SU1368623A1 - Interferometer for checking shape of concave optical aspherical surfaces - Google Patents

Interferometer for checking shape of concave optical aspherical surfaces Download PDF

Info

Publication number
SU1368623A1
SU1368623A1 SU864109427A SU4109427A SU1368623A1 SU 1368623 A1 SU1368623 A1 SU 1368623A1 SU 864109427 A SU864109427 A SU 864109427A SU 4109427 A SU4109427 A SU 4109427A SU 1368623 A1 SU1368623 A1 SU 1368623A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
flat
lens
concave
interferometer
convex
Prior art date
Application number
SU864109427A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Даниил Трофимович Пуряев
Александр Михайлович Романов
Original Assignee
МВТУ им.Н.Э.Баумана
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by МВТУ им.Н.Э.Баумана filed Critical МВТУ им.Н.Э.Баумана
Priority to SU864109427A priority Critical patent/SU1368623A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1368623A1 publication Critical patent/SU1368623A1/en

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и предназначено дл  использовани  в оптическом производстве при контроле формы вогнутых оптических асферических поверхностей , например главных зеркал телескопов . Цель изобретени  - упрощение конструкции интерферометра, повышение. производительности и точности контрол . Интерферометр дл  контрол  формы вогнутых оптических асферических поверхностей содержит последовательно расположенные источник 1 монохроматического излучени , телескопическую систему,,состо щую из линз 2 и 3, светоделитель 4, за которым в одной ветви расположено плоское зеркало 5, а в другой - объектив 6, и регистратор 7 интерференционной картины.Объектив 6 рабочей ветви выполнен в виде плосковогнутой и дво ковыпуклой линз. Внутри обеих линз обеспечен параллельный ход параксиальных лучей благодар  тому, что задний фокус плосковогнутой линзы совмещен с передним фокусом той выпуклой поверхности дво ковыпуклой линзы, котора  обращена к вогнутой поверхности плос- ковогнутой линзы. Плоска  поверхность плосковогнутой линзы используетс  при настройке интерферометра дл  правильной установки объектива бив рабочем режиме дл  создани  эталонного волнового фронта. 1 ил.The invention relates to a measurement technique and is intended for use in optical production in controlling the shape of concave optical aspherical surfaces, for example, the main mirrors of telescopes. The purpose of the invention is to simplify the design of the interferometer, increase. performance and accuracy of control. An interferometer to control the shape of concave optical aspherical surfaces contains successively located source 1 of monochromatic radiation, a telescopic system, consisting of lenses 2 and 3, a beam splitter 4, followed by a flat mirror 5 in one branch, and a lens 6 in the other 7 interference pattern. The lens 6 of the working branch is made in the form of flat-concave and two-convex lenses. Parallel paraxial rays are provided inside both lenses due to the fact that the posterior focus of a flat-concave lens is aligned with the front focus of that convex surface of the two-convex lens that faces the concave surface of the flat-concave lens. The flat surface of the flat-concave lens is used when adjusting the interferometer to correctly set the objective lens in an operating mode to create a reference wavefront. 1 il.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и предназначено дл  использовани  в оптическом производстве при контроле формы вогнутых оптических асферических поверхностей например главных зеркал телескопов. Целью изобретени   вл етс  упрощение конструкции интерферометра, повышение производительности и точности контрол  за счет вьшолнени  объектива рабочей ветви в виде плосковогнутой и дво ковыпуклой линз, упрощени  процесса установки об-ьек- тива в заданное положение при наблюдении сплошной юстировочной интерференционной картины и з еньюени  вли ни  децентрировок элементов рабочей ветви на результаты контрол .The invention relates to a measurement technique and is intended for use in optical production in controlling the shape of concave optical aspherical surfaces, for example, the main mirrors of telescopes. The aim of the invention is to simplify the design of the interferometer, to increase the performance and accuracy of control due to the implementation of the objective of the working branch in the form of flat-concave and two-convex lenses, to simplify the installation process of the lens at a predetermined position when observing a continuous alignment interference pattern and degrading effect elements of the working branch on the results of the control.

На чертеже показана принципиальна  схема интерферометра и ход лучей в нем.The drawing shows a schematic diagram of the interferometer and the course of the rays in it.

Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучени , телескопическую систему дл  создани  параллельного пучка лучей, состо щую из линз 2 и 3, светоделитель 4 дл  разделени  излучени  на две ветви, плоское зеркало 5, установленное в одной ветви, объектив 6, установленный в другой рабочей ветви, и регистратор 7 интерференционной картины .The interferometer contains a monochromatic radiation source 1, a telescopic system for creating a parallel beam of rays consisting of lenses 2 and 3, a beam splitter 4 for dividing the radiation into two branches, a flat mirror 5 installed in one branch, an lens 6 installed in another working branch, and the interference pattern recorder 7.

Объектив 6 рабочей ветви выполнен в виде плосковогнутой и дво ковыпуклой линз, установленных так, что плоска  поверхность плосковогнутой линзы, обращена к светоделителю 4. Внутри Зтих линз обеспечен параллельный ход параксиальных лучей благодар  тому, что задний фокус плосковогнутой линзы совмещен с передним фокусом той выпуклой поверхности дво ковыпуклой линзы,, котора  обращена к вогнутой поверхности плосковогнутой линзы.The objective 6 of the working branch is made in the form of flat-concave and double-convex lenses installed so that the flat surface of the flat-curved lens faces the beam splitter 4. Inside these lenses, parallel paraxial rays are provided due to the fact that the back focus of the flat-bent lens is aligned with the front focus of that convex surface a two-convex lens, which faces the concave surface of a flat-concave lens.

Интерферометр работает следующим образом.The interferometer works as follows.

Лучи света, выход щие из источника 1 монохроматического излучени , поступают в телескопическую систему, состо щую из линз 2 и 3, котора Rays of light emanating from source 1 of monochromatic radiation enter the telescopic system consisting of lenses 2 and 3, which

, ,

368623 ,2368623, 2

уменьшает расходимость пучка и увеличивает его диаметр. Далее пучок света проходит сквозь светоделитель 4. падает на эталонную поверхность 8reduces the beam divergence and increases its diameter. Next, the light beam passes through the beam splitter 4. falls on the reference surface 8

10ten

IfIf

2020

2525

30thirty

3535

4040

4545

5050

, падает на эталонную поверхность объектива 6 и делитс  на два пучка. Лучи света, отраженные от поверхности 8, образуют эталонный пучок, кото- рьш после отражени  от светоделител  4 поступает в регистратор 7 интерференционной картины.falls on the reference surface of lens 6 and is divided into two beams. The light rays reflected from the surface 8 form a reference beam, which, after being reflected from the beam splitter 4, enters the recorder 7 of the interference pattern.

Лучи света, прошедшие через объектив 6, образуют рабочий пучок. Эти лучи падают на контролируемую поверхность 9 по нормал м к ней. Отразившись от нее, лучи проход т через объектив 6 в обратном направлении, от- ражаютсй от светоделител  4 и поступают в регистратор 7 интерференционной картины. Интерференционна  картина возникает .в результате взаимодействи  эталонного и рабочего пучков. Зеркало 5 используетс  дл  юстировки интерферометра и дл  Проверки качества светоделител  4. В рабочем режиме зеркало 5 в образовании интерференционной картины не участвует.Rays of light passing through the lens 6, form a working beam. These rays fall on a controlled surface 9 along the normal meters to it. Reflected from it, the rays pass through the lens 6 in the opposite direction, are reflected from the beam splitter 4 and enter the recorder 7 of the interference pattern. The interference pattern arises as a result of the interaction of the reference and working beams. Mirror 5 is used to adjust the interferometer and to check the quality of the beam splitter 4. In the working mode, mirror 5 does not participate in the formation of the interference pattern.

Claims (1)

Формула изобретени Invention Formula Интерферометр дл  контррл  формы вогнутых оптических асферических поверхностей, содержащий последовательно .установленные источник монохроматического излучени , телескопическую систему и светоделитель дл  разделени  излучени  на две ветви, плоское зеркало, установленное в одной ветви, объектив, установленный в другой ветви, и регистратор интерференционной картины, отличающийс  тем, 4TOi с целью упрощени  конструкции интерферометра, повышени  производительности и точности контрол , объектив вьтолнен в виде плосковогнутой и дво ковьшуклой линз, установленных так , что плоска  поверхность плосковогнутой линзы обращена к светоделителю, а ее задний фокус совмещен с передним фокусом выпуклой поверхности дво ковьшуклой линзы, котора  обращена к вогнутой поверхности плосковогнутой линзы.An interferometer for the contrl-shaped forms of concave optical aspherical surfaces containing successively installed monochromatic radiation source, a telescopic system and a beam splitter for dividing the radiation into two branches, a flat mirror mounted in one branch, an objective lens mounted in another branch, and an interference pattern recorder characterized by , 4TOi in order to simplify the design of the interferometer, increase productivity and accuracy of control, the lens is made in the form of a flat-concave and double convex lenses installed so that the flat surface of the flat-curved lens faces the beam splitter, and its back focus is aligned with the front focus of the convex surface of the double-convex lens that faces the concave surface of the flat-concave lens. ВНИИ1Ш Заказ 273/38 Тираж 680VNII1SH Order 273/38 Circulation 680 Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4Random polygons pr-tie, Uzhgorod, st. Project, 4 ПодписноеSubscription
SU864109427A 1986-06-16 1986-06-16 Interferometer for checking shape of concave optical aspherical surfaces SU1368623A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864109427A SU1368623A1 (en) 1986-06-16 1986-06-16 Interferometer for checking shape of concave optical aspherical surfaces

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864109427A SU1368623A1 (en) 1986-06-16 1986-06-16 Interferometer for checking shape of concave optical aspherical surfaces

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1368623A1 true SU1368623A1 (en) 1988-01-23

Family

ID=21253520

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864109427A SU1368623A1 (en) 1986-06-16 1986-06-16 Interferometer for checking shape of concave optical aspherical surfaces

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1368623A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Пур ев Д.Т. Методы контрол оптических асферических поверхностей. - М.: Машиностроение, 1976, с. 192-212. Пур ев Д.Т., Шандин Н.С. Расчет компенсатора дл интерференционного контрол астрономических зеркал. - ОМП, 1982, № 12, с. 23. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3966324A (en) Laser doppler anemometer
SU1368623A1 (en) Interferometer for checking shape of concave optical aspherical surfaces
JPS5669611A (en) Scanning optical system for array light source
SU523274A1 (en) Interferometer to control the quality of convex hyperbolic mirrors of a cassegrain telescope
SU149910A1 (en) Interferometer to control the quality of second-order surfaces of rotation
SU1067909A1 (en) Interferrometer for checking shape of surfaces of convex spherical parts
SU953451A2 (en) Interferrometer for checking spherical surfaces
SU1420428A1 (en) Apparatus for checking image quality in optical systems
SU991150A1 (en) Interferometer for optical system quality control
GB1459936A (en) Apparatus for illuminating minute targets
SU1226041A1 (en) Interferometer for testing cylindrical surfaces
SU1499109A1 (en) Apparatus for recording interferograms
SU642611A1 (en) Dispersion prism system
SU373519A1 (en) INTERFEROMETER TO CONTROL THE QUALITY OF OPTICAL
SU847013A1 (en) Interferometer for lens quality control
SU996857A1 (en) Interferometer for optical surface shape checking
SU1267193A1 (en) Device for checking quality of mirror surface
SU1657947A1 (en) Interferometer for checking of aspherical quadric surfaces
SU1359663A1 (en) Interferometer for checking cylindrical surfaces
SU1425437A1 (en) Interferometer for checking convex paraboloids
SU143557A1 (en) The method of controlling the accuracy of processing non-spherical surfaces
SU1661567A1 (en) Method of testing surfaces of optical parts
SU871015A1 (en) Device for checking optical system alignment
SU684296A1 (en) Interferometer for testing quality of optical components
SU1026002A1 (en) Interferometer for checking convex spherical surface shape