TH41267A3

TH41267A3 - อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์และวิธีสำหรับการยึดติด/การถอดอุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์เข้ากับ/ออกจากแผ่นฐานเครื่องขัด

Info

Publication number: TH41267A3
Application number: TH9901003174A
Authority: TH
Inventors: ยามาโมโต้ มาซาโยชิ; คาซาซากิ โทชิอากิ; ทานิ นาโอยูกิ; คาวาฮาร่า ชินอิชิโร; อันโด ทาคาชิ
Original assignee: นายเดชอุดม ไกรฤทธิ์
Filing date: 1999-08-27
Publication date: 2000-11-20

Abstract

DC60 (01/11/42) อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์รวมอยู่ด้วยชั้นโฟมที่สามารถดูดแผ่นเวเฟอร์ไว้บนพื้นผิวในลักษณะที่ ถอดออกได้ ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่หนึ่ง ที่ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของชั้นโฟม ฐานรองที่ ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่หนึ่ง ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่สอง ที่ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของฐานรองสำหรับแนบติดกับแผ่นฐานของเครื่องขัด และแผ่นปลดที่ติด โดยสามารถถอดออกได้ไว้กับชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่สอง ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่ สองรวมอยู่ด้วยองค์ประกอบสารยึดติด องค์ประกอบสารยึดติดประกอบด้วยสารยึดติดไวต่อแรง กด และโพลีเมอร์ ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้ ซึ่งทำให้โพลีเมอร์ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้นั้น มีอยู่ในปริมาณ 1% ถึงประมาณ 30% โดยน้ำหนักโดยให้องค์ประกอบสารยึดติดเป็นหลัก โพลีเมอร์ที่สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้รวมอยู่ด้วยเอสเตอร์กรดอะครีลิก และ/หรือเอสเตอร์กรด เมทาครีลิก เป็นส่วนประกอบหลักของโพลีเมอร์ดังกล่าว ซึ่งมีหมู่อัลกิลโซ่ตรงที่รวมอยู่ด้วย 16 อะตอมคาร์บอนหรือมากกว่าเป็นโซ่ข้าง อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์รวมอยู่ด้วยชั้นโฟมที่สามารถดูดแผ่นเวเฟอร์ไว้บนพื้นผิวในลักษณะที่ถอดออกได้ ชั้นสารยึด ติดไวต่อแรงกดชั้นที่หนึ่ง ที่ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของ ชั้นโฟม ฐานรองที่ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของชั้นสารยึดติดไว ต่อแรงกดชั้นที่หนึ่ง ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่สอง ที่ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของบานรองสำหรับแนบติดกับแผ่นฐาน ของเครื่องขัด และแผ่นปลดที่ติดโดยสามารถถอดออกได้ไว้กับ ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่สอง ชั้นสารยึดติดไวต่อแรง กดชั้นที่สองรวมอยู่ด้วยองค์ประกอบสารยึดติด องค์ประกอบสาร ยึดติดประกอบด้วยสารยึดติดไวต่อแรงกด และโพลีเมอร์ ที่ สามารถตกผลึกโซ่ข้างได้ ซึ่งทำให้โพลีเมอร์ที่สามารถตกผลึก โซ่ข้างได้นั้น มีอยู่ในปริมาณ 1% ถึงประมาณ 30% โดยน้ำ หนักโดยให้องค์ประกอบสารยึดติดเป็นหลักโพลีเมอร์ที่สามารถ ตกผลึกโซ่ข้างได้รวมอยู่ด้วยเอสเตอร์กรดอะครีลิก และ/หรือ เอสเตอร์กรดเมทาครีลิก เป็นส่วนประกอบหลักของโพลีเมอร์ดัง กล่าว ซึ่งมีหมู่อัลกิลโซ่ตรงที่รวมอยู่ด้วย 16 อะตอม คาร์บอนหรือมากกว่าเป็นโซ่ข้าง

Claims

1. อุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์ที่ประกอบด้วย ชั้นโฟมที่สามารถอุดแน่นเวเฟอร์ไว้บนพื้นผิวของชั้นโฟมใน ลักษณะที่ถอดออกได้ ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่หนึ่ง ที่ทำขึ้นบนหน้าด้าน หลังของบานผ้าขัด ฐานรองที่ทำขึ้นบนหน้าด้านหลังของชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกด ชั้นที่หนึ่ง ชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่สอง ที่ทำขึ้นบนหน้าด้าน หลังของฐานรอง และ แผ่นปลดที่ถูกติดโดยสามารถปลดออกได้ไว้กับชั้นสารยึดติดไว ต่อแรงกดชั้นที่สอง ที่ซึ่งชั้นสารยึดติดไวต่อแรงกดชั้นที่สอง ประกอบด้วยองค์ ประกอบสารยึดติด องค์ประกอบสารยแท็ก :