SU454463A1 - Устройство дл измерени удельной емкости пленочных конденсаторов - Google Patents
Устройство дл измерени удельной емкости пленочных конденсаторовInfo
- Publication number
- SU454463A1 SU454463A1 SU1830698A SU1830698A SU454463A1 SU 454463 A1 SU454463 A1 SU 454463A1 SU 1830698 A SU1830698 A SU 1830698A SU 1830698 A SU1830698 A SU 1830698A SU 454463 A1 SU454463 A1 SU 454463A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- specific capacitance
- film capacitors
- measuring specific
- stencil
- measuring
- Prior art date
Links
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к электроизмерительной техники и может быть использовано дл измерени удельной емкости пленочных конденсаторов в процессе их изготовлени методом напылени в вакууме.
Известны устройства дл измерени удельной емкости пленочных конденсаторов, выполненные в виде конденсатора с двум обкладками , одна из которых жестко закреплена на корпусе и соединена с измерительным мостом. Ири этом точность измерени удельной емкости определ етс воспроизводимостью геометрических размеров его обкладок.
Цель изобретени - повышение точности измерени .
Достигаетс это тем, что друга обкладка конденсатора выполнена съемной с закрепленным на ней трафаретом, причем плоскость трафарета расположена под острым углом к плоскости съемной обкладки.
На фиг. 1 изображено описываемое устройство; на фиг. 2 - то же, вид сбоку; на фиг. 3 - сечение А-А на фиг. 1.
Устройство дл измерени удельной емкости пленочных конденсаторов выполнено в виде конденсатора с двум обкладками 1 и 2. Обкладка I, съемна , жестко укреплена на корпусе 3, с закрепленным на ней трафаретом 4, образующим угол а. (меньший 90°) между плоскостью трафарета 4 и обкладкой I. Электрический контакт обкладки 1 с корпусом обеспечивает хорошее экранирование устройства. Обкладка 2 соединена с измерительным мостом.
Устройство вместе с трафаретом 4 располагаетс в вакуумной установке в районе подложки , на которую напыл етс пленка.
Отверстпе трафарета 4 позвол ет поступать парам испар емого веш,ества из испарител на внутреннюю поверхность обкладки 1 II осаждатьс на ней в виде пленки 5. С помощью измерительного моста измер етс изменение емкости конденсатора.
После напыленп устройство подготавливаетс дл следующей операции напылени . Дл этого обкладка 1 снимаетс , с ее поверхности удал етс напыленна пленка 5, а затем она вновь устанавливаетс .
Предмет изобретени
Устройство дл измерени удельной емкости пленочных конденсаторов, выполненное в виде конденсатора с двум обкладками, одна из которых жестко закреплена на корпусе и соединена с измерительным мостом, отличающеес тем, что, с целью повышени точности измерени , друга обкладка конденсатора выполнена съемной с закрепленным на ней трафаретом, причем плоскость трафарета расположена под острым углом к плоскости съемной обкладки.
е
е
е
е
Фиг- 2
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1830698A SU454463A1 (ru) | 1972-09-22 | 1972-09-22 | Устройство дл измерени удельной емкости пленочных конденсаторов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1830698A SU454463A1 (ru) | 1972-09-22 | 1972-09-22 | Устройство дл измерени удельной емкости пленочных конденсаторов |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU454463A1 true SU454463A1 (ru) | 1974-12-25 |
Family
ID=20527643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1830698A SU454463A1 (ru) | 1972-09-22 | 1972-09-22 | Устройство дл измерени удельной емкости пленочных конденсаторов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU454463A1 (ru) |
-
1972
- 1972-09-22 SU SU1830698A patent/SU454463A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3328653A (en) | Thin film pressure transducer | |
| SU454463A1 (ru) | Устройство дл измерени удельной емкости пленочных конденсаторов | |
| GB1386306A (en) | Method of and apparatus for determinging the thickness of a layer of dielectric material during deposition | |
| JPS6126001B2 (ru) | ||
| FR2309833A1 (fr) | Jauge capacitive pour le controle d'une dimension interieure d'un tube | |
| US3787764A (en) | Solid dielectric capacitance gauge for measuring fluid pressure having temperature compensation and guard electrode | |
| GB2204136A (en) | A capacitative inclination sensor | |
| FR2444270A1 (fr) | Appareil pour les mesures de porosite | |
| SU1078306A1 (ru) | Устройство дл измерени диэлектрических характеристик твердых диэлектриков | |
| RU172636U1 (ru) | Алмазный датчик давления | |
| SU1366872A1 (ru) | Емкостный датчик дл измерени толщины напыл емой пленки | |
| SU419992A1 (ru) | Емкостной датчик | |
| GB1311297A (en) | Precision variable-resistance high resistance devices for high frequency use | |
| SU1500882A1 (ru) | Устройство дл измерени капилл рного давлени | |
| SU519774A1 (ru) | Эталонный электрический конденсатор посто нной емкости | |
| SU393656A1 (ru) | Емкостный влагомер листовых материалов | |
| SU541130A1 (ru) | Устройство дл измерени величины ионизирующего излучени | |
| SU517064A1 (ru) | Блок сегнетокерамических полупроводниковых конденсаторов | |
| SU1456765A1 (ru) | Емкостный датчик-свидетель дл контрол толщины напыл емой диэлектрической пленки | |
| JPS6216652Y2 (ru) | ||
| SU514234A1 (ru) | Устройство дл регистрации образовани и развити трещин при фрикционноконтактном испытании полимерных материалов | |
| SU668020A1 (ru) | Измерительный конденсатор | |
| SU898312A1 (ru) | Емкостный датчик | |
| SU1010532A1 (ru) | Емкостной коаксиальный датчик | |
| SU82237A1 (ru) | Емкостный датчик напр жений |