SU753373A3 - Устройство дл регулировани режима установки тлеющего разр да - Google Patents

Устройство дл регулировани режима установки тлеющего разр да Download PDF

Info

Publication number
SU753373A3
SU753373A3 SU772452848A SU2452848A SU753373A3 SU 753373 A3 SU753373 A3 SU 753373A3 SU 772452848 A SU772452848 A SU 772452848A SU 2452848 A SU2452848 A SU 2452848A SU 753373 A3 SU753373 A3 SU 753373A3
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
input
output
differential
current
glow discharge
Prior art date
Application number
SU772452848A
Other languages
English (en)
Inventor
Оппель Вернер
Original Assignee
Клекнер Ионон Гмбх (Фирма)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Клекнер Ионон Гмбх (Фирма) filed Critical Клекнер Ионон Гмбх (Фирма)
Application granted granted Critical
Publication of SU753373A3 publication Critical patent/SU753373A3/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018Glow discharge
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/34Methods of heating
    • C21D1/38Heating by cathodic discharges
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D23/00Control of temperature
    • G05D23/19Control of temperature characterised by the use of electric means
    • G05D23/1906Control of temperature characterised by the use of electric means using an analogue comparing device
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D23/00Control of temperature
    • G05D23/19Control of temperature characterised by the use of electric means
    • G05D23/20Control of temperature characterised by the use of electric means with sensing elements having variation of electric or magnetic properties with change of temperature
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32917Plasma diagnostics
    • H01J37/32935Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Discharge Heating (AREA)
  • Control Of Resistance Heating (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Description

можность устанавливатьс  по усмотрению заданное опорное значение температуры обработки. Выход усилител  3 подключен к входу усилител  2. В качестве усилител  3 целесообразио примен ть оиерацноиный усилитель (то же самое и дл  усилител  2), который ири больших разност х входного нанр жеии  переходит в режим насьь щени , т. е. работает в качестве комиаратора , тогда как он нрн малых значенн х разности входного ианр  1 ени , а именно в том случае, когда температура V прибл жаетс  к заданной величине гюд, выдает сигнал, стрем щийс  к нулю. При , выходное напр жеиие усилител  3 равно нулю. Если же допо;п1ительно к этому проdV нзводна  температуры по времени -- равdt
на нулю, то сигнал
выхода усилител  также равен нулю.
Работает устройство следующим образом.
Выдавае.мое усилителем 3 заданное значенне Л V сравниваетс  с ироизводиой темdV
нературы ио времени - иосредством усиdt
лител  2, иричем его выходной сигнал передаетс  па блок 4 регулировани  силы тока , который выполнен специальпо как пропорцноиальио-интегральный (ПИ) регул тор с длительным периодом времеии регулировани . ПИ-регул тор 4 увеличивает при наличии выходного сигиала усилител  2 медленио и иенрерывно величину силы тока е тем, чтобы вследствие внедреипых изменений снлы тока в камере не было вызвано возникновени  дуговых разр дов.
К ПИ-регул тору 4 целесообразно иодводить при возникиовеннн дуговых разр дов импульсы дл  С1И1жени  тока, причем эти импульсы могут исходить, иапрпмср, от быстродействующего выключател , который соедннеп с доиол1И1тельным входом 5 ПИрегул тора 4. Такие импульсы могут, например , вычитатьс  из образоваиного в ПИрегул торе интегрального значени , так что получаетс  сокращение темиа нарастани  снлы тока или даже уменьшение ее. Таким путем создаетс  обратна  св зь меж/ту возинкновением дугового разр да и рабочим током дл  тлеющего разр да.
Выход ПИ-регул тора 4 дает требуемое значение величины рабочего тока /.,ад.
На фиг. 2 нредставлен ход иарастанн  температуры V в зависимости от временн /. Сплошна  крива  изображает 1 0рмальиый ход процесса запуска сильноточного тлеющего разр да. Крива  нодиимастс  непрерывно и приближаетс  автоматически к заданной температуре обработкн Кзцд.
В заштрихованной области усилнте,ль 3 работает в качестве усилител , тогда как ниже этой заштрихованиой зоны он действует в качестве компаратора, так как вследствие больщих разиостей входного напр жени  между V и Узад работает в режиме насыщени . Кратковремеиные перерывы процесса запуска при режиме тлеющего разр да в результате возн11киовеии  дуговых разр дов, которвш обуславливаютс  вмешате. ьством быстродействуюшего выключател , не влекут за собой разрыв кривой, а ведут к соответствуюидему регулированию иарастани  температуры. При более длительных нерерывах, которые могут быть обусловлены нарушени ми различного характера, как 1аиример к)атковремеинос нрекран1,ение нодачн (хлаждаюН1 ,ей воды, наири.мср, в течение нро.межутка времени от /; до /2, может нронзойтп охлаждение обрабатываемых детале, как это иредставлеио иупктнрной кривой.
Возобновление нагрева в момент времени 2 иачииаетс  тогда при той температуре, которую иодлежащие обработке детали и.меют в этот момеит времени. Поднимаюн .;а с  ветвь этой крнвой нроход1гг тогда в основном нараллельно с соответствуюи;ей част1ло крнвой, причем частота возиикновеии  дуговых разр дов сводгггс  к .миии.мум} за счет сигналов, исход щих от быстроде ствующего выключател  вследствие иал 1чи  обратиой св зи. Таким нутем Hejjepbiвы процесса нагревани  вследствие срабатывани  быстродействуюн1,его выключател  остаютс  незначительны.ми, так что дл  осуществлени  процесса пагрева обеспечнваетс  М1ии1.1а.1ьиа  затрата вре.чснн при оптимальиых услови х сохранности деталей .
Фор м у л а изобретен и  

Claims (2)

1.Устройство дл  регулировани  режима ЗТтановкн тлеющего разр да, содержащее блок регулировани  тока, ев заииый входом с выходом дифференциального усилител , одии из входов которого соединен с датчико.м тем ;ерату)ы, а второй -- с задатчиком те.мнературы, отличающеес  тем, что, с целью иовышени  безоиасиости экси;1уатацин и новышени  производительности установкн, дифференциальный усилнтель вынолиен насыщающимс , а устройство снабжено дополнительным дифференциа;пэиы .м уси;1ителем н диффереинируюп;им элемеито.м, вход которого соединен с датчиком температуры, а выход - с одии.г) из входов донолннтельиого дифференциального усилнтел , второй вход которого соединен с выходом уиом иутого дифференциального усилител , а выход соединен с одним из входов регул тора тока.
2. стройство по п. 1, от л и ч а ю щ е е с   тем, что блок регулироваии  тока с 1абжеи донолиительиым входом дл  подключе1И   к блоку умеиьшенн  тока, например к быстроде1 1ствующему выключателю.
Источп п к н н н фор м а цн н, н)ин тые во вннмаиие нри экспертизе 1. Патент Швейцар.чи Лг 364850, кл. 21h 16/00, 1962,
I I J
зад
i, t2
.z.
- t
Риг.г
SU772452848A 1976-02-18 1977-02-18 Устройство дл регулировани режима установки тлеющего разр да SU753373A3 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2606396A DE2606396C3 (de) 1976-02-18 1976-02-18 Vorrichtung zum Aufheizen und Einstellen einer vorgegebenen Behandlungstemperatur von Werkstücken mittels stromstarker Glimmentladung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU753373A3 true SU753373A3 (ru) 1980-07-30

Family

ID=5970148

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU772452848A SU753373A3 (ru) 1976-02-18 1977-02-18 Устройство дл регулировани режима установки тлеющего разр да

Country Status (13)

Country Link
US (1) US4130762A (ru)
JP (1) JPS5299936A (ru)
BR (1) BR7700948A (ru)
CA (1) CA1092954A (ru)
CH (1) CH611098A5 (ru)
DD (1) DD130089A5 (ru)
DE (1) DE2606396C3 (ru)
FR (1) FR2341892A1 (ru)
GB (1) GB1567838A (ru)
IT (1) IT1074675B (ru)
PL (1) PL110400B1 (ru)
SU (1) SU753373A3 (ru)
ZA (1) ZA77768B (ru)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54105342A (en) * 1978-02-07 1979-08-18 Mitsubishi Electric Corp Glow-discharge heating device
US4331856A (en) * 1978-10-06 1982-05-25 Wellman Thermal Systems Corporation Control system and method of controlling ion nitriding apparatus
US4476373A (en) * 1978-10-06 1984-10-09 Wellman Thermal Systems Corporation Control system and method of controlling ion nitriding apparatus
US4297190A (en) * 1979-05-14 1981-10-27 Western Electric Co., Inc. Method for removing heat from a workpiece during processing in a vacuum chamber
DE3110915A1 (de) * 1981-03-20 1982-12-02 Ludger 5471 Wassenach Mersmann Therapiegeraet zur behandlung von wasser und/oder biologischen systemen mit magnetfeldern und/oder elektromagnetischen strahlungen und/oder elektrischen stroemen
GB2100023B (en) * 1981-06-05 1985-01-09 Aizenshtein Anatoly Gdalievich Method of control of chemico-thermal treatment of workpieces in glow discharge and a device for carrying out the same
BG41744A1 (en) * 1984-11-26 1987-08-14 Savov Method for control of chimico= thermic processing of work- pieces with glowing dicharge in medium of processing gas and device for implementing this method
US4853046A (en) * 1987-09-04 1989-08-01 Surface Combustion, Inc. Ion carburizing
US5127967A (en) * 1987-09-04 1992-07-07 Surface Combustion, Inc. Ion carburizing
HUP0304104A2 (hu) * 2003-12-22 2005-08-29 László Kovács Eljárás és vezérlő elrendezés olajsütő készülékek olajtöltés nélküli véletlen bekapcsolásának megszüntetésére

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH342980A (de) * 1950-11-09 1959-12-15 Berghaus Elektrophysik Anst Verfahren zur Diffusionsbehandlung von Rohren aus Eisen und Stahl oder deren Legierungen
BE543129A (ru) * 1953-12-09
CH389797A (de) * 1959-08-17 1965-03-31 Berghaus Elektrophysik Anst Vorrichtung zur Vermeidung von plötzlichen Änderungen des Entladungszustandes für mit stromstarken Glimmentladungen betriebene Entladungsgefässe
FR1266098A (fr) * 1959-08-17 1961-07-07 Berghaus Elektrophysik Anst Procédé et dispositif pour assurer la stabilité des décharges luminescentes de grande énergie en atmosphère de gaz
CH409694A (de) * 1962-11-06 1966-03-15 Berghaus Elektrophysik Anst Verfahren zur Behandlung von Teilen eines Kugelschreibers
DE1275228B (de) * 1966-11-08 1968-08-14 Berghaus Elektrophysik Anst Verfahren zur UEberwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung fuer metallurgische Verfahren und Einrichtung dazu
CA825823A (en) * 1968-02-09 1969-10-21 A. Hogan James Electronic process controller
US3686557A (en) * 1970-08-26 1972-08-22 Fischer & Porter Co Floating-type electronic servo-motor process controller
FR2131484A5 (ru) * 1972-03-15 1972-11-10 Thalamas Alban
JPS5148778A (ja) * 1974-09-13 1976-04-27 Fuji Electric Co Ltd Ionchitsukadengennoseigyosochi

Also Published As

Publication number Publication date
PL110400B1 (en) 1980-07-31
ZA77768B (en) 1978-01-25
US4130762A (en) 1978-12-19
BR7700948A (pt) 1977-10-18
FR2341892B1 (ru) 1982-10-22
FR2341892A1 (fr) 1977-09-16
DE2606396A1 (de) 1977-08-25
DE2606396C3 (de) 1979-01-04
JPS5299936A (en) 1977-08-22
JPS5636559B2 (ru) 1981-08-25
CA1092954A (en) 1981-01-06
DE2606396B2 (de) 1978-05-11
DD130089A5 (de) 1978-03-01
GB1567838A (en) 1980-05-21
IT1074675B (it) 1985-04-20
CH611098A5 (ru) 1979-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU753373A3 (ru) Устройство дл регулировани режима установки тлеющего разр да
US4996638A (en) Method of feedback regulating a flyback power converter
US4510562A (en) Stabilizing power-supply circuit
US4479046A (en) Single power source arc welding apparatus
GB1319931A (en) Method and apparatus for controlling gas cutting operation
SU1073866A2 (ru) Задатчик интенсивности дл быстродействующего электропривода
SU900389A1 (ru) Задатчик интенсивности дл быстродействующего электропривода
SU587452A1 (ru) Регул тор температуры
JPS57136382A (en) Output stabilising method of semiconductor laser
SU821245A1 (ru) Способ управлени тиристорнымРЕгул ТОРОМ TOKA ВОзбуждЕНи СЕРиЕС-НОгО Т гОВОгО дВигАТЕл
JPS55154789A (en) Driving circuit for semiconductor laser
JPH08162704A (ja) レーザ加工機用電源の出力の制御方法
SU1259226A1 (ru) Устройство дл регулировани температуры
SU930761A1 (ru) Устройство дл регулировани режима установки сильноточного тлеющего разр да
SU547956A1 (ru) Устройство дл возбуждени синхронной машины
SU113954A2 (ru) Регул тор подачи электрода-инструмента дл электроэррозионного станка
SU714376A1 (ru) Импульсный стабилизатор посто нного напр жени
SU1115019A1 (ru) Система регулировани температуры печи
SU1529173A1 (ru) Трехпозиционное импульсное пороговое устройство
SU690240A1 (ru) Система автоматического регулировани температуры пара на выходе парогенератора в период его пуска
SU631863A1 (ru) След ща система
SU983955A1 (ru) Система подчиненного регулировани
SU651315A2 (ru) Устройство дл управлени исполнительным механизмом
JPS56169443A (en) Detecting circuit for input signal interruption
SU1551485A1 (ru) Установка дл плазменно-дуговой резки