SU1399644A1 - Apparatus for multiple reflection in double-beam interferometer - Google Patents

Apparatus for multiple reflection in double-beam interferometer Download PDF

Info

Publication number
SU1399644A1
SU1399644A1 SU864004058A SU4004058A SU1399644A1 SU 1399644 A1 SU1399644 A1 SU 1399644A1 SU 864004058 A SU864004058 A SU 864004058A SU 4004058 A SU4004058 A SU 4004058A SU 1399644 A1 SU1399644 A1 SU 1399644A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
mirror
lens
reflectors
interferometer
double
Prior art date
Application number
SU864004058A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Борис Федорович Воробьев
Усен Даубаев
Александр Иванович Недбай
Юрий Васильевич Судьенков
Original Assignee
ЛГУ им.А.А.Жданова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ЛГУ им.А.А.Жданова filed Critical ЛГУ им.А.А.Жданова
Priority to SU864004058A priority Critical patent/SU1399644A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1399644A1 publication Critical patent/SU1399644A1/en

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано в устройствах дл  регистрации быстропротекающи.х процессов. Цель изобретени  - повышение пространственного разрешени  и виброустойчивости устройства, достигаемое благодар  снабжению устройства собирающей линзой, установленной между зеркалом и системой отражателей так, что зеркало лежит в фокальной плоскости линзы. В измерительной ветви интерферометра между светоделителем 2 и плоским зеркалом 7, св занным с контролируемым объектом, установлены собирающа  линза 4 и система уголковых отражателей 5, 6. Измерительный пучок после- дов.ательно отражаетс  всеми уголковыми отражател ми системы, а затем возвращаетс  к уголковому отражателю. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.The invention relates to a measurement technique and can be used in devices for registering fast processes. The purpose of the invention is to increase the spatial resolution and vibration resistance of the device, achieved by supplying the device with a collecting lens installed between the mirror and the system of reflectors so that the mirror lies in the focal plane of the lens. In the measuring branch of the interferometer between the beam splitter 2 and the flat mirror 7 associated with the object being monitored, a collecting lens 4 and a system of corner reflectors 5, 6 are installed. The measuring beam is successively reflected by all corner reflectors of the system, and then returns to the corner reflector . 1 hp f-ly, 2 ill.

Description

ii

С/WITH/

СWITH

Изобретение относитс  к измерительной Технике и может быть использовано в устройствах дл  регистрации быстропротекаю- |дих процессов, например ультразвуковых Колебаний, сигналов акустической эмиссии, ударных волн.The invention relates to a measuring technique and can be used in devices for registering fast processes, such as ultrasonic oscillations, acoustic emission signals, shock waves.

I Целью изобретени   вл етс  новышение фостранственного разрешени  и виброустой- нивости устройства, достигаемое благодар  Снабжению устройства собирающей линзой, Остановленной между зеркалом н системой от- ражателей так, что зеркало лежит в фо- | альной плоскости линзы.I The aim of the invention is to increase the focal resolution and the vibration resistance of the device, achieved by supplying the device with a collecting lens, stopped between the mirror and the reflector system so that the mirror lies in a photo frame. lens plane.

На фиг. 1 представлена схема интер- рерометра с устройством; на фиг. 2 - схе- via регулировки кратности числа отраже- в устройстве.FIG. 1 shows a diagram of an interreometer with a device; in fig. 2 - scheme of adjusting the multiplicity of the number of the reflection of the device.

Интерферометр содержит источник 1 мо- -юхроматического излучени , например ге- 1ий-11еоновый лазер, светоделитель 2, уст- )ойство 3 многократных отражений, содер- кащее линзу 4, два уголковых отража- ел  5 и 6 и зеркало 7, св занное с контролируемым объектом 8, уголковый от- )ажатель 9, фотоприемник 10 и блок 11 ре- истрации его выходного сигнала.The interferometer contains a source of 1 mono-chromatic radiation, for example, a geon-1-eleon laser, a beam splitter 2, a device for 3 multiple reflections containing a lens 4, two angular reflectors 5 and 6 and a mirror 7 associated with object to be monitored 8, angled ot- azhatel 9, photodetector 10, and block 11 for monitoring its output signal.

Излучение источника делитс  светодели- е.лем на 2 пучка, один из которых падает на Уголковый отражатель 9, а другой - на линзу 4. Прошедший линзу луч отражаетс  от зеркала 7 и после вторичного прохождени  линзы 4 возвращаетс  уголковым отражателем 5 на зеркало 7. После повтор: ного отражени  уголковым отражателем 6 tiy40K третий раз отражаетс  от зеркала 7 Н попадает на светоделитель 2, где совме- цаетс  с опорным сигналом и образует на ходе фотоприемника 10 интерференционную картину, котора  фиксируетс  блоком 11 регистрации.The radiation of the source is divided by a beam-splitting into 2 beams, one of which falls on the Angle reflector 9, and the other on the lens 4. The beam that has passed the lens is reflected from mirror 7 and after the secondary passage of lens 4 returns to angular reflector 5 repeated: reflection by the corner reflector 6 tiy40K for the third time is reflected from the 7 N mirror and is transmitted to the beam splitter 2, where it is combined with the reference signal and forms an interference pattern on the course of the photoreceiver 10, which is detected by the registration unit 11.

Изобретение позвол ет пространственное разрешение устройства, сюсколь КУ отражение всех лучей происходит от неThe invention allows the spatial resolution of the device, and the KU reflection of all the rays comes from not

5five

5 0 50

00

5five

большого участка поверхности зеркала 7. Одновременно повышаетс  виброустойчивость устройства за счет того, что все лучи, отражаемые зеркалом 7, после прохождени  линзы 4 оказываютс  параллельными ее оптической оси, благодар  чему уменьшаетс  веро тность ухода интерферирующих лучей за пределы чувствительной площадки фотоприемника .a large portion of the surface of the mirror 7. At the same time, the vibration resistance of the device is increased due to the fact that all the rays reflected by the mirror 7, after passing the lens 4, are parallel to its optical axis, thereby reducing the likelihood of interfering rays leaving the sensitive area of the photodetector.

При установке одного из уголковых отражателей с возможностью перемещени  в направлении, перпендикул рном оптической .линзы (фиг. 2), по вл етс  возможность измен ть количество отражений в устройстве. Например, при перемещении уголкового отражател  5 в положение Б количество отражений равно двум, а в положении В - шести. При этом измен етс  и чувствительность устройства.When one of the corner reflectors is mounted so that it can move in the direction perpendicular to the optical lens (Fig. 2), it becomes possible to change the number of reflections in the device. For example, when moving the corner reflector 5 to position B, the number of reflections is two, and in position B it is six. This also changes the sensitivity of the device.

Claims (2)

1.Устройство дл  многократных отражений в двухлучевом интерферометре при контроле, содержащее зеркало, устанавливаемое на контролируемом объекте на пути пучка измерительной ветви интерферометра, и систему отражателей, расположенных последовательно по ходу пучков, отражаемых зеркалом, отличающеес - тем, что, с целью повышени  пространственного разрешени  и виброустойчивости, устройство снабжено собирающей линзой, установленной между зеркалом и системой отражателей так, что зеркало лежит в фокальной плоскости линзы, а отражатели выполнены уголковыми и расположены в пределах светового отверсти  линзы.1. A device for multiple reflections in a double-beam interferometer under control, containing a mirror mounted on a test object in the beam path of the measuring branch of the interferometer, and a system of reflectors arranged in series along the beams reflected by the mirror, different in that in order to increase the spatial resolution and vibration resistance, the device is equipped with a collecting lens installed between the mirror and the system of reflectors so that the mirror lies in the focal plane of the lens, and the reflectors you filled with angular and located within the light opening of the lens. 2.Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что один из уголковых отражателей системы установлен с возможностью перемещени  в направлении, перпендикул рном оптической оси линзы.2. A device according to claim 1, characterized in that one of the corner reflectors of the system is mounted for movement in a direction perpendicular to the optical axis of the lens. кto -Ь1/г.2-L1 / g.2 СоставительМ. СемчуковCompiled by. Semchukov Техред И. ВересКорректор М. МаксимншииецTehred I. VeresKorrektor M. Maksimnshiyets Тираж 680ПодписноеCirculation 680 Subscription ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытийVNIIPI USSR State Committee for Inventions and Discoveries 113035, Москва, Ж -35, Раушска  наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4113035, Moscow, F-35, Raushsk nab., 4/5 Production and Printing Enterprise, Uzhgorod, ul. Project, 4 Редактор М. Бандура Заказ 2325/44Editor M. Bandura Order 2325/44
SU864004058A 1986-01-07 1986-01-07 Apparatus for multiple reflection in double-beam interferometer SU1399644A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864004058A SU1399644A1 (en) 1986-01-07 1986-01-07 Apparatus for multiple reflection in double-beam interferometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864004058A SU1399644A1 (en) 1986-01-07 1986-01-07 Apparatus for multiple reflection in double-beam interferometer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1399644A1 true SU1399644A1 (en) 1988-05-30

Family

ID=21215069

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864004058A SU1399644A1 (en) 1986-01-07 1986-01-07 Apparatus for multiple reflection in double-beam interferometer

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1399644A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 188064, кл. G 01 В 9/02, 1968. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4022532A (en) Sample point interferometric system for optical figure monitoring
KR850000669A (en) Distance measuring system
JPH0426042B2 (en)
SU1399644A1 (en) Apparatus for multiple reflection in double-beam interferometer
US4115008A (en) Displacement measuring apparatus
US3002419A (en) Alignment theodolite
RU1789851C (en) Device for checking whickness of flat objects
JPH05500853A (en) Method and apparatus for determining glass tube wall thickness
SU1384942A1 (en) Method of checking mirror surface of article
SU1578456A1 (en) Device for multiple reflections in double-reflecting interferometer
SU1464046A1 (en) Device for measuring amplitude of angular oscillations
SU1364866A1 (en) Interference device for measuring angular displacements
SU1627829A1 (en) Interferometer for checking aspherical surface of second order
SU1413415A1 (en) Method of determining diameter of holes
SU1589059A1 (en) Apparatus for adjusting the axis of radiator of optical unit relative to surfaces of the base
SU1379610A1 (en) Spherometer
SU1241061A1 (en) Device for checking vibration parameters of one-dimensional bodies
SU1343242A1 (en) Interferometer for checking shape of spherical surfaces
SU1490463A1 (en) Device for multiple reclections in two-beam interferometer
SU1416865A1 (en) Device for monitoring small angular displacements
SU953451A2 (en) Interferrometer for checking spherical surfaces
SU1267193A1 (en) Device for checking quality of mirror surface
SU1054677A1 (en) Interference device for gauging displacement
RU1768967C (en) Surface roughness tester
SU1499109A1 (en) Apparatus for recording interferograms