SU1425437A1 - Interferometer for checking convex paraboloids - Google Patents

Interferometer for checking convex paraboloids Download PDF

Info

Publication number
SU1425437A1
SU1425437A1 SU874217951A SU4217951A SU1425437A1 SU 1425437 A1 SU1425437 A1 SU 1425437A1 SU 874217951 A SU874217951 A SU 874217951A SU 4217951 A SU4217951 A SU 4217951A SU 1425437 A1 SU1425437 A1 SU 1425437A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
beam splitter
branch
optical system
optical axis
lens
Prior art date
Application number
SU874217951A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Владимир Андреевич Феоктистов
Мунир Минхадыевич Назмеев
Амирхан Гильмутдинович Хуснутдинов
Борис Алексеевич Алипов
Original Assignee
Предприятие П/Я Г-4671
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Г-4671 filed Critical Предприятие П/Я Г-4671
Priority to SU874217951A priority Critical patent/SU1425437A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1425437A1 publication Critical patent/SU1425437A1/en

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  технологического и аттестационного контрол  выпуклых параболоидов в оптическом приборостроении. Цель изобретени  - расширение диапа зона контралируе и х поверхностей, вышение точности и производительности контрол  благодар  тому, -что оптическа  система позвол ет направить в рабочую ветвь интерферометра световой пучок, отраженный всеми зонамиThe invention relates to a measurement technique and can be used for the technological and certification control of convex paraboloids in optical instrumentation. The purpose of the invention is to expand the range of controllable and x surfaces, to increase the accuracy and productivity of control due to the fact that the optical system allows to send a light beam reflected by all zones to the working branch of the interferometer.

Description

(L

ниneither

toto

OiOi

соwith

контролируемой поверхности. Таким образом, контроль выпуклых параболо- :ндов с центральной рабочей зоной становитс  возможным проводить за один прием, исключив дополнительную и менее точную операцию контрол  цент- ,рапьной зоны с помощью пробного стекла . Интерферометр содержит источник 1 :монохроматического излучени  и последовательно установленные по ходу излучени  фокусирующую оптическую систему 2, диафрагму 3, объектив 4, светоделитель 5, двойное плоское зеркало 6, второй светоделитель 10, входной объектив 9 системы регистрации интерференционной картины, экран 11, афо- кальнуш систему, состо щую из линзовых компонентов 7 и 8. 1 ил.controlled surface. Thus, the control of convex parabolos with the central working area becomes possible to carry out at one time, eliminating the additional and less accurate operation of controlling the centronal zone with the help of test glass. The interferometer contains a source of 1: monochromatic radiation and a focusing optical system 2, aperture 3, a lens 4, a beam splitter 5, a double flat mirror 6, a second beam splitter 10, an input lens 9 of an interference pattern recording system, a screen 11, and an locus a system consisting of lens components 7 and 8. 1 Il.

i 1i 1

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  технологического и аттес- (тационного контрол  выпукльк парабо- 1повдов в оптическом приборостроении.The invention relates to a measuring technique and can be used for technological and attestation (control control of convexes of paraboscopes in optical instrumentation.

Цель изобретени  - расширение диапазона контролируемых поверхностей, повышение точности и производитель-, ности контрол  благодар  тому, что ;световой пучок рабочей ветви направ- |л етс  на контролируемую поверхность (пинзовым компонентом афокальной сис- ;темы, фокус которого совмещен с Й окусом поверхности. Это позвол ет полностью осветить контролируемую поверхность и направить отраженньй все йи зонами контролируемой поверхности параллельный пучок в рабочую ветвь интерферометра, что дает возможность Контролировать выпуклые Цараболоиды с нерабочей, так и рабочей цент- ральной зоной, а также благодар  ому, что поверхность контролируетс  за один прием, что позвол ет исключить дополнительную менее точную операцию контрол  центральной рабочей зоны с помощью сферического пробного стекла.The purpose of the invention is to expand the range of monitored surfaces, to increase accuracy and production, due to the fact that; the light beam of the working branch is directed to the controlled surface (with a pinz component of the afocal system; the focus of which is combined with the H oc surface). This allows you to fully illuminate the monitored surface and direct the parallel beam reflected by all the zones of the monitored surface to the working branch of the interferometer, which makes it possible to Control bulging Tsarabol Oids with non-working and working central zone, as well as due to the fact that the surface is controlled at one time, which eliminates the additional, less precise operation of controlling the central working zone with a spherical test glass.

На чертеже изображена оптическа  схема предлагаемого интерферометра.The drawing shows the optical layout of the proposed interferometer.

Интерферометр дл  контрол  выпуклых параболоидов содержит источник 1 монохроматического излучени  и последовательно установленные по ходу из лучени  фокусирующую оптическую систему 2, диафрагму 3, объектив 4, светоделитель 5 дл  разделени  излучени  на две ветви - опорную и рабочую эталонное, зеркало, располохсенное в опорной ветви и выполненное в виде двойного зеркала 6, состо щего изAn interferometer for monitoring convex paraboloids contains a source of monochromatic radiation and a focusing optical system 2, aperture 3, a lens 4, a beam splitter 5 for dividing the radiation into two branches - a reference and a working reference mirror, arranged in the reference branch and made in the form of a double mirror 6 consisting of

плоских зеркал, расположенных под углом 90 друг к другуJ оптическую систему, выполненную афокальной и состо щую из двух полокительньк линзовых компонентов 7 и 8, расположенных по разные стороны светодетител  5,- систему (не чертеже не показана) регистрации интерференционной ка:рти- ны, включающую входной объектив 9,flat mirrors, located at an angle of 90 to each other, an optical system made of afocal and consisting of two polokitelnyh lens components 7 and 8, located on opposite sides of the light attenuator 5, is a system (not shown in the drawing) of registration of an interference channel: rotary, comprising an input lens 9,

второй светоделитель 10, экран 11.second beam splitter 10, screen 11.

Интерферометр работает следующим образом.The interferometer works as follows.

Свет от источника 1 монохроматического излучени  фокусирующей оптической системой 2 направл етс  в диафрагму 3, установленную в фокусе объектива 4. Параллельный пучок, сформированный объективом 4 с помощью светоделител  5, делитс  наThe light from the monochromatic radiation source 1 by the focusing optical system 2 is directed to the diaphragm 3 installed at the focus of the lens 4. The parallel beam formed by the lens 4 by means of the splitter 5 is divided by

опорную и рабочую ветви. Параллельный пучок опорной ветви, отраженный двойным зеркалом 6, с помощью второго светоделител . 10 направл етс  во входной объектив 9 системы регистрации интерференционной картины. Па- рйллельный пучок рабочей ветви проходит линзовый компонент 7 и направл етс  на контролируемую деталь 12 с выпуклой параболической поверхностью . Фокус параболической поверхности совмещают с фокусом F линзового компонента 7, а оптическую ось параболической поверхности - с оптиче с кой осью афокальной системы.supporting and working branches. A parallel beam of the support branch, reflected by a double mirror 6, with the help of the second beam splitter. 10 is guided into an input lens 9 of an interference pattern recording system. The parallel beam of the working branch passes the lens component 7 and is directed to the test piece 12 with a convex parabolic surface. The focus of the parabolic surface is aligned with the focus F of the lens component 7, and the optical axis of the parabolic surface is aligned with the optical axis of the afocal system.

Отраженный от параболической поверхности параллельный пучок проходит афокальную систему и, пройд  светоделитель 10, попадает во входной объектив 9. Интерференционную картину , возникающую в результате взаимодействи  рабочего и опорного пучковA parallel beam reflected from a parabolic surface passes the afocal system and, after passing through the beam splitter 10, it enters the input lens 9. Interference pattern resulting from the interaction of the working and reference beams

наблюдают непосредственно глазом из фокуса Fj или на экране 11.see directly with the eye from the focus Fj or on the screen 11.

Claims (1)

Формула изобретени  Invention Formula Интерферометр дл  контрол  выпуклых параболоидов, содержащий источник монохроматического излучени  и последовательно установленные по ходу излучени  фокусирующую оптическую систему, диафрагму, объектив, расположенный так, что его фокус совмещен с диафрагмой, и первый светоделитель дл  разделени  излучени  на две вет- ви - спорную и рабочую, эталонное зеркало, расположенное в опорной ветви , оптическую систему, расположенную в рабочей ветви, и систему регистрации интерференционной картины, включающую входной объектив, отличающийс  тем, что, с цельюAn interferometer for controlling convex paraboloids containing a source of monochromatic radiation and a focusing optical system, a diaphragm, a lens arranged so that its focus is aligned with the diaphragm, and the first beam splitter for dividing the radiation into two branches — a controversial and an operating one — a reference mirror located in the reference branch, an optical system located in the working branch, and an interference pattern recording system including an input lens that differs eat that расширени  диапазона контролируемых поверхностей, повышени  точности и производительности контрол , о.н снабжен вторым светоделителем, установ ленным между оптической системой par- бочей ветви и входным объективом параллельно первому светоделителю, оптическа  система рабочей ветви выполнена афокальной, состоит из двух положительных линзовых компонентов, расположенных по разные стороны первого светоделител j и установлена так, что оптическа  ось системы совмещена с оптической осью входного объектива, а эт лонное зеркало выполнено в виде двойного зеркала, состо щего из плоских зеркал, расположенных под углом 90° друг к другу, и установленного так, что оптическа  ось опорной ветви совмещена с оптической осью входного объектива.expanding the range of monitored surfaces, increasing the accuracy and productivity of control, it is equipped with a second beam splitter installed between the optical system of the parcel branch and the input lens parallel to the first beam splitter; the optical system of the working branch is made afocal, consists of two positive lens components along the different sides of the first beam splitter j and installed so that the optical axis of the system is aligned with the optical axis of the input lens, and this mirror is made in the form of a double mirror consisting of flat mirrors at an angle of 90 ° to each other, and installed so that the optical axis of the reference branch is aligned with the optical axis of the input lens.
SU874217951A 1987-03-30 1987-03-30 Interferometer for checking convex paraboloids SU1425437A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874217951A SU1425437A1 (en) 1987-03-30 1987-03-30 Interferometer for checking convex paraboloids

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874217951A SU1425437A1 (en) 1987-03-30 1987-03-30 Interferometer for checking convex paraboloids

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1425437A1 true SU1425437A1 (en) 1988-09-23

Family

ID=21293869

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874217951A SU1425437A1 (en) 1987-03-30 1987-03-30 Interferometer for checking convex paraboloids

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1425437A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Пур ев Д.Т. Методы контрол оптических асферических поверхностей. - М.: Машиностроение, 1976, с. 98 . рис. 38. Инюшин А.И. и Шифферс Л.А. Интерференционный метод контрол выпуклых параболических поверхностей. - OfQI, 1966, № 8, с. 19-21, рис. 1. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4872756A (en) Dual path interferometer with varying difference in path length
US3528748A (en) Alignment of adjustable parts of a structure
SU1425437A1 (en) Interferometer for checking convex paraboloids
SU149910A1 (en) Interferometer to control the quality of second-order surfaces of rotation
SU953451A2 (en) Interferrometer for checking spherical surfaces
SU991151A1 (en) Radial shift interferometer
SU1368623A1 (en) Interferometer for checking shape of concave optical aspherical surfaces
SU1315799A1 (en) Device for measuring linear displacements
SU823845A1 (en) Interferometer for checking concave spherical surfase form
SU529362A1 (en) Interferometer for studying the quality of surfaces and aberrations of large-sized optical elements and transparent inhomogeneities
SU848996A1 (en) Interferometer for surface quality control, large optical element aberration determination and transparent non-uniformity investigation
US3726596A (en) Optical device for forming measuring and reference beams of light
SU1499108A1 (en) Interferometer for checking the quality of surface of rotation
SU894351A1 (en) Interferometer for checking concave parabolic surfaces
SU844995A1 (en) Interferometer for inspection of article surface
SU1409861A1 (en) Device for measuring contour of object cross-section
SU1343242A1 (en) Interferometer for checking shape of spherical surfaces
SU1283521A1 (en) Interferometer for checking shape of surface of optical members
SU657240A1 (en) Device for checking the shape of aspheric concave surfaces
SU1359663A1 (en) Interferometer for checking cylindrical surfaces
SU1612273A1 (en) Interference resolution meter
SU1627829A1 (en) Interferometer for checking aspherical surface of second order
SU1672206A1 (en) Method of measuring decentering of optical parts and device for effecting same
SU920367A1 (en) Interferometer for for checking concave spherical surfaces
SU1067909A1 (en) Interferrometer for checking shape of surfaces of convex spherical parts