200532741 (υ 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於準分子燈。 【先前技術】 近年來，對於由金屬、玻璃、其他的材料構成的被處 理體，藉由照射波長20 Onm以下的真空紫外線，藉由該 真空紫外線及由其生成臭氧的作用來處理被處理體的技術 ，例如除去附著於被處理體的表面的有機污染物質的洗淨 處理技術、或在被處理體的表面形成氧化膜的氧化膜形成 處理技術，已被開發、實用化。 進行這種紫外線處理用的燈泡，是使用一種在由石英 玻璃構成的放電容器中，充塡了適宜的準分子發光用氣體 的準分子燈。 已知：使用於此準分子燈的準分子發光用氣體是藉由 使用例如氣氣體，就可放出主要是氣準分子光也就是波長 1 7 2nm時最尖峰的真空紫外線，且，準分子發光用氣體是 藉由使用例如氬及氯氣體的混合氣體，就可放出主要是 氬-氯準分子光也就是波長175nm時最尖峰的真空紫外線 〇 這種準分子放電燈，是揭示於專利文獻1、專利文獻 2。 這種準分子燈，是當放電空間內所發生的真空紫外線 或紫外線是透過形成放電容器的石英玻璃時，石英玻璃會 200532741 (2) 發生變形’而有使玻璃早期破損的問題。 、 近年來，爲了防止高壓放電燈或紫外線燈的放電容器 - 也就是石英玻璃的紫外線破壞，即，因紫外線變形所產生 的機械地強度的下降或透過率下降，藉由使假想溫度設在 最適合的範圍內，就可改善那些的問題。 具體上’在專利文獻3、專利文獻4中，石英玻璃的 假想溫度爲5 0 0〜1 3 0 0 °C程度的話，紫外線破壞就會減少 ，特別是在專利文獻3中揭示了對於準分子燈用玻璃也有 · 效果。 [專利文獻1 ]日本專利第2 9 5 1 1 3 9號 [專利文獻2 ]日本專利第2 7 7 5 6 9 5號 [專利文獻3 ]日本特開平9 - 2 4 1 0 3 0號 [專利文獻4 ]日本特開平8 - 0 2 6 7 6 4號 【發明內容】 (本發明所欲解決的課題） φ 但是，即使使用這種石英玻璃材製作作爲放電容器的 準分子燈，在到達目標的壽命之前也會破損。 例如，超過1 m的長的準分子燈的情況，可使用長玻 璃管材加工成放電容器，但是因爲玻璃管材未必很直而需 要使用噴燈等的加熱加工進行校正。或是連接複數條短的 玻璃管材來製作長的玻璃管材的放電容器的情況時，藉由 部分加熱變形或將短的玻璃管材加熱接合，即使使用預先 加熱成適切的假想溫度的玻璃管材，加工部的假想溫度也 -6 - 200532741 (3) 變高，而會從其加工部開始破損。 且，爲了形成準分子燈的放電容器即 成適切的假想溫度的玻璃管材的情況，若 是高輸出燈的情況時，會從放電容器的端 是因爲，雖將玻璃管材的兩端部藉由使用 工及密封來製作放電容器，但是加熱加工 如使用預先加熱至適切的假想溫度的玻璃 影響高而使假想溫度變高，進而從其部分 進一步，對於準分子燈，黑化物會附 內面，而使放射照度維持率下降。且，此 高輝度的電弧狀的放電發生、光輸出大幅 的放電動作使光量的變動變大等的原因。 由此，無法確實防止放電容器的破損 維持率會在短時間下降，進一步，藉由電 放電’而有光輸出的下降或光量變動的問: 本發明，是依據以上狀況，其目的是 子燈的放電容器不會因紫外線而破損，且 燈，放射照度維持率也不會衰減，光輸出 量穩定的準分子燈。 (用以解決課題的手段） 如本發明的申請專利範圍第1項的準 準分子燈，準分子燈的放電容器的至少發 想溫度是900〜120(TC，其特徵爲··含於 使使用預先加熱 更長時間點燈或 部開始破損。這 噴燈等的加熱加 的部分，即使例 管材也會受到熱 破損。 著於放電容器的 黑化物是造成： 下降、因電弧狀 ，且，放射照度 弧狀的不穩定的 題。 提供一種，準分 ，即使長時間點 也不會下降，光 分子燈，是一種 光部的玻璃的假 前述放電谷益的 200532741 (4) 玻璃內的碳（c )的量，是c / S i的比爲0 . 1 a t m %以下。 如申請專利範圍第2項的準分子燈，是如申請專利範 圍第1項的準分子燈，其中，前述放電容器的兩端的藉由 加熱加工形成的密封壁部的假想溫度是900〜1 200 °C。 如申請專利範圍第3項的準分子燈，是如申請專利範 圍第1或2項的準分子燈，其中，排氣管殘部是形成於前 述放電容器，該排氣管殘部的假想溫度是900〜1 200 °C。 (發明之效果） 依據本發明的準分子燈，即使長時間點燈，構成準分 子燈的放電容器的發光部及密封壁部也不易因紫外線而產 生變形，可以防止放電容器的破損的同時，黑化物不會附 著於放電容器的內面，可以防止放射照度維持率的下降， 且光輸出可大幅下降，就不會進行放電動作而使放電穩定 〇 且，製造放電容器將時，排氣管殘部的玻璃成爲高溫 狀態時被密封切斷，在這樣的狀態下假想溫度雖是1 200 °C以上，是排氣管殘部被密封切斷後，進行加熱處理，藉 由使假想溫度成爲9 0 0〜1 2 0 0 °C，排氣管殘部即使被紫外 線照射也不會發生歪斜，可以防止從排氣管殘部或是其附 近爲起點的放電容器的破損。 且，構成放電容器的外側管及內側管的兩端是分別藉 由加熱加工被熔接而形成密封壁部，但是藉由使此密封壁 部的假想濕度爲900〜1 200 °C，密封壁部即使被紫外線照 -8- 200532741 (5) 射也不會發生歪斜’可以防止從密封壁部爲起點的放電容 器的破損。 【實施方式】 以下，說明本發明的實施例。 第1圖’是顯示本發明的一實施例的準分子燈的圖。 在同圖，準分子燈1的放電容器1 3，是具有··由石英玻 璃構成的圓筒狀的外側管1 1、及藉由在此外側管1 1內沿 著其筒軸配置的具有比外側管1 1的內徑小的外徑的石英 玻璃所構成的內側管1 2、及外側管1 1及內側管1 2的兩 端是分別藉由加熱加工被熔接而形成密封壁部1 4且在外 側管1 1及內側管1 2之間形成圓筒狀的放電空間S。在此 放電容器1 3的放電空間S是封入氙氣體作爲發光氣體。 在放電容器1 3的外側管1 1，設有與其外周面1 5密 接，例如由金網等的導電性材料構成的網狀的一方的電極 1 6，在內側管1 2的外周面1 7，設有可覆蓋其外周面17 的如由鋁構成的膜狀的另一方的電極1 8。而且，一方的 電極1 6及另一方的電極1 8，是藉由電流供給用的電線1 9 、1 9分別連接適宜的電源裝置（圖示省略）° 且，在此放電容器1 3，形成：供將發光氣體封入放 電空間S內用的使排氣管被密封切斷的排氣管殘部a。 構成上述放電容器1 3的發光部的玻璃’假想溫度是 9 0 0〜1 2 0 0 °C。在此所謂的「發光部」，是指在第1圖中 ，由符號L所示的與外側管1 1的外周面密接形成的電極 200532741 (6) 1 6存在的部分的放電容器1 3的放電領域。發光部，因爲 最接近放電空間所發生的放電所以容易發生由紫外線所產 生的變形，此發光部的假想溫度與放電容器的破損有非常 密切的關係。 且，在此所謂，「假想溫度」，是顯示玻璃的構造的 尺度，也可以稱爲構造決定溫度。即，玻璃是依據其熱處 理條件而使構造完全不同。例如，在某高溫T將熱平衡狀 態的玻璃急速冷卻至室溫爲止的話，玻璃的構造是成爲在 保持溫度T的狀態下直接凍結，此情況，此高溫T是稱 爲其玻璃的假想溫度。且相同地在高溫T不將熱平衡狀態 的玻璃急速冷卻，而是漸漸地冷卻至室溫態爲止的情況時 ，是假想溫度是成爲接近於室溫的溫度。、 如此玻璃，是可以藉由熱平衡狀態及從其的冷卻方法 控制成各式各樣的假想溫度，就將玻璃的構造控制成各式 各樣。 假想濕度的算出，可以藉由紅外吸收光譜法或拉曼光 譜的測量求得。 具體上，發光管部分的假想溫度是使用紅外吸收光譜 法。紅外吸收光譜法，是從顯示石英玻璃的S i - 0結合的 伸縮振動的尖峰（2 2 6 0 c ΠΓ 1附近）的移行量算出石英玻璃 的假想溫度的方法，A.Agarwal[參考文獻1]等是發現下述 的數式1可簡便算出假想溫度。 [數式1] -10- 200532741 (7) 由 Tf=43 8 09.2 1 / ( υ 2 -2 2 2 8·64) 此，T f ··假想溫度[°C ]，v 2 :尖峰波數[c m -1 ]。 一方面，排氣管殘部、密封壁部，因表面形狀複雜， 所以反射或散亂的影響很大，而無法藉由紅外吸收光譜法 測量。顯微拉曼分光器因爲使用後方散亂法，所以不會被 表面形狀左右而可測量。從拉曼光譜算出玻璃的假想溫度 的方法是使用Geissberger[參考文獻2]所提案的方法。利 用石英玻璃中的Si-0-Si結合的變角振動所起因的ω i ( 4 4 0 c m - 1附近出現的尖峰）線的移行量的方法，出現於石 英玻璃的拉曼信號的ω 1的尖峰位置及假想溫度：Tf之間 是有下述的數式2的關係。 藉由此拉曼光譜的測量算出排氣管殘部·密封壁部的 假想溫度。 [數式2]
Tf= ( ω 1-418 ) /18χ10'3 參考文獻1 : A.Agarwal?E.M.Davis, M.Tomozawa,J .Non-Cryst.Solids 1 85 (1995)。 參考文獻 2 : E.Geissberger and F.L.Ga 1eener，Phys·
Rev.B,2 8 6 ( 1 9 8 3 ) 3 266. 顯示放電容器的發光部的玻璃的假想溫度是成爲9 0 0 200532741 (8) 〜1 2 0 0 °C用的條件的一例。 預先製造由外側管及內側管及密封壁部構成的放電容 器本體。在此狀態下，是形成於放電容器的密封管是未被 密封切斷的狀態，在放電容器的放電空間內未封入發光氣 體的狀態。 將此放電容器本體配置於電氣爐內，在1 1 2 0 °C加熱1 小時後，藉由以l〇t /分的速度直到90 (TC爲止急速冷卻 ，就可製造由假想溫度「1 1 〇〇 °C」的玻璃所構成的放電容 器本體。 其他的方法，是將上述放電容器本體配置於電氣爐內 ，在9 5 0 °C加熱1 2 0小時後，藉由以〇 . 1 °C /分的速度直到 7 0 0 °C爲止漸漸地冷卻，就可製造由假想溫度.「9 0 (TC」的 玻璃構成的放電容器本體。 即，藉由這種熱處理，放電容器的發光部的假想溫度 可以控制於9 0 0〜1 2 0 0 °C。 且，藉由這種熱處理，必然地，放電容器的發光部以 外的密封壁部也同時可將假想溫度控制於900〜1 200 °C。 這些’是其中一例，藉由其他的各式各樣的條件，可 使放電容器的發光部及密封壁部的玻璃的假想溫度被控制 於 900 〜1200 〇C。 如此’藉由控制放電容器的發光部及密封壁部的玻璃 的假想溫度在9 00〜1 2 0 0 °C內，即使長時間點燈，放電容 器也不易因紫外線而變形就可以防止放電容器的破損。 接著說明含於放電容器1 3的玻璃的碳（C )。 -12- 200532741 Ο) 以下，含於放電容器的玻璃的碳（C )，是指由發光 · 部密封的壁部、及後述的排氣管殘部組成的放電容器本體 整體的玻璃所含有的碳（C )的意思。 碳進入放電容器的玻璃中的原因，不只是因爲成爲材 料的玻璃製造過程中的熱處理或使用碳冶具的（對於管或 板）成型，也因爲燈泡製造過程中的熱處理或使用碳冶具 的加工等。 進一步，隨著熱處理放電容器的時間愈長，進入放電 φ 容器的玻璃內的碳的量會增加。 碳是在CO或co2的狀態下從玻璃內部放出至放電空 間的話，會藉由放電空間的等離子被分解，使碳附著於玻 璃表面而使透過率下降，而會產生放射照度維持率下降的 問題。 進一步，是附著於玻璃表面的碳會產生導電性，使高 輝度的電弧狀的放電發生，使光輸出大幅下降，而會有因 電弧狀的放電動作而使光量的變動變大的問題產生。 鲁 藉由使構成放電容器的玻璃實質上不包含碳（C)， 就可以防止放射照度維持率的下降、光輸出的下降、光量 變動。 此時，構成放電容器的玻璃，其碳（c)的量，是 C/Si的比爲0.1 atm %以下的話，放出至放電空間內的碳（ C )的量會減少，附著於玻璃面的碳會顯著減少，可以確 實防止玻璃的透過率的下降並防止放射照度維持率的下降 。且，高輝度的電弧狀的放電也不會發生’光輸出不會下 -13- 200532741 (10) 降，光量的變動也可縮小。 顯示碳含量的具體的測量方法。對於碳含量的定量是 使用螢光X線分析裝置。放電容器的玻璃的內部的測量 ’是爲了防止因附著於燈泡表面的碳的影響、及浮遊於大 氣中的碳的附著所導致的玻璃內部的碳的檢測靈敏度減損 ’而在真空室中切斷玻璃試料，不曝露於大氣的狀態下測 量其切斷面。 因爲碳含量的分布是在板厚方向，所以對於從內外表 面〇. 1 mm的點、及板厚的中心部分的計3點進行測量， 並將其平均値作爲實際的測量値。檢測下限是 0 . 1 atm%， 檢測限度値以下的資料是爲0而求得平均値。 接著’複數製作構成.放電容器的玻璃的假想溫度、及 改變碳（C )的量的準分子燈，調查：隨著點燈時間的經 過的放電容器的破損率、及初期點燈時的紫外線放射照度 爲1 00%的情況時的點燈後1 〇〇〇小時經過後的紫外線放射 照度維持率，來進行實驗。準分子燈，是如第1圖所示的 準分子燈，放電容器的玻璃是石英玻璃，外側管是外徑 2 5 m m，板厚1 m m，內側管是外徑1 2 m m，板厚1 m m，全 長（兩端的密封壁部間的距離）8 00mm，定格 5 0 0 W。而 且，在放電容器內封入Xe氣體30kPa作爲放電氣體。 第2圖，是顯示實驗結果及實驗條件，構成放電容器 的玻璃是以具有相同假想溫度及相同碳含有量的準分子燈 5個爲1組，調查：在各組間，改變假想的溫度或者是碳 含有比率的7組的A〜G組的準分子燈的放電容器的破損 -14- 200532741 (11) 率（1組5個燈之中有幾個燈破損的比率）、及放射照度 - 維持率（在1組5個燈的平均放射照度維持率）’來進行 _ 實驗。 第2圖中，A組的準分子燈，其放電容器的發光部及 密封壁部的玻璃的假想溫度是8 0 0 °C，碳含有比率（C/Si )是 0.2 a t m %。 在此A組中，全部的燈泡點燈後經過2000小時也未 破損。但是，放射照度維持率是5 9%。 · 即，假想溫度因爲是 8 0 (TC較低，不易因紫外線變形 所以放電容器不會破損。但是，因爲控制假想溫度在 8 0 0 °C，需要將放電容器長時間配置於電氣爐內進行熱處理， 或者是，成爲高溫狀態的放電容器需要長時間漸漸地冷卻 ，此熱處理過程因爲長時間所以碳會多量進入構成放電容 . 器的玻璃內，而成爲碳含有比率（C/Si )是0· 1 atm%以上 的0.2 at m% ’放電容器內玻璃含有多量碳的結果，黑化物 會快速附著於放電容器的內面，而產生放射照度推持率下 · 降的問題。 且，燈泡雖未破損，5個之中的1個燈泡在經過1 8 00 小時時點發生了局輝度的電弧狀的放電，且，其他的1個 的燈泡，是在經過1 9 0 0小時的時點發生了高輝度的電弧 狀的放電，其高輝度的電弧狀的放電動作，使在相同位置 的光量時間變化大幅變動。具體上光輸出會衰減至穩定的 情況時的約3 /4〜1 /4的範圍。 F組的準分子燈，其放電容器的發光部及密封壁部的 -15- 200532741 (12) 玻璃的假想溫度是1 3 0 0 t：，碳含有比率（C / S i )是 0 . 1 a t m °/〇 以下。 在此F組中，在點燈後！ 〇 〇 〇小時有4 〇 %的準分子燈 的放電容器破損，隨著點燈時間的經過破損率上昇，且在 2 0 0 0小時的破損率爲1 〇 〇 %，即全部的準分子燈的放電容 器皆破損。一方面，放射照度維持率是顯示5 〇%很低。這 是因爲’放電容器的玻璃的碳含有量是由減少而無黑化物 的影響’但因紫外線著色等使放電容器的玻璃本身的透過 率下降’結果使放射照度維持率下降。 在G組中，放電容器的發光部及密封壁部的玻璃的 假想溫度是1 3 0 0 °C，由點燈後1 〇 〇 〇小時，全部的準分子 燈的放電谷器是因紫外線的變形而破損·，:是實際上無法使 用的燈泡。 一方面，屬於本發明的B〜E組的準分子燈，是點燈 後經過2 0 0 0小時的破損率是〇 %，即使長時間點燈，放電 容器也不會破損的準分子燈。且，因爲碳含有比率（C/Si )是〇 · 1 a t m %以下，黑化物不會附著於放電容器的內面， 紫外線放射照度不會下降，即使長時間點燈，放射照度維 持率也不會下降。 從此結果，準分子燈的放電容器的發光部及密封壁部 的玻璃的假想溫度是9 0 0〜1 2 0 (TC，含於放電容器的玻璃 的碳（〇的量，是（：/3丨的比爲〇.1&1111%以下的話，即使 長時間點燈，放電容器也不會因紫外線變形而破損，且， 成爲放射照度維持率不易下降的準分子燈。 -16- 200532741 (13) 且，局輝度的電弧狀的放電也不會發生，2 0 0 0小時 點燈後，光輸出或光量也不會變動可穩定地放電。 接著，使用：放電容器的發光部及密封壁部的玻璃的 假想溫度是本發明的條件範圍內也就是1 1 0 0 °C，碳含有 量不同的準分子燈4個，調查：1 〇 〇 〇小時點燈後的放射 照度維持率的變化，來進行實驗。 使假想溫度相同，碳含有量相異的方法，是有依存於 例如放電容器本體的加熱處理方法。這次的實驗的情況， 藉由採用將放電容器本體在 1 1 〇(TC長時間配置於電氣爐 內進行熱處理的方法，從設置爐壁或固定用的冶具或爐的 環境等，來改變進入放電容器的玻璃的碳含量。藉由改變 熱處理時間使碳含有比率（C/Si 相異，使由碳所產生的 影響可明顯了解地進行實驗。 結果如第3圖所示。 如第3圖所示，燈泡1、燈泡2的含於放電容器的玻 璃的碳（C )的量，因爲C/Si的比爲0.1 atm%以下所以放 射照度維持率成爲70%以上，保持高紫外線放射維持率， 成爲即使長時間點燈，放射照度也不易下降的準分子燈。 但是，在燈3、燈4中，含於放電容器的玻璃的碳（ C)的量，因爲C/Si的比爲0.1 atm%以上所以放射照度維 持率是低於70%，放射維持率低且長時間點燈的話，會引 起紫外線的放射照度的下降，是實際上無法使用的燈泡。 然而，任一的燈皆點燈2 00 0小時’但是因假想溫度 適切所以無破損的燈泡。且，燈泡3點燈1 9 0 0小時後， 200532741 (14) 發生高輝度的電弧狀放電，燈泡4點燈後1 60 0小時，發 生高輝度的電弧狀的放電而使放電不穩定。 接著，說明放電容器的排氣管殘部。 如上述，放電容器的玻璃的假想溫度控制處理方法， 是在放電容器本體形成未被密封切斷的狀態的排氣管的狀 態進行熱處理。 這是，將發光氣體封入放電容器本體，將排氣管密封 切斷並形成排氣管殘部的狀態下將放電容器本體放入電氣 爐加熱的話，內部的發光氣體會膨脹，放電容器本體可能 破裂，預先將氣體封入放電容器內，放電容器完全完成狀 態下控制包含排氣管殘部的放電容器整體的假想溫度是成 爲 9 0 0〜1 2 0 0 °C的範圍。且，藉由封入氣體釣壓力從玻璃 朝放電的容器內部放出大量的氧、氫、水、碳等，而對於 放電造成不良影響。 此結果，必然地，密封管的密封切斷作業是在假想溫 度控制處理過程之後發生，此密封管的密封切斷作業因爲 是藉由高溫燒斷排氣管，所以只有排氣管殘部的假想溫度 是成爲1200 °C以上。 如此只有排氣管殘部的假想濕度是成爲1 200 °C以上 的情況時，此排氣管殘部被紫外線照射的話，在排氣管殘 部會發生因紫外線所產生的變形，而可能從排氣管殘部或 其附近使放電容器破損。 爲了防止這種事，只有形成於放電容器本體的排氣管 殘部，另外藉由噴燈進行加熱處理，只有排氣管殘部附近 -18- 200532741 (15) 藉由電氣爐等進行加熱處理，使排氣管殘部的假想溫度成 · 爲9 0 0〜1 2 0 0。(：地進行加熱處理。此結果，包含排氣管殘 、 部的放電容器整體的玻璃的假想溫度是成爲9⑽〜1 2 0 0 °c ，而確實可防止因紫外線所導致的放電容器的破損。且， 加熱範圍因爲小所以朝放電容器內部放出的不純氣體（氧 、氫、水、碳等），因量少所以不影響放電，或因爲量少 所以可藉由放電容器的非加熱部的吸氣材吸著，就可以穩 定地發生放電。 · 第4圖，是其他的準分子燈的說明圖。 在第4圖中，放電容器20是由石英玻璃構成的管型 的兩端密封型構造，在放電容器2 0的內部配置內部電極 2 1，在放電容器20的外面配置線圈狀的外部電極22，藉 由通過玻璃製的放電容器2 0的壁在內部電極2 1及外部電 極22之間引起放電就會在放電空間S內發生準分子放電 〇 此放電容器是外徑1 5 m m，板厚1 m m，在放電容器內 φ ，封入Xe氣體40kPa作爲放電氣體。 在這種準分子燈中，包含兩端的密封部2 a的放電容 器20整體被熱處理成玻璃的假想溫度爲900〜1 200°C也 可以，但是第4圖中，即使只有由符號L所顯示的外部電 極2 2存在的位置的放電容器的發光部是被熱處理成假想 溫度爲 9 0 0〜1 2 0 0 °C，也可以充分地抑制因紫外線所產生 的變形的發生。然而，因爲排氣管殘部2 b安裝於發光部 ，所以排氣管殘部2 b及其附近是在封入放電氣體後使假 -19- 200532741 (16) 想溫度成爲9 0 0〜1 2 0 0 °C地部分地進行熱處理。 這是因爲，藉由抑制：最接近在放電空間所發生的放 電且發生容易因紫外線所產生的變形的發光部的變形’就 可以延長準分子燈的壽命至實用上無問題的程度。 然而，構成放電容器2 0的玻璃所含有的碳（C )的量 ，是C/Si的比爲O.latm%以下。 第5圖，是其他的準分子燈的說明圖。 在第5圖中，放電容器30是由石英玻璃構成的管型 的一端密封型構造，內部電極3 1是配置在放電容器3 0的 內部，金網狀的外部電極3 2是配置在放電容器3 0的外面 ，藉由通過玻璃製的放電容器3 0的壁在內部電極3 1及外 部電極32之間引起·放電，就可在放電空間S內使準分子 放電發生。 此放電容器是外徑40mm，板厚1mm，在放電容器內 ，封入Xe氣體25kPa作爲放電氣體。 在這種準分子燈中，使包含密封部3 a的放電容器3 0 整體被熱處理成玻璃的假想溫度爲9 0 0〜1 2 0 0 °C，排氣管 殘部3b附近也熱處理成假想溫度爲900〜1 2 00 °C也可以 ’是第5圖中’即使只有由符號L所顯示的外部電極3 2 存在的位置的放電容器的發光部被熱處理成假想溫度爲 9 0 0〜1 2 0 0 °C，也可以充分地抑制因紫外線所產生的變形 的發生。 這是因爲’錯由抑制：最接近在放電空間所發生的放 電且發生容易因紫外線所產生的變形的發光部的變形，就 -20- 200532741 (17) 可以延長準分子燈的壽命至實用上無問題的程度。 然而，構成放電容器2 0的玻璃所含有的碳（C )的量 ，是C/Si的比爲〇· 1 atm%以下。 第6圖，是其他的準分子燈的說明圖。 在第6圖中，放電容器40是由石英玻璃藉構成的管 型的兩端密封型構造，成爲略「 」的字，內部電極41 是配置在放電容器40的內部，使覆蓋圓周的一半且兼具 反射鏡的外部電極4 2是配置在放電容器4 0的直管部的外 面，藉由通過玻璃製的放電容器40的壁在內部電極41及 外部電極42之間引起放電，就可在放電空間S內使準分 子放電發生。 此放電容器是外徑，2 〇 m m ·，板厚1 m m，在放電容器內 ，封入Xe氣體20kPa作爲放電氣體。 在這種準分子燈中，將包含密封部4a的放電容器40 整體被熱處理成玻璃的假想溫度爲9 0 0〜1 200 °C，排氣管 殘部4d附近也被熱處理成假想溫度爲900〜1 2 00 °C也可 以，是第6圖中，即使只有形成由符號L所顯示的外部電 極4 2存在的位置的放電容器的直管部4 b的發光部被熱處 理成假想溫度爲9 0 0〜1 2 0 0 °C，也可以充分地抑制因紫外 線所產生的變形的發生。 然而，這種略「 」的字狀的放電容器，是在放電氣 體封入將前曲管部4c及直管部4b作爲整體配置於電氣爐 內，曲管部4 c的假想溫度也必然成爲9 0 0〜1 2 0 0 °C。 即，藉由抑制：最接近在放電空間所發生的放電且發 -21 - 200532741 (18) 生容易因紫外線所產生的變形的發光部的變形，就可以延 長準分子燈的壽命至實用上無問題的程度。 然而，構成放電容器4 0的玻璃所含有的碳（C )的量 ，是C/Si的比爲〇. 1 atm%以下。 第7圖，是其他的準分子燈的說明圖。 在第7圖中，放電容器50是由石英玻璃構成的管型 的一端密封型構造，成爲渦捲狀，內部電極5 1是配置在 放電容器5 0的內部，金網狀的外部電極5 2是配置在放電 容器5 0的外面，藉由通過玻璃製的放電容器5 0的壁在內 部電極51及外部電極5 2之間引起放電，就可在放電空間 S內使準分子放電發生。 此放電容器是外徑1 5mm，板厚1 mm，在放電容器內 ，封入Xe氣體40kPa作爲放電氣體。 在這種準分子燈中，使包含密封部5 a的放電容器5 0 整體被熱處理成玻璃的假想溫度爲9 0 0〜1 2 0 0 °C也可以， 是第7圖中，即使只有形成外部電極5 2存在的位置的放 電容器的渦捲部5b的發光部被熱處理成假想溫度爲900 〜1 2 0 0 °C，也可以充分地抑制因紫外線所產生的變形的發 生。然而，因爲排氣管殘部5 e是安裝於發光部，排氣管 殘部5 c及其附近是在封入放電氣體後使假想溫度成爲 9 00〜1 2 00°C地部分地進行熱處理。 然而，構成放電容器5 0的玻璃所含有的碳（c )的量 ，是C/Si的比爲0· 1 atm%以下。 第8圖，是其他的準分子燈7的說明圖。 -22- 200532741 (19) 在第8圖中，放電容器6 0是玻璃製也就是兩端密封 型構造，放電容器60的外部及內部配置一對的外部電極 6 1，藉由通過玻璃製的放電容器6 0的壁在外部電極6 1間 引起放電就會在放電空間S內發生準分子放電。 在這種準分子燈中，使放電容器60整體被熱處理成 玻璃的假想溫度爲9 0 0〜1 2 0 0 °C也可以，即使只有外部電 極6 1存在的位置的放電容器的發光部被熱處理成假想溫 度爲9 0 0〜1 2 0 0 °C，也可以充分地抑制因紫外線所產生的 變形的發生。 這是因爲，藉由抑制：最接近在放電空間所發生的放 電且發生容易因紫外線所產生的變形的發光部的變形，就 可以延長準分子燈的壽命至實用上無問.題的程度。 然而，構成放電容器6 0的玻璃所含有的碳（C )的量 ，是C/Si的比爲0. latm%以下。 接著，將第4圖所示的準分子燈的密封部2a在電氣 爐內加熱成假想溫度成爲9 00〜1 200°C時，不使從密封部 2 a突出的外部導棒氧化的方法的一例是如第9圖所示。 如第9圖（甲）的放電容器20的內部，在從端部的 稍靠中央，位置有金屬箔Η及外部導棒G，預先在此位置 e封合好金屬箔Η及外部導棒G，進一步，密封放電容器 2 0的端部f，使空間Α成爲真空或是不活性氣體環境。 而且，在此狀態下，將包含密封部2a的放電容器20 整體，放入電氣爐內，加熱使假想溫度成爲9 0 0〜1 2 0 0。〇 200532741 (20) 此結果，可以防止外部導棒G因存在於電氣爐內的 氧而被氧化。 之後，藉由切斷如第9圖（甲）中的X-X所示的部 分，如第9 (乙）圖所示，使外部導棒G露出外部，而形 成供電部。 然而，第5圖、第6圖 '第7圖的密封部3a、4a、 5 a藉由也同樣形成’就可以防止外部導棒的氧化。 當然，使電氣爐內部成爲真空或是不活性環境，即使 插入外部導棒露出的燈’也可以防止氧化。 然而，玻璃的歪斜雖是因紫外線或真空紫外線而發生 ，但是波長較短的真空紫外線的話較容易發生。本發明的 實施例主要是有關封入了發光1 7 2 nm的真空紫外光的xe 氣體的Xe準分子燈。氬-氯準分子光也就是波長175nm 等也具有同樣的效果。且’對於氙-氯或氪-氟等的混合氣 體雖主要發生3 0 8 nm或24 8 nm的紫外線，但是因爲也發 生氙的172nm或氪的147nm的真空紫外光，所以容易產 生歪斜。特別是長時間點燈的話，會引起鹵素氣體的枯渴 現象’在壽命末期會提高真空紫外光的比率。 【圖式簡單說明】 [第1圖]本發明的準分子燈的說明圖。 [第2圖]調查了 ：構成準分子燈的放電容器的玻璃的 假想溫度、及改變了碳（C )的量的情況的放電容器的破 損率及紫外線放射照度維持率的實驗結果資料說明圖。 -24 - 200532741 (21) [第3圖]調查了 ：放電容器的假想溫度爲一定的情況 - 時的改變了碳含有量時的放射照度維持率的變化的實驗結 果資料說明圖。 [第4圖]本發明的準分子燈的其他的實施例的說明圖 〇 [第5圖]本發明的準分子燈的其他的實施例的說明圖 〇 [第6圖]本發明的準分子燈的其他的實施例的說明圖 · 〇 [第7圖]本發明的準分子燈的其他的實施例的說明圖 〇 [第8圖]本,發明的準分子燈的其他的實施例的說明圖 〇 [第9圖]本發明的準分子燈的外部導棒的氧化防止方 法的說明圖。 【主要元件符號說明】 a排氣管殘部 S 放電空間 1準分子燈 2燈泡 2a密封部 2 b排氣管殘部 3燈泡 -25- 200532741 (22) 3 a密封部 · 3 b排氣管殘部 -4燈泡 4 a 密封部 4 b直管部 4c曲管部 4d排氣管殘部 5準分子燈 φ 5 a密封部 5 b 渦捲取部 5 c排氣管殘部 5e排氣管殘部 7 準分子燈 11 外 側 管 12 內 側 管 13 放 電 容 器 14 密 封 壁 部 15 外 周 面 16 電 極 17 外 周 面 18 電 極 19 電 線 20 放 電 容 器 2 1 內 部 電 極 -26- 200532741 (23) 2 2外部電極 · 3 〇放電容器 . 3 1內部電極 3 2外部電極 4 0放電容器 4 1內部電極 4 2 外部電極 5 0放電容器 修 5 1內部電極 5 2外部電極 6 0放電容器 6 1 外部電極
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