(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СВАРКИ ДАВЛЕНИЕМ
Изобретение относитс к производ ству изделий микроэлектроники и может быть использовано при сборке полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Известно устройство дл сварки давлением, содержащее сварочный трансформатор, неподвижнзпо и подвижную станины, взаимодействующие на последнюю, привод оплавлени. и приво осадки, конечный выключатель и командный датчик, установленный на раб чем органе привода осадки и падающий сигнал на вьпоггючение сварочного трансформатора ij. Недостатком устройства вл етс низка точность дозировани длительности осадки под током. Наиболее близким к предлагаемому вл етс устройство содержащее сварочный трансформатор, неподвижную и подвижную плиты, привод оплавлени и осадки и командный датчик, св занный со счетчиком импульсов тока осадки и подающий сигнал на отключение сварочного трансформатора, причем командный датчик выполнен в виде пьезоэлектрического датчика ускорени , установленного на подвижной плите машины. Недостатком указанного устройства вл етс низка надежность определени момента касани свариваемых элементов , так как пьезоэлектрический датчик ускорени реагирует на случайные перемещени сварочной головки, удары и вибрации сварочной установки . Следует отметить, что в случае введени в устройство шагового привода перемещени сварочной головки указанное устройство вообще не применимо , так как датчик срабатывает на каждьш шаг поворота шагового двигател . Цель изобретени - повьппение качествасварных соединений путем стабилизации деформации присоедин емого проводника. 3Цель достигаетс тем, что в устро йстве содержащем сварочн то головку с приводом ее перемещени , блок управлени приводом, командный датчик с амплитудным детектором и формирова тель управл ющего импульса, введеныпоследовательно соединенные пиковый детектор, вычитатель и детектор обнаружени превышени нул , потенциала , причем1вьгход амплитудного детектора подключен ко входу пикового детектора и ко входу вычитател , а выход детектора обнаружени превышени нул потенциала соединен со входом формировател управл кнцего импульса , выход которого подключен, к бло ку управлени приводом, при этом второй вход последнего соединен со вторым входом пикового детектора. На фиг. I изображена структурна схема устройства; на фиг. 2 привал изменени сигнала с командного датчика в процессе спускани сварочной головки, где - амплитуда вибрации, свароч ного инструмента; - амплитуда холостого хода; врем в сек ; момент касани инструменто детали. . Устройство дл сварки давлением содержит сварочную головку 1 с шаговым приводом 2 и блоком 3 его управлени , генератор 4 ультразвукового импульса, .соединенного с командным датчиком 5, выполненным в виде допол нительной обмотки, нанесенной поверх обмотки возбуждени , датчика соедине ни последовательно амплитудный детектор 6, пиковый детектор 7, вычитатепь 8.вторым входом соединенного со входом пикового детектора 7, дете тора 9 обнаружени превьшени нул потенциала. Формировател 10 управл ющего импульса, причем выход форми-ровател соединен со входом блока управлени шаговым приводом 3, второй выход которого соединен со вторым входом пикового детектора 8. Принцип работы устройства основа на определении момента касани сва рочного инструмента с выводом, расп ложенным на контактной площадке интегральной схемы и задани оптималь ной скорости перемещени сварочного инструмента и деформации присоедин емого вьгоода в процессе образовани cBaipHoro соединени . 5 Устройство работает следующим образом . Дп регистрации момента касани проводника, пропущенного в капилЛ рное отверстие инструмента, с подложкой интегральной схемы генератор 4 импульса с момента запуска шагового двигател 2 на опускание сварочной головки 1 вырабатывает сигнал с частотой 60-70 кГц и мощностью 0,050 ,2 Вт, который подаетс на обмотку возбуждени датчика 5.При этом сварочный инструмент испытывает вибрации с амплитудой холостого хода. (фиг. . 2), которые фиксируютс дополнительной обмоткой датчика 5. Сигнал с выхода командного датчика 5 через амплитудньй детектор 6 поступает на вход пикового детектора 7, где происходит запомина1ше амплитуды холостого хода fe каждого цикла работы устройства, . Запоминание амплитуды холостого хода дл каждого цикла работы сварочной установки необходимо в св зи с .возможньм изменением мощности генератора 4 импульса, в качестве которого служит сварочный ультразвуковой генератор. Далее сигнал с выхода пикового детектора 7 подаетс на вход вычитател 8. Вьгчитатель 8 осуществл ет , операцию вычитани сигналов со входа пикового детектора 7 от сигнала с выхода пикового детектора 7. Таким образом, в режиме холостого хода напр жение на выходе вычитател 8 отсутствует . В момент касани инструментом подложки интегральной схемы амплитуда колебаний сварочного инструмента падает, а на выходе вычитател . 8 по вл етс сигнал, равный разнице входного и выходного сигнала пикового детектора 7, который фиксируетс детектором обнаружени превы-: шени нул потенциала 9 и через формирователь 10 формируетс сигнал на запуск счетного устройства блока 3 управлени , который управл ет работой шагового привода 2, обеспечивающего заданную скорость перемещени сварочного инструмента и деформацию . присоедин емого проводника в процессе сварки. После окончани сварки сигналом с блока 3 управлени производитс сброс пикового детектора 7 и устройство готово к следующему циклу работы;