TH41267A

TH41267A - อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์และวิธีสำหรับการยึดติด/การถอดอุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์เข้ากับ/ออกจากแผ่นฐานเครื่องขัด

Info

Publication number: TH41267A
Application number: TH9901003174A
Authority: TH
Inventors: คาวาฮาร่า ชินอิชิโร; อันโด ทาคาชิ; คาซาซากิ โทชิอากิ; ทานิ นาโอยูกิ; ยามาโมโต้ มาซาโยชิ
Original assignee: นิตต้า คอร์ปอเรชั่น
Filing date: 1999-08-27
Publication date: 2000-11-20

Abstract

DC60 (01/11/42) อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์รวมอยู่ด้วยชั้นโฟมที่สามารถดูดแผ่นเวเฟอร์ไว้บนพื้นผิวในลักษณะที่ ถอดออกได้ ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่หนึ่ง ที่ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของชั้นโฟม ฐานรองที่ ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่หนึ่ง ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่สอง ที่ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของฐานรองสำหรับแนบติดกับแผ่นฐานของเครื่องขัด และแผ่นปลดที่ติด โดยสามารถถอดออกได้ไว้กับชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่สอง ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่ สองรวมอยู่ด้วยองค์ประกอบสารยึดติด องค์ประกอบสารยึดติดประกอบด้วยสารยึดติดไวต่อแรง กด และโพลีเมอร์ ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้ ซึ่งทำให้โพลีเมอร์ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้นั้น มีอยู่ในปริมาณ 1% ถึงประมาณ 30% โดยน้ำหนักโดยให้องค์ประกอบสารยึดติดเป็นหลัก โพลีเมอร์ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้รวมอยู่ด้วยเอสเตอร์กรดอะครีลิก และ/หรือเอสเตอร์กรด เมทาครีลิก เป็นส่วนประกอบหลักของโพลีเมอร์ดังกล่าว ซึ่งมีหมู่อัลกิลโซ่ตรงที่รวมอยู่ด้วย 16 อะตอมคาร์บอนหรือมากกว่าเป็นโซ่ข้าง อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์รวมอยู่ด้วยชั้นโฟมที่สามารถดูดแผ่นเวเฟอร์ไว้บนพื้นผิวในลักษณะที่ถอดออกได้ ชั้นสารยึด ติดไวต่อแรงกดชั้นที่หนึ่ง ที่ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของ ชั้นโฟม ฐานรองที่ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของชั้นสารยึดติดไว ต่อแรงกดชั้นที่หนึ่ง ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่สอง ที่ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของบานรองสำหรับแนบติดกับแผ่นฐาน ของเครื่องขัด และแผ่นปลดที่ติดโดยสามารถถอดออกได้ไว้กับ ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่สอง ชั้นสารยึดติดไวต่อแรง กดชั้นที่สองรวมอยู่ด้วยองค์ประกอบสารยึดติด องค์ประกอบสาร ยึดติดประกอบด้วยสารยึดติดไวต่อแรงกด และโพลีเมอร์ ที่ สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้ ซึ่งทำให้โพลีเมอร์ที่สามารถตกผลึก โซ่ข้างได้นั้น มีอยู่ในปริมาณ 1% ถึงประมาณ 30% โดยน้ำ หนักโดยให้องค์ประกอบสารยึดติดเป็นหลักโพลีเมอร์ที่สามารถ ตกผลึกโซ่ข้างได้รวมอยู่ด้วยเอสเตอร์กรดอะครีลิก และ/หรือ เอสเตอร์กรดเมทาครีลิก เป็นส่วนประกอบหลักของโพลีเมอร์ดัง กล่าว ซึ่งมีหมู่อัลกิลโซ่ตรงที่รวมอยู่ด้วย 16 อะตอม คาร์บอนหรือมากกว่าเป็นโซ่ข้าง

Claims

1. อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์ที่ประกอบด้วย ชั้นโฟมที่สามารถอุดแน่นเวเฟอร์ไว้บนพื้นผิวของชั้นโฟมใน ลักษณะที่ถอดออกได้ ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่หนึ่ง ที่ทำขึ้นบนหน้าด้าน หลังของบานผ้าขัด ฐานรองที่ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกด ชั้นที่หนึ่ง ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่สอง ที่ทำขึ้นบนหน้าด้าน หลังของฐานรอง และ แผ่นปลดที่ถูกติดโดยสามารถปลดออกได้ไว้กับชั้นสารยึดติดไว ต่อแรงกดชั้นที่สอง ที่ซึ่งชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่สอง ประกอบด้วยองค์ ประกอบสารยึดติด องค์ประกอบสารยึดติดที่ประกอบด้วยสารยึดติดไวต่อแรงกด และ โพลีเมอร์ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้ ซึ่งทำให้โพลีเมอร์ที่ สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้นั้นมีอยู่ในปริมาณประมาณ 1% ถึง 30% โดยน้ำหนักโดยให้องค์ประกอบสารยึดติดเป็นหลัก และ โพลีเมอร์ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้ ซึ่งรวมอยู่ด้วย เอส เตอร์กรดอะครีลิก และ/หรือ เอสเตอร์กรดเมทาครีลิกเป็นส่วน ประกอบหลักของโพลีเมอร์ดังกล่าว ซึ่งมีหมู่อัลคิลโซ่ตรงที่ รวมอยู่ด้วย 16 อะตอมคาร์บอน หรือมากกว่าเป็นโซ่ข้าง

2. อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์ตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่งองค์ประกอบสารยึดติดประกอบด้วย ตัวกลัดตรึงใน ปริมาณประมาณ 10% ถึง 30% โดยน้ำหนัก และ ที่ซึ่งการยึดติดขององค์ประกอบสารยึดติดลดลงมากกว่า 90% โดยประมาณ เมื่อถูกทำให้ร้อนสูงกว่า 50 ซ. โดยประมาณ

3. อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์ตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่งโพลีเ มอร์ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้นั้น มีน้ำหนักโมเลกุลประมาณ 2,000 ถึง 15,000

4. อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์ตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่งโพลีเ มอร์ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้นั้น มีจุดหลอมเหลวที่เกิด ขึ้นภายในช่วงอุณหภูมิแคบกว่า 15 ซ. โดยประมาณ

5. อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์ที่ประกอบด้วย ชั้นยึดแผ่นเวเฟอร์ที่สามารถดูดแผ่นเวเฟอร์ไว้บนพื้นผิว ของชั้นยึดแน่นเวเฟอร์ในลักษณะที่ถอดออกได้ ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดที่ทำขึ้นบนหน้าหนึ่งของฐานผ้าขัด และ แผ่นปลดที่ถูกติดโดยสามารถปลดออกไว้กับชั้นสารยึดติดไวต่อ แรงกด ที่ซึ่งชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกด ประกอบด้วยองค์ประกอบสาร ยึดติด องค์ประกอบสารยึดติดที่ประกอบด้วย สารยึดติดไวต่อแรงกด และโพลีเมอร์ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้ ซึ่งทำให้โพลีเมอร์ ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้ มีอยู่ในปริมาณประมาณ 1% ถึง ประมาณ 30% โดยน้ำหนัก โดยให้องค์ประกอบสารยึดติดเป็นหลักและ โพลีเมอร์ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้ ซึ่งรวมอยู่ด้วย เอส เตอร์กรดอะครีลิก และ/หรือ เอสเตอร์กรดเมทาครีลิก เป็นส่วน ประกอบหลักของโพลีเมอร์ดังกล่าว ซึ่งมีหมู่อัลกิลโซ่ตรงที่ รวมอยู่ด้วย 16 อะตอมคาร์บอน หรือมากกว่าเป็นโซ่ข้าง

6. อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์ตามข้อถือสิทธิ 5 ที่ซึ่งองค์ประกอบสารยึดติดประกอบด้วย ตัวกลัดตรึงใน ปริมาณประมาณ 10% ถึงประมาณ 30% โดยน้ำหนัก และ ที่ซึ่งการยึดติดขององค์ประกอบสารยึดติดลดลงมากกว่า 90% โดยประมาณ เมื่อถูกทำให้ร้อนสูงกว่า 50 ซ. โดยประมาณ

7. อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์ตามข้อถือสิทธิ 5 ที่ซึ่งโพลีเ มอร์ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้นั้นมีน้ำหนักโมเลกุลประมาณ 2,000 ถึงประมาณ 15,000

8. อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์ตามข้อถือสิทธิ 5 ที่ซึ่งโพลีเ มอร์ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้นั้นมีจุดหลอมเหลว ซึ่งเกิด ขึ้นภายในช่วงอุณหภูมิแคบกว่า 15 ซ. โดยประมาณ

9. วิธีการสำหรับการยึดติด/การถอดอุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์ ตามข้อถือสิทธิ 1 ถึง 5 ข้อใดข้อหนึ่งเข้ากับ/ออกจากแผ่น ฐานของเครื่องขัดที่ประกอบด้วยขั้นตอนดังต่อไปนี้ การยึดติดอุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์เข้ากับแผ่นฐานของเครื่อง ขัด โดยทำให้สารยึดติดไวต่อแรงกดของอุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์ ถึงพื้นผิวแผ่นฐาน คงไว้ที่อุณหภุมิ T1 และ การถอดอุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์ออกจากแผ่นฐานที่คงไว้ที่ อุณหภูมิ T2 ซึ่งสูงกว่าอุณหภูมิ (ข้อถือสิทธิ 9 ข้อ, 2 หน้า, 7 รูป)