TW200809359A - Method for manufacturing electro-optical device and electro-optical device - Google Patents

Description

200809359 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於倒如液晶裝置等之光電裝置之製造方法及 光電裝置 _ . 【先前技術】 以往，在筆記型個人電腦或手機、電子帳薄等電子機器 中’廣泛利用液晶裝置作為顯示圖像貧訊之裝置。在此種 液晶裝置中，裝入彩色濾光.器基板（對向基板），以施行彩 ® 色顯示。此彩色濾光器基板例如係在透明玻璃等構成之基 板上具有以特定圖案對應於晝素排列之R(紅）、G(綠）、 B(藍）之3色著色層，在著色層上形成驅動液晶層之透明電 極及施行構成液晶層之液晶分子之定向之定向膜。 在此種彩色濾光器基板中，光入射於透明電極時，在透 明電極之入射面及出射面中會發生反射。而，在入射光與 在出射面及入射面反射之反射光之間會發生干涉。在此， _ 由於形成在3色著色層之各上面之透明電極之層厚相同， 故入射於透明電極之光中，紅色光成分、綠色光成分及藍 色光成分之穿透率各異。因此，會因顯示之色光成分而發 ， 生亮度之偏差。 . 因此，有人提出依照對應而設置之著色層顯示之色光成 分變更透明電極之層厚之液晶裝置（例如參照專利文獻1}。 在此液晶裝置中，透明電極之層厚設定為使層内之透過 光與反射光相干涉而可互相增強之值。藉由如此依照晝素 所顯示之各色調整透明電極之層厚，可抑制各晝素所顯示 121017.doc 200809359 之色光成分引起之亮度偏差。 [專利文獻1]曰本特開平7_5618〇號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題]

但在上述以往之液晶裝置中，亦留下以下之問題。即， 在上述以往之液晶裝置中，形成因3色之各色而異之層厚 之透明電極時’例如需重複施行透明電極材料之成膜、餘 刻。因此，與透明電極之層厚在各色都相同之情形相比， 有透明電極之形成步驟複雜化之問題。在此，近年來，為 獲知更咼色重現性，有利用在上述R、G、B之3色以外再 加上C(青）之4色施行顯示之情形。在此情形，會有形成因 各色而異之層厚之透明電極之步驟更複雜化之問題。 日本發明係鑑於上述以往之問題所研發而成，其目的在於 提i、可谷易形成層厚因顯示之各色而異之透明電極之光電 裝置之製造方法及光電裝置。 [解決問題之技術手段] 本發明為解決前述問題，採用以下之構成。即，本發明 之：電裝置之製造方法之特徵在於：其係具備使光電層介 在及第2電極間，具有對應於配置成平面狀之複數：素 而設置之複數著色層之彩色濾光器層之光電裝置之製造方 法’包含：隔牆形成步驟，i # 查 八係在基板上形成對應於前述 里案而劃分該基板表面 Μ Μ回，及弟1電極形成步驟，盆 ''在則述隔牆所劃分之區域分別 電 成前述第1電極.Η兮笛/攻材枓液而形 電極，且该弟1電極形成步驟中，依照透過對庫 121017.doc 200809359 設定前述第1電極之層 而設置之前述著色層之色光成分而 厚者。 又，本發明之光電裝置係使光電層介在第i及第2電極 間’包含具有對應於配置成平面狀之複數晝素而設置之複 數著色層之彩色濾光器層之光電裝置，其特徵在於：具有 形成=基板上而劃分該基板表面之隔牆；且前述第1電極 之層厚係依照透過對應而設置之前述著色層之光之

而設定者。 / 、▼ 在本發明中’可藉變更對隔牆所劃分之區域内之電極形 成材料液之塗佈量，而容易調整第丨電極之層厚。因此^ 可容易形成層厚因顯示之各色而異之第i電極。 即，在基板上形成隔牆而劃分畫素區域後，在各晝素區 域塗佈電極形成材料液’利用使其乾燥而析出之電極形成 材料形成第!電極。在此’將第i電極之層#設定為對岸於 分別對應而設置之著色層之透過光之波長帶之值時，即可 對透過著色層之波長帶之光抑制在第！電極内之光損耗。 例如’利用對入射於第】電極之光中透過著色層之波長帶 之光，在第1電極内使由第}電極之入射面射向出射面之穿 透光與在出射面與入射面反射而射向出射面之反射光互相 增強之方式，設定各第i電極之層厚時，可降低對透過著 色層之波長帶之光之第1電極内之光損耗。藉A，可抑制 各晝素之亮度偏差。 整 由以上，可容易藉由變更電極形成材料液之塗佈量而調 第！電極之層厚。因此，可容易製造抑制各晝素之亮度 12I017.doc 200809359 偏差之光電裝置。 又，在本發明之光電裝置之製造方法中 具有導電性，經由1_ 敢好則述隔g 、二由该隔牆而使前述第〗電極互相導 又’在本發明之光電裝置中，最右 性，經由該隔牆而使前述第!電極互相導通。、有導電 在本發明φ，、 各第】電極二相=_而使第1電極互相導通時，可使 又，本發明之光電^ ’谷易施打第1電極之電壓控制。 形成步驟中，利m置之製造方^最好在前述第1電極 者。 攻滴贺出法塗佈前述電極形成材料液 本I月中，可利用液滴喷出法選擇性地彤成箆 梅。获品 1 1千’土吧形戚弟1電 化。 卩制電極形成材料液之浪費，可謀求低成本 又’最好本發明之先 牆形成步驟，其係在另一 乂 方法係包含：另-隔 分該另—基板表面之另與前述晝素對應而劃 係在前述另-隔脖二 及第2電極形成步驟，其 料液，使1乾焊二之區域分別塗佈另-電極形成材 步驟中，依照對應而設置之S’且在該第2電極形成 前述第2電極之層厚者。⑴“者色層之色光成分而設定 分另::述同樣地，可藉變更對另-隔牆所劃 第2電極之層厚。從：二成材料液之塗佈量，而容易調整 素之亮度偏差之光電裝置二精此容易製造進一步抑制各晝 121017.doc 200809359 、置之製造方法择太乂、+、Λ 極形成步驟中，利用液…别迹弟電 料液者。 师則述另一電極形成材 在本發明中，與上述同樣地，可 牙J用液滴出法；登 η 2电極。精此’可抑制另一電極形 費，可謀求低成本化。 订狀艮 又，本發明之光電裝置之製造方法也可包含

器層形成步驟’其係在前述第1電極形成步驟之前，：前 述隔牆所劃分之區域分別形成前述著色層者。 在本發明中，依照著色層、第丨電 电位之順序層疊於基板 上，將電壓施加至介在最上面之第】電極與第2電極之光電 層而施行圖像之顯示。 又，本發明之光電裝置之製造方法最好前述彩色渡光器 層形成步驟係包含絕緣層形成步驟，其係鄰接於前述著色 層而形成絕緣層；且在該絕緣層形成步驟中，依照透過對 應而設置之前述著色層之光之波長帶而設定前述絕緣層之 層厚者。 在本發明中，在著色層設置絕緣層時，即使各著色声之 層厚相異’也可藉由鄰接於者色層设置絕緣層，使著色芦 及絕緣層全體之層厚在各畫素區域中均勻化。在此，依照 著色層之透過光之波長帶設定絕緣層之層厚時，與上述同 樣地，進一步抑制各畫素之亮度之降低及顏色之偏差。 又，本發明之光電裝置之製造方法之前述光電層也可構 成液晶層；具有定向膜形成步驟’其係在前述第1電極之 121017.doc 200809359 上面形成定向膜者；且在該定向膜形成步驟中，依照透過 、皆£而。又置之岫述著色層之光之波長帶而設定前述定向膜 之膜厚者。 在本發明中，控制構成液晶裝置之液晶層之液晶分子之 ^向之定向膜之膜厚依照|色層之透過光之波長帶設定 日守，與上述同樣地，可進一步抑制各晝素之亮度偏差。 【實施方式】 以下，依據圖式說明本發明之光電裝置之製造方法及光 電袭置之一貝轭型悲。在此，圖丨係表示液晶裝置之平面 圖，圖2係圖1之A-A箭視剖面圖，圖3係圖2之部分放大 S圖4係液曰曰裝置之4效電路圖。又，在以下說明所使 用之各圖中，為使各構件呈現可辨識之大小，適宜地變更 各構件之縮尺。 本貝施型悲之液晶裝置（光電裝置）i係使用TFT(Thin Film Transistor:薄膜電晶體）作為畫素開關元件之tft方 式主動矩陣型液晶裝置。而，液晶裝置i如圖i至圖4所 示，係包含液晶面板2、及分別配置於液晶面板2之外面之 偏光板（省略圖示）。 液晶面板2如圖1至圖3所示，係包含TFT基板（另一基 板）11、與TFT基板11對向配置之對向基板（基板）12、貼附 TFT基板11及對向基板12之密封材料13、及封入TF丁基板 11及對向基板12所形成之胞隙内之液晶層（光電層）14。 而，液晶面板2如圖1及圖2所示，重疊有TFT基板u與對向 基板12，且具有形成於岔封材料丨3之内側之周邊遮光膜 121017.doc -10- 200809359 15,藉此周邊遮光膜15使密封區域之内側成為圖像顯示區 域16。又，在圖1中，省略對向基板12之圖示。 TFT基板11如圖1至圖3所示，係具有平面視矩形狀，例 如由玻璃或石英、塑膠等透光性材料所構成。而，τρ丁基 板11中，在與圖像顯示區域16重疊之區域，如圖2至圖4所 不，形成有晝素電極21及TFT元件22、複數資料線23及掃 描線24。又，在TFT基板u之内側表面，形成有隔牆& 更在TFT基板11之内側表面，形成有定向膜％。 々晝素電極21例如係由IT0(Indium Tin 〇xide :氧化銦錫） 等之透光性導電材料所構成，使分散有晝素電極形成材料 (電極形成材料）之玎0之微粒子之後述之晝素電極形成材 料液52滴下、乾燥所形成。又，畫素電極21係分別設置於 複數配置成平面狀之晝素區域之各區域。而，如圖2及圖3 所不，晝素電極21係經由液晶層14而與設於對向基板12之 後述對向電極（第1電極）43對向配置，在與對向電極43之間 夾持液晶層14。 又’畫素電極21之層厚如圖3所示，係依照透過後述之 彩色濾光器層42之著色層42R、42G、42B之透過光之波長 ▼而設定。即，晝素電極21中，對應於透過紅色光之後述 之著色層42R而設置之畫素電極21R之層厚、對應於透過 綠色光之後述之著色層42G而設置之畫素電極21G之層 厚、對應於透過藍色光之後述之著色層42B而設置之書素 電極2 1B之層厚相異。 在此’晝素電極21R係形成對紅色光之穿透率最大之層 121017.doc 200809359 厚，晝素電極21G係形成對綠色光之穿透率最大之層厚， 畫素電極21B係形成對藍色光之穿透率最大之層厚。例 如，在本實施型態中，紅色光之波長為63〇麵、綠色光之 波長為550麵、藍色光之波長為奶㈣，構成晝素電極21 … 之1™之折射率為h8時，晝素電極21R之層厚為175施、 .- '"素電極训之層厚為154 nm、晝素電極21B之層厚為129 nm ° • 依上述方式設定各晝素電極21R、21G、21B之層厚時， 例如在晝素電極21R中，入射於晝素電極21R之光中，對 透過著色層42R之光之紅色光成分，在晝素電極道内使 由晝素電極21R之入射面射向出射面之穿透光與在出射面 與入射面反射而射向出射面之反射光會互相增強。藉此， 可降低對晝素電極21R之紅色光成分之入射光與出射光之 強度比之光損耗。 TFT元件22例如由n型電晶體所構成，分別設於資料線 馨 23與掃描線24之交點。又，在1]?1基板上面局部地形 成非晶質多晶矽膜或使非晶質多晶矽膜結晶化之多晶石夕， 對此施行部分性的雜質之導入及活化所形成。而，tft元 -件22係將源極電極連接於資料線23，將閘極電極連接於掃 •- 描線24，將汲極電極連接於晝素電極2 1。又，為防止寫入 晝素電極2 1之圖像信號之洩漏，在畫素電極2〗與電容線u 之間連接保持電容28。 又’在TFT基板π之内側表面如圖2及圖3所示，在平面 視上形成有與TFT元件22、資料線23及掃描線24重疊且以 121017.doc -12- 200809359 包圍畫素電極21之周圍 25 〇 方式劃分TFT基板n之表 面之隔牆

參 丨尔艰成為與TFT元件“、 及掃描線24重疊且以包圍查 貝枓線23 A板η之^ / 極21之周圍方式劃分抓 基板η之表面。而，隔牆25例如仙如丙烯酸或聚 胺、裱氧等之有機材料所構成 ^ Λ 吓稱成，具有絕緣性。 資料線23如圖4所示，如Λ於/ 如係由如鋁等金屬所構成之布 線’开> 成向圖4所示之γ方6 方向延伸。又，掃描線24係與資料 線23同樣地，形成向圖4所示 一 叮不之Χ方向延伸。而，利用此等 >料線2 3及掃描線2 4劃分書素。 又，在TFT基板11中，如圄 如圖1所不，在一邊端部（圖1所示 之下邊)形成由對向基板12向外側伸出之伸出區域。 又，在TFT基板11上’沿著上述一邊設有資料線驅動電 路31，沿著與上述一邊鄰接之二邊設有掃描線驅動電路 32、33。而’在TFT基板！！之上述伸出區域，設有資料線 驅動電路3 1、掃描線驅動電路32、33之端子群之端子部 34。此等資料線驅動電路3丨、掃描線驅動電路32、％及端 子部34係適宜地被布線35所連接。 資料線驅動電路3 1係呈現依據被供應之信號，將如圖4 所示之圖像信號S1、S2、…供應至複數資料線23之構成。 在此，被資料線驅動電路3 1寫入資料線23之圖像信號既可 利用行順序供應’亦可依照各群組供應至互相鄰接之複數 資料線2 3之彼此。 又，掃描線驅動電路32、33係呈現依據被供應之信號 121017.doc -13 - 200809359 將如圖4所示之掃描信號G1、G2、…在特疋時間脈衝地供 應至複數掃描線24之構成。在此，被掃描線驅動電路、 33送至掃描線24之掃描信號係利用行順序被供鹿。 定向膜26係設於畫素電極21及隔牆25之表面，例如係在 聚醯亞胺膜等透光性之有機材料構成之膜上施以摩擦處理 等特定之定向處理所形成。 對向基板12如圖1及圖2所示，係與丁Ft基板^同樣地， 具有平面視矩形狀，例如由玻璃或石英、塑膠等透光性材 料所構成。而，在對向基板12中，在液晶層14側之表面， 形成有隔牆41、彩色濾光器層42與對向電極43。又，在對 向基板12之表面，形成有定向膜44。 隔牆4i與隔牆25同樣地，在平面視上，係形成為與了打 凡件22、貧料線23及掃描線24重疊且以包圍對向電極43之 周圍方式劃分對向基板12之表面。而，隔牆4丨例如係以具 有感光性且内部分散有碳微粒子之丙烯酸或聚醯亞胺、環 氧等之感光性有機材料所構成，透過分散碳微粒子而具有 導電性。在此，隔牆4 1之導電率係呈現與對向電極43相 等。因此，可充分確保經由隔牆41鄰接之對向電極仏間之 導通，可使各對向電極43之電位共通。又，雖因使碳微粒 子分散於感光性樹脂材料中而使隔牆4丨具有導電性，但不 限於碳微粒子，也可使其他導電性微粒子分散。 彩色濾光為層42係形成於對向基板12之表面，由透過紅 色光之著色層42R、透過綠色光之著色層42(}、及透過藍 色光之著色層42B所構成。此著色層42R、42G、42β例如 I21017.doc -14- 200809359 係以感光性樹脂材料所構成，係形成於隔牆41所劃分之區 域内。在此，著色層42R、42G、42B之透過光之中心波長 分別為 630 nm、550 nm、465 nm。 對向電極43係與畫素電極21同樣地以ITO等之透光性導 電材料所構成。又，對向電極43係與畫素電極2 1同樣地， 對應於晝素區域被設置。而，對向電極43之層厚係對應於 透過著色層42R、42G、42Β之透過光之波長帶被設定。

即，對向電極43中，對應於著色層42R而設置之對向電極 43R之層厚、對應於著色層42G而設置之對向電極43G之層 厚、對應於著色層42B而設置之對向電極43B之層厚相 異。在此，對向電極43R、43G、43B係形成分別對紅色 光、綠色光、藍色光之穿透率最大之層厚。例如，在本實 施型態中’對向電極43R、43G、43B之層厚分別為175 nm、154 nm、129 nm ° 因此，例如在對向電極43R+，於對向、極43R之 光中，對透過著色層42R之光之紅色光成分，使在對向電 極43R内由對向電極43R之入射面射向出射面之穿透光與 在出射面反射而射向入射面之反射先會互相增強。 又，對向電極43由於隔牆41具有導電性，互相導通。因 此’各對向電極43之電位呈現同等，只要將電壓施加至對 向2極43中之丨個，即可控制所有對向電極^之電位。 疋向膜44與定向膜26同樣，例如係在聚酿亞胺膜等透光 性之有機膜上施以摩擦處理等之特线向處理所形成。在 此，定向膜44之摩擦方向係與定向⑽之摩擦方向大致同 121017.doc -15- 200809359 方向。而，在對向基板12之角部，設有確保丁打基板^與 對向基板12間之電氣的導通用之基板間導通材料45。 液晶層14如圖1至圖3所示，在定向膜26、44之間呈現特 定之定向狀態。作為此液晶層14之液晶模態，除了 TN(Twisted Nematic ;扭轉向列）模態以外，可採用 VAN(Vertical Aliged Nematic;垂直定向扭轉向列）模態、 STN(Super Twisted Nematic :超扭轉向列）模能、 ECB(Electrically Controlled Birefringence :電控雙折射）模 悲、OCB(〇ptically Compensated Bend;光學補償彎曲）模 態等。 、 (液晶裝置之製造方法） 其次’一面參照圖5及圖6，一面說明有關上述構成之液 晶裝置之製造方法。在此，圖5及圖6係分別表示液晶裝置 之製造步驟之剖面圖。又，在以下之說明中，其特徵在於 液晶面板之製造步驟，故以液晶面板之製造步驟為中心加 以說明。 本貝施型悲之液晶面板之製造步驟具有對向基板形成步 驟、與TFT基板形成步驟。 首先’施行對向基板形成步驟。此對向基板形成步驟係 包含隔牆形成步驟、彩色濾光器層形成步驟、及對向電極 形成步驟。 最初，施行隔牆形成步驟。在此，首先，利用自旋塗佈 法等將含有碳微粒子之導電性之透光性有機材料塗佈於玻 璃等透光性材料構成之對向基板12上之全面，使其乾燥而 121017.doc -16- 200809359 形成隔牆層。而’藉使用遮罩（省略圖示）之光微影技術， 在此隔牆層中形成彩色濾光器層42及對向電極43之晝素區 域形成開口。如此在對向基板12之内側表面形成隔牆 41(圖 5(a))。

此後，在隔牆41之内側表面，施行對後述對向電極形成 材料液（電極形成材料液）51具有親液性用之親液化處理。 此親液化處理例如係利用在隔牆41之内側表面施行電漿處 理等或塗佈矽烷耦聯劑等親液化用表面處理劑所施行。 其次，施行彩色濾光器層形成步驟。在此，首先，利用 自旋塗佈法等將施以透過紅色光之著色之有機材料塗佈於 形成隔牆41之對向基板12上之全面，使其乾燥而形成著色 層。而，藉使用遮罩（省略圖示）之光微影技術，在形成在 =牆4丨之開口區域形成透過紅色光之著色層42r。又，與 著色層42R之形成方法同樣地，形成透過綠色光之著色層 伽及透過藍色光之著色層42β。如此在對向基板η之内 側表面中隔牆41之開口區域形成著色層42R、42〇、42b而 構成彩色濾光器層42(圖5(b))。 接著；^行對向電極形成步驟。在此，利用液滴喷出法 將分散媒中分散有構成對向電極43之IT〇之微粒子之對向 包極形成材料液5 1之液滴滴下於形成彩色濾光器層42之對 向基板12之内側表面中隔牆41之開口區域(圖5(c))。 為提高分散媒中之分散性，在IT〇之微粒子表面也可塗 有機物等使用。ΙΤ〇之微粒子之粒徑最好在^ 以上⑽ nm以下 此係由於大於1 〇 〇 nm時，噴嘴有發生阻塞之情 1210l7.doc •17- 200809359 ^ 又小於1 nm時，對ΤΤΓΊ Μ Α 對1TO之被粒子之塗佈劑之體積比 所得之膜中之有機物之比率過多。 引為刀放媒’只要屬於可使IT〇之微粒子分散，且 不引起/旋聚之材料， 、'、、特別限定。例如，除了水以外， J列舉甲醇、醇、 院、癸燒、十二H芋、丁醇等醇類、Π-庚烧、η-辛 苯、 补 四癸烷、甲苯、二甲苯、甲基異丙 本、喑煤、茚、二Λ接 歸、四氫化萘、十氫化萃、環己其！ 等碳化氫系化合物、或乙_酸田 衣己基本 二醇二甲乙鍵、二乙1醇…甲醚、乙二醇二乙鍵、乙 一 _ — /一甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙 一知一甲乙醚、152_二 ρ-二。惡燒等之”化:'物炫、雙（2·甲氧基乙）鱗、 Ν-甲美2咐交 物、以及碳酸丙稀酉旨、γ-丁内醋、 甲基〜比口各燒酮、二甲 胺 等極性化合物。此：夕Α 甲亞砜、級己_ 穩定性、及適用於…’在微粒子之分散性與分散液之 類、碳化氯夺化法之容易度之點上，以水、醇 八今坡 μ 5物、醚系化合物較理想 刀散媒，可列舉水、碳化μ化合物e 而，對向電極形成材料液51 N/m以上0.07 N/m以下 "、，如最好在0·02 體之際，表面張力不足〇.〇2ν/ 4利用液滴喷出法喷出液 N/m時’墨水組成物對哈皆 之濕潤性會增大，故容易 ：物面 N/m時，在噴嘴 弓曲…象’超過0.07 喷出時間之控制變形狀不穩定，故喷出量及 分散液中，在L難。為調整表面張力，只要在上述 六力激车 與基板之接觸角之範圍内，忾量 添加齓糸、矽系、非離 图門被里 /、表面張力調節劑即可。非離 1210I7.doc -18- 200809359 子系表面張力調節劑有助於改良液體對基板之濕潤性，改 良膜之調平性，防止膜產生微細之凹凸等。上述表面張力 調節劑必要時也可含有醇、n _等有機化合物。 又，為防止ITO之微粒子互相接觸而引起凝聚，需在對 向電極形成材料液51添加分散安定劑。作為分散安定劑， 例如，可使用烧基胺等胺化合物。此分散安定劑需要在脫 離金屬微粒子表面後，最終可與分散媒同時蒸發，最好至 少彿點不超過贿之範圍，通常為25(rc以下之範圍。例 如，作為烷基胺，使用其烷基選擇於C8〜C18之範圍，俨 基鏈之末端具有氨基之烧基胺。例如，前述C8〜C18之2 圍之烧基胺具有熱的安定性，且在室溫附近之蒸氣麼也不 那麼高，在保管於室溫等之際，從容易將含有率維持.控 制於希望之範圍等操作性方面言之，相當適合於使用。 對向電極形成材料液51之黏度最好在丨mpa s以上50 mPa· SW此係由域用液滴噴出法噴出液狀材料作為 液滴之際’黏度小於i mPa. s之情形，噴嘴之周邊部容易 被墨水之流出所污染，又黏度大於5〇 mpa. s之情形，在 噴嘴孔之阻塞頻度會升高’難以圓滑地噴出液滴之故。 在此，作為液滴噴出法之噴出技術，可列舉帶電控制方 式、加Μ振動方式、電氣機械變換方式、電氣^變換方 式、靜電吸引方式等。帶電控制方式係以帶電電極將電荷 施加至材料，以偏向電極控制材料之飛翔方向而由喷嘴喷 出之方式。又’加塵振動方式係將例如3〇 W程度之超 南壓施加至材料而使材料向噴嘴前端側噴出之方式，不施 121017.doc -19- 200809359 加控制電壓之情形’材料直接前 制祕時，在材料間會發生靜 ^鳴贺出，施加控 由噴嘴喷Ψ ^ 、目斥，材料會飛濺而不 田贺為贺出。而’電氣機械變換 ⑻㈣元物到脈衝性的f氣卿、^利M電元件 元件之變形而在儲存材料？二虎一 力，將材料由空間擠出而由二出=撓物質施加i 熱變換方式係利用設在儲存材式。另外，電氣 内：::生氣泡(bubMe)’藉氣泡之厂…出空間 微π力又，静電吸引方式係對儲存材料之空間内施加 引力：二在噴嘴形成材料之f月面，在此狀態施加靜電 引力後吸出材料。又，α 卜，利用電場引起之流體之黏度 、高爾。 電火花使其飛機之方式等各種技術也可 =及液滴贺出法具有材料之使用浪費少’且可確實將 + $之材料配置於希望之位置之優點。利用液滴喷出法 贺出之對向電極形成材料液51之一滴之量例如為1 %以上 300 ng以下。 利用忒液滴噴出法滴下於構成彩色濾光器層“之各著色 2G 42B上之對向電極形成材料液5 1之液滴量在 所滴下之對向電極形成材料液51中之ITO濃度相同時，會 依照著色層42R、著色層42G、著色層42B之順序變少。 在滴下之對向電極形成材料液5 1施以加熱處理而基 ^ / νΓ\ 卷内邛之’谷媒，並燒成1丁〇之微粒子。藉此加熱處理形成 1向電極43R、43G、43Β(圖5(d))。如此，可藉變更對向 電極形成材料液51之塗佈量，以設定各對向電極43r、 121017.doc -20- 200809359 43G 43B之層厚。因此，容易形成層厚不同之對向電極 43R、43G、43B。 此時，利用液滴噴出法，可選擇地將對向電極形成材料 液51之液滴滴下於著色層42R、42(}、斗⑼上，故可抑制對 向電極形成材料液51之浪費。在此，因隔牆41具有導電 性，故可經由隔牆41使分別形成在著色層42R、42(}、42β 上之對向電極43R、43G、4；3B互相導通。

此後，在隔牆41及對向電極43R、43G、43B之上面形成 聚醯亞胺膜等有機材料構成之定向膜形成材料層，對此施 行摩擦處理，以形成定向膜44(圖5(e))。如此而形成對向 基板12。 接著，施行TFT基板形成㈣。此加基板形成步驟包 含隔牆形成步驟、及晝素電極形成步驟。 首先’在玻璃等透光性材料構成之TFT基板lljL，利用 習知之方法形成TFT元件、複數之資料線23及掃描_ 其次，施行隔牆形成步驟。在此’與上述對向基板形成 步驟之隔牆形成步驟同樣，利用自旋塗佈法等將感光性有 機材料塗佈於啊基板11上之全面，使其乾燥而形成隔牆 層。而，错使用遮罩（省4圖示）之光微影技術’在形成此 隔牆層之畫素電極21之區域形成開口。藉&，在班基板 11之内側表面形成隔牆25(圖6(a))。 ’與上述同樣地，在隔牆25之内側表面，施行對後 述電極形成材料液（另一電極形成材料液）52具有親液 I21017.doc 21 200809359 性用之親液化處理。 其次，施行晝素電極形成步驟。在此，與對向電極形成 步驟同樣地’利用液滴噴出法將分散有構成晝素電⑽之 汀〇之微粒子之晝素電極形成材料液52之液滴滴下於形成 隔膽25之TFT基板U之内側表面中隔牆25之開口區域（圖 6⑽。在此，滴下於TFT基板„之晝素電極形成材料㈣ 之液滴量在所滴下之畫素電極形成材料液52中4咖濃度 相同時，會依照與著色層42R對應之區域、與著色層= 對應之區域、與著色層42B對應之區域之順序變少。 而，施行加熱處理，以形成晝素電極21R、hG、 21B(圖6(c))。在此，隔牆25具有絕緣性，故畫素電極 21R、21G、21B成為非導通。 此後，在隔牆25及晝素電極21R、21G、21β之上面形成 聚醯亞胺等有機材料構成之定向膜形成材料層，對此施以 摩擦處理，以形成定向膜26(圖6(d))。在此，定向膜26之 摩擦方向係與定向膜44之摩擦方向大致同方向。利用以上 方式形成TFT基板11。 、其後，以密封材料13貼附所形成之TFT基板^與對向基 板U，並在TFT基板11與對向基板12之間封入液晶層14。 如此，形成液晶面板2。進一步在TFT基板u及對向基板12 之各外側表面設置上述偏光板，而製成液晶裝置1。 (電子機器） 此種構成之液晶裝置1例如係設於如圖7所示之手機（電 子機器）100。在此，圖7係表示手機1〇〇之立體圖。此手機 1210l7.doc -22- 200809359 100具備複數操作鈕101、受話口 …处 ⑶2、迗活口 103及本實施 31恶中之液晶裝置1構成之顯示部1 。 如以上所述，依據實施型態 曰壯班 , 心/夜日日裝置之製造方法及液 曰曰袭置1，調整對向電極形成 + 料液52之滴下量時，可容易：：51及晝素電極形成材 J ^易形成依照各著色層42R、 42G、42B顯示之各色所設定 6居不同之對向電極43R、 伽及晝素電極21r、21g、2ib。因此，可容易製 仏抑制各晝素之焭度偏差之液晶裝置丨。 、 在此，隔牆41具有導電性，Ha 故對向電極43可經由隔牆41 而互相導通，使各對向電 現同電位。因此，以對向 3作為共通電極而容易施行其電壓控制。 之=本發明並非限定於上述實施型態，在不脫離本發明 之趣曰之範圍内，可附加種種之變更。 :如’在上述實施型態中’分別利用液滴喷出法形成書 素電極與對向電極，但也可僅形成其

^ ° ilK y jU 可降低對透過利用液滴噴出法形成之晝素電極或對向電極 之光中對應所設之著色層之透過光之波長帶之光之損耗。 又’也可在彩色遽光器層與對向基板之 :與對向電極之間形成調整各著色層之層厚之差異= 層。即’著色層係以提高其色顯示之重現性為目的= 應於透過光之波長帶而設定於進一步提高色顯示之柯 之層厚之情形。為此，層厚會因透過光之波長帶而 :。因此’鄰接於著色層而形成透光性材料構成:緣二 …藉各著色層使著色層與絕緣 ：緣層 刀俊之層厚最適 121017.doc -23 - 200809359 化。在此，與上述晝素電極及對向電極同樣地，最好依照 對應而没之者色層之读讲止 匕光之波長帶而設定各絕緣層之膜 厚如此即可抑制透過對應於各絕緣層而設置之著色層 之光之損耗及色偏差。 曰 同樣也可與上述晝素電極及對向電極同樣地，依昭 對應而設之著色層之透過光之波長帶調整形成在m隸 上之定向膜或形成在對向基板上之定向膜或其雙方之膜 厚如此，即可與上述同樣地抑制透過定向膜 及色偏差。 又，設於對向基板之隔牆雖以具有 材料所構成，但在各 八 感光性樹脂 ^ 、。電極間只要經由隔牆確保導通即 可，也可採用層疊絕緣性材^^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 之層，利用此導電性材料構成之料構成 烕之層碟求各對向電極導 之構成。在此，隔牆也可採 粗搂士、+麻a $ 又互看$複數層之絕緣性材 枓構成之層與導電性#料構成之層之構成。 又’雖設於對向基板之隔 由此隔牆而互相導通，但σ :各對向電極經 之電位之構成，也可以絕=二：分別控制各對向電極 有導電性之構成。緣性材料構成此隔牆，成為不具 又’各著色層雖利用光微影技術形成，但與晝素 對向電極同樣地，也,丨t+ i …4 利用液滴贺出法形成。此時，將來 成各者色層之著色層形成材料液之液滴下 板上之隔牆所劃分之晝素區域，使其乾燥而形成著色Γ 又’繼光器層包含分別透過紅色光、綠色光及：色 121017.doc •24- 200809359 光之3色之著色層’以3色施行彩色顯示，但既可採用以另 外3色施行彩色顯示之構成，也可採用於此加上透過青色 光之著色層之4色施行彩色顯示之構成。又，只要包含至

乂为別透過2色之光之著色層之構成即可，並不限定於彩 色顯示D

又，雖以使用液晶裝置作為光電裝置加以說明，但只要 疋透過彩色濾光裔層而施行彩色顯示之光電裝置，例如也 可為有機EL裝置等其他之光電裝置。在此，使用有機此 裝置之情形’可使用藉施加電壓而發出白光之發光功能層 作為光電層’使所發出之白色光透過彩色濾光器層而施行 紅色光、綠色光及藍色光之彩色顯示。 又，作為具有之液晶裝置之電子機器’雖說明有關手機 之情形’但只要具備液晶裝置等光«置，並不限定於手 機，也可適用於其他之電子機器。在此，作為可適用之電 子機器’ T列舉筆記型個人電腦' pDA(persQnai 咖

As她ms，·攜帶型終端機）、個人電腦、工作站、於 :攝影機、車用監視器、汽車導航裝置、數位視頻攝: =、電視機、取景窗型或監視直視型之磁帶 傳呼機、電子帳薄、計算機、電子書及投影機、文;i理 機、電視電話、P0S終端機、具備觸控面 【圖式簡單說明】 機。°專。 圖1係表示本發明之—實施型態之液晶裝置之 圖2係圖1之A-A箭視剖面圖。 圖 圖3係圖2之部分放大圖。 121017.doc •25· 200809359 圖4係圖1之等效電路圖。 圖5(a)-(e)係表示一實施型態之液晶裝置之製造步驟之 剖面圖。 圖60)-(d)係同樣表示液晶裝置之製造步驟之剖面圖。 圖7係表示具備圖1之曝光頭之光印表機之立體圖。 【主要元件符號說明】 液晶裝置

TFT基板（另一基板） 12 14 21、 25 41 對向基板（基板） 液晶層（光電層） 21R、21G、21B 晝素電極(第2電極） 隔牆（另一隔牆） 隔牆 42 彩色濾光器層 42R、42G、42B 著色層 43、43R、43G、43B 對向電極（第1電極） 26、44 定向膜 51 對向電極形成材料液 (電極形成材料液） 52 畫素電極形成材料液 (另一電極形成材料液） 121017.doc -26-

Claims (1)

1. 200809359 十、申請專利範圍： 1.-種光電裝置之製造方法’其特徵在於：其係使光電層 介在第1及第2電極間，具有配置成平面狀之複數畫素區 或透過對應於δ亥複數畫素區域之各區域而設置之著色 層而施行顯示之光電裝置之製造方法，包含： 隔牆形成步驟，其係在基板上形成劃分前述畫素區域 之隔牆；及 第1電極形成步驟，其係在前述隔牆所劃分之區域分 別塗：電極形成材料液而形成前述W電極；且 該第1電極形成步驟中，依 — 依π透過對應而設置之前述 者，、之光之波長帶而設定前述第1電極之層厚者。 2.如請求項】之光電裝置之 導電性，經由該隔於而使： ’其中前述隔牆具有 亥W而使則述第1電極互相導通者。 求項1或2之光電裝置之製造方法，其 電極形成步驟中，利+ 八 ’述弟1 料液者。 / 1 $ &㈣前述電極形成材 4.如請求項1至3中任一項 含： 頁之先電裝置之製造方法，其中包 另一隔牆形成步驟’其係在 素對應而劃分該另_基板土板上形成與前述晝 基板表面之另一隔牆，·及 弟2電極形成步驟，1 义 域分別塗佈另—電極w 别述另一隔牆所劃分之區 第2電極；且 ’'材料液’使其乾燥而形成前述 在°亥苐2電極形成步 …，依照對應而設置之前逑著 121017.doc 200809359 色層之透過光之波長帶而設定前 5.如請求項4之光電裝置之製造方二2電極之層厚者。 形成步驟中，利用 :、、/ ^中在前述第2電極 料液者。 / T法塗佈前述另一電極形成材 6 ·如請求項1至5 ψ杠一 含.梦声、卢止 J、之光電裝置之製造方法，其中包 mu'層形成步驟’其 步驟之前，於-*、+、 則砍弟1電極形成 層者。 ㈣隔牆所劃分之區域分別形成前述著色 7·如請求項6之弁雷姑班 & 裝置之裝造方法’盆 器層形成步驟在4人 ，、T別这杉色濾先 著色厗而/ ，…絕緣層形成步驟，其係鄰接於前述 者色層而形成絕緣層；且 8. 著2絕緣層形成步驟中，依照透過對應而設置之前述 曰之光之波長帶而設定前述絕緣層之層厚者。 :請求項1至7中任-項之光電裳置之製造方法，其中前 述光電層係構成液晶層； 、具有定向膜形成步驟’其係在前述第i電極之上面形 成定向膜者；且 9. 从在較向膜形成步驟中，依照透過對應而設置之前述 者色層之光之波長帶而設定前述定向膜之膜厚者。 I種光電裝置，其係使光電層介在第」及第2電極間，包 含具有對應於配置成平面狀之複數晝素而設置之複數著 色層之彩色濾光器層之光電裝置，其特徵在於·· 具有形成於基板上而劃分該基板表面之隔牆；且 月il述第1電極之層厚係依照透過對應而設置之前述著 121017.doc 200809359 色層之光之波長帶而設定者。 10.如請求項9之光電裝置，其中前述隔牆係具有導電性， 前述第1電極係經由該前述隔牆而互相導通者。

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