TH31577B - วิธีการผลิตแผงวงจรแบบเดินสาย - Google Patents

Abstract

DC60 (19/08/52) วิธีการผลิตแผงวงจรแบบเดินสายซึ่งสามารถป้องกันไม่เกิดความเสียหายจากไฟฟ้าสถิตขึ้น กับส่วนประกอบที่ติดตั้งไว้บนแผงวงจรแบบเดินสายอย่างได้ผล ในขณะที่ป้องกันความผิดพลาดใน การทำงานของอุปกรณ์ซึ่งเกิดจากไฟฟ้าสถิต หลังจากฟิล์มโลหะที่บางถูกสร้างขึ้นเหนือพื้นที่ทั้งหมด ของด้านหน้าของชั้นคอรบคั่นฉนวน และผิวหน้าทั้งหมดของชั้นตัวนำที่ส่วนขั้วต่อของมันโดยการ พ่นฉาบ, ชั้นออกไซด์ของโลหะจะถูกสร้างบนชั้นโลหะที่บางโดยวิธีการที่ใช้การออกซิไดซ์โดยการ ทำให้ร้อนหรือโดยการพ่นฉาบ ตามวิธีการนี้ เนื่องจากชั้นสารกึ่งตัวนำที่ประกอบด้วยฟิล์มโลหะ ที่บาง และชั้นออกไซด์ของโลหะถูกสร้างขึ้นบนผิวหน้าของชั้นครอบฉนวน ดังนั้นจึงสามารถป้องกัน ความเสียหายจากไฟฟ้าสถิตของส่วนประกอบที่ถูกติดตั้งบนแผงวงจรแบบเดินสายได้อย่างได้ผล นอกจากนี้ ยังสามารถป้องกันไม่ให้เกิดความผิดพลาดในการทำงานของอุปกรณ์ที่เกิดจากโครงสร้าง ขึ้นอย่างได้ผล โดยที่ฟิล์มโลหะที่บางเท่านั้นที่ถูกสร้างขึ้น นอกจากนี้ ชั้นสารกึ่งตัวนำที่มีความ ต้านทานที่ผิวหน้าที่สม่ำเสมอซึ่งอยู่ในช่วงที่เลือกใช้สามารถูกสร้างขึ้นได้ เมื่อเปรียบเทียบกับ โครงสร้าง โดยที่ชั้นออกไซด์ของโลหะจะถูกสร้างขึ้นบนชั้นคอรบฉนวนโดยตรงโดยการพ่นฉาบ แบบทำปฏิกิริยา หรือโดยการพ่นฉาบโดยใช้เป้าหมายที่เป็นออกไซด์ที่เป็นโลหะ วิธีการผลิตแผงวงจรแบบเดินสายซึ่งสามารถป้องกันไม่เกิดความเสียหายจากไฟฟ้าสถิตขึ้น กับส่วนประกอบที่ติดตั้งไว้บนแผนวงจรแบบเดินสายอย่างได้ผล ในขณะที่ป้องกันความผิดพลาดใน การทำงานของอุปกรณ์ซึ่งเกิดจากไฟฟ้าสถิต หลังจากฟิล์มโลหะที่บางถูกสร้างขึ้นเหนือพื้นที่ทั้งหมด ของด้านหน้าของชั้นคอรบคั่นฉนวนและผิวหน้าทั้งหมดของชั้นตัวนำที่ส่วนขั้วต่อของมันโดยการ พ่นฉาบ ชั้นออกไซด์ของโลหะจะถูกสร้างบนชั้นโลหะที่บางโดยวิธีการที่ใช้การรวมตัวกับออกซิเจนโดยการ ทำให้ร้อนหรือโดยการพ่นฉาบ ตามวิธีการนี้ เนื่องจากชั้นสารกึ่งตัวนำที่ประกอบด้วยฟิล์มโลหะ ที่บางและชั้นออกไซด์ของโลหะถูกสร้างขึ้นบนผิวหน้าของชั้นครอบคั่นฉนวน ดังนั้นจึงสามารถป้องกัน ความเสียหายจากไฟฟ้าสถิตของส่วนประกอบที่ถูกติดตั้งบนแผงวงจรแบบเดินสายได้อย่างได้ผล นอกจากนี้ ยังสามารถป้องกันไม่ให้เกิดความผิวพลาดในการทำงานของอุปกรณ์ที่เกิดจากโครงสร้าง ขึ้นอย่างได้ผล โดยที่ฟิล์มโลหะที่บางเท่านั้นที่ถูกสร้างขึ้น นอกจากนี้ ชั้นสารกึ่งตัวนำที่มีความ ต้านทางผิวหน้าที่สม่ำเสมอซึ่งอยู่ในช่วงที่เลือกใช้สามารถูกสร้างขึ้นได้ เมื่อเปรียบเทียบกับ โครงสร้างขึ้น โดยที่ชั้นออกไซด์ของโลหะจะถูกสร้างขึ้นบนชั้นคอรบคั่นฉนวนโดยตรงโดยการพ่นฉาบ แบบทำปฏิกิริยาหรือโดยการพ่นฉาบโดยใช้เป้าหมายที่เป็นออกไซด์ที่เป็นโลหะ

Claims (11)

1. วิธีการผลิตแผงแบบแขวนที่มีวงจร (suspension board with circuit) ซึ่งประกอบรวม ด้วย ขั้นตอนการจัดเตรียมแผงแบบแขวนที่มีวงจรซึ่งประกอบด้วยชั้นรองรับที่เป็นโลหะ ขั้นฐานฉนวน ซึ่งสร้างไว้บนขั้นรองรับที่เป็นโลหะ ซึ่งตัวนำซึ่งถูกสร้างไว้บนชั้นฐานฉนวนา และ ชั้นครอบฉนวนที่ถูกสร้างขึ้นบนชั้นตัวนำ ขั้นตอนการสร้างฟิล์มโลหะที่บางที่มีความหนา 3 ถึง 7 นาโนเมตรบนผิวหน้าของชั้นครอบ ฉนวน และ ขั้นตอนการสร้างชั้นออกไซด์ของโลหะบนผิวหน้าของฟิล์มโลหะที่บาง เพื่อที่จะสร้างชั้น สารกึ่งตัวนำที่ถูกทำขึ้นด้วยฟิล์มโลหะที่บางและชั้นอกไซด์ของโลหะ และที่มีค่ความต้านทานที่ ผิวหน้า 10 4 ถึง 10 10 โอห์ม/

2. วิธีการผลิตแผงแบบแขวนที่มีวงจรตามข้อถือสิทธิ 1 โดยที่ฟิล์มโลหะที่บางถูกสร้าง ขึ้นด้วยการพ่นฉาบในขั้นตอนการสร้างฟิล์มโลหะที่บางบนผิวหน้าของชั้นครอบฉนวน

3. วิธีการผลิตแผงแบบแขวนที่มีวงจรตามข้อถือสิทธิ 1 หรือ 2 โดยที่ชั้นออกไซด์ของ โลหะถูกสร้างขึ้นด้วยการออกซิไดซ์ผิวหน้าของฟิล์มโลหะที่บางโดยการให้ความร้อนในขั้นตอนการ สร้างชั้นออกไซด์ของโลหะบนผิวหน้าของฟิล์มโลหะที่บาง

4. วิธีการผลิตแผงแบบแขวนที่มีวงจรตามข้อถือสิทธิ 1 หรือ 2 โดยที่ชั้นออกไซด์ของ โลหะถูกสร้างขึ้นด้วยการพ่นฉาบในขั้นตอนการสร้างชั้นออกไซด์ของโลหะบนผิวหน้าของฟิล์ม โลหะที่บาง

5. วิธีการผลิตแผงแบบแขวนที่มีวงจรตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิ 1 ถึง 4 โดยที่ฟิล์มโลหะที่บางถกทำให้ขึ้นด้วยโครเมียม และชั้นออกไซด์ของโลหะถูกทำขึ้นด้วยโครเมียม ออกไซด์

6. วิธีการผลิตแผงแบบแขวนที่มีวงจร ซึ่งประกบอรวมด้วย ขั้นตอนการจัดเตรียมแผงแขวนที่มีวงจร ซึ่งประกอบรวมด้วยชั้นรองรับที่เป็นโลหะ ชั้นฐานฉนวนซึ่งสร้างไว้บนชั้นรองรับที่เป็นโลหะ ชั้นตัวนำซึ่งถูกสร้างไว้บนชั้นฐานฉนวน ชั้นครอบฉนวนที่ถูกสร้างขึ้นบนชั้นตัวนำ และส่วนขั้วต่อถูกทำขึ้นด้วยชั้นตัวนำที่ถูกเผยออกโดยการ เปิดชั้นครอบฉนวน ขั้นตอนการสร้างฟิล์ม โลหะที่บางที่มีความหนา 3 ถึง 7 นาโนเมตรบนผิวหน้าของชั้นครอบ ฉนวน และบนผิวหน้าของส่วนขั้วต่อ ขั้นตอนการสร้างชั้นออกไซด์ของโลหะบนผิวหน้าของฟิล์มโลหะที่บาง เพื่อที่จะสร้าง ชั้นสารกึ่งตัวนำที่ถูกทำขึ้นด้วยฟิล์มโลหะที่บาง และชั้นออกไซด์ของโลหะ และที่มีค่าความต้านทาน ที่ผิวหน้า 10 4 ถึง 10 10 โอห์ม/ ขั้นตอนการกำจัดฟิล์มโลหะที่บาง และชั้นออกไวด์ของโลหะที่สร้างไว้บนผิวหน้าของส่วน ขั้วต่อออกไป

7.วิธีการผลิตแผงแบบแขวนที่มีวงจรตามข้อถือสิทธิ 6 โดยที่ฟิล์มโลหะที่บางถูกสร้าง ขึ้นด้วยการพ่นฉาบในขั้นตอนการสร้างฟิล์มโลหะที่บางบนผิวหน้าของชั้นครอบฉนวน และบน ผิวหน้าของส่วนขั้วต่อ

8. วิธีการผลิตแผงแบบแขวนที่มีวงจรตามข้อถือสิทธิ 6 หรือ 7 โดยที่ชั้นออกไซด์ของ โลหะถูกสร้างขึ้นด้วยการออกซิไดซ์ผิวหน้าของฟิล์มโลหะที่บางโดยการใช้ความร้อนในขั้นตอนการ สร้างชั้นออกไซด์ของโลหะบนผิวหน้าของฟิล์มโลหะที่บาง

9. วิธีการผลิตแผงแบบแขวนที่มีวงจรตามข้อถือสิทธิ 6 หรือ 7 โดยที่ชั้นออกไซด์ของ โลหะถูกสร้างขึ้นด้วยการพ่นฉาบในขั้นตอนการสร้างชั้นออกไซด์ของโลหะบนผิวหน้าของฟิล์ม โลหะที่บาง

10. วิธีการผลิตแผงวงจรแบบเดินสายตามข้อถือสิทธิ ข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิ 6 ถึง 9 โดยที่ฟิล์มโลหะที่บาง และชั้นออกไซด์ของโลหะที่ถูกสร้างขึ้นบนผิวหน้าของส่วนขั้วต่อจำนวน หนึ่งและบนส่วนผิวหน้าของชั้นครอบฉนวนซึ่งรวมถึง ช่องว่างระหว่างส่วนขั้วต่อแต่ละส่วน และ ขอบรอบของมันจะถูกกำจัดออกในขั้นตอนการกำจัดฟิล์มโลหะที่บาง และชั้นออกไซด์ของโลหะที่ สร้างไว้บนผิวหน้าของส่วนขั้วต่อออกไป

11. วิธีการผลิตแผงวงจรแบบเดินสายตามข้อถือสิทธิ ข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิ 6 ถึง 9 โดยที่ฟิล์มโลหะที่บาง ถูกทำขึ้นด้วยโครเมียม และชั้นออกไซด์ของโลหะถูกทำขึ้นด้วยโครเมียม ออกไซด์