TW200529348A - Inspection apparatus and method for film carrier tapes for mounting electronic components and semiconductor devices - Google Patents

Description

200529348 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】

本發明有關一種用以檢視用以載置電子零件之薄膜承載 膠帶（後文稱為”薄膜承載膠帶”)及半導體元件之裝置及方 法，其中在安裝半導體元件或其他電子零件之前或之後，對薄 膜載體膠帶進行缺陷引腳及其他缺陷之最終檢視，並藉衝打等 方式標記缺陷之薄膜承載膠帶。本發明之檢視裝置及方法可適 宜地使用於例如TAB(膠帶自動黏合)膠帶、C0F(薄膜覆晶）膠 帶、T-BGA(膠帶球格柵陣列)膠帶、CSP(晶片尺寸封裝)勝帶、 ASCI(特殊應用積體電路)膠帶及雙金屬（雙面配線)膠帶等之 薄膜承載膠帶中。 【先前技術】 隨著電子工業之發展，對載置電子零件如1C(積體電路） 細小晶片及LSI (大規格積體）小晶片之印刷電路板之需求亦隨 ，急速成長。隨著電子元件之尺寸及重量需要縮小化及需要更 咼性能，已利用薄膜承載膠帶如TAB膠帶、C0F膠帶及T-BGA 膠帶安裝該等電子零件。尤其，在需要更高精確度、減小厚度 以及液晶螢幕周圍框架區域更小之液晶顯示器（LCD)如個人電 腦之電子工業中，薄膜承載膠帶尤具成長重要性。 此等薄膜承載膠帶一般在於其上載置電子零件如半導體 之刖或之後進行品質檢視。特定言之，由肉眼經視覺檢查外觀 (使用透射光或自欲檢視之此薄膜承載膠帶反射之光進行視覺 檢視）而檢視配線圖案如電性中斷、短路、裂紋及突起、缺陷 ，、變师帶、不炫之焊航_等之触。使用缺陷標 記打娜形成魏歡紐频記親形成油墨標 6己或使用奇異標記筆而標記有缺陷之薄膜承載膠帶。 番推膜承娜帶之檢視是以如帛9騎*之檢視裝 JP-A—2⑻1-345345)。所說明之檢視裝置1〇〇 包含進科機構102、檢視部110及捲取機構 IP050114/SF-1117f 5 200529348 該進料機構102具有進料驅動轴104，於其上連接有進料 捲軸103。在該進料捲轴1〇3上，用以載置電子零件之薄膜承 載膠帶T(後文稱為薄膜承載膠帶T)與間隔片s —起捲繞。'一 驅動馬達（未示出）使該進料驅動轴104旋轉且因此使薄膜承 載膠帶T與間隔片s —起自進料捲轴103進料並經由引導捲轴 115輸送至檢視部110。

為了在檢視部110檢視該薄膜承載膠帶T，藉由與膠帶τ 之扣鏈齒孔咬合而輸送該薄膜承載膠帶T之驅動齒輪^暫時 停止’因而薄膜承載膠帶τ確實位於預定之檢視位置。此圖式 中，編號121代表反伸展機構，其對欲以水平方向自檢零件 110上游輸送至下游之薄膜承載膠帶加一反張力。' 該檢視部110配備有利用配線圖案中之缺陷反射或透射 之光而以視覺檢視缺陷之放大鏡如顯微鏡m，該等缺陷如電 性中斷'短路、裂紋及突起、缺陷電鐘如電鏡污潰、膠帶變形 如翹曲、及不完全之焊劑抗蝕劑如散射之焊劑抗蝕劑以及針 孔。隨著薄膜承載膠帶τ懸掛輸送，以薄膜承載膠帶τ較長方 向巧列之配線_之-位在預定檢視位置且經視覺檢視。當偵 ^到任何雜部糾，將藉由缺陷標記麟112靖打 標記予以德記。 、# 後’ _承娜帶τ經由引導 捲t捲轴107上，該捲取捲轴107連接於捲 =f；fi 1G8上°同時’經由間隔片引導滾輪 „5=進料之間隔片5捲繞於捲取捲轴⑽ _於該捲取捲抽107上，而捲繞 ^編細及126代表^插入有間f片S。 之跳動滾輪。 T錢送之_承載料T施加張力 薄縣載膠帶上之配線圖案易以較細的間距形成。♦以放 大鏡111視覺檢視此微細間距圖案時，透鏡之焦點長度:須縮 IP050114/SF-1117f 6 200529348 短以確保對配線圖案總體檢視所須之放大倍率。如第8圖所 示，自接目鏡P1到薄膜承載膠帶T之檢視位置p2之距離l縮 短0 當距離L縮短時，亦即，當接目鏡P1朝放置檢視設備1〇〇 之地板下降時，使檢視者必須以向前彎腰的位置透過該接目鏡 觀看’而非以坐在椅子上之正常坐姿觀看。例如，當放大倍率 為2· 6倍時，薄膜承載膠帶與透鏡相隔約21公分，但4· i倍 之放大倍率時，其間距離相隔13公分。 ·口

關於捲繞在進料捲轴103上之長膠帶之較長方向排列之 配線圖案進行薄膜承載膠帶之視覺檢視。因此，檢視者必須長 時間維持向前彎腰之姿勢。再者，自檢視者之微觀外來物將更 似乎會落入該被檢視的薄膜載體膠帶上。 —當在檢視部以横過膠帶較大寬度彼此平行地檢視複數個 薄膜承載膠帶而組合於放大鏡之相同視野内檢視時，放大倍率 經常〒降低。鱗例巾，透鏡之焦點長度延長，且自接目鏡 F1到薄膜承載膠帶τ之檢視位置P2之距離l增大，如第§圖 所示:由1此延長的焦點長度，以適當高度坐在椅子上之檢視 者必須抬高座位高度以經由接目鏡進行視覺檢視，此對安全理 由並不利。有些情況下，接目鏡可能抬高到檢視者必須站立方 可經由接目鏡觀看之高度。如前述，由於薄膜承載膠帶之此視 覺檢視為長時間進行，因此以站立位置長時間檢視對檢 成過度疲勞。 再者’視覺檢視一般以於室内排列之複數個檢視裝置1〇〇 進行，因此較好各裝置佔據較小空間以有效利用室内空間。 ^本發明已可解決習知技藝之前述問題。因此本發明之目的 係提供用以載置電子零件之薄膜承載膠帶及半導體元件之檢 視^置及方法，因而檢視者可以坐在椅子上以適當高度之正常 坐姿進行薄膜承栽膠帶之視覺檢視，無關於放大鏡之放大倍 率，該檢視裝置密實而可有效利用檢視室内之空間。 口 IP050114/SF-1117f 7 200529348 【發明内容】 本發明之用於載置電子零件之薄膜承載膠帶之檢視裝 置’其包括： 一進料機構，用以使捲繞在進料捲轴之薄膜承载膠帶進 一檢視部，用以檢視薄膜承載膠帶；及 ’’ 二捲取機構，用以將在檢視部中檢視之薄膜承載膠帶擦濟在 其中該進料捲轴與該捲取捲轴係彼此相鄰排列，且檢視 位於使相鄰的進料捲轴及捲取捲軸係以進料捲轴及捲取 或捲取捲軸及進料捲轴之順序相對於該檢視部而設置。

此種構成可達成檢視裝置之整體尺寸比其中該檢視部 設置在進料捲軸及捲取捲轴之間且薄膜承載膠帶係以水平^ 向通過該檢視部之構成之習知裝置更為密實。 而習知裝置，檢視部係設置於該裝置之較長方向之中心區 域且檢視者以對於該裝置較長方向垂直之方向面向該裝置。另W 一方面，本發明t，該檢視者採取的位置係站在該裝置寬度方 向一端所排列之檢視部之前面，亦即該檢視者以相對於裝^之 寬度方向垂直之方向面向該裝置。 據此’冨兩個本發明之檢視裝置以彼此背面相向方式排列 時，該成對的檢視裝置寬度方向之兩侧可使用作為通道，而可 有效利用檢視室内之空間。 本發明之檢視裝置之特徵在於其在該檢視部内以實質上 垂直之方向輸送該薄膜承載膠帶，因而以放大鏡沿著實質上垂 直之方向檢視薄膜承載膠帶。 本發明之用以載置電子零件之薄膜承载膠帶之檢視方 法’包括自進料捲轴以實質上垂直之方向使載置電子零件之薄 膜承載膠帶輸送至檢視部，並沿著實質上垂直之方向以放大鏡 檢視該薄膜承載膠帶。 依據此構成’檢視部之放大鏡係排列在以實質上垂直方向 IP050114/SF-1117f 8 200529348 ，送之薄膜承載膠帶表面之前方。亦即，該放大鏡面向沿著水 平方向之膠帶表面。據此，透鏡之焦點長度藉由調整放大倍率 而於水平方向改變。亦即，接目鏡並未以相對於薄膜承載膠帶 之檢視位置之垂直方向移動。 因此，檢視者可以坐在椅子上之適當高度以正常坐姿進行 視覺檢視，而無關於放大鏡之放大倍率。 本發明之檢視裝置又包括分別在檢視部上方及下方之上 方引導滾輪及下方引導滾輪，而以實質上垂直之方向自上方引 導滾輪輸送該薄膜承載膠帶至下方引導滾輪，或自下方引導滾 輪輸送至上方引導滾輪。 _ 本發明之檢視方法包括以實質上垂直之方向，自上方引導 滾輪輸送薄膜承載膠帶至下方引導滾輪，或自下方引導滾輪輸 送至上方引導滚輪，該上方引導滾輪及下方引導滾輪分別設於 檢視部之上方及下方。 本發明之檢視裝置之特徵為該下方引導滾輪引導該薄膜 承載膠帶，使得膠帶之行經方向自上方引導滚輪延伸至該下方 引導滚輪之實質上垂直之方向轉向朝該捲取捲軸之該側之實 質上水平之方向，其中該檢視裝置又包括被驅動以輸送該薄膜 承載膠帶之驅動齒輪，該驅動齒輪設在沿著該實質上水平方向 之位置，以及包括沿著該輸送方向在上方引導滾輪上游及沿著 攀輸送方向在驅動齒輪下游處之數個拉伸機構。 本發明之檢視方法又包括： 藉由下方引導滾輪引導薄膜承載膠帶，使得膠帶之行經方 向，自上方引導滾輪延伸至該下方引導滚輪之實質上垂直之方 向轉向朝該捲取捲轴之内側之實質上水平之方向； 藉由驅動設在沿著實質上水平方向之位置之驅動齒輪而輸 送該薄膜承載膠帶；及 藉拉伸機構對藉由下方引導滾輪自實質上垂直方向摺疊成 實質上水平方向之薄膜承載膠帶施加張力，該等拉伸機構係排 IP050114/SF-1117f 9 200529348 游向之上方引導滾輪之上游及沿著該輸送方 位置包括設置在沿著實質上水平方向之 ^才機構，用以在薄膜承載膠帶上標記缺陷記號。 本發明之檢視方法又包括藉由設置在沿著實質上水平方 向，位置之缺陷標記機構，在該薄膜承載膠帶上標記缺陷標 吉接裝置之特徵在於未經_隔以丨導滾輪而 直接自進料捲軸輪送間隔片至捲取捲轴上。 本發明之檢視方法又包括未闕隔#將滾輪而 進料捲軸輸送間隔片至捲取捲軸上。 本發明之檢視裝置可包括複數個成對的彼此相鄰之進料 捲=及捲取絲，其中自個別進料捲軸進料之複數個薄膜 膠帶係以實質上垂直之方向彼此平行地在該檢視部輸送，靜 著實質上垂直方向之薄膜承載膠帶係在放域之相 ^ 實質上同時被檢視。 优’内 本發明之檢視方法可包括： 自與複數個捲取捲軸成對之複數個進料捲軸，使複數個 承載膠帶進料，且該進料捲軸與該捲取捲軸係彼此相鄰·、 使薄膜承載膠帶於實質上垂直之方向彼此平行地送 視部；及 衔 在放大鏡相同視野内，沿著實質上垂直方向同時檢視彼 行的薄膜承載膠帶。 + 本發明之檢視裝置之特徵為使檢視者在檢視部以該 承載膠帶係以垂直方向通過檢視者視野之方式輸送，而“ 膜承載膠帶之視覺檢視。 1' 订薄 本發明之檢視方法特徵在於使檢視者在檢視部以該 承載膠帶係以垂直方向通過檢視者視野之方式輸送，而進〜“ 膜承載膠帶之視覺檢視。 订缚 IP050114/SF-1117f 10 200529348 本發明之用於半導體元件之檢視裝置及檢視方法之特徵 在於對包含薄膜承載膠帶及其上所載置之電子零件之半導體 疋件進行檢視’而非對载置電子零件之薄膜承載膠帶進行檢 視。 、本發明之用於半導體元件之檢視方法之特徵在於可使檢 視者在檢視部，使該薄膜承載膠帶以垂直方向通過檢視者視野 之方式輸送，而進行薄膜承載膠帶之視覺檢視。 、本發明之用於薄膜承載膠帶及半導體元件之檢視裝置及 方法由於密實化之裝置尺寸而可提供節省空間排列之裝置。再 者，$檢視裝置及方法可使檢視者坐在椅子上以適當高度以自 然坐姿進行視覺檢視，而無關於放大鏡之放大倍率。 【實施方式】 、後文中，本發明之具體例將參考圖式詳細加以說明。第i 圖為說明本發明一具體例之用於薄膜承載膠帶之檢視裝置之 月*j視圖。 々、第1圖所示之用於薄膜承載膠帶之檢視裝置丨（後文中， ，為檢視裝置1)之構成係同時檢視兩個用以載置電子零件之 薄膜承載膠帶T1及Τ2(後文稱為薄膜承載膠帶T1及T2)。該 檢視裝置設有用以使個別薄膜承載膠帶T1及Τ2進料之進料機 才^ 2a及2b ;檢視部1〇 ;及用以捲繞個聰檢視之薄膜承 π T1及T2之捲繞機構6a及6b。該薄膜承載膠帶τι及T2可 為藉切割器切割薄膜承載膠帶所獲得者，該薄膜承載膠帶 有複數個包含其上冑置有電子零件之部分之配線圖形單 =線圖案單元讀文可稱為，，工件”），即為_之多承載膠 帶，該工件G係於膠帶之寬度方向排列為兩列(工件g1&g = =第5圖所示。本發明中，可利用各具有寬度35咖、4 70mm或96咖之膠帶。 g該進1機構2a具有配備有進料捲轴3a之進料驅動軸4a。 欲檢視之薄膜承載膠帶T1與間隔片S1 -起捲繞在該進料捲轴 IP050114/SF-1117f 11 200529348 3a上。同時，該捲取機構如具有配備有捲繞捲轴7a之捲繞 驅動轴8a。該捲繞捲軸％捲繞已經檢視過之薄膜承載膠帶 T1 ’而捲繞在該捲繞捲軸上之膠帶層與層之間插入該間隔片 S1。該進料捲轴3a與該捲繞捲轴7a於沿著該捲軸直徑之實質 上水平方向彼此相鄰排列。該間隔片S1直接輸送於該等捲轴 之間，而未經由間隔片引導滾輪。該捲軸3a及7a可以相對於 該裝置巧檢視者31相關之深度方向之一角度排列。例如，其 可以45的角度排列。亦可能該間隔片S1經由一間 滾輪輸送。 、該進料機構2b具有配備有進料捲軸3b之進料驅動軸牝。

姻隔;i S2-起捲繞在該進料捲轴 3b H取機構6b具有配備有捲繞捲軸7b之捲繞 =動轴8b。鷄繞絲7b職㈣減狀_承載膠帶 =，而捲繞在該捲繞捲軸上之膠帶層與層之間插入該間隔片 S2。該進料捲轴3b與該捲繞捲轴7b於沿著該捲轴直徑之實質 上ί平方ί彼此相鄰排列。該間隔片S2錢輸送於該等捲轴 =二m2二由間隔片弓丨導滚輪。該捲轴北及7b可以相對於 31相關之深度方向之-角度排列。例如，其 。亦可能該間隔片s2經由一間隔片引導 =相鄰對相鄰的進料捲軸3a及捲取捲轴7a 二ΐί枓捲軸3b及捲取捲軸7b以其-者高於另-者 準可；J:他機其寬度方向對準。然而’於寬度方向之對 準可隨其他機構之舖置㈣當改變。 薄膜示旋轉該進料驅動轴红及处，使該 及3b —起逸料水與間隔片si及S2分別自進料捲轴3a 藉由引導滾輪1帶承餅帶T1及T2 該侧的位置，如所示。接芸^輪28引V至進料捲軸3a及3b 導人該檢« 1()。鮮—帶T1及T2彼此平行 该等進料捲轴、該等捲取捲轴及該檢視部 IP050114/SF-1117f 12 200529348 mf5關檢料捲軸及該等捲取 加-張”在本具=為其：膜輪承娜咖 游之2f ί，帶T1及Τ2具有自該檢視部1G之上游至下 游之貝貝上垂直的方向。本文中，實質上垂直 向或相反讀，其較好與垂錄爾在1J更好 角以内，且最好在1()。角阶脚，上方 = 方導引滾輪29之排列係使得該薄膜承载谬帶 送。此實質上垂直輸送使檢視者31可藉由ΐ

Tn：n^m τι =顯微鏡11(放大鏡）’檢視者31可藉由透射光或反射 先之方式，對配線圖案之缺陷如電性中斷、短路、裂紋及突起 ，，行視覺品質檢視。除了顯微鏡以外，亦可利用單二透鏡之 簡單放大鏡如玻璃透鏡及Fresnel透鏡作為放大鏡。低功率顯 微鏡由於相對易於配置而更佳。例如，顯微鏡u係排列在^ 道使配備有透鏡之光學系統實質上為水平方向，使得該光學轴 大約垂直於該膠帶表面。 放大鏡之放大倍率（相對於一維方向）宜在i· 4至6· 〇倍5 之範圍，較好為1· 8至5· 5倍，且更好為2· 〇至5· 〇倍。放大 倍率小於1.4倍將太低而難以彳貞測到缺陷。當放大倍率超過 6· 0倍時，圖案可能超出視野範圍。 σ 特定言之，對具有複數個透鏡之實體鏡顯微鏡而言，放大 倍率較好為2· 0至6· 0倍，且對單一透鏡之簡單放大鏡而言， 放大倍率較好為1· 4至2· 5倍。當對可能的缺陷圖案需要靠近 檢視時，該放大倍率可增加至約20倍。 舉例而言，可如下述以放大鏡檢視該薄膜承載膠帶。放大 倍率調整至2· 0至6· 0倍之範圍，使得複數個圖案可同時落於 相同視野内。雖然理論上，檢視期間放大倍率不改變，但當可 EP050114/SF-1117f 13 200529348 能的缺陷需要靠近檢視時，可增大該放大倍率。例如，當以 2· 0至6· 0倍之低放大倍率之實體鏡顯微鏡發現到可能的缺陷 時，該放大倍率可增加至約20倍。當以放大鏡發現到可能的 缺陷圖案時，該放大鏡可被置換為高功率的實體鏡顯微鏡，且 可在約20倍放大倍率下靠近地檢視有問題的圖案。 本具體例中，彼此平行的薄膜承載膠帶T1及T2在檢視部 10以放大鏡檢視，其方式為兩個膠帶T1及T2以横過其寬度 同時被檢視。當如此具體例般於相同視野中檢視複數個薄膜承 載膠帶時，組合後之薄膜承載膠帶之寬度宜在⑽咖或以下， 較好為130mm或以下，且更好no麵或以下。當在該檢視部檢 • 視時’複數個圖案必須應在相同視野内。亦即，該薄膜承載膠 帶未必精確對準，只要其相對位置在相同視野内即可。 薄膜承載膠帶T1及T2在該檢視部10具有實質上垂直方 向且顯微鏡11排列在膠帶前方之結果，該顯微鏡11之放大鏡 沿著水平方向面對待檢視之薄膜承載膠帶T1及12。亦即，透 鏡的焦點長度係沿著水平方向。據此，如第7圖所示，當調整 放大倍率時，接目鏡Π至薄膜承載膠帶T之檢視位置P2之距 離L在垂直方向並未改變。顯微鏡丨丨高度可隨檢視者坐姿高 度而藉滑動機構加以調整。 如上述之習知檢視裝置中，藉由改變距離L隨接物鏡之項 鲁 上或向下移動而調整放大倍率。另一方面，本具體例之構成確 保所需的放大倍率而不垂直移動接目鏡。 當檢視者以尋常高度坐在椅子上使用如第9圖所示之習 知檢視裝置時，該放大鏡的放大倍率通常小於2倍。在小於2 倍，放大倍率下，可能以視覺檢視缺陷的配線圖案間的間隙充 其量為75微米，且一般為1〇〇微米或更大。同時，其中薄膜 承載膠帶沿著垂直方向被檢視之本具體例之構成可使坐著的 檢視者以視覺檢視75微米或更小的間隙的配線圖案，且最終 可小至50微米。 IP050114/SF-1117f 14 200529348 第2圖及第3圖顯示薄膜承載膠帶τΐ及T2在該檢視部之 輸送組態之實施例。當在檢視部10進行視覺檢視時，藉由第 1圖所示之驅動齒輪驅動的輸送暫時停止，使得欲檢視^工件 G位在引導構件34之預定位置。例如，當藉透射光進行視覺 檢視時’該工件G位在窗36a，透過該窗可使來自輻射機構48 之光通過。 該引導構件34截面約成11_型，如第3圖所示。其具有側 引導構件38及40，係自基材36倍面兩端處朝向前面突起(朝 向顯微鏡11)。該侧引導構件38及40引導該薄膜承載膠帶τι 及T2之兩最外端緣T3及T4。 p 該侧引導構件38及40形成有個別梯級38a及40a，沿著 該梯級引導該薄膜承載膠帶T1及T2之兩最外端緣T3及T4 在侧引導構件38及40兩端之間設有相鄰部分之引導構件 42 ’其具有自基材36突起的平坦前表面，因而可引導該薄膜 承載膠帶T1及T2之相鄰侧T5及T6。 該相鄰部分之引導構件42形成有隔離突起部42a，其平 分該平坦前表面且該表面引導該薄膜承載膠帶T1及T2，因而 避免相鄰侧T5及T6因彼此接觸而磨傷磨損。隔離突起部42a 之寬度並未特別限制，但宜約3毫米以確保相鄰侧T5及T6隔 •各個侧引導構件38及40與該相鄰部分引導構件42之 間’設有空間44及46以避免在輸送期間對薄膜承載膠帶T1 及T2底部表面之摩擦損傷。 依據士述薄膜承载膠帶T1及T2在檢視部10之輸送構 型，在該薄膜承载膠帶T1及12輸送期間，最外端緣T3及T4 與該相鄰侧Τ5及Τ6完全由該侧引導構件38及40及該引導構 件34之相鄰部分引導構件42所支撐。據此，在檢視部10彼 此平行輸送之薄膜承載膠帶ΤΊ及Τ2在輸送期間在寬度方向並 未彎折(扭曲）。因此，可避免膠帶在檢視位置與放大鏡之焦點 EP050114/SF-1117f 15 200529348 線圖案可精確地經視覺觀察而進行 加 輪TL载膠帶T1及Τ 2由第1圖之下方引導滾 自實^垂直方向轉成實質上水 = 轴咖。該水平方向可向上或向下傾 盆蘚ΖίΙΪί之輸送路徑上’設置有缺陷標記機構12， ΐίίΐϊ t _ _承載膠帶T1及T2標記出缺陷標 ^ = 秘之工件G藉由該缺 ===2在其預定位置上予哺記。鱗_記機構12 ^兮月15在^下方引導滾輪29上游之垂直點、位於檢視部ϊ〇 與該下方將滾輪29之間。 ㈣猎田由^引導滚輪28、29及16所引導之薄膜承載膠帶T1 B Tf>二疋成倒L型，如第1圖所示。該L-型薄膜承載膠帶Τ1 及T2猎上游跳動滾輪25及下游跳動滾輪26於相反方向施加 。在張力下之薄膜承載踢帶Ή及T2藉由驅動設在該下 齒輪游沿繼上水榻之輸送路徑上之驅動 如第4圖所示，該驅動齒輪22包含一轴⑼、裝設在該軸 60上之滚輪主體66、在該滾輪主體66兩端處之末梢齒輪62 及64、及在該滾輪主體66中間區域之中間齒輪68及7〇。該 滾輪主體66係由合成樹脂如PTFE(聚四氟乙烯)或氟樹脂所製 得0 該末梢齒輪62及64與在薄膜承載膠帶T1及π最外端緣 T3及T4穿孔產生之扣鏈齒孔{{3及H4咬合，如第5圖所示。 該中間齒輪68及70與在薄膜承載膠帶Ή及Τ2相鄰侧 Τ5及Τ6穿孔產生之扣鏈齒孔jj5及JJ6咬合。 為了確保穩定輸送，設有加壓滾輪72使得該薄膜承载膠 IP050114/SF-1117f 200529348 帶T1及T2插入該加壓滾輪72及該驅動齒輪22之間。 ” 一驅動馬達使該軸60與滾輪主體66 —起旋轉，且因而該 驅動齒輪22之末梢齒輪62及64與中間齒輪68及70與在最 外端緣Τ3及Τ4以及在相鄰侧Τ5及Τ6上穿孔所產生之扣鏈齒 孔Η3至Η6咬合。因此，該薄膜承載膠帶T1及Τ2以相同速度 平行輸送。 . 據此，該薄膜承载膠帶Τ1及Τ2可彼此平行輸送而不會錯 誤對準，且同時在檢視部1〇精確地被檢視。該驅動齒輪22可 被無齒輪的驅動滾輪置換以保護扣鏈齒孔。 視覺檢視及缺陷標記後，該薄膜承載膠帶Τ1及Τ2經該引 • 導滚輪16及一引導滾輪30引導，且該薄膜承載膠帶T1捲繞 在該捲取卿* 7a上且該賴賴料T2纖在祕取捲轴 7b上。 特定言之，驅動馬達(未示出）驅動該捲取驅動轴8a旋轉 且該薄膜承載膠帶T1與該間隔片si -起捲繞在捲取捲轴7a 十。同時，驅動馬達(未示出）驅動該捲取驅動軸8b旋轉且該 ，膜承載膠帶T2捲繞在捲取捲轴7b上，而間隔片S2插入於 捲繞在該捲取捲軸7b上之膠帶各層之間。 上述本具體例之檢視裝置1具有下列構成。該進料捲轴盥 該捲取捲軸沿著該捲軸直徑於實質上水平方向彼此相鄰^ 攀 列，且該檢視部位於該進料捲軸相對於該捲取捲軸之相反侧。 用以載置電子零件之薄膜承載膠帶自進料捲軸朝該檢視部進 料，並^該檢視部以實質上垂直方向輸送。隨後，該進料捲軸 下方之薄膜承載膠帶經輸送並捲繞在該捲取捲轴上。 ，較於其中該檢視部位於該進料捲軸與該捲繞捲軸之間 且該薄膜承載膠帶係以水平方向通過該檢視部之方式輸送之 習知構成，本發明上述構成可達成縮小裝置放置面積約減少一 半。 由於進料捲轴及捲取捲轴之相鄰排列，間隔片可直接自進 IP050114/SF.1117f 17 200529348 料捲f輪送至該捲取捲軸。因此，本發明具體例可省去如第9 圖所不之習知檢視裝置100之間隔片引導滾輪117及118。 、在如第6(B)圖所示之先前技藝中，該檢視部ι1〇位在該 檢視裝置1〇〇較長方向之中心且檢視者31自與該檢視裝置1〇〇 較，方向垂直之方向面向該檢視部11〇。因此，該檢視裝置1〇〇 在室内須排列如該圖中所示，且裝置1〇〇與1〇〇之寬度方向邊 緣之間的空間係使用作為通道。 π另一方面’此具體例之檢視裝置1構成如第6(A)圖所示， 使得該檢視部10位在檢視裝置丨寬度方向之一端且檢視者自 ，該檢視裝置寬度方向垂直之方向面向該檢視部1〇。據此， 當以^相_之麟檢視裝置丨及丨（分別在右伟及左手侧） 以其背對背彼此姆制時，該麟的檢視裝置i及丨之寬度 方向兩側可使用作為通道，如所示。因此相較於習知檢視 裝置’本發明之檢視裝置可更有效地利用檢視室内之空間。 、而如第9圖所示之傳統裝置，檢視者進行該薄膜承載膠帶 之視覺檢視，係使轉糾橫向方向輸送通過魏野。由^ 追蹤該薄，承載膠帶之移自會使檢視者在檢視期間感覺不舒 服，類似暈船之感覺。相反地，本發明具體例之裝置可使檢 者以使薄膜承載膠帶以垂直方向通過其視野之方式進行檢 視。據此，視覺檢視期間檢視者極不易感覺不舒服。 雖然本發明之用於薄膜承載膠帶之檢視裝置已藉1 時檢視兩個賴承載膠帶(Ή、72)之具體例加以描述^旦 明之檢視裝置不限於該具體例且可架構成檢視一個薄膜 膠帶或三個或更多個薄膜承載膠帶。 、 上述具體例中，該膠帶係自檢視部10之上方輪送至 方，亦即自上方引導滾輪28輪送至下方引導滾輪29。缺而， =可能以相反方向輸送，亦即膠帶自下方引導滾輪29 g送至 上方引導輪28。 再者，於上述具體例中，該薄膜承載膠帶係自上方引導滾 IP050114/SF-1117f 18 200529348 ΪΪ送ΐΐ方引導滾輪，且經由進料捲轴下方朝向該捲取捲軸 導滾輪可能排列在適當位置且該薄膜承載膠帶 上方朝該i取ΐίίί f方㈣雜且進—觸進料捲軸 ，好’在檢視部10之谬帶為垂直，但即使該膠帶以例如 =45之角度朝該檢視者輸送，檢視者仍可毫無問題地進 檢視。 、雖然上述具體例中缺陷標記機構係沿著水平方向設在該 #視部’ ’但#可位於驗視部下游峨驗置，例如位^ 對該捲取捲軸傾斜或垂直之輸送路徑上。

、上述具體例中，彼此相鄰的進料捲轴及捲取捲軸係以自檢 視者以進料捲軸及捲取捲軸之順序排列。但此順序若需要亦可 相反。 雖然上述具體例中，藉檢視者在檢視部進行視覺檢視，但 亦可能錢電腦之自動化^質檢視，其巾電腦藉纟分析攝入 CCD照相機内之影像數據進行影像辨認。又，可依據CCJ)昭相 機之影像進行視覺檢視。 … 本發明之檢視裝置及方法可應用於具有電子零件的封裝 (半導體元件)之視覺檢視。 【圖式簡單說明】 第1圖為說明本發明一具體例之用於薄膜承載膠帶之檢 視裝置之前視圖； 第2圖為檢視部之引導構件之前視圖； 第3圖為沿著第2圖之A-A線之剖面圖； 第4圖為第1圖中所示之檢視裝置之驅動齒輪概視圖； 第5圖為設有兩線配線圖案之薄膜承載膠帶之上視圖； 第6(A)圖為本發明之檢視裝置之室内排列說明視圖及第 6(B)圖為顯示習知檢視裝置之室内排列說明視圖； 第7圖為說明放大鏡在本發明之檢視裝置焦點長度方向 EP050114/SF-1117f 19 200529348 移動之圖式； 第8圖為說明放大鏡在習知檢視裝置焦點長度方向移動 之圖式；及 第9圖為說明用於薄膜承載膠帶之習知檢視裝置之前視 圖。 【主要元件符號說明】 I :檢視裝置 2a，2b :進料機構 3a，3b :進料捲軸 4a，4b :進料驅動軸 6a，6b :捲取機構 B 7a，7b :捲取捲軸 8a，8b :捲取驅動軸 10 :檢視部 II :顯微鏡(放大鏡） 12 :缺陷標記機構 16 :引導滾輪 22 :驅動齒輪 25 :跳動滾輪 26 :跳動滾輪 • 27 :引導滾輪 28 :上方引導滾輪 29 :下方引導滾輪 30 :引導滾輪 31 :檢視者 34 ··引導構件 36 :基板 36a :窗 38 :側引導構件 n>050114/SF-1117f 20 200529348 38a :梯級 40 ··側引導構件 40a :梯級 42 :相鄰部分引導構件 42a ·隔離突起部 44 :空間 46 :空間 48 :放射機構 60 ··轴 62, 64 :末梢齒輪 66 :滚輪主體 ® 68, 70 :中間齒輪 72 :加壓滾輪 80 :通道 100 :檢視裝置 102 :進料機構 103 :進料捲軸 104 :進料機構軸 106 :捲取機構 107 :捲取捲軸 • 108 :捲取驅動轴 110 :檢視部 111 :顯微鏡(放大鏡） 112 :缺陷標記機構 115 :引導滾輪 116 :引導滾輪 117 :間隔片引導滾輪 118 :間隔片引導滾輪 121 :反拉伸機構 IP050114/SF-1117f 21 200529348 122 :驅動齒輪 125 :跳動滾輪 126 :跳動滚輪 T:薄膜承載膠帶 T1 :薄膜承載膠帶 T2 :薄膜承載膠帶 T3，T4 :最外端緣 Τ5, Τ6 ··侧邊 S :間隔片 S1 :間隔片 _ S2:間隔片 ’ G :工件 G1 :工件 G2 :工件 Η3, Η4, Η5, Η6 :扣鏈齒孔 Π :接目鏡 Ρ2 :檢視位置 L:接目鏡至檢視位置之距離 IP050114/SF-1117f 22

Claims (1)

1. 200529348 十、申請專利範園： 1· 一種用於載置電子零件之薄膜承載膠帶之檢視裝置，其包 括： 一進料機構，用以使捲繞在進料捲轴之薄膜承載膠帶進料； 一檢視部，用以檢視薄膜承載膠帶；及 一捲取機構，用以將在檢視部中檢視過之薄膜承載膠帶捲繞 在一捲取捲轴上； 其中該進料捲轴與該捲取捲轴係彼此相鄰排列，且檢視部係 位於使相鄰的進料捲轴及捲取捲轴係以進料捲轴及捲取捲軸 或捲取捲轴及進料捲轴之順序相對於該檢視部而設置。 _ 2·如申請專利範圍第1項之檢視裝置，其中該薄膜承載膠帶係 以實質上垂直的方向在該檢視部輸送’使得該薄膜承載膠帶 沿著實質垂直方向經放大鏡檢視。 3.如申請專利範圍第2項之檢視裝置，進一步包括分別在該檢 視部上方及下方之一上方引導滾倫及一下方引導滾輪，而使 該薄膜承載膠帶以實質上垂直之方向自該上方引導滾輪輸送 至該下方引導滾輪或自該下方引導滾輪輸送至該上方引導滚 輪。 4·如申請專利範圍第3項之檢視裝置，其特徵為該下方引導滾 輪引導該薄膜承載膠帶使得該膠帶的行經方向自上方引導滚 輪延伸至該下方引導滚輪之實質上垂直之方向轉向朝該捲取 捲軸之該側之實質上水平之方向，其中該檢視裝置又包括被 驅動以輸送該薄膜承載膠帶之驅動齒輪，該驅動齒輪設在沿 者該實質上水平方向之位置，以及包括沿著該輸送方向在上 方引導滾輪上游及沿著輸送方向在驅動齒輪下游處之數個拉 伸機構。 5·如申請專利範圍第4項之檢視裝置，進一步包括設置在沿著 實質上水平方向之位置之缺陷標記機構，用以在薄膜承載膠 帶上標記缺陷記號。 ' < IP050114/SF-1117f 23 200529348 6·如申請專利範圍第1至5項中任一項之檢視裝置，其特徵在 於未經由間隔片引導滾輪而直接自進料捲轴輸送間隔片至捲 取捲軸上。 7·如申請專利範圍第1至5項中任一項之檢視裝置，包括複數 個成對的彼此相鄰之進料捲軸及捲取捲軸，其中自個別進料 捲軸進料之複數個薄膜承載膠帶係以實質上垂直之方向彼此 平行地在該檢視部輸送，且沿著實質上垂直方向之薄膜承載 膠帶係經放大鏡檢視。 8·如申請專利範圍第1至5項中任一項之檢視裝置，其特徵為 該裝置可使檢視者在檢視部進行薄膜承載膠帶的視覺檢視， • 其中該薄膜承載膠帶係以垂直方向輸送通過檢視者之視野。 9·如申請專利範圍第1至5項中任一項之檢視裝置，其係用以 檢視半導體元件而非檢視薄膜承載膠帶者，該半導體元件包 含薄膜承載膠帶及裝設於其上的電子零件。 1〇·如申請專利範圍第9項之檢視裝置，其特徵為該裝置可使 檢視者在檢視部進行半導體元件的視覺檢視，其中該半導體 元件係以垂直方向輸送通過檢視者之視野。 11· 一種用以載置電子零件之薄膜承載膠帶之檢視方法，該方 法包括使進料捲軸進料的薄膜承載膠帶以實質上垂直的方向 輸送通過檢視部，且沿著實質上與放大鏡實質上垂直的方向 * 檢視該薄膜承載膠帶。 12·如申請專利範圍第η項之檢視方法，其中該進料捲轴及捲 取捲轴彼此相鄰排列。 13·如申請專利範圍第12項之檢視方法，其中該檢視部係設置 為使得該相鄰的進料捲轴及捲取捲轴以相對於該檢視部為進 料捲轴及捲取捲轴或捲取捲轴及進料捲軸之順序。 14·如申請專利範圍第12項之檢視方法，進一步包括以實質上 垂直方向使薄膜承載膠帶自上方引導滾輪輸送至下方引導滚 輪或自下方引導滾輪輸送至上方引導滾輪，該上方引導滾輪 IP050114/SF-1117f 200529348 及該下方引導滾輪係分別設在該檢視部之上方及下方。 15·如申請專利範圍第14項之檢視方法，進一步包括： 藉由該下方引導滾輪引導該薄膜承載朦帶，使得該膠帶之 行經方向，自上方引導滾輪延伸至該下方引導滾輪之實質上 垂直之方向轉向朝該捲取捲軸之内侧之實質上水平之方向； :藉由驅動設在沿著實質上水平方向之位置之驅動齒輪而輸 送該薄膜承載膠帶；及 藉拉伸機構對藉由下方引導滾輪自實質上垂直方向摺疊成 實質上水平方向之薄膜承載膠帶施加張力，該等拉伸機構係 排列在沿著該輸送方向之上方引導滾輪之上游及沿著該輸送 φ 方向之驅動齒輪之下游。 16·如申請專利範圍第15項之檢視方法，又包括藉由設置在沿 者貝質上水千方向之位置之缺陷標記機構’在該薄膜承載膠 帶上標記缺陷標記。 17·如申請專利範圍第η至16項中任一項之檢視方法，又包 括未經間隔片引導滾輪而直接自進料捲轴輸送間隔片至捲取 捲轴上。 18·如申請專利範圍第11至16項中任一項之檢視方法，包括： 自與複數個捲取捲軸成對之複數個進料捲轴，使複數個薄 膜承載膠帶進料，且該進料捲軸與該捲取捲轴係彼此相鄰； 使薄膜承載膠帶於實質上垂直之方向彼此平行地輸送至檢 視部；及 沿著實質上垂直方向以放大鏡檢視彼此平行的薄膜承載膠 帶。 19·如申請專利範圍第11至16項中任一項之檢視方法，其中 檢視者係以使該薄膜承載膠帶以垂直方向通過檢視者視野之 方式輸送，在檢視部處進行視覺檢視。 20·如申請專利範圍第11至16項中任一項之檢視方法，其中 係檢視半導體元件而非薄膜承載膠帶，該半導體元件包含薄 IP050114/SF-1117f 25 200529348 膜承載膠帶及載置於其上的電子零件。 21.如申請專利範圍第20項之檢視方法，其中檢視者係以該半 導體元件在該檢視部以垂直方向輸送通過檢視者之視野而進 行視覺檢視者。

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