槽40。換言之，上述載具核心 518一開始製作成沒有突條部之凹口的構造，隨著插槽40

2192-9013-PF 21 200812890 之大小、咼度或平面方向之面對方向而在突條部上產生既 定量的凹Π，藉此，可輕易製造出支援各種插槽如的 核心51 8。 本實施型態之推送件30對應插槽4〇的數目，包括如第 10圖所示的推送件方塊30a。在此推送件方塊3〇a中， 部為按壓上述載具核心518的元件收納部51 9所收納的被測 試IC元件2的按壓部分。 在推送件方塊30a的元件按壓部分，設置複數個可插入 載具核心518之複數個凹溝520的凸部311，在這複數個凸部 311之間，形成可插入載具核心518之複數個突條部的凹 部310。本實施型態之推送件方塊3〇a的凸部311及凹部31〇 與載具核心518的凹溝520及突條部521的形狀對應，在平面 視角上略呈L形。 推送件方塊30a的凸部311在構造上不和複數種載具核 心518中突條部521之凹口部（元件收納部51 9)最小的载具 核心518中的突條部5 21產生干涉。以此方式形成的推送件 方塊3 0 a的凸部311也不會和突條部5 21之凹口部較大的載 具核心518的突條部5 21產生干涉，所以，可藉由一種推送 件方塊30a支援複數種載具核心518。 當使推送件方塊30a接近載具核心518的元件收納部 51 9所收納的ic元件2時，如第11圖及第12圖所示，推送件 方塊30a的凸部311插入載具核心518的凹溝520，又，載具 核心518的突條部521插入推送件方塊30a的凹部310。與此 同時，推送件方塊30a的凸部31 Γ插入載具核心51 8的凹口部 2192-9013-PF 22 200812890 (元件收納部51 9 )，藉由推送件方塊3 0 a的凸部311的插入部 分’ IC元件2被按壓，受到插槽4 0推擠。 如第11(a)圖、第11(b)圖及第12(a)圖至第12(C)圖所 示，即使載具核心51 8的種類，亦即，插槽40之大小、配置 或平面方向之面對方向改變，也可以在不變更推送件方塊 30a(推送件30)的情況下，如上所述，按壓iC元件2。 此外’當插槽板51上的插槽40的數目改變時（例如從4 _ 個變成6個），亦可包括數目（例如6個）對應插槽4〇之數目之 推送件方塊3 〇 a的推送件3 0，來交換配對板6 〇。 如上所述，根據本實施型態之運搬器i及測試托盤5〇〇 的說明，可在同一運搬器i上支援插槽4〇之大小、配置或個 數不同的複數種測試部單元5 〇。 以上說明的實施型態是為容易理解本發明而記載，而 非限定本發明之記載。所以，上述實施型態所揭示的各要 素亦包含屬於本發明之技術範疇的所有設計變更、同等物 在第13圖及第14圖中，表示了載具核心518及推送件方 塊30a的其他範例。如第13圖所示，在載具核心518A上，形 成了在Z軸方向站立而在X軸方向延伸的突條部521χ和在γ 軸方向延伸的突條部521Υ。突條部521χ及突條部521¥在載 ”核心51 8的約略中央部位產生凹口，該凹口部為元件收納 部519。換言之，突條部5211及突條部521¥位於凹口部（元 件收納部519)的周圍。 在上述載具核心518Α中，如第13(a)圖、第13(b)圖及

2i92-9〇13-PF 23 200812890

第14(a)圖、第14(b)圖所示，可藉由改變突條部μιχ，521Y 的凹口 1，支援大小、高度或平面方向之面對方向不同的 插槽4 0。 另一方面，如第1 4圖所示，在推送件方塊3 〇Α的底面部 (元件按壓部分），以該元件按壓部分的約略中央部位為中 心，形成在X軸方向及γ軸方向延伸的凸部3丨丨Α。此凸部31】A 在構造上不和複數種載具核心518A中突條部521X，521Y之 _ 凹口部（元件收納部519)最小的載具核心51“的突條部 52IX，521Υ產生干涉。以此方式形成的推送件方塊的凸 部311Α也不會和突條部521Χ，52^產生干涉，所以，可藉 由一種推送件方塊30Α支援複數種載具核心518Α。 【產業上可利性】 本叙明可針對複數種測試部單元來有效率地使用電子 元件運搬裝置。 【圖式簡單說明】 第1圖為包含本發明其中一實施型態之運搬器的〗〇元 件測试裝置的整體側視圖。 第2圖為同一實施型態之運搬器的立體圖。 第3圖為同一實施型態之運搬器的測試推送件内的重 要部位剖面圖。 、—第4 “）〜⑷圖為插槽之大小、配置及個數不同的 複數個測試部單元的平面圖。 第5(a)、(b)圖為底面圖，表示同一實施型態之運搬器

2192-9013-PF 24 200812890 中的X:Y搬送裝置的可動頭的其中-例。 第6(a)、（b)圖為平面圖，表示—电 中的定位器的其中一例。心型態之運搬器 第7圖為同一實施型 立體圖。 u運搬項使用的測試托盤的 載置=為同—實施型態之運搬器所使用的測試托盤的 載置為的剖面圖（第7圖中的A-A剖面圖）。 # I②：、同Λ轭型恶之運搬器所使用的測試托盤的 載置核心的立體圖。 Μ第U圖為同—實施型態之運搬器中的推送件方塊的立 體圖。 第U (a)、（b)圖為同一實施型態之運搬器中的推送件 方塊及測試托盤的载置核心的剖面圖。 第12(a) (c)圖為同一實施型態之運搬器中的測試托 i的載置核心及推送件方塊的平面圖。 f 13U)、（b)圖為表示載置核心之其他例的立體圖。 第14(a) (b)圖為其他例之載置核心及推送件方塊的 平面圖。 【主要元件符號說明】 1運搬裔（電子元件運搬裝置） 2 1C元件（電子元件） 5測試頭 6測試用主裝置

2192-9013-PF 25 200812890 7纜線 8空間部分 10 1C元件（電子元件）測試裝置 30推送件 30a推送件方塊 30A推送件方塊 40，40a，40b，40c，40d 插槽 50，50a，50b，50c，50d 測試部單元 ® 51插槽板 52性能板 6 0配對板 7 0 Z轴驅動裝置 1 0 0工作室 1 01恆溫槽 1 0 2測試室 103除熱槽 ® 105裝置基板 108搬送裝置 20 0 1C儲存部 2 01測試前IC小盒 2 0 2測試後IC小盒 203托盤支持框 204升降器 205托盤移送臂 26

2192-9013-PF 200812890 300載入部 301軌道 302可動臂 303可動頭 304 X-Y搬送裝置（移送裝置） 305定位器（載置部） 306窗部 307，407吸附片（支持部） ® 310凹部 311凸部 311A凸部 313吸附頭 315可動部 325元件收納部 400釋出部 403可動頭 404搬送裝置 406窗部 5 0 0測試托盤 510框架 516載具 517載具體 517a鉤子 518，518A載具核心（電子元件收納元件） 2192-9013-PF 27 200812890 518 a σ齒合部 51 9元件收納部 520凹溝 521，521Χ，521Υ 突條部 TST測試托盤

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Claims (1)

1. 200812890 十、申請專利範圍： 】.-種電子元件運搬裝置’可將收納了複數個電子元 件之满试用托盤搬送至設置於測試頭上之測 有的複數個插槽的位置， 干几Μ具 其中，藉由使插槽之大小、配置及個數中之至 一種不同的複數個測試部單元的外形為約略相同的大:， 使其可配合上述複數個測試部單元中的任何—者來使用 k 2.如申請專利範圍第1項之電子元件運搬裝置，立中。， =使用的測試部單元的種類來交換測試用托盤所具 裝載電子元件件以在蝴部單元具有的插槽上 “申明專利乾圍第2項之電子元件運搬裝置，豆中， 可根據所使用的測試部單元的種類 盤的電子元件收納元件的交換。 、糊托 可*取所1°月專利乾圍第3項之電子元件運搬裝置，其中， =斤：用的測試部單元的資訊，並根據所讀 =測試用耗盤的電子元件收納元件的交換。 气Θ專利乾圍第2項之電子元件運搬裝置，其中， ::用托盤包括可支持及釋放電 動兀件，上述雷工-4 件的裝置。 π運搬裝置包括用來驅動上述可動元 叮申月專利乾圍第5項之電子元件運搬裝置，其中， 上达可動元件為鉤妝 來忐Κ ha 件，在上述電子元件收納元件上’ 磁述釣狀可動元件可喃合的喷合部。 2192-9013-PF 29 200812890 7. 如申請專利範圍第2項之電子元件運搬裝置，其中， 在上述電子元件㈣元件上，形成複數個在2軸方向站立的 突條部’在上述突條部切出的凹口部可收納電子元件。 8. 如申清專利範圍第7項之電子元件運搬裝置，其中， 在上述大缸。卩上，存在有在义軸方向延伸的複數個突條部和 在Y轴方向延伸的複數個突條部。 9. 如申請專利範圍第7項之電子元件運搬裝置，其中， 上述突條部從平面視角看略呈L形，從上述電子元件收納元 件的其中角朝向其對角逐漸變大，以既定間隔排列成複 數個’上述凹口部形成於上述其中一角和對角的位置上。 10·如申請專利範圍第8項之電子元件運搬裝置，其 中，上述凹口部形成於上述電子元件收納元件的約略中央 部位，在上述x軸方向延伸的突條部及在上述γ轴方向延伸 的突條部位於上述凹口部的周圍。 11·如申請專利範圍第7項之電子元件運搬裝置，其 中’在上述電子it件運搬裝置所具有的推送件的電子元件 按麼部分上，設置複數個可插入上述電子元件收納元件中 =上述複數個突條部之間的凸部，並在上述複數個凸部之 B形成可插入上述電子元件收納元件之突條部的凹部。 由12·如申請專利範圍第11項之電子元件運搬裝置，其 !:上述推送件的凸部的形成方式為，上述凹口部不和在 :數種電子元件收納元件之中最小的電子元件收納元件中 的上述突條部產生干涉。 13.如申請專利範圍第11項之電子元件運搬裝置，其 2192-9013-PF 30 200812890 中，在上述推送件的凸部，存在設置於上述電子元件按壓 部分之其中一角且在平面視角略呈矩形的凸部和從上述電 子元件按壓部分之其中一角朝向其對角逐件變大、以= 間形成複數個且在平面視角略呈l形的凸部。 14. 如申請專利範圍第n項之電子元件運搬裝置，其 中，上逑推达件的凸部以上述電子元件按壓部分的約略中 央部位為中心，在X軸方向及Y軸方向延伸。 15. 如申請專利範圍第丨項之電子元件運搬裝置，其 中，上述電子元件運搬裝置將電子元件從供給用二盤移送 至測試用托盤’其可根據所使用的測試部單元的種類，在 將電子元件從供給用托盤移送至測試用托盤的過程中，鐵 更電子元件的配置。 ^ 16·如申請專利範圍第15項之電子元件運搬裝置，其 二：述電子元件運搬裝置具有可支持供給用托盤所收納 、电凡件並將其移送至測試用托盤的移送裝置，上、求一 送裝置包括可變更所支持之電子元件之配置的功能。"― 17.如申請專利範圍第“項之電子元件運搬裝置，其 向之送裝置包括可變更所支持之電子元件之平面； 向之面對方向的功能。 18·、如币申請專利範圍第15項之電子元件運搬裝置，其 托般ί述電子元件運搬裝置具有可在將電子元件從供給用 部二二至測試用托盤的期間，暫時載置電子元件的載置 ^置部包括變更所支持之電子元件之配置的功能。 2192-9013-PF 31 200812890 19·如申請專利範圍第18項之電子元件運搬裝置，其 中，上述載置部包括可變更所載置之電子元件之高度及/ 或平面方向之面對方向的功能。 " 20. 如申請專利範圍第15項之電子元件運搬裝置，其 中’可根據所使用的測試部單元的種類’ 子元件的配置的變更。 ι電 21. *如申請專利範圍第2〇項之電子元件運搬裝置，其 :’可讀取所使用的測試部單元的資訊，並根據所讀取的 貪訊自動進行上述電子元件的配置的變更。 一 22. 一種測試用托盤，可收納複數個電子元件， 元件運搬裝置中將其搬送至測試部， 其特徵在於： 上返測試用拕盤包括·· 電子元件收納元件；及 Π體’以可裝卸的方式支持上述電子元件收納元件; &支持體上’設有可支持及釋放上述電子元件收 納元件的可動元件。、 I电于兀件收 如申明專利範圍第22項之測 可動元件為為鈞狀元件， /、中上述 ,.L χ 干在上述電子兀件收納元件上，银 成上述鉤狀可動元件可喃合的喃合部。 形 如申請專利範圍第22項之測試用托盤，其 部，在上述突停形成複數個在Ζ轴方向站立的突條 条彳切出的凹口部可收納電子元件。 25’如申請專利範圍第24項之測試用托盤，其中，在上 2192-9013-PF 32 200812890 述突條部上，存在有在X軸方向延伸的複數個突條部和在γ 軸方向延伸的複數個突條部。 26. 如申請專利範圍第24項之測試用托盤，其中，上述 突條部從平面視角看略呈L形，從上述電子元件收納元件的 其中-角朝向其對角逐漸變大，以既定間隔排列成複數 個，上述凹口部形成於上述其中一角和對角的位置上。 27. 如申請專利範圍第25項之測試用托盤，其中，上述 凹口部形成於上述電子元件收納元件的約略甲央部位，在 上述X轴方向延伸的突條部及在上述¥軸方向延伸的突條部 位於上述凹口部的周圍。 28·種推送件，开> 成在Ζ軸方向站立的複數個突條 部，對應包括可在上述突條部切出之凹口部收納電子元件 之電子元件收納部的測試用托盤’並使用於電子元件運搬 裝置， 其特徵在於：

   在上述推送件的電子元件按壓部分上，設置複數個可 插入上述電子元件收納元件中的上述複數個突條部之間的 凸部：並在上述複數個凸部之間形成可插入上述電子元件 收納元件之突條部的凹部。 29.如申請專利範圍第28項之推送件，其中，上述推送 件的凸部的形成方式為， 一 门上返凹口邛不和在複數種電子元 件收納元件之中最小的雷子 — V电千凡件收納兀件中的上述突條部 產生干涉。 在上述推 30.如申請專利範圍第28項之推送件，其中 2192-9013-PF 33 200812890 送件的凸部，存在設置於上述電子元件按壓部分之其中— 角在平面視角略壬矩形的凸部和從上述電子元件按堡部 分之其中-角朝向其對角逐件變大、以既定間隔形成複數 個且在平面視角略呈L形的凸部。 31.如申請專利範圍第28項之推送件，其中，上述推送 件的凸邛以上述電子元件按壓部分的約略中央部位為中 心，在X軸方向及γ軸方向延伸。 .

   32·種迅子兀件運搬裝置之運用方法，將收納了複數 :電子元件之測試用托盤搬送至設置於測試頭上之測試部 單元所具有的複數個插槽的位置， 其特徵在於： 根據從插槽之大小、配置及個數中之至少其中一種不 同、外形為約略相同大小的複數個測試部單元中所選用的 既定測試部單元’在該測試部單元所具有的插槽上裝載電 子兀件’《父換測試用托盤所具有的電子元件收納元件。 33·如申凊專利範圍第32項之電子元件運搬裝置，其 中，可根據所使用的既定的測試部單元自動進行上述測試 用托盤的電子元件收納元件的交換。 34.種電子元件運搬裝置之運用方法，將電子元件從 i、'、、a用托盤移送至測試用托盤，並將收納了複數個電子元 件的測試用托盤搬送至設置於測試頭上之測試部單元所具 有的複數個插槽的位置， 其特徵在於： 根據攸插槽之大小、配置及個數中之至少其中一種不 2192-9013-PF 34 200812890 同、外形為約畋4 %相同大小的複數個测試部單元中所選用的 既定測試部單元，於將電子元件從供給用托盤移送至測試 用托盤的過程中，變更電子元件的配置。 35·如申請專利範圍第34項之電子元件運搬裝置之運 用方法，其中，可根據所使用的既定測試部單元自動進行 上述電子元件的配置的變更。

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