SU1456765A1

SU1456765A1 - Емкостный датчик-свидетель дл контрол толщины напыл емой диэлектрической пленки

Info

Publication number: SU1456765A1
Application number: SU874260631A
Authority: SU
Inventors: Жорж Гаврилович Юхимюк; Богдан Петрович Коман
Original assignee: Львовский Государственный Университет Им.И.Франко
Priority date: 1987-06-11
Filing date: 1987-06-11
Publication date: 1989-02-07

Abstract

Изобретение относитс к измери- ,тельной технике и имеет целью расширение диапазона контролируемь:х толщин диэлектрической пленки в процессе ее напыле1ш . Используемый в процессе напылени емкостный датчик-свидетель содержит диэлектрическое осно- ванне 15 вьтолненное в виде цилиндра, установленного с возможностью вращени вокруг его продо11ьной оси 2, и размещенг-Еые по всей его внешней поверхности плоские электроды 3 и 4, имеющие гре6е гчатую форму и обращен™ ные один к другому своими зубцами. Во врем ваку много напылени осаждаема пленка измен ет емкость датчика между его электродами 3 и 4, Благодар вращению основани емкостного датчика контролируема пленка равномерно осаждаетс по всей поверхности цилиндрического емкостного датчика, вследствие чего обеспечиваетс линейное приращение емкости датчика-свидетел в процессе напылени на него диэлектрической пленки. 2 ил.

Description

Фиг.1

Изобретение относитс к контроль- но-иэмерительной технике и может быть использовано в микроэлектронике дл контрол толщины тонких дидлектричес- ких пленок в процессе их осаждени при вакуумном термическом напылении. Цель изобретени - расширение диапазона контролируемых толщин диэлектрической пленки за счет шеличени площади осаждени пленки на св здетель при обеспечении идентичнос- ти условий осаждени на всех: его участках поверхности.

На фиг.1 показано схематично кон- структивное выполнение емкостного датчика-свидетел дл контрол толщины напьт емой диэлектрической пленки; на фиг.2 - сечение А-А на фиг.1.

Емкостный датчик содержит основа- ние , вьшолненное в виде цилиндра из диэлектрика, установленного с возможностью вращени вокруг его продольной оси 2, и размещенные по всей площади его внешней поверхности свер- нутые в кольцо, плоские электроды 3 и 4, 1шеющие гребенчатую форму и обра- щенные один к другому своими зубцами , которые расположены в промежутках между зубцами противолежащего электрода.

Емкостный датчик-свидетель работает следующим образом.

Во врем вакуумного напылени осаждаема п тенка образует диэлектри ческое покрытие на внешней поверхност цилиндрического основани 1 и на электродах 3 и 4 емкостного датчика, которое измен ет электроемкость этого датчика между его электродами, Во врем осаждени пленки цилиндричес- ксе основание 1 вращаетс вокруг своей оси 2, Так как электроды 3 и 4 образуют единый гребенчатый цилиндрический конденсатор, то его скорость вращени не вли ет на точность измерени емкости, Каждому значению емкости гребенчатого конденсатора соответствует определенна толщина напыл емой пленки. Зависимость между толщиной пленки и емкостью гребенчатого конденсатора может быть определена , предварительной градуировкой.

Использование емкостного датчика- свидетел предлагаемой конструкции позволит контролировать в широком диапазоне толщину напыл емых диэлектрических пленок и увеличит срок службы датчика, так как благодар выполнению диэлектрического основани в виде вращающегос цилиндра с распо ложенными на его внешней поверхности гребенчатыми электродами обеспечиваютс увеличение емкости образованного ими конденсатора, а также более линейное приращение его емкости в процесса нанесени диэлектрической пленки,

Фо. рмула изобр е тени

Емкостный датчик-свидетель дл контрол толщины напыл емой диэлектрической пленки, содержащий основание из диэлектрика и размещенные на нем плоские электроды гребенчатой формы, отличающийс тем, 4TOs с Целью расширени диапазона контролируемых толщин, основание выполнено в виде цилиндра, установленного с возможностью вращени вокруг его оси, а элект{ одь свернуты в кольцо .

Составитель Т.Бычкова Редактор И,Горна Техред М.Ходанич Корректор Л. Пилипенко

Заказ 7494/38

Тираж 683

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предгфи тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4

Фиг. г

Подписное

Claims

Формула изобретения 30

Емкостный датчик-свидетель для ,контроля толщины напыляемой диэлектрической пленки, содержащий основание из диэлектрика и размещенные на 35 нем плоские электроды гребенчатой формы, о тличающийс я тем, что, с целью расширения диапазона контролируемых толщин, основание выполнено в виде цилиндра, установлению ного с возможностью вращения вокруг его оси, а электроды свернуты в кольцо.