KR100251155B1 - 플라즈마디스플레이패널용격벽의제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 금속기판 상에 적층시킨 감광성 글래스층에 직접 노광 및 에칭을 수행하여 격벽을 형성함으로써 제조 공정을 단순화하고 격벽의 정밀도를 향상시킨 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽의 제조 방법에 관한 것으로서,

유리기판과 열팽창 계수가 유사한 금속기판 상의 전면에 감광성이 없는 글래스층을 형성한 후 어드레스 전극을 형성하고 그 상면 전면에 감광성 글래스층을 형성하는 제1 과정과, 섭씨 600도 이상에서 소성을 수행하여 상기 감광성 글래스층을 용융시키는 제2 과정과, 격벽 패턴이 형성된 포토 마스크를 사용하여 노광 및 현상을 수행한 후 에칭을 수행하여 격벽을 완성하는 제3 과정으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널용 격벽의 제조 방법{plasma dlsplay panel}

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽의 제조 방법에 관한 것으로서 특히, 감광성 글래스 분말을 이용하여 격벽을 형성시킴으로써 제조 공정을 단순화한 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽의 제조 방법에 관한 것이다.

일반적인 플라즈마 디스플레이 패널(이하 PDP라 함.)은 도 1에 도시된 바와 같이 서로 대향되며 일정한 간격을 두고 합착되는 표면 유리기판(10)과 배면 유리기판(120)을 포함하는데, 그 사이에는 플라즈마를 발생하여 형광체를 발광시키기 위한 방전 공간을 형성한다. 이때, 상기 표면 유리기판(10)에는 표시전극(30)이 형성되고, 배면 유리기판(20)에는 어드레스(address) 전극(40) 및 격벽(50)이 스트라이프 모양으로 형성된다.

상기 표시전극(30)과 상기 어드레스 전극(40)이 서로 직교하도록 상기 표면 유리기판(10)과 배면 유리기판(20)이 조립되는데, 그 사이에 네온(Ne)이나 헬륨(He) 등의 방전 가스가 채워지고, 방전셀 단위로 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 형광체(60)가 구분되어 도포된다.

상기와 같이 구성된 PDP에서 격벽(50)은 상기 각각의 어드레스 전극(40) 사이에 스트라이프 모양으로 형성되며, 상기 각각의 어드레스 전극(40)을 복수의 방전셀로 분리하는 역할을 한다.

도 2는 종래 기술에 의한 PDP용 격벽 형성 과정을 순차적으로 나타내는 단면도들이다.

먼저, 유리기판(110) 상에 어드레스 전극(120)을 프린팅한 후(도 2의 (A) 참조), 그 결과물 전면에 격벽 재료(130)를 격벽 두께가 되도록 적층한다.(도 2의 (B) 참조) 이때, 상기 유리기판(110)은 소다 라임(soda lime) 글래스 기판을 사용하고, 상기 격벽 재료(130)는 글래스 페이스트를 사용한다. 또한, 상기 격벽 재료(130)의 적층은 스크린 프린팅법을 이용하여 프린팅과 건조를 교대로 반복하여 수행하는데 스크린 마스크를 사용한다.

그후, 상기 격벽 재료(130)의 상면 전체에 포토레지스트 필름(140)을 코팅한 후(도 2의 (C) 참조), 원하는 패턴으로 개구부가 형성된 포토 마스크(150)를 놓고(도 2의 (D) 참조) 노광을 수행함으로서 광에 노출된 부분의 포토레지스트 필름(140)의 성질을 변경시킨다.(도 2의 (E) 참조)

그후, 상기 결과물에서 광에 노출된 부분과 광에 노출되지 않은 부분 중 어느 하나를 에칭(etching)하여 격벽 패턴(160)을 형성시킨 후(도 2의 (F) 참조), 필요 없는 부분의 격벽 재료(130)를 제거한다.(도 2의 (G) 참조) 이때, 상기 격벽 재료(130)의 제거동작은 고압의 노즐을 통해 연마재를 분사시킴으로써 이루어진다.

그후, 샌드 블라스트(sand blast) 방법을 사용하여 격벽의 상면에 존재하는 포토레지스트 필름(140)을 제거하고 소정의 온도에서 소성을 수행하여 격벽(170)의 형성을 완료한다.(도 2의 (H) 참조)

그러나, 상기와 같이 구성된 종래의 PDP용 격벽 형성방법은 스크린 마스크의 반복 사용으로 인하여 변형 및 수명 단축의 문제점이 발생되며, 스크린 프린팅의 반복으로 인하여 위치 정밀도가 저하되어 PDP의 해상도가 저하되는 문제점이 있다.

또한, 샌드 블라스트 공정에서는 연마재의 손실이 발생되고, 이로 인한 분진의 발생으로 PDP의 해상도를 저하시키는 문제점이 발생된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 금속기판 상에 적층시킨 감광성 글래스층에 직접 노광 및 에칭을 수행하여 격벽을 형성함으로써 제조 공정을 단순화하고 격벽의 정밀도를 향상시킨 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽의 제조 방법을 제공하는데 있다.

도 1은 일반적인 PDP의 구성을 나타내는 단면도,

도 2는 종래 기술에 의한 격벽의 제조 공정을 나타내는 단면도들,

도 3은 본 발명에 의한 격벽의 제조 공정을 나타내는 단면도들.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

210 : 금속기판 221 : 제1 그린쉬트(Green Sheet)

222 : 제2 그린쉬트 230 : 어드레스 전극

240 : 제3 그린쉬트 250 : 포토마스크

260 : 격벽

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 특징에 따르면, 감광성 글래스와 유사한 열팽창 계수를 갖는 금속기판과, 감광성이 없는 제1 및 제2 그린시트를 준비한 다음에 상기 금속기판 위에 제1 그린시트, 어드레스 전극, 제2 그린시트를 차례로 적층하는 제1 과정과; 상기 제1 과정의 결과물에 감광성 제3 그린시트를 적층하고 소성을 수행하여 감광성 글래스층을 용융시키는 제2 과정과; 상기 제2 과정의 결과물에 격벽 패턴이 형성된 포토 마스크를 사용하여 노광 및 현상, 에칭을 수행하여 다수의 격벽을 완성하는 제3 과정으로 이루어진다.

또한, 본 발명의 제2 특징에 따르면, 상기 제1 과정에서 금속기판 위에 적층되는 제1 및 제2 그린스트는 산(acid) 용액에 대한 내식성과 결합력이 높은 재료를 사용한다.

이하, 본 발명에 의한 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명에 의한 PDP용 격벽 형성 과정을 순차적으로 나타내는 단면도들이다.

본 발명은 먼저 도 3의 (A)를 참조하면, 유리기판과 열팽창 계수가 유사한 금속기판(210)을 일정한 크기로 가공하여 준비한다.

상기 가공된 금속기판(210) 위에 감광 특성이 없는 일반 글래스로 제조된 제1 그린쉬트(Green Sheet)(221)를 적층한다. 이때, 상기 제1 그린쉬트(221)의 글래스 재료는 산(acid) 용액에 대한 내식성과 결합력이 높으며, 감광성 글래스 보다 용융점이 높은 것을 사용한다.

그후, 상기 제1 그린쉬트(221) 위에 어드레스 전극(230)을 형성하고, 상기 어드레스 전극(230)의 위에 상기 제1 그린쉬트(221)와 동일한 재료로 이루어지는 제2 그린쉬트(222)를 적층한다.

도 3의 (B)를 참조하면, 상기 도 3의 (A)의 결과물 위에 감광성 글래스 분말로 제조된 제3 그린쉬트(240)를 적층한다. 이때, 각 그린쉬트(221, 222, 240)들을 결합시키기 위하여 감광성 글래스 분말의 용융 온도에서 소성을 하여 감광성 글래스로 제조된 제3 그린쉬트(240)가 감광 특성을 갖는 글래스층이 되도록 한다.

이때, 금속기판(210)을 사용하고 있기 때문에 감광성 글래스 분말로 된 그린쉬트를 소성하여 감광특성을 갖도록 하기 위해서 기존의 소다 라임 글래스의 사용 가능 온도보다 높은 온도에서 소성을 하여 감광 특성을 향상시킬 수 있다.

도 3의 (C)를 참조하면, 도 3의 (B)의 결과물 위에 격벽 패턴이 형성된 포토마스크(250)를 놓고 자외선으로 노광을 하고 열처리를 하여 상기 제3 그린쉬트(240)로 이루어진 감광성 글래스층에 격벽 패턴을 형성한다.

이때, 도 3의 (D)에 도시된 바와 같이 상기 자외선에 노출된 부분의 감광성 글래스 내부의 이온들이 열처리에 의해 미세한 입자로 결정화되어 산용액에 쉽게 용해될 수 있는 상태가 된다.

도 3의 (E)를 참조하면, 상기 도 3의 (D)의 결과물을 산용액으로 에칭을 하면 상기 결정화된 부분이 산에 용해되어 격벽(260)이 형성된다. 이때, 상기 제1 및 제2 그린쉬트(221, 222)에 의한 글래스층은 감광 특성이 없기 때문에 자외선에 의한 노광 및 현상이 되지 않아 에칭이 이루어지지 않게 된다.

이상에서 설명한 본 발명은 감광성 글래스층에 직접 노광 및 현상을 하고 에칭을 수행하여 격벽을 형성하기 때문에 격벽의 정밀도를 높여 PDP의 해상도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 종래의 스크린 프린팅 공정에 사용되는 스크린 마스크가 필요 없게 되고, 포토레지스트 필름을 사용하지 않기 때문에 제조공정이 간단해지는 동시에 재료비를 절감할 수 있는 효과가 있다.

또한, 상기 제1 글래스층이 에칭되지 않기 때문에 어드레스 전극을 보호할 수 있으며, 격벽의 높이가 일정하게 형성되어 PDP의 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 감광성 글래스와 유사한 열팽창 계수를 갖는 금속기판과, 감광성이 없는 제1 및 제2 그린시트를 준비한 다음에 상기 금속기판 위에 제1 그린시트, 어드레스 전극, 제2 그린시트를 차례로 적층하는 제1 과정과;

   상기 제1 과정의 결과물에 감광성 제3 그린시트를 적층하고 소성을 수행하여 감광성 글래스층을 용융시키는 제2 과정과;

   상기 제2 과정의 결과물에 격벽 패턴이 형성된 포토 마스크를 사용하여 노광 및 현상, 에칭을 수행하여 다수의 격벽을 완성하는 제3 과정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽의 제조 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1 과정에서 금속기판 위에 적층되는 제1 및 제2 그린스트는 산(acid) 용액에 대한 내식성과 결합력이 높은 재료를 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽의 제조 방법.

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