TW200419625A - Plasma display panel with closed discharging cell and its manufacturing method - Google Patents

Description

200419625 五、發明說明（l) 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種電漿顯示器（plasma display panel ’ PDP )及其製造方法，且特別是有關於一種具封閉 式放電槽（cell )之電漿顯示器及其製造方法。 【先前 一 一 基板製 製程。 上 電極與 極製作 作以及 撐上、 段的對 合。基 抽除乾 板與電 考 示器中 内已分 空狀態 請 顯示器 技術】 般而言， 程、封合 基板製程 匯流電極 、反光用 螢光粉塗 下基板的 位封合製 板封合後 淨後灌入 路組裝。 量電漿顯 的放電槽 隔為數百 耗時甚長 同時參照 中具矩形 電裝顯示器的製程可分為上基板製程、Ί 製程、加熱/抽氣/封入鈍氣製程以及組身

包$在每一放電槽中放置兩條電極〜放^ 丄介電層以及保護膜。下基板製程包括ΐ ”電層製作、阻隔壁（barrier rib)製 1 °阻隔壁除分隔放電槽外，並有做為； 功能。^ ^ 程， 上、下基板製程完成後，再進行名 ^進^利用低熔點玻璃膠將二片基板黏

放電订面板真空排氣，即將面板内的氣I 用的鈍氣。最後步驟則為將完成的； 不器之查 μ ,

多採 董質的清晰程度，現今用於電漿^ 朱用封閉式的放電槽。因此，由於面； ， 了閉式放電槽，因此要達到有效的： 1、、、量產的瓶頸之一。 从^圖與第1Β圖。第1Α圖係繪示傳統電 '^封閉式放電槽之示意圖，第1 6圖-

TW1046F(友達）.ptd Α Γ， D / · 第4頁 200419625 五、發明說明（2) 繪示相應於第1A圖中虛線框示區域之立體圖。傳統之電製、 顯示器1 0 0主要包括有玻璃基板11 〇及多個具矩形外廓之封 閉式放電槽1 2 0。 、 封閉式放電槽1 2 0係位於玻璃基板1 1 0上，每一個封閉 式放電槽1 2 0係由四個阻隔壁1 3 0所圍成。

如圖中所繪示，阻隔封閉式放電槽1 2 0的所有阻隔壁 130均具有相同的壁高hi。因此，當玻璃基板11〇與另一玻 璃基板（圖中未繪示出）封合完畢成為面板時，所有的封 閉式放電槽1 2 0間將無法連通。故於爾後進行面板内之真 空排氣的製程時，便需要耗費很長的時間抽氣，才能使面 板内達到真空的狀態。 請同時參照第2A圖與第2B圖。第2A圖係繪示傳統電衆 顯示器中具蜂巢形外廓之封閉式放電槽之示意圖，第2 B圖 係繪示相應於第2 A圖中虛線框示區域之立體圖。封閉式放 電槽的外廓亦可以是如圖中所繪示，為具蜂巢形外廓之封 閉式放電槽220。多個封閉式放電槽220位於玻璃基板21〇 上，每一個放電槽22 0係由六個阻隔壁2 30圍成蜂巢的形 狀0 雖然具蜂巢形外廓之封閉式放電槽22〇在外廓上與具 矩形外廓之封閉式放電槽1 2 0不同，但其所有的阻隔壁23〇 亦均具有相同的壁高H2，故封合後的面板同樣具有不易抽 氣使之成真空狀態的性質。 故上述傳統之具封閉式放電槽之電漿顯示器所具有的 缺點為·所有阻隔封閉式放電槽的阻隔壁均且有同樣的阻

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氣，致使需要 態。 隔：南度：使得封^後的面板較難被有效抽 很長的抽氣時間才能使面板内達到真* 、 /、二的狀 ,【發明内容】 有鑑於此，本發明的目 電槽之電裂顯不及其製造 部的空氣易於被抽除乾淨， 以較為純淨，使電漿顯示器 根據上述目的，本發明 漿顯示器。此電漿顯示器之 顯示器包括：玻璃基板以及 式放電槽位於玻璃基板上， 個阻隔壁所圍成，而此些阻 阻隔壁。其中，於燒結製程 變化的壁厚，而於燒結製程 變化的壁高。 方1是在提供—種具封閉式放 1法。其在使封合後之面板内 f爾後封入面板内部的鈍氣得 月匕有幸父佳的顯示品質。 ，ΐ T種具封閉式放電槽之電 製造係搭配燒結製程。此電漿 夕個封閉式放電槽。多個封閉 此些封閉式放電槽係分別由多 隔壁中至少具有一變化壁厚之 前此變化壁厚之阻隔壁係具有 後此變化壁厚之阻隔壁則具有

另外’本發明亦提出一種具封閉式放電槽之電襞顯示 器的製造f法、。包括：首先，覆蓋阻隔壁材料層於玻璃基 板上，接著，塗佈光阻層於阻隔壁材料層上；然後，曝光

並顯影光阻層，使阻隔壁材料層上形成多個封閉式放電槽 光阻層’此些封閉式放電槽光阻層分別由多個阻隔壁光阻 層所圍成，此些阻隔壁光阻層中至少具有一變化壁厚之阻 隔壁光阻層’此變化壁厚之阻隔壁光阻層係具有變化之壁 厚；接著’去除暴露之阻隔壁材料層；然後，褪去光阻

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五、發明說明（4) 。在上述之製造方、 則另可採用類似於 層·’最後，燒結圖案化之阻隔壁材料層 法中’若阻隔壁材料層為感光材料時， 上述但較為簡易的製造方法。 為讓本發明之上述目的、特徵和優點能更明顯易懂 下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作 說明如 下0 、 【實施方式】 請同時參照第3A圖與第3B圖。第3A圖係繪示依照本發 明之較佳實施例之電漿顯示器中具矩形外廓之封閉式放電 槽之示意圖，第3B圖係繪示相應於第3A圖中虛線框示區域 之立體圖。電漿顯示器3 0 0的製造係搭配一燒結製程進 行。電漿顯示器300主要包括有玻璃基板3 1()與多個約略具 矩形外廓之封閉式放電槽3 2 0。 八 封閉式放電槽32 0位於玻璃基板310上，如圖中所繪 示’每一個封閉式放電槽3 2 0均由四個阻隔壁3 3 〇所圍成。 在燒結製程前，此四個阻隔壁中至少有一個阻隔壁具有變 化的壁厚T31及T32。 ' 對同一阻隔壁330而言，不均一的壁厚T31與T32能使 得阻隔封閉式放電槽3 2 0的阻隔壁33 0，於燒結製程後b產生 具有不同壁高H31、H32的阻隔壁。亦即，壁厚T32因為較 小，於燒結後會產生較小的壁高H32 ;而壁厚T3 i較大_，X於 燒結後便會產生較大的壁高Η 3 1。 、 而四個圍成封閉式放電槽32()的阻隔壁330中，只要有 200419625 五、發明說明（5) /一個阻隔壁3 3 0具有不均一的壁厚，便能使其於燒結製程、 後’產生一具有變化之壁高的阻隔壁3 3 〇，而能令此封閉 式放電槽320與接鄰的封閉式放電槽“ο連通。 · 圖中所繪不圍成封閉式放電槽3 2 〇的所有阻隔壁3 3 〇均 在端側具有較大的壁厚，因此於燒結後，此些具有不均一 之壁厚的阻隔壁，便會成為具有不均一之壁高的阻隔壁。 如此’所有為阻隔壁阻隔的封閉式放電槽32〇即可相互流 通，於抽除封合後之面板内的空氣時，就會較為容易。 請同時參照第4A圖與第4B圖。第4A圖係繪示依照本發 明之較佳實施例之電滎顯示器中具蜂巢形外廓之封閉式放_ 電槽之示意圖’第4B圖係、繪示相應於第4A圖中虛線框示區 域=立體圖。電漿顯示器4〇〇的製造亦係搭配一燒結製程 進灯。電漿顯示1140()主要包括有玻璃基板41()與多個約略 具蜂巢形外廓之封閉式放電槽42 〇。 具蜂巢形外靡之封閉式放電槽42()係由六個阻隔壁43〇 :隔與之具中矩形:卜廓之封閉式放電槽320相同，其六個 阻隔壁4 3 0之中，亦至，丨、目士 , 的阻隔壁43。。 -有-個具變化之壁厚T41、T42 此阻隔壁4 3 0經焊社你 n . …、較低壁高H42的阻。隔後壁4二，^ 槽420之間於面板封C〇。由此’各個封閉式放電 的空氣就會較為容易 ？可相互連通。抽取面板内部 上述封閉式放電面板内部達到真空的狀態。 明。於燒結製程前，丄1卜廊的形&，並非用以限定本發 任何付合具有至少一變化之壁厚之具

五、發明說明（6) 有任意形狀之外廓的封閉式放電槽，肖可使之於婷 達成本發明欲得到每一封閉式放電槽均具有至少：變1之 壁南的目以使得上、下玻璃基板封合成面板時，面板 内的封閉式放電槽得以互相連通，方便對 氣，使之易於達到真空的狀態。 做円$抽 示器另Ϊ發ϊϊϊΐ述本發明之具封閉式放電槽之電漿顯 製造方法。請參照一種具封閉式放電槽之電漿顯示器的 施例之具封閉式^ 5圖，其係繪示依照本發明之較佳實 圖。其步驟包括：I槽之電漿顯示器的製造方法之流程 封閉式放電槽之雷:先:於步驟5 0 〇中，開始本發明之具 中，先覆蓋-層阻器的製程。接著’於步〇 驟5 2 0中，塗佈一屏土材料層於玻璃基板上。然後，於步 步驟5 3 0中，曝光1^阻層於阻隔壁材料層上。之後，於 成多個封閉式放電摊4止影此光阻層，使阻隔壁材料層上形 別由多個阻隔壁井::阻層，此些封閉式放電槽光阻層分 至少一阻隔壁光阻9所圍成，此些阻隔壁光阻層中具有 厚。而上述封閉气:。而此阻隔壁光阻層則具有變化的壁 形或約略為蜂巢電槽光阻層的外廓則可以是約略為矩 隔壁材料層。而接著，於步驟540中，去除暴露的阻 是蝕刻的製程為之:=隔壁材料層的方式可以採用噴砂或 之後，於步驟560中後’於步驟5 5〇中，槐去光阻層。 後，於步驟5 7 〇中姅告1結經圖案化之阻隔壁材料層。最 上述製造方二束製程。 ’ τ，若阻隔壁材料層為感光 200419625 五、發明說明（7) 可=用車又為簡易的製程。請參照第6圖，其所繪示乃依照 ^ ^ ^ ^較佳實施例之具封閉式放電槽之電漿顯示器的另 一種製造方法之流程圖。其步驟包括：首先，於步驟6〇() ’ 中二開始本發明之具封閉式放電槽之電漿顯示器的製程。 接者，、於步驟61〇中，先覆蓋阻隔壁材料層於玻璃基板 上。然後，於步驟6 2 0中，曝光並顯影此阻隔壁材料層， 使玻璃基板上形成多個封閉式放電槽，此些封閉式放電槽 分別由多個阻隔壁所圍成，此些阻隔壁中具有至少一阻隔 壁，而此阻隔壁則具有變化的壁厚。而此些封閉式放電槽 的外廓則可以是約略為矩形、或約略為蜂巢形。之後，於 步驟63 0中，燒結經圖案化的阻隔壁材料層。、 驟640中結束製程。 9 瓦 、歹 上述兩種製造方法，皆可製造出本發明之具封閉式放 電槽之電漿顯示器。而本發明上述實施例所揭露 式放電槽之電漿顯示器及其製造方法，至+ /、’ 4 為：阻隔每一個封閉式放電槽的阻隔壁中小 ··’ 壁具有變化的壁高，使得經封合後的面板 ^ 一個阻隔 電槽間皆可相互連通。此將使得面板的抽氣較2 =閉式放 氣的時間得以有效縮短，而面板内部將比於二:、谷易、抽 叮扣較能夠读㊆丨直处 可促使電 的狀態。使之後封入面板中的鈍氣能較為純淨 & &具二 漿顯示器的整體性能得以有效提升。 露如上，然其並 在不脫離本發明 ’因此本發明之 綜上所述，雖然本發明已以實施例揭 非用以限定本發明，任何熟習此技藝者， 之精神和範圍内，當可作各種更動與潤飾

200419625 五、發明說明（8) 保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準 ΐ^· TW1046F(友達）.ptd 第11頁 200419625 圖式簡單說明 【圖式簡單說明】 第1 A圖係繪示傳統之電漿顯示器中具矩形外廓之封閉 式放電槽之示意圖。 第1 B圖係繪示相應於第1 A圖中虛線框示區域之立體 圖。 第2A圖係繪示傳統之電漿顯示器中具蜂巢形外廓之封 閉式放電槽之示意圖。 第2B圖係繪示相應於第2A圖中虛線框示區域之立體 圖。 第3A圖係繪示依照本發明之較佳實施例之電漿顯示器 中具矩形外廓之封閉式放電槽之示意圖。 第3B圖係繪示相應於第3A圖中虛線框示區域之立體 圖。 第4A圖係繪示依照本發明之較佳實施例之電漿顯示器 中具蜂巢形外廓之封閉式放電槽之示意圖。 第4B圖係繪示相應於第4A圖中虛線框示區域之立體 圖。 第5圖係繪示依照本發明之較佳實施例之具封閉式放 電槽之電漿顯示器的製造方法之流程圖。 第6圖係繪示依照本發明之較佳實施例之具封閉式放 電槽之電漿顯示器的另一種製造方法之流程圖。 圖式標號說明 100、200、300、400 ··電漿顯示器

TW1046F(友達）.ptd 第12頁 200419625 圖式簡單說明 110 120 130 HI ’ T31 、2 1 0、3 1 0、41 0 ·玻璃基板 、2 2 0、32 0、42 0 :封閉式放電槽 、230、330、430 :阻隔壁 H2 、 H31 、 H32 、 H41 、 H42 :壁高 、T32 ' T41、T42 :壁厚

TW1046F(友達）.ptd 第13頁

Claims (1)

1. 200419625 六、申請專利範圍 1· 一種具封閉式放電槽之電漿顯示器（plasma display panel，pop )，該電漿顯示器包括： 一玻璃基板；以及 複數個封閉式放電槽（cel 1 )，位於該玻璃基板上， 該些封閉式放電槽係分別由複數個阻隔壁（bar r丨e r rib )所圍成，該些阻隔壁中具有至少一變化壁厚之阻隔 璧 ， 其中，於該燒結製程前該變化壁厚之阻隔壁係具有變 化之壁厚，而於該燒結製程後該變化壁厚之阻隔壁則具有 變化之壁高。 ' 2 ·如申請專利範圍第1項所述之電漿顯示器，其中該 些封閉式放電槽之外廓係約略為矩形。 3.如申請專利範圍第1項所述之電漿顯示器，其中該 些封閉式放電槽之外廓係約略為蜂巢形。 4· 一種具封閉式放電槽之電漿顯示器的製造方法， 包括： 覆蓋一阻隔壁材料層於一玻璃基板上； 塗佈了光阻層於該阻隔壁材料層上； 個封閉式放電==:層，1該阻隔壁材料層上形成複數 由複數個阻隔壁光阻^所=些封閉式放電槽光阻層係分別 至少-變化壁厚之心：；成’該些阻隔壁光阻層中具有 阻層係具有變化之壁厚^先阻層，該變化壁厚之阻隔壁光 去除暴露之該阻隔壁材料層；

   200419625 六、申請專利範圍 褪去該光阻層；以及 燒結圖案化之該阻隔壁材料層。 其中該去 其中該去 其中該些 其中該些 5. 如申請專利範圍第4項所述之製造方法 除步驟係為一喷砂製程。 6. 如申請專利範圍第4項所述之製造方法 除步驟係為一蝕刻製程。 7. 如申請專利範圍第4項所述之製造方法 封閉式放電槽光阻層之外廓係約略為矩形。 8. 如申請專利範圍第4項所述之製造方法 封閉式放電槽光阻層之外廓係約略為蜂巢形。 9. 一種具封閉式放電槽之電漿顯示器的製造方法， 包括： 覆蓋一阻隔壁材料層於一玻璃基板上； 曝光並顯影該阻隔壁材料層，使該玻璃基板上形成複 數個封閉式放電槽，該些封閉式放電槽係分別由複數個阻 隔壁所圍成，該些阻隔壁中具有至少一變化壁厚之阻隔 壁，該變化壁厚之阻隔壁係具有變化之壁厚；以及 燒結圖案化之該阻隔壁材料層。 其中該 10. 如申請專利範圍第9項所述之製造方法 阻隔壁材料層係為感光材料。 其中該 11. 如申請專利範圍第9項所述之製造方法 些封閉式放電槽之外廓係約略為矩形。 其中該 12. 如申請專利範圍第9項所述之製造方法 些封閉式放電槽之外廓係約略為蜂巢形。

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