SU530485A1 - Контактное устройство - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к технологическому оборудованию радиоэлектронной промышленности и может быть использовано дл  ФОНДОВОГО контрол  и измерени  статически и динамических параметров структур интегральных микросхем и полупроводниковых приборов.

Известны контактные устройства, содержащие диэлектрическое основание, гибкие Г-образные зоны, закрепленные в зондодержател х с возможностью перемещени  по трем координатам, и механизм регулировки в виде винтов с шариками.

Однако после настройки зондов в извест ных устройствах не обеспечиваетс  стабиль ность положени  зондов по координате Ъ в процессе работы ввиду отсутстви  их жесткой фиксации по высоте, и, кроме того, сложна сама настройка ввиду использовани  нескольких элементов.

Цель изобретени  - упрощение настройки зондов при сохранении надежности работы.

Это достигаетс  тем, что в предлагаемом контактном устройстве каждый зонд размещен в полости зондодержател , обра-

зованной пересечением двух соосных конусов и заполненной легкоплавким веществом, например сплавом олово-никель.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство , вид сбоку ; на фиг. 2 - то же, вид сверху J на фиг 3 - узел I на фиг, 1,

Контактное устройство содержит диэлeкj- трическое основание 1 с токопровод щими зондодержател ми 2, в полости 3 которых, образованной пересечением двух соосных конусов и заполненной легкоплавким вещест вом, например сплавом олово-никель, размещены зонды 4.

Настройка зондов 4 осуществл етс  следующим образом.

При тепловом воздействии на зондодержатель 2 легкоплавкое вещество плавитс . При этом зонд получает свободу перемещени  по трем координатам относительно линии пересечени  двух конусов, охватывающей зонд по периметру, за счет чего обеспечиваетс  возможность настройки зонда на контактный вывод микросхемы. При затвердении вещест ва , заполн ющего полость 3, обеспечиваетс