TWI359102B - - Google Patents

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1359102 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種可移送為了測試1(：元件等電子元件 而收納複數個電子元件的測試用托盤的電子元件運搬裝置 及其運用方法以及該電子元件運搬裝置所使用的測試用托 盤及推送件。 【先前技術】 在ic元件等電子元件的製程中，需要用來測試最後製 造出來之電子元件的測試裝置。在該測試裝置中，藉由稱 為運搬器的電子元件運搬裝置，將多數個Ic元件收納至測 試托盤中來搬運，各個H：元件的外部端子和設置於測試托 盤上的插槽的連接端子作電子接觸，在測試用主裝置(測試 器）上進行測試。如此，IC元件受到測試，至少可分出良品 和不良品运兩類。

測試頭上，一般設置測試部單元（有時稱為Hi Fix卜 此測試部單元包括性能朴該性料作電子連接且被設置 成複數個的插槽埠。此測試部單元以可針對測試頭本體進 行交換的方式被設置。 上的插槽必須隨著IC元件 若IC元件的大小改變，必 插槽的大小改變，有可能 在此，測試時裝設於1C元件 的種類而作適當的交換。例如， 須據此變更插槽的大小，又，若 需要變更插槽的配置。 因此’在測試部單元方面 提供了複數個插槽大小、

2192-9013-PF 5 1359102 =置不同的測試部單s ’針對共通的測試頭本體，來選取 安裝所要的測試部單元。 【發明内容】 【發明所欲解決的課題】 不過，如上所述，插槽大小、配置相異的測試部單元 本身的外形的尺寸也相#，所以，在同—運搬

供支援。換言之，當測試部單Μ形不同時，必須變更= 达測試托盤的裝置、驅動推送件的裝置等裝置，現實上， 在同一運搬器提供支援極為困難H過去必須在各個 插槽大小、配置相異的測試部單元上，提供複 援的運搬器。 文 又，當變更1C裝置的同時測定數目時，當然必須變更 測試部單元上的插槽的數目，於是插槽的配置和測試部單 元本身的外形的尺寸需要隨之不同。於是，插槽數目相異 # ㈣試部單元過去無法在同—運搬器上得到支援，必須提 供複數個可支援插槽數目相異之各個測試部單元的運搬 本發明鏗於此種現實情況’提供一種可在同—運搬裝 置上對插槽大小、配置或個數相異的複數個測試部單元提 供支援的電子元件運搬裝置、該電子元件運搬裝置之運用 方法以及可在該電子元件運搬裝置上使用的測試用托 推送件。

【用以解決課題的手段】 2192-9013-PF 6 1359102 為了達成上述目的，第一，本發明提供一種電子元件 運搬裝置，其可將收納了複數個電子元件之測試用托盤搬 送至設置於測試頭上之測試部單元（Hi_Fix)所具有的複數 . 個插槽的位置，其中，藉由使插槽之大小、配置（包含高度 及平面方向之面對方向）及個數甲之至少其_一種不同的 複數個測試部單元的外形為約略相同的大小使其可配合 上述複數個測試部單元中的任何一者來使用（第〗發明）。 _ 在上述發明（第1發明）中，使複數種測試部單元的外形 為約略相同的大小’於是不需要變更搬送測試用托盤的搬 送裝置、驅動推送件的裝置等裝置，於是，可在同一電子 .元件運搬裝置上支援複數種測試部單元。 在上述發明（第1發明）中，可根據所使用的測試部單元 的種類來交換測試用托盤所具有的電子元件收納元件，以 在該測試部單元具有的插槽上裝載電子元件（第2發明 在上述發明(第2發明）中，可根據所使用的測試部單元 •❹類自動進行上述測試用托盤的電子元 換（第3發明）。 1干的交 在上述發明（第3發明）中，可讀取所使用的測試部單元 的資訊，並根據所讀取的資訊種類自動進行 盤的電子元件收納元件的交換（第4發明）。 D用托 在上述發明（第2發明）中，上述測試用托盤包括 及釋放電子元件收納元件的可動元 寺 裝置包括用來驅動上、fn 上述電子元件運搬 用來驅動上述可動元件的裝置(第5發明）。 在上述發明（第5發明）中， )中上述可動元件為鉤狀元件，

2192-9013-PF 7 1359102 在上述電子元件收納元件上 合的嚙合部（第6發明）。 形成上述鉤狀可動元件可嚙 在上述發明（第2發明）中，在上述雷早_ ^ ^ 你工述€子兀件收納元件 上’形成複數個在Ζ轴方向站立的突條部 儿π大偷。卩，在上述突條部切 出的凹口部可收納電子元件（第7發明）。 在上述發明（第7發明）中，在上述突條部上存在有在 X轴方向延伸的複數個突條部和在γ軸方向延伸的複數個突 條部（第8發明）。

又，在上述發明（第7發明）中’上述突條部從平面視角 看略呈L形，從上述電子元件收納元件的其中一角朝向其對 角逐漸變大，以既定間隔排列成複數個，上述凹口部形成 於上述其中一角和對角的位置上（第9發明）。 在上述發明（第8發明）中，上述凹口部形成於上述電子 兀件收納元件的約略中央部位，在上述义軸方向延伸的突條 部及在上述Υ軸方向延伸的突條部位於上述凹口部的周圍 (第10發明）。 在上述發明（第7發明）中，在上述電子元件運搬裝置所 具有的推送件的電子元件按壓部分上，設置複數個可插入 上述電子元件收納元件中的上述複數個突條部之間的凸 部，並在上述複數個凸部之間形成可插入上述電子元件收 納元件之突條部的凹部（第1 1發明）。 在上述發明（第11發明）中，上述推送件的凸部的形成 方式為，上述凹口部不和在複數種電子元件收納元件之中 最小的電子元件收納元件中的上述突條部產生干涉（第i 2

2192-9013-PF 8 1359102 發明）。 在上述發明（第11發明，在上述推送件的凸部存 在設置於上述電子元件按壓部分之其中一角且在平面視| 略呈矩形的凸部和從上述電子元件按壓部分之其十一角朝 向其對角逐件變大、以既定間隔形成複數個且在平面視角 略呈L形的凸部（第13發明），上述推送件的凸部以上述電子 元件按遷部分的約略中央部位為中心，在冰方向及y轴方 向延伸（第14發明）。 在上述發明（第1發明）中，上述電子元件運搬裝置將電 子兀件從供給用托盤移送至測試用托盤’其可根據所使用 的測試部單元的種類，在將電子 #盯电卞兀件從供給用托盤移送至 測試用托盤的過程中，變更電子元件的配置(第15發明卜 在上述發明（第15發明）中，上述電子元件運搬裝置具 可支持供給用托盤所收納的電子元件並將其移送至測試 用托盤的移送裝置，上述一洋驻里 __ 江送裝置包括可變更所支持之電 子元件之配置的功能（第丨6發明）。 在上述發明（第16發明）中，上述移送裝置包括可變更 2支持之電子几件之平面方向之面對方向的功能（第1 7發 明）〇 在上述發明（第1 5發明）中， 中上述電子元件運搬裝置可 在將電子元件從供給用托殽 .^ 托盤移运至測試用托盤的期間，暫 時載置電子元件，上述載置 Μ > 戰罝。卩包括可變更所載置之電子元 件之尚度及/或平面方向之面 气面對方向的功能（第18發明）。 在上述發明（第18發明、 )中’上述載置部可包括變更所

2192-9013-PF 9 1359102 支持之電子元件的間距及平而 方向的面對方向的功能（第 19發明）。 、乐 -在上述發明（第18發明）中，可根據所使用的測試部單 兀的種類’自動進仃上述電子元件的配置的變更（第 明）。 在上述發明（第20發明）巾，可讀取所使用的測試部單 元的資訊，並根據所讀取的資訊自動進行上述電子元件的 配置的變更（第21發明）。 第二，本發明提供一種測試用托盤，其可收納複數個 電子元件，在電子元件運搬裝置中將其搬送至測試部，其 特徵在於：上述測試用托盤包括電子元件收納元件及以^ 裝卸的方式支持上述電子元件收納元件的支持體，在上述 支持體上，設有可支持及釋放上述電子元件收納元件的可 動元件（第22發明）。 根據上述發明（第22發明）的說明，可根據所使用的測 試部單元的種類（插槽之大小、配置或個數）來提供電子元 件收納元件，適當選取的電子元件收納元件藉由可動元件 讓支持體來支持，藉此，可支援複數種測試部單元。 在上述發明（第22發明）中，上述可動元件為為鉤狀元 件，在上述電子元件收納元件上，形成上述鉤狀可動元件 可嚙合的嚙合部（第23發明）。 在上述發明（第22發明）中，在上述電子元件收納元件 上，形成複數個在Z軸方向站立的突條部，在上述突條部士刀 出的凹口部可收納電子元件（第24發明）。 2192-9013-PF 10 1359102 在上述發明（第24發明）中，在上述突條部上，存在有 在X轴方向延伸的複數個突條部和在γ軸方向延伸的複數個 突條部（第25發明）。 在上述發明（第24發明）中，上述突條部從平面視角看 略呈L形，從上述電子元件收納元件的其中一角朝向其對角 逐漸變大，以既定間隔排列成複數個，上述凹口部形成於 上述其中一角和對角的位置上（第26發明）。 在上述發明U 25發明）中，上述凹口部形成於上述電 子元件收納元件的約略中央部位，在上述义軸方向延伸的突 條部及在上述Υ軸方向延㈣突條部位於上ι^口部的周 圍（第27發明）。

第三，本發明提供一種推送件，其形成在ζ轴方向站立 的突條部，對應包括可在上述突條部切出之凹口部收納電 子元件之電子元件收納部的測試用托盤，並使用於電子元 件運搬裝置，其特徵在於：在上述推送件的電子元件按壓 部分上，Μ複數個可插人上述電子元件收納㈣中的上 述複數個突條部之間的凸部 成可插入上述電子元件收納 明）。 ’並在上述複數個凸部之間形 元件之突條部的凹部（第2 8發 在上述發明（第2 8發明、φ，μ、+-仏」 %明）中，上述推送件的凸部的形成 方式為，上述凹口部不知Λ 丨+和在複數種電子元件收納元件之中 最小的電子元件收納元体φ & μ、+、 午中的上述大條部產生干涉（第29 發明）。 在上述發明（第28發明"ιφ，+ L丄

發明）中，在上述推送件的凸部，存 2192-9013-PF 11 1359102 在设置於上述電子元件按壓部分之其中在平面視角 略呈矩形的凸部和從上述電子元件按壓部分之其中一角朝 向其對角逐件變大、以既定間隔形成複數個且在平面視角 略呈L形的凸部(第30發明），上述推送件的凸部以上述電子 …牛按壓部分的約略中央部位為中心，在χ軸方向及γ轴方 向延伸（第31發明）。 、第四’本發明提供—種電子元件運搬裝置之運用方 、、該電子70件運搬衰置可將收納了複數個電子元件之測 4用托盤搬送至設置於測試頭上之測試部單元所具有的複 數個插槽的位置’其特徵在於：根據從插槽之大小、配置 及個數中之至少其中-種不@、外形為約略相同大小的複 ^個測試部單元巾料料以測試料元，在該測試部 單兀所具有的插槽上裝載電子元件，α交換測試用托盤所 具有的電子元件收納元件（第32發明）。 在上述發明（第32發明）中，可根據所使用的測試部單 元自動進行上述測試用托盤的電子元件收納元件的交換 (第33發明）。 乂供 第五，本發明提供一種電子元件運搬裝置之運用方 法，該電子元件運搬裝置可將電子元件從供給用托盤移送 至測試用托盤，並將收納了複數個電子元件的測試用托盤 搬送至设置於測試頭上之測試部單元所具有的複數個插槽 的位置，其特徵在於：根據從插槽之大小、配置及個數^ 之至""其巾帛不同、外形為約略相同大小的複數個測試 部單元中所選用的既定測試部單元，於將電子元件從供給

2192-9013-PF 12 1359102 變更電子元件的配置 用托盤移送至測試用托盤的過程中 (第34發明）。 在上述發明(第34發明）中’可根據所使用的既定測試 部早π自動進行上述電子元件的配置的變更（第35發 【發明效果】 根據本發明之電子元件運搬裝置、測試用托盤或推送 件的說明，可在同一電子元件運搬裝置上支援插槽之大 小、配置或個數不同的複數個測試部單元。 【實施方式】 以下根據圖面詳細說明本發明的實施型態。 第1圓為包含本發明其中一實施型態之電子元件運搬 裝置（以下稱為「運搬器」）的1C元件測試裝置的整體側視 圖，第2圖為同-實施型態之運搬器的立體圖，第3圖為同 , 二、之運搬器的測5式推送件内的重要部位剖面圖。 首先，說明包括本發明實施型態之運搬器的IC元件測 試裝置的整體構造。 如第1圖所示，I c元件測試裝置1 〇具有運搬器J、測試 頭5、測試用主裝置6。運搬器J將待測試的ic元件（電子元 件之其中一例）依次搬送至設置於測試頭5的插槽上，然後 根據測試結果分類測試結束的1C元件，進行將其放置在既 定托盤的動作。 設置於測試頭5的插槽透過纜線7和測試用主裝置6作 電子連接’以可裝卸的方式安裝至插槽的Ic元件透過纜線7

2192-9013-PF 13 連接至測試用主裝置6， 電子訊號來進行測試。 在運搬器1的下部，主要内建用來控制運搬器i的控制 裝置’在其中一部分則設置空間部分8。此空間部分8以可 自由更換的狀態配置於測試頭5，可貫通形成於運搬器Μ 貫通孔將1C元件裝在測試頭5上的插槽。

此運搬器1為用來在比常溫高的溫度狀態（高溫）或比 常溫低的溫度狀態（低溫）下測試作為待測試之電子元件的 IC元件的袭置°另外，運搬器1如第2圖所示，具有由怪溫 槽ιοί、測試室102及除熱槽103所構成的工作室1〇〇。測= 頭5的上部（測試部單元50)如第3圖所示，插入測試室丨〇2 的内部，因此，得以進行IC元件2的測試。 如第2圖所示，本實施型態之運搬器丨由儲存之後進行 这些測試的1C元件然後分類並儲存測試後之IC元件的“儲 存部200、將從1C儲存部200送來之被測試IC元件送進工作

藉由來自測試用主裝置6的測試用 至β 1 〇 〇的載入部3 〇 〇、包含測試頭的工作室部1 〇 〇、取出並 分類在工作室1〇〇進行測試之後的測試後IC元件的釋出部 400所構成。 w 多數放置於運搬器1上之前的1C元件收納於未圖示出 來的客戶托盤内，在此狀態下，其被供給至第2圖所示的運 搬器1的IC收納部2 0 0。IC元件在此從客戶托盤改成放在後 面將會敘述、進行運搬器丨内的搬送時所使用的測試托盤 500(參照第7圖在運搬器1的内部，如第3圖所示，1(：元 件在放置於測試托盤5〇〇上的狀態下移動，被賦予高溫或低

2192-9013-PF 14 1359102 止的測試托盤500。 從客戶托盤將被測試1C元件置放於測試托盤5〇〇的χγ 搬送裝置304如第2圖所示，包括架設於裝置基板1〇5上部的 2條執道30卜可藉由此2條軌道3〇1在測試托盤5〇〇和客戶托 盤之間往返（將此方向設為γ軸方向）的可動臂3〇2、受到此 可動臂302支持且可沿著可動臂3〇2在χ軸方向移動的可動 頭 303。 在此Χ-Υ搬送裝置304的可動頭303上，朝下裝載了複數 個（在第5圖中為4個）吸附頭313，此吸附頭313從客戶托盤 受到吸附被測試1C元件2，將該被測試IC元件2收納於測試 托盤500 » 在本實施型態之運搬器1中，插槽4〇之平面方向之面對 方向不同的測試部單元50(例如測試部單元5〇a，5〇b，5〇d 及測試部單元50c)能得到支援，如第5(a)圖至第5(b)圖所 示，X-Y搬送裝置304的可動頭303可旋轉。換言之，各吸附 頭313如第5 (a)圖所示，吸附被測試IC元件2,在此狀態下， 如第5(b)圖所示，旋轉90度，將旋轉之後的被測試“元件2 收納於測試托盤5〇〇。如此，χ — γ搬送裝置3〇4可使Ic元件2 之平面方向之面對方向作9〇度的變化，所以，運搬器】可支 援測試部單元5〇a，50b，50d及測試部單元50c中任何一者。 關於上述可動頭303的旋轉，所使用的測試部單元5〇 的-貝讯宜由運搬器1讀取，根據所讀取的資訊來自動進行。

此外’在上述實施型態中，為χ — γ搬送裝置3〇4的可動 頭303可旋轉的構造，不過，也可不採用該構造，而採用設 2192-9013-PF 17 1359102 由該Χ-Υ搬送裝置404，404 ’從被運送至釋放部4〇0的測試 托盤500將測試後的1C元件2改成置放在客戶托盤。 本實施型態中之測試托盤500如第7圖所示，在構造上 ' 包括複數個載具51 6和以自由組裝的方式支持載具的框架 510 ° - 如第7圖及第8圖所示，載具516包括複數個（在第7圖中 • 為4個）載具核心518(相當於本發明之電子元件收納元件） 和以自由組裝的方式支持載具核心518的載具體517(和框 架510合起來相當於本發明之支持體）。複數個載具核心518 對應測5式部早元5 0的插槽4 0的位置，配置於載且體5 1 7上。 例如，在第7圖所示的範例中，載具核心518配置成2行χ2 列的型態。 載具體517為與載具核心51 8對應的位置所開口的框架 形狀’包括延伸至下方且可旋轉的鉤子517a。 在載具核心518上，如第8圖所示’形成嚙合部5i8a(在 第7圖中省略）。載具體517的鉤子517a鳴合至載具核心518 的嚙合部518a，藉此’載具核心518受到載具體51 7的支持。 另外，鉤子517a可旋轉，鉤子517a和嚙合部518a的响合分 離，藉此，載具核心518從載具體517分離，可和其他的載 具核心518交換。 在各載具核心518上’形成與被測試IC元件2之形狀對 應的元件收納部51 9，被測試1C元件2嵌合至此元件收納部 519而被收納。此外’關於與載具核心518的推送件3〇之間 的關係的構造，後面將會敘述。 2192-9013-PF 19 1359102 如第7圖所示，載具核心518方面，根據測試部單元5 〇 的種類（插槽40之大小、配置及個數）而提供了複數種，配 合插槽之大小、配置及個數而作出適當選擇，安裝於載具 體517上。各載具核心518的元件收納部519在載具核心 中形成於與插槽40之位置對應的位置。例如，在第7圖所示 的範例中，各載具核心518中的各元件收納部519形成靠近 載具核心518的中央部位。 載具體517的鉤子517a可藉由設置於運搬器2上的驅動 裝置（未圖示出來）自動旋轉。又，運搬器1可收納複數種載 具核心518，自動選擇與被測試IC元件2之種類對應的載具 核心518，將其搬送至載具體517的下方。藉此，可將所要 的載具核心518自動安裝至載具體51 7以及測試托盤5〇〇,於 是可在一台運搬器1上支援複數種測試部單元5〇。 關於上述載具核心518的交換，所使用的測試部單元5 〇 的資訊宜由運搬器1讀取，根據所讀取的資訊自動進行。 此外，在上述的範例中，插槽板51上的插槽4 〇的數目 為4個，不過’當插槽板51上的插槽40的數目為6個時，可 提供支持6個載具核心518的載具51 6，使該載具51 6支持測 試托盤500的框架510。測試托盤500中的載具516的交換亦 可由運搬器1自動進行。 根據上述測試托盤5 0 0的說明，根據所使用的測試部單 元5 0的種類（插槽4 0之大小、配置或個數）提供載具核心 518，使適當選擇後的載具核心518以自由組裝的方式支持 載具體51 7 (測試托盤5 0 0 )，藉此，可支援複數個種測試部 2192-9013-PF 20 1359102 單元50。 另一方面，推送件3 〇設置於測試部單元5 〇的上方，如 第3圖及第7圖所示，受到配對板6〇的支持。此配對板6〇位 於測試部單元50的上方，以可在推送件3〇和插槽4〇之間插 入測試托盤500的方式受到Z軸驅動裝置7〇的支持，受到該 配對板60支持的推送件3〇藉由z軸驅動裝置7〇的驅動在2軸 .方向自由移動’藉此，裝載於測試托盤500上的IC元件2可 受到插槽40的推擠。 别述之載具核心518如第9圖所示’形成複數個在z軸方 向站立的突條部521，複數個突條部52 1之間形成凹溝52〇。 本實施型態之各突條部521由在X軸方向延伸的突條部 和在Y軸方向延伸的突條部組成，在平面視角呈L形。L形的 突條部521從載具核心518的其中一角朝向其對角（在此將 其稱為「對角部」）逐漸變大’以既定間隔排列成複數個， 藉由该對角部在突條部5 21上切出凹口。此凹口部為前述的 φ 元件收納部519，在此被測試ic元件2被收納。被放入元件 收納部519的1C元件2藉由和具有凹口的突條部521的端部 接觸來決定位置。此外，如第U圖所示，具有凹口的突條 部521的端部的上部為斜切狀態，以使IC元件2容易放入元 件收納部51 9。 在上述載具核心518中，如第12(a)圖至第12(c)圖所 示’藉由改變突條部521的凹口量，可支援大小、高度或平 面方向之面對方向不同的插槽4〇。換言之，上述載具核心 51 8 —開始製作成沒有突條部之凹口的構造，隨著插槽4 〇

2192-9013-PF 21 1359102 之大小、尚度或平面方向之面對方向而在突條部上產生既 定量的凹口，藉此，可輕易製造出支援各種插槽40的載具 核心518。 本實施型態之推送件3〇對應插槽的數目，包括如第 10圖所示的推送件方塊30a。在此推送件方塊30a中底面 邛為按壓上述載具核心518的元件收納部5丨9所收納的被測 試IC元件2的按壓部分。 在推送件方塊30a的元件按壓部分，設置複數個可插入 載具核心51 8之複數個凹溝520的凸部31卜在這複數個凸部 311之間，形成可插入載具核心518之複數個突條部521的凹 部310。本實施型態之推送件方塊3〇a的凸部31丨及凹部31〇 與載具核心518的凹溝5 2 0及突條部5 21的形狀對應，在平面 視角上略呈L形。 推送件方塊30a的凸部311在構造上不和複數種載具核 心518中突條部521之凹口部（元件收納部519)最小的載具 核心518中的突條部5 21產生干涉。以此方式形成的推送件 方塊30a的凸部311也不會和突條部521之凹口部較大的載 具核心518的突條部5 21產生干涉，所以，可藉由一種推送 件方塊30a支援複數種載具核心518。 當使推送件方塊30a接近載具核心518的元件收納部 51 9所收納的IC元件2時，如第11圖及第12圖所示，推送件 方塊30a的凸部311插入載具核心518的凹溝520，又，載具 核心51 8的突條部5 21插入推送件方塊3 0 a的凹部31 0。與此 同時，推送件方塊30a的凸部311插入載具核心518的凹口部 2192-9013-PF 22 !3591〇2 (元件收納部51 9)，藉由推送件方塊3 〇 a的凸部311的插入部 分，1C元件2被按壓，受到插槽4〇推擠。 如第11(a)圖、第11(b)圖及第I2(a)圖至第12(C)圖所 示即使載具核心518的種類’亦即，插槽之大小、配置 或平面方向之面對方向改變，也可以在不變更推送件方塊 3 Oa(推送件30)的情況下’如上所述，按壓ic元件2。 此外，當插槽板51上的插槽40的數目改變時（例如從4 個變成6個）’亦可包括數目（例如6個）對應插槽4〇之數目之 推送件方塊3Oa的推送件30 ’來交換配對板6〇。 如上所述’根據本實施型態之運搬器1及測試托盤5〇〇 的說明，可在同一運搬器丨上支援插槽4〇之大小、配置或個 數不同的複數種測試部單元5〇。 以上說明的實施型態是為容易理解本發明而記載，而 非限定本發明之記載。所以，上述實施型態所揭示的各要 素亦包含屬於本發明之技術範_的所有設計變更、同等物 等。 在第13圖及第14圖中，表示了載具核心518及推送件方 塊3〇a的其他範例。如第13圖所示，在載具核心“^上，形 成了在Z軸方向站立而在X軸方向延伸的突條部521χ和在γ 軸方向延伸的突條部521Υ ^突條部52ΐχ及突條部521γ在載 具核心51 8的約略中央部位產生凹口，該凹口部為元件收納 部519。換言之，突條部521义及突條部521丫位於凹口部（元 件收納部51 9 )的周圍。 在上述載具核心518Α中，如第13(a)圖、第i3(b)圖及 2192-90 13-pf 23 1359102 苐14(a)圖、第14(b)圖所示，可藉由改變突條部52ιχ，52ιγ 的凹里支援大小、尚度或平面方向之面對方向不同的 插槽40。 另一方面，如第14圖所示，在推送件方塊⑽八的底面部 (元件按壓部分），以該元件按壓部分的約略中央部位為令 〜，形成在X軸方向及γ轴方向延伸的凸部311Α。此凸部“Μ 在構造上不和複數種載具核心518Α中突條部52ιχ，52ιγ之 凹口部（元件收納部5! 9)最小的載具核心5! 8 Α的突條部 521Χ，521Υ產生干涉。以此方式形成的推送件方塊_的& 部311Α也不會和突條部521χ，521¥產生干涉，所以，可藉 由一種推送件方塊3 〇 Α支援複數種載具核心5丨8 Α。 曰 【產業上可利性】 本發明可針對複數種測試部單元來有效率地使用電子 元件運搬裝置。

【圖式簡單說明】 第1圖為包含本發明其中一實施型態之運搬器的1C元 件測試裝置的整體側視圖。 第2圖為同一實施型態之運搬器的立體圖。 第3圖為同一實施型態之運搬器的測試推送件内的重 第4 U)〜⑷圖為插槽之大小、配置及個數不同的 複數個測試部單元的平面圖。 第5(a)、（b)圖為底面圖，表示同一實 4 π袍型態之運搬器

2192-9013-PF 24 1359102 中的χ-γ搬送裝置的可動頭的其中一例。 第6(a)、（b)圖為平面圖，表示同一實施型態之運搬器 中的定位器的其中一例。 -第7圖為同一實施型態之運搬器所使用的測試托盤的 立體圖。 •第8圖為同一實施型態之運搬器所使用的測試托盤的 •載置器的剖面圖（第7圖中的A-A剖面圖）。 第9圖為同一實施型態之運搬器所使用的測試托盤的 載置核心的立體圖。 第10圖為同一實施型態之運搬器中的推送件方塊的立 體圖。 第11(a)、（b)圖為同一實施型態之運搬器中的推送件 方塊及測S式托盤的載置核心的剖面圖。 第12(aMc)圖為同一實施型態之運搬器中的測試托 盤的載置核心及推送件方塊的平面圖。 丨第13(a)、（b)圖為表示載置核心之其他例的立體圖。 第14(a)、（b)圖為其他例之載置核心及推送件方塊的 平面圖。 【主要元件符號說明】 1運搬器（電子元件運搬裝置） 2 1C元件（電子元件） 5測試頭 6測試用主裝置

2192-9013-PF 25 1359102 7纜線 8空間部分 10 1C元件（電子元件）測試裝置 30推送件 30a推送件方塊 30A推送件方塊 40，40a，40b, 40c，40d 插槽 50，50a，50b，50c，50d 測試部單元 51插槽板 52性能板 6 0配對板 70 Z軸驅動裝置 100工作室 1 01恆溫槽 10 2測試室 103除熱槽 105裝置基板 108搬送裝置 200 1C儲存部 2 0 1測試前IC小盒 2 0 2測試後IC小盒 203托盤支持框 204升降器 205托盤移送臂 26

2192-9013-PF / 1359102 300載入部 301軌道 302可動臂 - 303可動頭 • 304 X-Y搬送裝置（移送裝置） • - 305定位器（載置部） - 306窗部 307，407吸附片（支持部） • 31 0凹部 311凸部 311A凸部 313吸附頭 315可動部 325元件收納部 400釋出部 403可動頭 ® 404搬送裝置 406窗部 500測試托盤 51 0框架 516載具 517載具體 517a鉤子 518，518A載具核心（電子元件收納元件） 27

2192-9013-PF 1359102 518 a喃合部 519元件收納部 520凹溝 521, 521X, 521Y TST測試托盤 突條部

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Claims (1)

1359102 100年7月29曰修正替換頁 ·· 第 096125981 號 十、申請專利範圍： 1. 一種電子元件運搬裝置，可將收納了複數個電子元 件之測試用托盤搬送至設置於測試頭上之測試部單元所具 有的複數個插槽的位置， 其中，藉由使插槽之大小、配置及個數中之至少其中 一種不同的複數個測試部單元的外形為約略相同的大小， 使其可配合上述複數個測試部單元中的任何一者來使用， 其中，可根據所使用的測試部單元的種類來交換測試 鲁ffl托盤所具有的電子元件收納元件，以在該測試部單元具 有的插槽上裝載電子元件， 其中，上述測試用托盤包括可支持及釋放電子元件收 納元件的可動元件， 上述電子元件運搬裝置包括用來驅動上述可動元 裝置。 2. 如申請專利範圍第丨項之電子元件運搬裝置，其中， 可根據所使用的測試部單元的種類自動進行上述測試用托 盤的電子元件收納元件的交換。 3. 如申請專利範圍第2項之電子元件運搬裝置，其中， 可讀取所使用的測試部單元的資訊，並根據所讀取的資訊 自動進行上述測試用托盤的電子元件收納元件的交換。 4. 如申喷專利乾圍第丨項之電子元件運搬裝置，其中， 上述可動元件為㈣元件’在上述電子元件收納元件上， 形成上述釣狀可動元件可唾合的唾合部。 5’如申请專利範圍第1項之電子元件運搬裝置，其中， 2I92-90I3-PFJ 29 135-9102 · 第 096125981 號 100年7月29曰修正替換頁 在上述電子元件收納元件上，形成複數個在之軸方向站立的 突條部’在上述突條部切出的凹口部可收納電子元件。 6. 如申請專利範圍第5項之電子元件運搬裝置其中， 在上述突條部上，存在有在X轴方向延伸的複數個突條部和 在Y轴方向延伸的複數個突條部。 7. 如申請專利範圍第5項之電子元件運搬裝置，其中， 上述突條部從平面視角看略呈L形，從上述電子元件收納元 件的其中-角朝向其對角逐漸變大，以既定間隔排列成複 數個’上述凹口部形成於上述其中一角和對角的位置上β 」·如申請專利範圍第6項之電子元件運搬裝置，其中， 上述凹口部形成於上述電子元件收納元件的約略中央部 位’在上述X軸方向延伸的突條部及在上述γ軸方向延伸的 突條部位於上述凹口部的周圍。 9·如申請專利範圍第5項之電子元件運搬裝置，其甲， 在上述電子元件運搬裝置所具有的推送件的電子元件按壓 部分上’設置複數個可插入上述電子元件收納元件中的上 述複數個突條部之間的凸部，並在上述複數個凸部之間形 成可插入上述電子元件收納元件之突條部的凹部。 10.如申吻專利範圍第9項之電子元件運搬裝置，其 中上述推达件的凸部的形成方式為，上述凹口部不和在 複數種電子元件收纳开生 '' 牛之中最小的電子元件收納元件中 的上述突條部產生干涉。 .如申°月專利範圍第9項之電子元件運搬裝置，其 中在上述推达件的凸部，存在設置於上述電子元件按壓 2192-9013-PF1 30 1359102 100年7月29曰修正替換頁 - 第 096125981號 部分之其中一角且在平面視角略呈矩形的凸部和從上述電 子元件按壓部分之其中一角朝向其對角逐件變大、以既定 間隔形成複數個且在平面視角略呈L形的凸部。 12.如申*月專利範圍第9項之電子元件運搬裝置，其 中上述推送件的凸部以上述電子元件按壓部分的約略中 央部位為中心，在X軸方向及Y軸方向延伸。 13 ·如申吻專利範圍第丨項之電子元件運搬裝置，其 中，^述電子元件運搬裝置將電子元件從供給用托盤移^ 至式用托盤’其可根據所使用的測試部單元的種類，在 將電子it件從供給用托盤移送至測試用托盤的過程中變 更電子元件的配置。 4·如申巧專利範圍第13項之電子元件運搬裝置，其 中’上述電子元件運搬裝置具有可支持供給用托盤所收納 的電子it件並將其移送至測試用托盤的移送裝置，上述一 达裝置包括可變更所支持之電子元件之配置的功能。

15.如申請專利範圍第14項之電子元件運搬裝置，其 中，上述移送裝置包括可變更所支持之電子㈣之平面^ 向之面對方向的功能。 6·如申請專利範圍第13項之電子元件運搬裝置，並 述電子元件運搬裝置具有可在將電子元件從供給用 托盤移送至測試用托盤的_，暫時載置電子元件的載置 部。上述載置部包括變 文又呵又符之電子凡件之配置的功能。 .申°月專利乾圍第16項之電子元件運搬裝置，其 ’上述载置部包括可變更所裁置之電子元件之高度及/ 2J92-9013-PF1 135-9102 100年7月29曰修正替換頁 .. 第 096125981 號 或平面方向之面對方向的功能。 8. 如U利範圍第13項之電子元件運搬裝置，其 中，可根據所使用的測試部單元的種類，自動進行上述電 子元件的配置的變更。 9. 如申吻專利範圍第18項之電子元件運搬裝置，其 :’可讀取所使用的測試部單元的資m，並根據所讀取的 貧訊自動進行上述電子元件的配置的變更。 20. —種測試用托盤，可收納複數個 元件運搬裝置中將其搬送至測試部， 在電子 其特徵在於： 上述測試用托盤包括： 電子元件收納元件；及 支持體，以可裝卸的方式支持上述電子it件收納元件； 在上述支持體上，設有可支持及釋放上述電子元件收 納元件的可動元件。 21. 如申凊專利範圍第2〇項之測試用托盤，其中，上述 可動凡件為為鉤狀元件，在上述電子元件收納元件上，形 成上述鉤狀可動元件可嚙合的嚙合部。 22. 如申請專利範圍第2〇項之測試用托盤，其中，在上 =電子元件收納元件上，形成複數個在ζ軸方向站立的突條 邛，在上述突條部切出的凹口部可收納電子元件。 23. 如申請專利範圍第22項之測試用托盤，其中，在上 述大條部上，存在有在χ軸方向延伸的複數個突條部和在Υ 軸方向延伸的複數個突條部。 2192-9013-PF] 32 1359102 100年7月29曰修正替換頁 .· 第 096125981 號 24. 如申請專利範圍第22項之測試用托盤，其中，上述 突條部從平面視角看略呈L形，從上述電子元件收納元件= 其中一角朝向其對角逐漸變大，以既定間隔排列成複數 個，上述凹口部形成於上述其中一角和對角的位置上。 25. 如申請專利範圍第23項之測試用托盤，其中，上述 凹口部形成於上述電子元件收納元件的約略中央部位，在 上述X轴方向廷伸的突條部及在上述Y軸方向延伸的突條部 位於上述凹口部的周圍。

2192-9013-PF1 33 325 1359102 . 第096125981號 100年7月29日修正替換頁

(b)

315 305 a \/ 325

- 315 305 a 第6圖