SU419992A1 - Емкостной датчик - Google Patents

Description

1

Устройство относитс  к области тс.хиики изготовлени  электрических конденсаторов иосто иной емкости и может быть использовано дл  измерени  емкости, угла диэлектрических потерь и токов утечки пленочных конденсаторов в проиессе их изготовлени , а также аналогичных характеристик различных диэлектрических нленок.

Известны емкостные датчики дл  измерени  емкости нленочных конденсаторов в процессе их изготовлени . По величине изменени  этой частоты суд т о толщине наныл емого диэлектрика, а следовательно, о емкости изготовл емого конденсатора.

Однако емкостные датчики ие позвол ют измер ть в процессе изготовлени  пленочных конденсаторов такне характеристики, как угол диэлектрических потерь и ток утечки в диэлектрике; кроме того, он дорог и сложеи в изготовлении, а срок его службы ограничен.

С целью обеспечени  измерени  электрических характеристик конденсатора иеносредственно в процессе его напылени  в предлагаемом датчике, рабоча  поверхность металлических пластин расположена перпендикул рно плоскости подложки.

На фиг. 1 показан предлагаемы датчик и разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 2 - схема включени  емкостного датчика при измерении

электрических характеристик изготовл емых коидеисаторов.

Емкостиоп дагчик состоит из двух металлических пластин 1 и 2, расположенного между ними из repитeльнoгo зазора и диэлектрической подложки 4. Измерительный зазор заполнен осаж.т,енньп диэлектриком 5.

Толщина нзмерительных пластин 1 и 2, ширина и длина зазора 3 выбираютс  в зависимости от диэлектрической нронинаемости осаждаемого диэлектрика.

В пронессе работы датчик 6 размещаетс  р дом с нижними обкладками изготовл емых коиденсаторов 7, на которые наноситс  слой

диэлектрика. Зазор между пластинами 1 и 2 емкостного датчика 6 заиоли етс  осаждаемым диэлектриком 5, что приводит к изменению его емкости и угла диэлектрических потерь. Это изменение измер етс  прибором 8.

Характеристики изготовл емого конденсатора определ ютс  по экснеримеитальио установленны .м зависимост м от характеристик конденсатора емкостного датчика.

25

Предмет изобретени 

Емкостной датчик, содержащий диэлектрическую иодложку и расположеиные на ней 30 металлические пластины, отличающийс 

3

тем, что, с целью обеспечени  измереп   электрических характеристик изготавливаемого кондеисатора иеиосредственио в процессе

4

его иапылеии , раооча  поверхиос1Ъ металлических пластии расположеиа перпеидикул рlio плоскости подложки.

1 I 1 I I I i ГГ.

8