SU991151A1 - Radial shift interferometer - Google Patents

Radial shift interferometer Download PDF

Info

Publication number
SU991151A1
SU991151A1 SU813232615A SU3232615A SU991151A1 SU 991151 A1 SU991151 A1 SU 991151A1 SU 813232615 A SU813232615 A SU 813232615A SU 3232615 A SU3232615 A SU 3232615A SU 991151 A1 SU991151 A1 SU 991151A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
interferometer
wave fronts
positive lens
lens
lenses
Prior art date
Application number
SU813232615A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Зинаида Ивановна Ермакова
Петр Владимирович Орлов
Михаил Наумович Сокольский
Лина Михайловна Лапо
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1705
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1705 filed Critical Предприятие П/Я А-1705
Priority to SU813232615A priority Critical patent/SU991151A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU991151A1 publication Critical patent/SU991151A1/en

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Description

(54) ИНТЕРФЕЮМЕТР РАДИАЛЬНОГО СДВИГА(54) RADIAL SHIFT INTERFACE METER

1one

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике, предназначено дл  контрол  волновых фронтов и может быть использовано в производстве, зан том изготов- лением и эксплуатацией высококачественных оптических систем, а также при проведении научных исследований.The invention relates to instrumentation technology, is intended to control wave fronts and can be used in the manufacture, manufacturing and operation of high-quality optical systems, as well as in scientific research.

Известен интерферометр радиального сдвига , выполненный в виде призменного блока 1.Known interferometer radial shift, made in the form of a prism unit 1.

Недостатком интерферометра  вл етс  малый диапазон апертур контролируемых волновых фронтов, а также низкое значение предельной апертуры.The disadvantage of the interferometer is the small range of apertures of the controlled wave fronts, as well as the low value of the limiting aperture.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  интерферометр радиального сдвига дл  контрол  волновых фронтов, содержаид Й светоделительную пластину , раздел ющую волновой фронт на два, два плоских зеркала, устанавливаемых на пути распространени  волновых фронтов по разные стороны светоделительной грани пластины так, что оптическа  ось интерферометра образует замкнутый контур, и положи2The closest to the invention to the technical essence is a radial-shear interferometer for controlling wave fronts, containing a beam splitter dividing the wave front into two, two flat mirrors mounted on the propagation path of the wave fronts on different sides of the beam splitting face of the plate so that the optical axis interferometer forms a closed loop, and put

тельный объектив, устанавливаемый на пути распространени  волновых фронтов по замкнутому контуру 21.The objective lens is installed on the path of the propagation of wave fronts along a closed loop 21.

Недостатками этого интерферометра  вл ютс  сравнительно низка  точность и производительность контрол , что объ сн етс  высокой чувствительностью интерференционной картины к неконтролируемым смещени м оптических элементов интерферометра, а также сложностью его юстировки.The disadvantages of this interferometer are comparatively low accuracy and control performance, which is explained by the high sensitivity of the interference pattern to the uncontrolled displacements of the optical elements of the interferometer, as well as the complexity of its alignment.

10ten

Цель изобретени  - повьпдение точности и производительности контрол .The purpose of the invention is to improve the accuracy and performance of the control.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что интерферометр радиального сдвига снабжен отрицательнь1М объективом, установленным между светоделительной пластиной и положительнь1м объективом так, что объективы образуют телескопическую систему Галиле , This goal is achieved by the fact that the interferometer of the radial shift is equipped with a negative lens mounted between the beam-splitting plate and the positive lens so that the lenses form the Galile telescopic system,

Claims (2)

20 а фокусное рассто ние отрицательного объектива по абсолютной величине близко к фокусному рассто нию положительного объектива . 39 На чертеже изображена принципиальна  схе ма одного из возможных вариантов интерферометра радиального сдвига дл  контрол  волновых фронтов. Интерферометр содержит светоделительную пластину 1, два плоских зе;ркала 2 и 3, положительный объектив 4 и отрицательный об1 екгив 5. Плоские зеркала 2 и 3 установлены по разные стороны светоделительной грани пласт ны 1 так, что оптическа  ось интерферометр - образует замкнутый контур. Положительный объектив 4 расположен между плоскими зеркалами 2 и 3. Отрицательный объектив 5 установлен между положительным объективом 4 и плоским зеркалом 3 так, .что объективы 4 и 5 образуют телескопическую систему Галиле , а фокусное рассто ние отрицательного объектива 5 по абсолютной величине близко к фокусному рассто нию положительного объек тива 4. Показаны также коллиматор 6, вспомогательный объектив 7, регистратор 8 интерференционной картины и контролируема  оптическа  система 9. Интерферометр работает следующим образ Контролируемый волновой фронт падает иа светоделительную пластину 1, котора  делит его на два волновых фронта. Один из них направл етс  зеркалом 2 в положительный объектив 4, а второй - зеркалом 3 в отрицательный объектив 5. Оба волновых фронта проход т телескопическую систему Галиле , образованную объективами 4 и 5 во встречных направлени х, отражаютс  от штоских зеркал 2 и 3 соответственно, интерферируют на светоделительной грани плас тины 1 и поступают в регистратор 8. Так как фокусные рассто ни  объективов 4 и 5 не равны по абсолютной величине, а ин- тбрферирующие волновые фронты проход т телескопическую систему Галиле  во встре ных направлени х, получаема  интерференционна  картина представл ет собой интерференционную картину радиального сдвига, котора  несет в себе информацию о качестве контролируемого волнового фронта. Величина радиального сдвига интерферирующих волновьхх фронтов определ етс  отношением фокусных рассто ний объективов 4 и 5 или ТО то же самое, увеличением телескопичесой системы Галиле . Оптимальна  величиа радиального сдвига, равна  отноишнию пертур (диаметров) интерферирующих воловых фронтов, находитс  в диапазоне начений от 1,05 до 1,2. В этом случае, если контролируемый воловой фронт  вл етс  плоским, вспомогательый объектив 3 выводитс  из хода лучей. Благодар  тому, что радиальный сдвиг нтерферирующих волновых фронтов осущестл етс  телескопической системой Галиле , обазованной объективами 4 и 5, интерференионна  картина практически нечувствительна неконтролируемым смещени м большинства птических элементов интерферометра, возниающим за счет вли ни  внещних дестабилизирующих факторов (изменени  температуры, вибрации и др.), что позвол ет повысить очность и производительность контрол . Формула изобретени  Интерферометр радиального сдвига дл  контрол  волновых фронтов, содержащий светоделительную пластину, раздел ющую волновой фронт на два, два плоских зеркала, устанавливаемых на пути распространени  волновых фронтов по разные стороны светоделительной грани пластины так, что оптическа  ось интерферометра образует замкнутый контур, и положительный объектив, устанавливаемый на пути распространени  волновых фронтов по замкнутому контуру, отличающийс  тем, что, с целью повыщени  точ- . ности и производительности контрол , он снабжен отрицательным объективом, установленным между светоделительной пластиной и положительным объективом так, что объективы образуют телескопическую систему Галиле , а фокусное рассто ние отрицательного объектива по абсолютной величине близко к фокусному рассто нию положительного объектива. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Som S. С. Optic Acta. 1970, 17, № 2, p.p. 107-113. 20 and the focal length of the negative lens in absolute value is close to the focal length of the positive lens. 39 The drawing shows a schematic diagram of one of the possible variants of a radial-shift interferometer for controlling wave fronts. The interferometer contains a beam-splitting plate 1, two planar zones, 2 and 3, a positive lens 4 and a negative edge 5. Flat mirrors 2 and 3 are installed on opposite sides of the beam-splitting face plate 1 so that the optical axis interferometer forms a closed loop. A positive lens 4 is located between the flat mirrors 2 and 3. A negative lens 5 is mounted between the positive lens 4 and the flat mirror 3 so that the lenses 4 and 5 form the Galile telescopic system, and the focal distance of the negative lens 5 is absolutely close to the focal distance This shows also the collimator 6, the auxiliary lens 7, the recorder 8 of the interference pattern and the controlled optical system 9. The interferometer works as follows The second wavefront falls on the beam splitting plate 1, which divides it into two wave fronts. One of them is directed by mirror 2 to the positive lens 4, and the second by mirror 3 to the negative lens 5. Both wave fronts pass the Galile telescopic system, formed by lenses 4 and 5 in opposite directions, are reflected from bastard mirrors 2 and 3, respectively interfere on the beam-splitting face of plate 1 and enter recorder 8. Since the focal lengths of lenses 4 and 5 are not equal in absolute value, and the integrating wave fronts pass the Galile telescopic system in The radiated interference pattern is an interference pattern of the radial shift, which carries information about the quality of the monitored wavefront. The magnitude of the radial shift of the interfering wave fronts is determined by the ratio of the focal lengths of lenses 4 and 5, or the same, by increasing the Galilean telescopic system. The optimal value of the radial shift, equal to the ratio of the perturs (diameters) of the interfering wave fronts, is in the range of loads from 1.05 to 1.2. In this case, if the controlled wave front is flat, the auxiliary lens 3 is removed from the beam path. Due to the fact that the radial shift of the interfering wave fronts is carried out by the Galile telescopic system, both of which are objectified by lenses 4 and 5, the interference pattern is practically insensitive to the uncontrollable displacements of most of the bird elements of the interferometer, arising due to the influence of external destabilizing factors (temperature changes, vibrations and other., Etc., etc.). That allows to increase the accuracy and productivity of the control. Claims An interferometer of radial shear for controlling wave fronts containing a beam-splitting plate dividing a wave front into two, two flat mirrors mounted in the path of the wave fronts on different sides of the beam-splitting face of the plate so that the optical axis of the interferometer forms a closed loop and a positive lens installed in the path of the wavefronts in a closed loop, characterized in that, in order to increase the point. control and productivity, it is equipped with a negative lens mounted between the beam splitter and a positive lens so that the lenses form the Galile telescopic system, and the focal distance of the negative lens is close in absolute value to the focal distance of the positive lens. Sources of information taken into account in the examination 1.Som S. S. Optic Acta. 1970, 17, No. 2, p.p. 107-113. 2.Hariharan P., Sen D. Journal of Scientific Instrumentai, 1961, 38, № 11, p.p. 428432 (прототип).2.Hariharan P., Sen D. Journal of Scientific Instrumentai, 1961, 38, No. 11, p.p. 428432 (prototype). UU
SU813232615A 1981-01-12 1981-01-12 Radial shift interferometer SU991151A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813232615A SU991151A1 (en) 1981-01-12 1981-01-12 Radial shift interferometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813232615A SU991151A1 (en) 1981-01-12 1981-01-12 Radial shift interferometer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU991151A1 true SU991151A1 (en) 1983-01-23

Family

ID=20937420

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813232615A SU991151A1 (en) 1981-01-12 1981-01-12 Radial shift interferometer

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU991151A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114322848A (en) * 2021-12-16 2022-04-12 中国石油大学(华东) Spherical wavefront curvature radius measuring device and measuring method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114322848A (en) * 2021-12-16 2022-04-12 中国石油大学(华东) Spherical wavefront curvature radius measuring device and measuring method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1121625A (en) Optical scanner using plane linear diffraction gratings on a rotating spinner
US3895872A (en) Optical speed-measuring devices and methods for maximizing their accuracies
SU991151A1 (en) Radial shift interferometer
JPS6486337A (en) Hologram
JPH06288735A (en) Phase conjugate interferometer for parabolic mirror shape inspection measurement
SU953451A2 (en) Interferrometer for checking spherical surfaces
SU523274A1 (en) Interferometer to control the quality of convex hyperbolic mirrors of a cassegrain telescope
SU1425437A1 (en) Interferometer for checking convex paraboloids
SU920367A1 (en) Interferometer for for checking concave spherical surfaces
GB1373645A (en) Interferometers
SU847013A1 (en) Interferometer for lens quality control
SU1104362A1 (en) Interferometer for optical surface quality control
SU894351A1 (en) Interferometer for checking concave parabolic surfaces
SU991150A1 (en) Interferometer for optical system quality control
SU712654A1 (en) Interferometer
US2821881A (en) Optical arrangement for analysis of refractive index
SU1543276A1 (en) Compensator for monitoring shape of aspherical surfaces
SU772361A1 (en) Device for balancing rotors
SU1516910A1 (en) Refractometer
SU1368623A1 (en) Interferometer for checking shape of concave optical aspherical surfaces
SU1080054A1 (en) Method and device for measuring lens focal distance
SU1657947A1 (en) Interferometer for checking of aspherical quadric surfaces
GB1176019A (en) Method of and Apparatus for Measuring Lengths by Optical Interferometry.
SU662795A1 (en) Interferometer for checking the shape of astronomical mirrors
SU1186940A1 (en) Holographic interferometer for measuring shape of spherical optical surfaces