SU900321A1 - Способ подгонки тонкопленочных резисторов - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  точной подстройки резисторов в аппаратуре, выполненной с применением методов тонкопленочной технологии .

Известен способ регулировани  сопротивлени  тонкопленочных резисторов , согласно которому исходна  величина сопротивлени  резистора преднамеренно выполн етс  заниженной за счет выполнени  резистора в виде нескольких параллельных дорожек и затем при подгонке увеличиваетс  путем разрыва одной или нескольких резистивных дорожек tl.

Недостатком этого способа  вл етс  отсутствие возможности точной регулировки сопротивлени .

Известен также способ подгонки сопротивлени  тонкопленочных резисторов , в которых часть длины дорожки шунтирована провод щим покрытием. Подгонка осуществл етс  путем удале

ни  одного или нескольких участков, шунтирующих резистор 1.

Недостатком этого способа  вл етс  невозможность плавного регулировани  сопротивлени .

Наиболее близким по технической сущности к изобретению  вл етс  способ подгонки тонкопленочных резисторов с пленочными контактами путем удалени  части реэистивного материа10 ла С21.

Однако этот способ не обеспечивает одновременной совместимости высокой точности и высокой производительности процесса подгонки.

15

Цель изобретени  - повышение точности подгонки тонкопленочных резисторов при ОАНовремеином повышении производительности.

Поставленна  цель достигаетс  тек,

Claims (2)

1. что согласно способу подгонки тонкопленочных резисторов с пленочными металлическими контактами путем удалени  части резистивного материала390 на резистивный материал нанос т два дополнительных электрода, расположенных перпендикул рно основным, направленных навстречу друг к другу и контактирующих с пленочными металлическими контактами резисторов, а удаление части резистивного материала провод т в направлении, перпен дикул рном дополнительным электродам , выбира  место удалени  материала в соответствии с необходимой точностью подгонки. На фиг. 1 показан один из вариантов геометрии резисторов дл ,подгонки по предлагаемому способу; на фиг. 2 - зависимость изменени  сопротивлени  резистора uR от места удалени  материала. При указанном варианте геометрии резистор 1 соединен противоположными выводами с пленочными металлическими контактами 2 и 3- По краю резис тора напылены два дополнительных электрода 4 и 5, соединенные соответственно с пленочными контактами 2 и 3- По нормали к дополнительным резисторам при удалении материала образуютс  дорожки 6 грубой настройки и дорожки 7 и 8 точной настройки, состо щие из наложенных друг на друга и частично перекрытых лунок 9 (п - количество лунок, t - шаг настройки ) , Подгонка резистора осуществл етс  следующим образом. В исходном состо нии сопротивление резистора мини мально. Дл  ступенчатого увеличени  сопротивлени  на большую величину ис пользуетс  дорожка 6. Дорожка образуетс , например лазерным лучом, из последовательно -наложенных друг на .друга и частично пер екрываемых лунок В цел х повышени  производительности эегулировани  желательно увеличивать шаг подгонки t. По мере приближени  к заданному значению, не уменьша  ша га подгонки, следует переходить на дорожки 7 или 8. Чем ближе дорожка к контактной площадке, тем меньше вели чина &Rr Rn Р неизменном шаге подгонки (фиг. 2). С помощью предлагаемого способа возможно производить регулирование тонкопленочного резистора (в сторону увеличени ) с точностью 0,1% и выше на величину до 50% от первоначального значени . Така  высока  точность позвол ет примен ть способ подгонки в случае прецизионных измерительных приборов. Большой диапазон регулировки с высокой точностью дает возможность примен ть способ, например, при создании частотнозадающего элемента в активных RC-фильтрах и генераторах. В этом случае частотный диапазон выбираетс  путем разрыва провод щих перемычек, шунтирующих часть длины дорожек тонкопленочного резистора. Плавна  настройка в пределах частотного диапазона осуществл етс  с помощью предложенного способа. При этом настройку частоты возможно производить с точностью 0,1-0,2%. Производительность регулировки значительно выше, чем в известном способе. При этом не требуетс  измен ть шаг подгонки , что позвол ет значительно упростить устройства автоматизации процесса регулировки. Формула изобретени  Способ подГонки тонкопленочных резисторов с Пленочными металлическими контактами путем удалени  части резистивного Материала, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности и производительности , на резистивный материал нанос т два дополнительных электрода, расположенных перпендикул рно ос- - новным, направленных навстречу друг к другу и кон1актирующих с пленочными металлическими контактами резисторов , а удаление части резистивного материала провод т в направлении, перпендикул рном дополнительным электродам. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Технологи  тонких пленок. Справочник , т. 2, М., Советское радио, 1977, с. 607.
2. 2.Сергеев B.C. и Вороженин И.Н. Интегральные гибридные микросхемы. М., Советское радио, 1973, с. 5.

   7 б

   п

   N 9

   У/т///.

   щ

   М.

   Фиг. 1