SU1267193A1

SU1267193A1 - Device for checking quality of mirror surface

Info

Publication number: SU1267193A1
Application number: SU853905069A
Authority: SU
Inventors: Александр Сергеевич Дорофеюк; Владимир Семенович Корепанов
Original assignee: Главная Астрономическая Обсерватория Ан Ссср
Priority date: 1985-04-02
Filing date: 1985-04-02
Publication date: 1986-10-30

Abstract

Изобретение относитс к произ- . водству зеркал и повьшает точность контрол за счет исключени вли ни промьшшенных вибраций на результаты контрол . Устройство содержит оптический квантовый генератор 2, свет от которого микрообъекти1вом 3 фокусируетс на диафрагму 4, формирующую эталонный тест-объект, и диагональным зеркалом 5 направл етс на контролируемую зеркальную поверхность I. Отраженное от поверхности I изображение тест-объекта с помощью зеркал 6 и 7 попадает на вращающийс случайный фазовый экран IО в виде волоконно-оптической шайбы и системой 8 повторного отклонени лучей возвращаетс на зеркальную поверхность I. Вторичное изображение тест-объекта наб- j людаетс микроскопом 9. I з.п. ф-лы, (Л 1 ил.This invention relates to manuf. control mirrors and improves the control accuracy by eliminating the effect of industrial vibrations on the control results. The device contains an optical quantum generator 2, the light from which is focused by micro-object 3 on the diaphragm 4, which forms the reference test object, and by the diagonal mirror 5 is directed onto the controlled mirror surface I. Reflected from the surface I, the image of the test object is reflected by mirrors 6 and 7 on the rotating random phase screen IO in the form of a fiber-optic washer and the system 8 of the re-deflection of the rays is returned to the mirror surface I. The secondary image of the test object appears in the microscope Oops 9. I z.p. f-ly, (L 1 Il.

Description

Изобретение относитс к производству зеркальных поверхностей и может быть использовано преимущественно дл их контрол и аттестации.The invention relates to the production of mirror surfaces and can be used primarily for their control and certification.

Целью изобретени вл етс повьше ние точности контрол за счет исключени вли ни промьшленных вибраций на результаты контрол .The aim of the invention is to increase the control accuracy by eliminating the effect of industrial vibrations on the control results.

На чертеже представлено устройство контрол качества поверхности зер кала.The drawing shows a device for quality control of a mirror surface.

Устройство дл контрол качества зеркальной поверхности 1 содержит оптический квантовый генератор 2, мик рообъектив 3, расположенный в фокусе микробъектива диафрагмы 4 и диагоналного зеркала 5, систему дл отражени лучей, состо щую из расположенньп под углом друг к другу принимающего 6, промежуточного 7 и возвращающегос 8 зеркал, а также измерительный микроскоп 9, вращающуюс волоконнооптическую шайбу 10, расположенную в плоскости промежуточного изображени между зеркалами 7 и 8.The device for controlling the quality of the mirror surface 1 contains an optical quantum generator 2, a micro-lens 3 located at the focus of the micro lens of the diaphragm 4 and the diagonal mirror 5, a system for reflecting rays consisting of the receiving 6 at an angle to each other, the intermediate 7 and returning 8 mirrors, as well as a measuring microscope 9, rotating fiber-optical washer 10, located in the plane of the intermediate image between the mirrors 7 and 8.

Устройство работает следующим образом .The device works as follows.

Свет от оптического квантового генератора 2 с помощью микрооб ектива 3 фокусируетс на диафрагму 4, котора формирует эталонный тест-объектив в виде свет щейс точки, затем попадает на диагональ1ное зеркало 5, отражающее световой пучок на контролируемую зеркальную поверхность 1. Создаваемое контролируемой зеркальной поверхностью 1 изображение тест193The light from the optical quantum generator 2 is focused on the diaphragm 4, which forms the reference test lens as a light point, using the micro-lens 3, then hits the diagonal mirror 5, which reflects the light beam onto the controlled mirror surface 1. The image created by the controlled mirror surface 1 test193

объекта с помощью зеркал 6 и 7 попадает на входную торцовую поверхность вращающейс волоконно-оптической щайбы 10. Изображение переноситс на выходную торцовую поверхность щайбы 10 и с помощью зеркала 8 световой пучок снова направл етс на контролируемую зеркальную поверхность 1. Созданное зеркальной поверхностью 1 вторичное изображение тест-объекта наблюдаетс в измерительный микроскоп 9.the object using mirrors 6 and 7 hits the input end surface of the rotating fiber optic shchiba 10. The image is transferred to the output end surface of the shchiba 10 and with the help of mirror 8 the light beam is again directed onto the controlled mirror surface 1. The secondary image created by the mirrored surface 1 The object is observed in a measuring microscope 9.

Claims

1. A device for controlling the quality of the mirror surface, containing a light source and a test object along the beam, a device for directing a light beam to the surface of the monitored mirror and. measuring microscope, so that, in order to increase the control accuracy by eliminating the influence of industrial vibrations on the control results, the device is equipped with a system of re-deflection of beams on the controlled surface of the mirror and a random phase screen with the possibility of rotation, which is located in the plane of the intermediate image of the test object.

2. The device according to Clause I., of which is due to the fact that the random phase screen is made in the form of a fiber-optic plate.