SU1226041A1 - Interferometer for testing cylindrical surfaces - Google Patents
Interferometer for testing cylindrical surfaces Download PDFInfo
- Publication number
- SU1226041A1 SU1226041A1 SU843796437A SU3796437A SU1226041A1 SU 1226041 A1 SU1226041 A1 SU 1226041A1 SU 843796437 A SU843796437 A SU 843796437A SU 3796437 A SU3796437 A SU 3796437A SU 1226041 A1 SU1226041 A1 SU 1226041A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- lens
- cylindrical
- axis
- interferometer
- cube
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол цилиндрических поверхностей. Цель изобретени - расширение типоразмеров контролируемых поверхностей. Интерферометр строитс по схеме с совмещенными ветв ми. Дл этого эталонный оптический элемент вьшолнен в виде прозрачного коаксиального цилиндра и установлен после цилиндрической линзы так, что ось его поверхностей совпадает с задней фокальной линией линзы. Благодар тому, что светоделительный кубик установлен в гомоцентрическом ходе лучей, его габариты не ограничивают длины контролируемой йоверх- ности вдоль оси цилиндра. 1 ил. и to to О)The invention relates to a measurement technique and can be used to control cylindrical surfaces. The purpose of the invention is to expand the sizes of the tested surfaces. The interferometer is built according to a scheme with combined branches. To do this, the reference optical element is made in the form of a transparent coaxial cylinder and is installed after the cylindrical lens so that the axis of its surfaces coincides with the rear focal line of the lens. Due to the fact that the beam-splitting cube is installed in the homocentric course of the rays, its dimensions do not limit the length of the controlled surface along the cylinder axis. 1 il. and to to o)
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол вогнутых и выпуклых цилиндрических поверхностей.The invention relates to a measurement technique and can be used to control concave and convex cylindrical surfaces.
Цель изобретени - распгарение диапазона типоразмеров контролируемых поверхностей, благодар установке светоделител в гомоцентрическом ходе лучей.The purpose of the invention is to eliminate the range of sizes of controlled surfaces, due to the installation of a beam splitter in the homocentric course of rays.
На чертеже изображена принципиална схема интерферометра.The drawing shows a schematic diagram of the interferometer.
Интерферометр дл контрол цилиндрических поверхностей содержит лазер 1,систему формировани цилиндрического волнового фронта, интерференционную и наблюдательную системы. Система формировани включает последовательно расположенные расширитель 2 лазерного пучка, мик- .рообъектив. 3, светоделительный кубик 4, апланатический мениск 5, ко- ллиматорный объектив 6 и цилиндрическую линзу 7. Интерференционна система представл ет собой цилиндрический коаксиальный мениск 8. Трука 9 служит в качестве наблюдательной системьиThe interferometer for monitoring cylindrical surfaces contains a laser 1, a system for forming a cylindrical wavefront, an interference and observation system. The formation system includes successively located laser beam expander 2, micro-lens. 3, a beam splitting cube 4, an aplanatic meniscus 5, a collimator lens 6 and a cylindrical lens 7. The interference system is a cylindrical coaxial meniscus 8. Trump 9 serves as an observation system
Интерферометр работает следующим образом.The interferometer works as follows.
Свет от лазера 1, расширенньй расширителем 2 лазерного пучка, собираетс микрообъективом 3 в точку 0. С той же точкой оптически сопр жен фокус объектива 6. Апланатический мениск 5 служит дл уменьшени габаритов прибора. После объектива 6 плоский волновой фронт преоб р зуетс цилиндрической линзой 7. Коаксиальный цилиндрический мениск 8, ось цилиндрических поверхностей которого совпадает с задней фокальной нией цилиндрической линзы 7, раздел ет падающий на его волновой фронт на рабочий (прошедший через него) и опорный (отраженный от вогнутой поверхности мениска и образующий волновой фронт сравнени ). Рабочий во;1новой фронт собираетс в фокальную линию О, с которой Совмещаетс фокальна лини контролируемой цилиндрической поверхности 10, отражаетс от контролируемой поверхности , идет в обратном направлении и интерферирует с опорным. Интерференционную картину, несущую информацию об ошибках,контролируемой цилиндрической поверхности, наблюдают телескопической трубкой 9.The light from laser 1, the extension of the laser beam expander 2, is collected by microscope 3 at point 0. With the same point as the optical focus of the lens 6, the aplanatic meniscus 5 serves to reduce the size of the device. After lens 6, the flat wave front is transformed by a cylindrical lens 7. A coaxial cylindrical meniscus 8, the axis of which is cylindrical with the rear focal line of the cylindrical lens 7, divides the wave front falling onto its working front (passing through it) and supporting (reflected from the concave surface of the meniscus and forming a wavefront of comparison). The worker in; the new front is assembled into the focal line O, with which the focal line of the controlled cylindrical surface 10 is combined, reflected from the controlled surface, travels in the opposite direction and interferes with the reference one. The interference pattern, carrying information about errors, controlled by a cylindrical surface, is observed with a telescopic tube 9.
260412260412
Благодар установке светодели- тельного кубика в 1 омоцентрическом ходе лучей его габариты не ограничивают длины контролируемой цилинд- 5 рической поверхности. Одновременно выполнение интерферометра по схеме с совмещенными ветв ми позвол ет ограничитьс при этом одной цилиндрической линзой, а использование ап10 ланатического мениска - сократитьDue to the installation of the beam-splitting cube in 1 ohmucentric course of the rays, its dimensions do not limit the length of the cylindrical surface to be controlled. At the same time, the implementation of the interferometer according to the scheme with combined branches allows for a single cylindrical lens to be limited, and the use of an apatlantic meniscus can reduce
габариты интерферометра.interferometer dimensions.
Фор. мула изобретени Fore. Mule Invention
15 Интерферометр дл контрол цилиндрических поверхностей, содержащий лазер, установленную по коду его излучени систему формировани цилиндрического волнового фронта,15 An interferometer for monitoring cylindrical surfaces, comprising a laser, a system for forming a cylindrical wavefront, installed according to its radiation code,
20 включающую расположенные последовательно по ходу пучка излучени расширитель лазерного пучка и цилиндрическую линзу, светоделитель- ньй кубик, установленный на оси сис25 темы формировани , оптический элемент с эталонной цилиндрической поверхностью , оптически св занный со светоделительным кубико м и располо- женньй так, что ось кривизны его20 comprising a laser beam expander arranged in series along the radiation beam and a cylindrical lens, a beam-splitting cube mounted on the axis of the formation system, an optical element with a reference cylindrical surface optically connected to the beam-splitting cubic and located so that the axis of curvature him
30 поверхности оптически сопр жена с задней фокальной линией цилиндрической линзы, и наблюдательную систему , оптически св занную со светоделительным кубиком и установлен ,, ную так, что ее оптическа ось совпадает с образуемым светоделитель- ной гранью кубика зеркальным изображением оси расширител лазерного пучка, отличающийс тем,30, the surface is optically coupled to the rear focal line of the cylindrical lens, and the observation system optically connected with the beam-splitting cube and is set so that its optical axis coincides with the mirror image of the axis of the laser beam expander, which is formed by the beam-splitting face of the cube. ,
Q что, с целью расширени диапазона типоразмеров контролируемых поверхностей , интерферометр снабжен последовательно расположенными по ходу пучка, выход щего из расширител ,Q that, in order to expand the range of sizes of monitored surfaces, the interferometer is equipped with successively located along the beam coming out of the extender,
45 первым объективом, апланатическим мениском, установленным так, что его передн апланатическа точка совпадает с задним фокусом первого объектива , вторЬм объективом, расположенJQ ным так, что его передний фокус совпадает с задней апланатической точкой мениска, светоделительный кубик установлен между первым объективом и мениском, а элемент с эталонной45 with the first lens, an aplanatic meniscus, installed so that its front aplanatic point coincides with the back focus of the first lens, the second lens is located so that its front focus coincides with the back aplanatic point of the meniscus, the beam splitting cube is installed between the first lens and meniscus, and element with reference
„ поверхностью выполнен в виде прозрачного коаксиального цилиндра и установлен по ходу пр мого пучка, выход щего из цилиндрической линзы.The surface is made in the form of a transparent coaxial cylinder and is installed along the straight beam coming out of the cylindrical lens.
/ J .8/ J .8
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU843796437A SU1226041A1 (en) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | Interferometer for testing cylindrical surfaces |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU843796437A SU1226041A1 (en) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | Interferometer for testing cylindrical surfaces |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1226041A1 true SU1226041A1 (en) | 1986-04-23 |
Family
ID=21140674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU843796437A SU1226041A1 (en) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | Interferometer for testing cylindrical surfaces |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1226041A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2629877C2 (en) * | 2015-10-16 | 2017-09-04 | Общество с ограниченной ответственностью "Марви" | Method of determining the position of optical sensors in the device for control of the closed product profile (versions) |
-
1984
- 1984-09-29 SU SU843796437A patent/SU1226041A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 355489, кл. G 01 В 9/02, 1970. Авторское свидетельство СССР № 1000745, кл. G 01 В 9/02, 1983. Извести вузов. Сер. Приборостроение. Т.12. -М.,1969. с.112-113. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2629877C2 (en) * | 2015-10-16 | 2017-09-04 | Общество с ограниченной ответственностью "Марви" | Method of determining the position of optical sensors in the device for control of the closed product profile (versions) |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5933236A (en) | Phase shifting interferometer | |
| SU1226041A1 (en) | Interferometer for testing cylindrical surfaces | |
| US3619067A (en) | Method and apparatus for determining optical focal distance | |
| SU794362A1 (en) | Interferometer for quality control of optical part surface | |
| SU523274A1 (en) | Interferometer to control the quality of convex hyperbolic mirrors of a cassegrain telescope | |
| SU1084597A1 (en) | Interferometer for checking concave ellypsoids of revolution | |
| SU373519A1 (en) | INTERFEROMETER TO CONTROL THE QUALITY OF OPTICAL | |
| RU203510U1 (en) | ADJUSTMENT DEVICE FOR TWO-MIRROR CENTERED OPTICAL SYSTEM | |
| SU684296A1 (en) | Interferometer for testing quality of optical components | |
| SU143557A1 (en) | The method of controlling the accuracy of processing non-spherical surfaces | |
| SU848999A1 (en) | Interferometer for checking lens and mirror aberration changes in the process of their mounting position | |
| SU1368623A1 (en) | Interferometer for checking shape of concave optical aspherical surfaces | |
| SU1231400A1 (en) | Interferometer for inspecting quality of plane surfaces | |
| RU2082992C1 (en) | Cosmic telescope (versions) | |
| SU642611A1 (en) | Dispersion prism system | |
| SU953451A2 (en) | Interferrometer for checking spherical surfaces | |
| SU1642427A1 (en) | Sighting autocollimating device | |
| Shukla et al. | Phase-conjugate Twyman-Green interferometer for testing conicoidal surfaces | |
| SU987378A1 (en) | Interferometer for checking optical part surface shape | |
| SU945642A1 (en) | Interferrometer for checking shape of large diameter lens convex spherical surfaces | |
| SU1429075A1 (en) | Reflecting system | |
| SU662795A1 (en) | Interferometer for checking the shape of astronomical mirrors | |
| SU448347A1 (en) | Interferometer to control the surface shape of the convex spherical surfaces of large diameter lenses | |
| US5020905A (en) | Application of the Foucault knife-edge test to a segmented optic | |
| SU1633272A1 (en) | Interferometer |