TH25329A - ผ้าขัดเงา และ วิธีสำหรับ ยึดติด/แยกออก ของผ้าขัดเงา?นั้นเข้ากับ/ออกจาก จานฐานของเครื่องขัดเงา - Google Patents

ผ้าขัดเงา และ วิธีสำหรับ ยึดติด/แยกออก ของผ้าขัดเงา?นั้นเข้ากับ/ออกจาก จานฐานของเครื่องขัดเงา

Info

Publication number
TH25329A
TH25329A TH9601001284A TH9601001284A TH25329A TH 25329 A TH25329 A TH 25329A TH 9601001284 A TH9601001284 A TH 9601001284A TH 9601001284 A TH9601001284 A TH 9601001284A TH 25329 A TH25329 A TH 25329A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
approximately
polishing cloth
temperature
base plate
adhesive layer
Prior art date
Application number
TH9601001284A
Other languages
English (en)
Inventor
ชิเกตะ โยชิตาเน
อิชิอิ ฮิเดยูกิ
Original Assignee
นาย ดำเนินการเด่น
นาย ต่อพงศ์โทณะวณิก
นาย วิรัชศรีเอนกราธา
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
นายดำเนิน การเด่น
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นิตตา คอร์ปอเรชั่น
Filing date
Publication date
Application filed by นาย ดำเนินการเด่น, นาย ต่อพงศ์โทณะวณิก, นาย วิรัชศรีเอนกราธา, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์, นายดำเนิน การเด่น, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นิตตา คอร์ปอเรชั่น filed Critical นาย ดำเนินการเด่น
Publication of TH25329A publication Critical patent/TH25329A/th

Links

Abstract

ผ้าขัดเงาชนิดหนึ่งตามการประดิษฐ์นี้ ประกอบด้วย : หนึ่งชั้นรองผ้าขัดเงา 1; หนึ่งชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดัน 2 ที่ถูกซ้อนแผ่นอยู่บนหน้าหนึ่งของชั้นรองผ้าขัดเงา 1; และ หนึ่งแผ่นปลดปล่อย 3 ที่ยึดติดอยู่กับชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดัน 2 นั้น ในลักษณะ ที่สามารถปลดปล่อยได้, ซึ่ง ชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดัน 2 นั้นประกอบด้วยสูตรผสมสาร กาวชนิดหนึ่ง ที่ประกอบด้วย พอลิเมอร์ ชนิดหนึ่ง, พอลิเมอร์นั้นจะมี การเปลี่ยนลักษณะ หลอมลำดับที่หนึ่ง ที่เกิดขึ้นในห้วงอุณหภูมิที่แคบกว่าประมาณ 15 ํซ ดังนั้น, การ ประดิษฐ์นี้ทำให้ได้มาซึ่ง ผ้าขัดเงาชนิดหนึ่ง และ วิธีหนึ่งสำหรับ ยึดติด/แยกออก ผ้าขัดเงา นั้น เข้ากับ/ออกจาก จานฐานหนึ่งของ เครื่องขัดเงา ในลักษณะที่ ผ้าขัดเงานั้นสามารถถูก ลอกออกจากจานฐานนั้นโดยเพียงแต่ทำให้จานฐานและชั้นสารกาวของผ้าขัดเงานั้น เย็นลง.

Claims (8)

1. ผ้าขัดเงาชนิดหนึ่งที่ประกอบด้วย : หนึ่งชั้นรองผ้าขัดเงา; หนึ่งชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดัน ที่ถูกซ้อนแผ่นอยู่บนหนึ่งหน้าของชั้นรองผ้า ขัดเงานั้น; และ หนึ่งแผ่นผืนปลดปล่อยที่ยึดติดอยู่กับ ชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดันนั้น ใน ลักษณะที่สามารถปลดปล่อยได้ , ซึ่ง ชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดันนั้นประกอบด้วย สูตรผสมสารกาวหนึ่ง ที่ ประกอบด้วย พอลิเมอร์หนึ่ง, พอลิเมอร์นั้นมีการเปลี่ยนลักษณะหลอมลำดับที่หนึ่ง ในห้วง อุณภูมิที่แคบกว่าประมาณ 15 ํซ .
2. ผ้าขัดเงาตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งพอลิเมอร์นั้นเป็น พอลิเมอร์โซ่ด้านข้าง ที่สามารถตกผลึกได้, พอลิเมอร์โซ่ด้านข้างที่สามารถตกผลึกได้นั้น ประกอบอยู่ในปริมาณ หนึ่งซึ่ง ชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดันนั้น จะกลายเป็นไม่เหนียวโดยส่วนหลัก ต่อจานฐาน ของเครื่องขัดเงา ที่ประมาณ 20 ํซ หรือน้อยกว่า และ จะเหนียวโดยส่วนหลักต่อจานฐาน ของเครื่องขัดเงานั้น ที่อุณหภูมิที่สูงกว่าประมาณ 20 ํซ
3. ผ้าขัดเงาตามข้อถือสิทธิ 2 ซึ่ง พอลิเมอร์โซ่ด้านข้างที่สามารถตกผลึก ได้นั้น ประกอบเป็นส่วนประกอบหลักของมันด้วย แอคริลิค แอซิด เอสเทอร์ และ/หรือ เมธาคริลิค แอซิด เอสเทอร์ ซึ่งมี หนึ่งหมู่แอลคิลโซ่ตรง ที่ประกอบด้วย 10 หรือมากกว่า ของคาร์บอนอะตอม เป็นโซ่ด้านข้าง .
4. ผ้าขัดเงาตามข้อถือสิทธิ 2 ซึ่ง พอลิเมอร์โซ่ด้านข้างที่สามารถตกผลึก ได้ เป็นโคพอลิเมอร์หนึ่งของ (เมธ) แอคริเลท ที่มี 10 ถึง 14 คาร์บอน และอย่างน้อย หนึ่งมอนอเมอร์ที่เลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วย แอคริลิค แอซิด และ (เมธ) แอคริเลท ที่มี 1 ถึง 4 คาร์บอน .
5. ผ้าขัดเงาตามข้อถือสิทธิ 4 ซึ่ง โคพอลิเมอร์นั้นประกอบด้วยส่วน ประกอบต่างๆ ดังต่อไปนี้ : ประมาณ 40% ถึงประมาณ 95% โดยน้ำหนักของ (เมธ) แอคริเลท ที่มี 10 ถึง 14 คาร์บอน ; ประมาณ 1% ถึงประมาณ 10% โดยน้ำหนักของ แอคริเลท แอซิด; และ/ หรือ; ประมาณ 5% ถึงประมาณ 40% โดยน้ำหนักของ (เมธ) แอคริเลท ที่มี 1 ถึง 4 คาร์บอน .
6. วิธีหนึ่งสำหรับ ยึดติด/แยกออก ผ้าขัดเงาตามข้อถือสิทธิ 1 เข้ากับ/ ออกจาก จานฐานของเครื่องขัดเงา, วิธีนั้นประกอบด้วยขั้นตอนต่างๆ ของ : ยึดติดผ้าขัดเงานั้นเข้ากับจานฐานของเครื่องขัดเงานั้น โดยการแยกแผ่นผืน ปลดปล่อยของผ้าขัดเงานั้นออกจาก ชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดันนั้น, และจากนั้นปล่อยให้ ชั้นสารกาวที่ไวต่อแรงกดดันของผ้าขัดเงานั้น ยึดติดกับจานฐานของเครื่องขัดนั้น ขณะที่คง จานฐานนั้นไว้ที่อุณหภูมิ T1 ; และ หลังจากการใช้ผ้าขัดเงานั้น, แยกผ้าขัดเงานั้นออกจากจานฐานของเครื่องขัด เงานั้น ขณะที่ทำให้จานฐานนั้นเย็นลงจากอุณหภูมิ T1 ไปยังอุณหภูมิ T2, อุณหภูมิ T2 จะ ต่ำกว่าอุณหภูมิ T1.
7. วิธีหนึ่งตามข้อถือสิทธิ 6 ซึ่งอุณหภูมิ T1 เป็นประมาณ 20 ํซ หรือสูง กว่า, และ อุณหภูมิ T2 ต่ำกว่าประมาณ 20 ํซ .
8. วิธีหนึ่งตามข้อถือสิทธิ 6 ซึ่งอุณหภูมิ T1 เป็นประมาณ 25 ํซ หรือสูง กว่า, และ อุณหภูมิ T2 ต่ำกว่าประมาณ 20 ํซ .
TH9601001284A 1996-04-25 ผ้าขัดเงา และ วิธีสำหรับ ยึดติด/แยกออก ของผ้าขัดเงา?นั้นเข้ากับ/ออกจาก จานฐานของเครื่องขัดเงา TH25329A (th)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH25329A true TH25329A (th) 1997-05-29

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100842969B1 (ko) 고온 적용에 유용한 가교결합된 감압성 접착제 조성물, 이를 기재로 하는 접착제 물품 및 이 물품을 사용하여 기판을 보호하는 방법
KR100416123B1 (ko) 웨이퍼 리테이너와 연마기 기판으로부터 웨이퍼리테이너를 부착/탈착시키기 위한 방법
KR940703899A (ko) 재 활용 가능한 기질용 제거 가능한 감압성 접착제
MY124328A (en) Polishing cloth and method for attaching/detaching the polishing cloth to/from polishing machine base plate
MY113123A (en) A polishing cloth and a method for attaching/detaching the polishing cloth to/from a base plate of a polishing machine
JPH02187478A (ja) 再剥離型粘着剤
JPH02123182A (ja) 再剥離型粘着剤
JP2000234079A (ja) 半導体ウエハ加工用シート
JPH10509198A (ja) 振動性固体物品に付着された粘弾性材料の少なくとも1層を含む制動構造物
JPS63291969A (ja) 再剥離型粘着剤
EP1115806A1 (en) Workpiece retainer and method for attaching/detaching workpiece by using the same
JP2003503540A5 (th)
JPH09251273A (ja) 易剥離性ラベル
JPH07263381A (ja) 半導体ウェハーダイシング用粘着フィルム及びこれを用いたダイシング方法
JP2686324B2 (ja) 感圧性接着剤組成物
EP3976704A1 (en) Removable adhesive composition and a label containing it
JP2002285114A (ja) 研磨材固定用テープ
JPS63202685A (ja) アクリル系剥離剤
US20240026195A1 (en) Adhesive tape for semiconductor device production
JPH09153471A (ja) 半導体ウエハダイシング用粘着フィルム及びその使用方法
TH41266A (th) ผ้าขัดและวิธีสำหรับการยึดติด/การถอดผ้าขัดดังกล่าวเข้ากับ/ออกจากแผ่นฐานเครื่องขัด
JPH08151559A (ja) 粘着剤及びその粘着部材
TH41267A (th) อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์และวิธีสำหรับการยึดติด/การถอดอุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์เข้ากับ/ออกจากแผ่นฐานเครื่องขัด
JPS63118385A (ja) 感圧性接着剤
JPH03109476A (ja) 粘着剤および粘着シート