TH25329A - ผ้าขัดเงา และ วิธีสำหรับ ยึดติด/แยกออก ของผ้าขัดเงา?นั้นเข้ากับ/ออกจาก จานฐานของเครื่องขัดเงา - Google Patents
ผ้าขัดเงา และ วิธีสำหรับ ยึดติด/แยกออก ของผ้าขัดเงา?นั้นเข้ากับ/ออกจาก จานฐานของเครื่องขัดเงาInfo
- Publication number
- TH25329A TH25329A TH9601001284A TH9601001284A TH25329A TH 25329 A TH25329 A TH 25329A TH 9601001284 A TH9601001284 A TH 9601001284A TH 9601001284 A TH9601001284 A TH 9601001284A TH 25329 A TH25329 A TH 25329A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- approximately
- polishing cloth
- temperature
- base plate
- adhesive layer
- Prior art date
Links
Abstract
ผ้าขัดเงาชนิดหนึ่งตามการประดิษฐ์นี้ ประกอบด้วย : หนึ่งชั้นรองผ้าขัดเงา 1; หนึ่งชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดัน 2 ที่ถูกซ้อนแผ่นอยู่บนหน้าหนึ่งของชั้นรองผ้าขัดเงา 1; และ หนึ่งแผ่นปลดปล่อย 3 ที่ยึดติดอยู่กับชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดัน 2 นั้น ในลักษณะ ที่สามารถปลดปล่อยได้, ซึ่ง ชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดัน 2 นั้นประกอบด้วยสูตรผสมสาร กาวชนิดหนึ่ง ที่ประกอบด้วย พอลิเมอร์ ชนิดหนึ่ง, พอลิเมอร์นั้นจะมี การเปลี่ยนลักษณะ หลอมลำดับที่หนึ่ง ที่เกิดขึ้นในห้วงอุณหภูมิที่แคบกว่าประมาณ 15 ํซ ดังนั้น, การ ประดิษฐ์นี้ทำให้ได้มาซึ่ง ผ้าขัดเงาชนิดหนึ่ง และ วิธีหนึ่งสำหรับ ยึดติด/แยกออก ผ้าขัดเงา นั้น เข้ากับ/ออกจาก จานฐานหนึ่งของ เครื่องขัดเงา ในลักษณะที่ ผ้าขัดเงานั้นสามารถถูก ลอกออกจากจานฐานนั้นโดยเพียงแต่ทำให้จานฐานและชั้นสารกาวของผ้าขัดเงานั้น เย็นลง.
Claims (8)
1. ผ้าขัดเงาชนิดหนึ่งที่ประกอบด้วย : หนึ่งชั้นรองผ้าขัดเงา; หนึ่งชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดัน ที่ถูกซ้อนแผ่นอยู่บนหนึ่งหน้าของชั้นรองผ้า ขัดเงานั้น; และ หนึ่งแผ่นผืนปลดปล่อยที่ยึดติดอยู่กับ ชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดันนั้น ใน ลักษณะที่สามารถปลดปล่อยได้ , ซึ่ง ชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดันนั้นประกอบด้วย สูตรผสมสารกาวหนึ่ง ที่ ประกอบด้วย พอลิเมอร์หนึ่ง, พอลิเมอร์นั้นมีการเปลี่ยนลักษณะหลอมลำดับที่หนึ่ง ในห้วง อุณภูมิที่แคบกว่าประมาณ 15 ํซ .
2. ผ้าขัดเงาตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งพอลิเมอร์นั้นเป็น พอลิเมอร์โซ่ด้านข้าง ที่สามารถตกผลึกได้, พอลิเมอร์โซ่ด้านข้างที่สามารถตกผลึกได้นั้น ประกอบอยู่ในปริมาณ หนึ่งซึ่ง ชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดันนั้น จะกลายเป็นไม่เหนียวโดยส่วนหลัก ต่อจานฐาน ของเครื่องขัดเงา ที่ประมาณ 20 ํซ หรือน้อยกว่า และ จะเหนียวโดยส่วนหลักต่อจานฐาน ของเครื่องขัดเงานั้น ที่อุณหภูมิที่สูงกว่าประมาณ 20 ํซ
3. ผ้าขัดเงาตามข้อถือสิทธิ 2 ซึ่ง พอลิเมอร์โซ่ด้านข้างที่สามารถตกผลึก ได้นั้น ประกอบเป็นส่วนประกอบหลักของมันด้วย แอคริลิค แอซิด เอสเทอร์ และ/หรือ เมธาคริลิค แอซิด เอสเทอร์ ซึ่งมี หนึ่งหมู่แอลคิลโซ่ตรง ที่ประกอบด้วย 10 หรือมากกว่า ของคาร์บอนอะตอม เป็นโซ่ด้านข้าง .
4. ผ้าขัดเงาตามข้อถือสิทธิ 2 ซึ่ง พอลิเมอร์โซ่ด้านข้างที่สามารถตกผลึก ได้ เป็นโคพอลิเมอร์หนึ่งของ (เมธ) แอคริเลท ที่มี 10 ถึง 14 คาร์บอน และอย่างน้อย หนึ่งมอนอเมอร์ที่เลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วย แอคริลิค แอซิด และ (เมธ) แอคริเลท ที่มี 1 ถึง 4 คาร์บอน .
5. ผ้าขัดเงาตามข้อถือสิทธิ 4 ซึ่ง โคพอลิเมอร์นั้นประกอบด้วยส่วน ประกอบต่างๆ ดังต่อไปนี้ : ประมาณ 40% ถึงประมาณ 95% โดยน้ำหนักของ (เมธ) แอคริเลท ที่มี 10 ถึง 14 คาร์บอน ; ประมาณ 1% ถึงประมาณ 10% โดยน้ำหนักของ แอคริเลท แอซิด; และ/ หรือ; ประมาณ 5% ถึงประมาณ 40% โดยน้ำหนักของ (เมธ) แอคริเลท ที่มี 1 ถึง 4 คาร์บอน .
6. วิธีหนึ่งสำหรับ ยึดติด/แยกออก ผ้าขัดเงาตามข้อถือสิทธิ 1 เข้ากับ/ ออกจาก จานฐานของเครื่องขัดเงา, วิธีนั้นประกอบด้วยขั้นตอนต่างๆ ของ : ยึดติดผ้าขัดเงานั้นเข้ากับจานฐานของเครื่องขัดเงานั้น โดยการแยกแผ่นผืน ปลดปล่อยของผ้าขัดเงานั้นออกจาก ชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดันนั้น, และจากนั้นปล่อยให้ ชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดันของผ้าขัดเงานั้น ยึดติดกับจานฐานของเครื่องขัดนั้น ขณะที่คง จานฐานนั้นไว้ที่อุณหภูมิ T1 ; และ หลังจากการใช้ผ้าขัดเงานั้น, แยกผ้าขัดเงานั้นออกจากจานฐานของเครื่องขัด เงานั้น ขณะที่ทำให้จานฐานนั้นเย็นลงจากอุณหภูมิ T1 ไปยังอุณหภูมิ T2, อุณหภูมิ T2 จะ ต่ำกว่าอุณหภูมิ T1.
7. วิธีหนึ่งตามข้อถือสิทธิ 6 ซึ่งอุณหภูมิ T1 เป็นประมาณ 20 ํซ หรือสูง กว่า, และ อุณหภูมิ T2 ต่ำกว่าประมาณ 20 ํซ .
8. วิธีหนึ่งตามข้อถือสิทธิ 6 ซึ่งอุณหภูมิ T1 เป็นประมาณ 25 ํซ หรือสูง กว่า, และ อุณหภูมิ T2 ต่ำกว่าประมาณ 20 ํซ .
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH25329A true TH25329A (th) | 1997-05-29 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100842969B1 (ko) | 고온 적용에 유용한 가교결합된 감압성 접착제 조성물, 이를 기재로 하는 접착제 물품 및 이 물품을 사용하여 기판을 보호하는 방법 | |
| KR100416123B1 (ko) | 웨이퍼 리테이너와 연마기 기판으로부터 웨이퍼리테이너를 부착/탈착시키기 위한 방법 | |
| KR940703899A (ko) | 재 활용 가능한 기질용 제거 가능한 감압성 접착제 | |
| MY124328A (en) | Polishing cloth and method for attaching/detaching the polishing cloth to/from polishing machine base plate | |
| MY113123A (en) | A polishing cloth and a method for attaching/detaching the polishing cloth to/from a base plate of a polishing machine | |
| JPH02187478A (ja) | 再剥離型粘着剤 | |
| JPH02123182A (ja) | 再剥離型粘着剤 | |
| JP2000234079A (ja) | 半導体ウエハ加工用シート | |
| JPH10509198A (ja) | 振動性固体物品に付着された粘弾性材料の少なくとも1層を含む制動構造物 | |
| JPS63291969A (ja) | 再剥離型粘着剤 | |
| EP1115806A1 (en) | Workpiece retainer and method for attaching/detaching workpiece by using the same | |
| JP2003503540A5 (th) | ||
| JPH09251273A (ja) | 易剥離性ラベル | |
| JPH07263381A (ja) | 半導体ウェハーダイシング用粘着フィルム及びこれを用いたダイシング方法 | |
| JP2686324B2 (ja) | 感圧性接着剤組成物 | |
| EP3976704A1 (en) | Removable adhesive composition and a label containing it | |
| JP2002285114A (ja) | 研磨材固定用テープ | |
| JPS63202685A (ja) | アクリル系剥離剤 | |
| US20240026195A1 (en) | Adhesive tape for semiconductor device production | |
| JPH09153471A (ja) | 半導体ウエハダイシング用粘着フィルム及びその使用方法 | |
| TH41266A (th) | ผ้าขัดและวิธีสำหรับการยึดติด/การถอดผ้าขัดดังกล่าวเข้ากับ/ออกจากแผ่นฐานเครื่องขัด | |
| JPH08151559A (ja) | 粘着剤及びその粘着部材 | |
| TH41267A (th) | อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์และวิธีสำหรับการยึดติด/การถอดอุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์เข้ากับ/ออกจากแผ่นฐานเครื่องขัด | |
| JPS63118385A (ja) | 感圧性接着剤 | |
| JPH03109476A (ja) | 粘着剤および粘着シート |