TW588397B - Plasma display panel with closed discharging cell and its manufacturing method - Google Patents

Description

五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種 panel , PDP )及其製、生电桌顯不器（Plasma di splay 式放電槽（c e 11 )之雷=去二且特別是有關於一種具封閉 聚顯示器及其製造方法。 【先前技術】 一般而言，電槳顯；w 基板製程、封合製程、i、f的製程可分為上基板製程、下 製程。 加熱/抽氣/封入鈍氣製程以及組裝

上基板製程包括在I 電極與S流電極、介電放電槽+放置兩條電極〜放電 極製作、反光用介電層；：及保護膜。下基板製程包括電 作以及螢光粉塗佈。卩且、阻隔壁（barrier rib)製 撐上、下基板的功能。^除分隔放電槽外’並有做為支 段的對位封合製程，即利田下基板製程完成後，再進行後 合。基板封合後即溶點玻璃膠將二片基板黏 抽除乾淨後灌入放電ϊ =真空排氣’即將面板内的氣體 板與電路組裝。 的鈍氣。最後步驟則為將完成的基 :量電漿顯不器之畫質的清晰程度，現今用 =中的放電槽多採用封閉式的放電槽。因此 ：： 空狀態耗時甚*，為量因此要達到有效的真 言:，時參照第lA圖與第1Β圖。第1Α圖係 顯不器中具矩形外靡之封閉式放電槽之示意圖，第1Β=

第4頁 m TW1046F(友達）.ptd 588397 五、發明說明（2) 繪示相應於第1 A圖中虛線框示區域之立體圖。傳統之電衆 顯示器100主要包括有玻璃基板11〇及多個具矩形外靡之封 閉式放電槽1 2 0。 封閉式放電槽1 2 0係位於玻璃基板1 1 〇上，每一個封閉 式放電槽120係由四個阻隔壁130所圍成。 如圖中所繪示，阻隔封閉式放電槽1 2 0的所有阻隔壁 130均具有相同的壁高H1。因此，當玻璃基板11〇與另一玻 璃基板（圖中未繪示出）封合完畢成為面板時，所有的封 閉式放電槽1 2 0間將無法連通。故於爾後進行面板内之真 空排氣的製程時，便需要耗費很長的時間抽氣，才能使面 板内達到真空的狀態。 請同時參照第2A圖與第2B圖。第2A圖係繪示傳統電激 顯示器中具蜂巢形外廓之封閉式放電槽之示意圖，第圖 係繪示相應於第2 A圖中虛線框示區域之立體圖。封閉式放 電槽的外廓亦可以是如圖中所繪示，為具蜂巢形外廟之封 閉式放電槽2 2 0。多個封閉式放電槽22 0位於玻璃基板21〇 上，每一個放電槽220係由六個阻隔壁230圍成蜂巢的形 狀。 y 雖然具蜂巢形外廓之封閉式放電槽2 2 0在外庵上與具 矩形外廓之封閉式放電槽1 2 0不同，但其所有的阻隔^ 2'3〇 亦均具有相同的壁高Η 2，故封合後的面板同樣具有不易抽 氣使之成真空狀態的性質。 故上述傳統之具封閉式放電槽之電漿顯示器所具有的 缺點為：所有阻隔封閉式放電槽的阻隔壁均具有同'

五、發明說明（3) 隔壁高度，使得封合後的面板較難被有效抽氣，致使需要 很長的抽氣時間才能使面板内達到真空的狀態。 【發明内容】 有鑑於此’本發明的目的就是在提供一種具封閉式放 電槽之電漿顯示器及其製造方法。其在使封合後之面板内 的空氣易於被抽除乾淨，使爾後封入面板内部的鈍氣得 以較為純淨’使電漿顯示器能有較佳的顯示品質。 根據上述目的，本發明提出一種具封閉式放電槽之電 衆顯示器。此電漿顯示器之製造係搭配燒結製程。此電漿 顯示器包括··玻璃基板以及多個封閉式放電槽。多個封閉 式放電槽位於玻璃基板上，此些封閉式放電槽係分別由多 個阻隔壁所圍成’而此些阻隔壁中至少具有一變化壁厚之 阻隔壁。其中，於燒結製程前此變化壁厚之阻隔壁係具有 變化的壁厚’而於燒結製程後此變化壁厚之阻隔壁則具有 變化的壁高。 另外’本發明亦提出一種具封閉式放電槽之電漿顯示 器的製造方法。包括：首先，覆蓋阻隔壁材料層於玻璃基 板上^接著，塗佈光阻層於阻隔壁材料層上；然後，曝光 並顯影光阻層，使阻隔壁材料層上形成多個封閉式放電槽 光阻層’此些封閉式放電槽光阻層分別由多個阻隔壁光阻 層所圍成’此些阻隔壁光阻層中至少具有一變化壁厚之阻 隔壁光阻層’此變化壁厚之阻隔壁光阻層係具有變化之壁 厚’接著’去除暴露之阻隔壁材料層·，然後，樋去光阻

TW1046F(友達).ptd 第 6 頁 588397 五、發明說明（4) 層；最後，燒結圖案化之阻隔壁材料層。在上述之製造方 法中’若阻隔壁材料層為感光材料時，則另可採用類似於 上述但較為簡易的製造方法。 為讓本發明之上述目的、特徵和優點能更明顯易懂， 下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如 下0 【實施方式】 請同時參照第3 A圖與第3 B圖。第3 A圖係繪示依照本發 明之較佳實施例之電漿顯示器中具矩形外廓之封閉式放電 槽之示意圖，第3 B圖係繪示相應於第3 A圖中虛線框示區域 之立體圖。電漿顯示器300的製造係搭配一燒結製程進 行。電漿顯示器300主要包括有玻璃基板31〇與多個約略具 矩形外廓之封閉式放電槽3 2 0。 封閉式放電槽3 2 0位於玻璃基板31 〇上，如圖中所繪 示，每一個封閉式放電槽3 2 0均由四個阻隔壁3 3 0所圍成。 在燒結製程前，此四個阻隔壁中至少有一個阻隔壁具有變 化的壁厚T31及T32。 對同一阻隔壁330而言，不均一的壁厚T31與T32能使 得阻隔封閉式放電槽3 2 0的阻隔壁3 3 0，於燒結製程後產生 具有不同壁高H31、H32的阻隔壁。亦即，壁厚T32因為較 小，於燒結後會產生較小的壁高H32 ;而壁厚T31較大，於 燒結後便會產生較大的壁高H3 1。 而四個圍成封閉式放電槽320的阻隔壁330中，只要有 画

IBB 第7頁 588397 五、發明說明（5) -- 一個阻隔壁3 30具有不均一的壁厚，便能使其於燒結製程 後，產生一具有變化之壁高的阻隔壁33〇，而能令此封閉 式放電槽320與接鄰的封閉式放電槽“ο連通。 圖中所繪示圍成封閉式放電槽32〇的所有阻隔壁33〇均 在端側具有較大的壁厚，因此於燒結後，此些具有不均一 之壁厚的阻隔壁，便會成為具有不均一之壁高的阻隔壁。 如此，所有為阻隔壁阻隔的封閉式放電槽3 2 〇即可相互流 通，於抽除封合後之面板内的空氣時，就會較為容易。 請同時參照第4A圖與第4B圖。第4A圖係繪示依照本發 明之較佳實施例之電漿顯示器中具蜂巢形外廓之封閉式放 電槽之不意圖，第4B圖係繪示相應於第4A圖中虛線框示區 域之立體圖。電漿顯示器4 〇 〇的製造亦係搭配一燒結製程 進行。電漿顯示器40 0主要包括有玻璃基板41()與多個約略 具蜂巢形外廓之封閉式放電槽4 2 〇。 具蜂巢形外廓之封閉式放電槽4 2 〇係由六個阻隔壁4 3 〇 所圍成。與具矩形外廓之封閉式放電槽32〇相同，其六個 阻隔土 430之中，亦至少具有一個具變化之壁厚το、丁42 的阻隔壁4 3 0。 此阻隔壁4 3 0經燒結後；即會對應產生具 高H42的阻隔壁430。由此，各個封心 Γ空氣？封合後’即可相互連通。抽取面板内部 工上!·、封)I谷易較易使面板内部達到真空的狀態。 明。電Γ外廊的形狀，並非用以限定本發 、心、，、》1耘刖，任何符合具有至少一變化之壁厚之具

588397 五、發明說明（6) 有任意形狀之外廓的封閉式放電槽，均可使之於燒結後， 達成本發明欲得到每一封閉式放電槽均具有至少_變化之 璧高的目的。以使得上、下玻璃基板封合成面板時，面板 内的封閉式放電槽得以互相連通，方便對於面板内部拙 氣，使之易於達到真空的狀態。 另外，相應於上述本發明之具封閉式放電槽之電漿 示器，本發明亦提出一種具封閉式放電槽之電漿顯示=^ 製造方法。請參照第5圖，其係繪示依照本發明之較、佳、 施例之具封閉式放電槽之電漿顯示器的製造方法 圖。其步驟包括··首先，於步驟5〇〇巾，開始本^ 封閉式放電槽之電漿顯示器的製程。接著，於步x驟5 ，、 中，先覆蓋-層阻隔壁材料層於玻璃基板上。然後 驟5 2 0中，塗佈一層光阻層於阻隔壁材料層上。之 步驟530中，曝光並顯影此光阻層，使阻 上二 成多個封閉式放電槽光阻層，此些封閉式 上形 別由多個阻隔壁光阻層所圍<，此些阻隔壁光阻層中 而此阻隔壁光阻層則具有變化的壁 厚。而上述封閉式玫雷；I*伞β U ^ ^ 形或約略為蜂巢形。接著，於步驟5 40中，去除暴露的為阻矩 隔壁材料層。而去除阻隔壁材料層的方式可以採用噴砂或 是蝕刻的製程為之。然後，於步驟5 50中，褪去光阻層， 之後’於步驟5 6 0中’燒結經圖案化之阻隔壁材料層 後，於步驟5 7 0中結束製程。 上述製造方法中，若阻隔壁材料層為感光材料時，則 mm TW1046F(友達）.Ptd 588397 五、發明說明（7) 可採用較為簡易的製程。請參照第6圖，其所繪示乃依照 本發明之較佳實施例之具封閉式放電槽之電漿顯示器的另 一種製造方法之流程圖。其步驟包括··首先，於步驟6 〇 〇 中，開始本發明之具封閉式放電槽之電漿顯示器的製程。 接著，於步驟610中，先覆蓋阻隔壁材料層於玻璃基板 上。然後，於步驟6 2 0中，曝光並顯影此阻隔壁材料層 使玻璃基板上形成多個封閉式放電槽，此些封閉式放電槽 分別由多個阻隔壁所圍成，此些阻隔壁中具有至少一阻隔 壁’而此阻隔壁則具有變化的壁厚。力此些封閉式放電槽 的外廓則可以是約略為矩形、或約略為蜂巢形。之後，於 步驟63 0中’ I结經圖案化的阻隔壁材料層。最後， 驟640中結束製程。 電槽之 式放電 為：阻 壁具有電槽間 氣的時 的狀態 漿顯示 綜 非用以 之精神 述兩種 電漿顯 槽之電 隔每一 變化的 皆可相 間得以 。使之 器的整 上所述 限定本 和範圍 製造方法， 示器。而本 漿顯示器及 個封閉式放 壁高，使得 互連通。此 有效縮短， 後封入面板 體性能得以 ，雖然本發 發明，任何 内，當可作 皆可製發明上 其製造 電槽的 經封合 將使得 而面板 中的純 為效提 明已以 熟習此 各種更 造出本 述實施 方法， 阻隔壁 後的面 面板的 内部將 氣此車父 升。 實施例 技藝者 動與潤 例所揭露 至少昇有 中至少有 板之每個 抽氣較為 比較能殉 為純淨， 揭露如上 ，在不聣 飾，因此 封閉式放 之具封閉 之優點 一個阻隔 封閉式放 容易、抽 達到真空 可促使電 ，然其並 離本發明 本發明之

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TW1046F(友達）.ptd 第11頁 形外廓之封閉 第1 B圖係絡_ 圖。 、、、不相應於第1 A圖中虛線框示區域之立體 第2 A圖係繪— 閉式放電槽之L不傳統之電聚顯示器中具蜂巢形外廓之封 第2B圖係：意圖。 圖。 ”、、會示相應於第2A圖中虛線框示區域之立體 第3 A圖係給一 中具矩形外扇:不依照本發明之較佳實施例之電漿顯示器 第3B圖係於封閉式放電槽之示意圖。 圖。 、不相應於第3 A圖中虛線框示區域之立體 第4 A圖係 中具蜂巢形外 第4 β圖係 圖0 =不依照本發明之較佳實施例之電漿顯示器 邪之封閉式放電槽之示意圖。 繪示相應於第4 A圖中虛^框示區域之立體 電栌！雷Ά繪不依照本發明之較佳實施例之具封閉式方 電槽之電漿顯以的製造方法之流程圖。 第6圖係繪示依照本發明之較佳實施例之具封閉式方 電槽之電漿顯示器的另一種製造方法之流程圖。 圖式標號說明 100、20 0、30 0、40 0 ··電漿顯示器

TW1046F(友達）.ptd 第12頁 588397 圖式簡單說明 110、210、310、410 ·玻璃基板 120、220、320、420 :封閉式放電槽 130、230、330、430 :阻隔壁 HI 、 H2 、 H31 、 H32 、 H41 、 H42 :壁高 T31、T32、T41、T42 :壁厚

TW1046F(友達）.ptd 第13頁

Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 1 · 一種具封閉式放電槽之電漿顯示f dlsplay panel，PDP )，該電漿顯示器包 一玻璃基板；以及 複數個封閉式放電槽（celi )，位於 »亥些封閉式放電槽係分別由複數個阻隔壁 rib)所圍成，該些阻隔壁中具有至少一雙 其中，於該燒結製程前該變化壁厚之 化之壁厚，而於該燒結製程後該變化壁 變化之壁高。 2 ·如申請專利範圍第1項所述之電漿 些封閉式放電槽之外廓係約略為矩形。 3·如申請專利範圍第丨項所述之電漿 些封閉式放電槽之外廓係約略為蜂巢形。 4· 一種具封閉式放電槽之電漿顯示丨 包括： 覆蓋一阻隔壁材料層於一玻璃基板上 塗佈一光阻層於該阻隔壁材料層上； 曝光並顯影該光阻層，使該阻隔壁材 Ϊ封閉式放電槽光阻層，該些封閉式放電 由複數個阻隔壁光阻層所圍成，該些阻隔 至>、變化壁厚之阻隔壁光阻層，該變 阻層係具有變化之壁厚； 去除暴露之該阻隔壁材料層； I (plasma 括： 該玻璃基板上， (barrier 色化壁厚之阻隔 阻隔壁係具有變 之阻隔壁則具有 顯示器，其中該 顯示器，其中該 蓉的製造方法， 料層上形成複數 槽光阻層係分別 壁光阻層中具有 壁厚之阻隔壁光 588397 &'申請專利範圍 褪去該光阻層；以及 燒結圖案化之該阻隔壁材料層。 5·如申請專利範圍第4項所述之製造方法，其中該去 除步驟係為一噴砂製程。 6·如申請專利範圍第4項所述之製造方法，其中該去 除步驟係為一餘刻製程。 7·如申請專利範圍第4項所述之製造方法，其中該些 封閉式放電槽光阻層之外廓係約略為矩形。 8 ·如申請專利範圍第4項所述之製造方法，其中該些 封閉式放電槽光阻層之外廓係約略為蜂巢形。 9· 一種具封閉式放電槽之電漿顯示器的製造方法， 包括： 覆蓋一阻隔壁材料層於一玻璃基板上； 曝光並顯影該阻隔壁材料層，使該玻璃基板上形成複 數個封閉式放電槽，該些封閉式放電槽係分別由複數個阻 隔壁所圍成，該些阻隔壁中具有至少一變化壁厚之阻隔 壁，該變化壁厚之阻隔壁係具有變化之壁厚；以及 燒結圖案化之該阻隔壁材料層。 10·如申請專利範圍第9項所述之製造方法，其中該 阻隔壁材料層係為感光材料。 11·如申請專利範圍第9項所述之製造方法，其中戎 些封閉式放電槽之外廓係約略為矩形。 12·如申請專利範圍第g項所述之製造方法，其中戎 些封閉式放電槽之外廓係約略為蜂巢形。

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