Дл упрощени конструкции, повышени точности и производите-льности контрол интерферометр снабжен отрицательной линзой, установленной в опорной ветви интерференционного блока между светоделителем и ска нирующим зеркалом и выполненной с возмож ностью фокусирующего осевого перемещени а ось поворота сканирующего зеркала и его отражающа поверхность совмещены с фокусом обтзоктиза осветительной системы. ria 4i:p:e::-e ruuia с:лома интерферометра. On coi:iepxi;r: иб-:л;к-ив .1 осветительной системы, чоркалыьтр г1.: лНтьт 2-5, расположенные п верштмгх парчл.пепограмма, два из которых 2 и выполнен позоротттьг:.-, ЗУ 6. Интерферометр работает тз автомолличгационной схеме совмостни с исспецуемт гх) калом 7 и устанавливаетс , в заБ.симост;. от контролируемого объекта, лт-бо в нелтое кривизны сферического зеркала, либо в фокусе исследуемого объектива. Работает интерферометр слецующим обра зом. Параллельный световой пучок монохроматического света направл етс на объектив 1, фокус которого совмещен с отражающей поверхностью зеркала 5. После выхода из объектива пучок света светоделителем 2 де литс на два пучка - рабочий и опорный. Ра бочий пучок, пройд светоделитель 2, с помощью зеркала 3 и светоделител 4 направ л етс на исследуемое сферическое зеркало 7. Опорный пучок после отражени от светоделител 2 попадает на линзу 6, а затем зеркалом 5 направл етс на зеркало 7. Параметры и положение линзы 6 выбираютс такими, чтобы выщедщий из нее пучок собиралс точно на поверхности зеркала 7. Дл выполнени этого услови линза 6 имеет осевое фокусирующее перемещение. Отражающие поверхности элементов интерфероме ра располагаютс в вершинах параллелограм ма. Благодар этому обеспечиваетс совпадение осей опорного и рабочего пучков в пр межутке между светоделителем 4 и зеркалом 7. Зеркало 5 выполнено поворотным. Ос вращени направлена перпендикул рно к плос кости чертежа и проходит через фокус объек тива 1. Поворотом зеркала опорный пучок может быть направлен в любую точку поверх ности зеркала 7. Необ;х:одимость в сканирую щем перемещении пучка возникает, например , при наличии отверсти в центре зеркала 7, при выборе зоны с минимальным воз- мущением воздушной среаы и т.п. В рабочее положение интерферометр устанавливаетс так, что фокус его объектива 1 совмещаетс с центром кривизны зеркала 7. В этом случае реализуетс аатоколлимаиионный ход лучей, обеспечивающий на выходе интер ферометра полное наложение друг на друга опорного и рабочего пучков и образование интерференции . Наложение и структура пучков не нарушаетс при сканирующем перемещении опорного пучка. Благодар этому упрощаетс работа интерферометра и отпадает необходимость в снабжении окул рной части сложным поворотным механизмом. Образовавща с интерференционна картина характеризует качество поверхности зеркала 7. При контроле прозрачных неоднородностей зеркало 7 замен етс образцовым и вбхшзи него помещаетс исследуема среда . Форма полос картины может регулироватьс либо перемещением всего интерферометра относительно центра кривизны зеркала 7, либо перемещением и наклонами отдельных элементов интерферометра (зеркала 3, светоаелител 4, линзьг б). Формула и 3 о б р е т е и - Интерферометр пл исплеаованкл качества поверхностей и аберраций крупногабаритных оптичес1шх элементов и прозрачных неодкородностей , солержаишй установленные последовательно осветительную систему и зеркальный интерференционный блок, имеющий опорную и рабочую ветви и вьшолненный в виде двух светоделителей и двух зеркал , одно из которых, установленное в опорной ветви, вл етс сканирующим, о т л ичающийс тем, что, с целью упрощени конструкции, повыщени точности и производительности контрол , он снабжен отрицательной линзой, установленной в опорной ветви интер{|)еренционного блока между светоделителем к сканирующим зеркалом и выполненной с возможностью фокусируюпюго осевого перемещени , а ось поворота сканирующего зеркала и его отражающа поверхность совмещены с фокусом объектива осветительной системы. Источники информации, прин тые во вниание при экспертизе; 1,Патент США №3799673, кл. 35609 , 17.04.72. 2.ОМП, 1974, № 2, с 24 (прототип).In order to simplify the design, increase the accuracy and production of the control, the interferometer is equipped with a negative lens installed in the reference branch of the interference unit between the beam splitter and the scanning mirror and is made with a focusing axial movement and the rotation axis of the scanning mirror and its reflecting surface are aligned with the focus of the optical zoom. system. ria 4i: p: e :: - e ruuia with: interferometer scrap. On coi: iepxi; r: ib-: l; to-yv .1 of the lighting system, chorkalyr r1 .: lNyt 2-5, located n verstmkh parchl.pogogramma, two of which are 2 and performed poorottihtg: .-, memory 6. The interferometer operates in the autolichage scheme sovmestnyi with eskhemuemut GX) Examination 7 and is set to the cost limit ;. from a controlled object, lt-bo to the unlite curvature of a spherical mirror, or in the focus of the lens under study. The interferometer works by the slit. A parallel light beam of monochromatic light is directed to the lens 1, the focus of which is aligned with the reflecting surface of the mirror 5. After the lens leaves the lens, beam splitter 2 divides into two beams — working and reference. The working beam, having passed the beam splitter 2, with the help of mirror 3 and the beam splitter 4 is directed to the spherical mirror 7 under investigation. The reference beam after reflection from the beam splitter 2 hits the lens 6 and then the mirror 5 is directed to the mirror 7. Parameters and position of the lens 6 are chosen such that the resulting beam is precisely assembled on the surface of the mirror 7. To fulfill this condition, the lens 6 has an axial focusing movement. The reflective surfaces of the elements of the interferometer are located at the vertices of the parallelogram. This ensures that the axes of the reference and working beams coincide in the space between the beam splitter 4 and the mirror 7. The mirror 5 is pivoted. The rotation is directed perpendicular to the plane of the drawing and passes through the focus of the lens 1. By turning the mirror, the reference beam can be directed to any point on the surface of the mirror 7. Optional; x: detection in the scanning movement of the beam occurs, for example, when there is a hole in the center of the mirror 7, when choosing a zone with a minimum perturbation of the air environment, etc. The working position of the interferometer is set so that the focus of its lens 1 is aligned with the center of curvature of the mirror 7. In this case, an aero-glossy ray path is realized, which provides at the output of the interferometer a complete overlap of the reference and working beams and the formation of interference. The overlap and structure of the beams is not disturbed by the scanning movement of the reference beam. Due to this, the operation of the interferometer is simplified and there is no need in supplying the ocular part with a complex turning mechanism. Forming an interference pattern characterizes the quality of the surface of the mirror 7. When monitoring transparent inhomogeneities, mirror 7 is replaced by an exemplary one and the test medium is placed in it. The shape of the pattern strips can be controlled either by moving the entire interferometer relative to the center of curvature of mirror 7, or by moving and tilting the individual elements of the interferometer (mirrors 3, light 4, lens b). Formula and 3 about e and e - Interferometer PL used the quality of surfaces and aberrations of large-sized optical elements and transparent heterogeneities, installed in series of the lighting system and the mirror interference unit, having a reference and a working branch and executed in the form of two beam splitters and two mirrors, one of which, installed in the support branch, is scanner, due to the fact that, in order to simplify the design, increase the accuracy and performance of the control, it is equipped tritsatelnoy lens installed in the reference branch inter {|) between the beam splitter erentsionnogo unit to a scanning mirror and arranged to fokusiruyupyugo axial movement and the rotation axis of the scanning mirror and its reflective surface is aligned with the focal point of the lens lighting system. Sources of information taken into consideration during examination; 1, US Patent No. 3799673, cl. 35609, 17.04.72. 2.OMP, 1974, No. 2, p. 24 (prototype).