SU1578456A1 - Device for multiple reflections in double-reflecting interferometer - Google Patents
Device for multiple reflections in double-reflecting interferometer Download PDFInfo
- Publication number
- SU1578456A1 SU1578456A1 SU874207849A SU4207849A SU1578456A1 SU 1578456 A1 SU1578456 A1 SU 1578456A1 SU 874207849 A SU874207849 A SU 874207849A SU 4207849 A SU4207849 A SU 4207849A SU 1578456 A1 SU1578456 A1 SU 1578456A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- mirror
- reflector
- lens
- distance
- center
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано в интерференционных устройствах дл измерени перемещений и скорости перемещений. Целью изобретени вл етс повышение виброустойчивости и пространственного разрешени за счет концентрации излучени вдоль направлени распространени . Излучение источника делитс светоделителем на два пучка и после многократного отражени от зеркала пучок попадает на светоделитель, где совмещаетс с опорным сигналом, пришедшим с отражател , и образует интерференционную картину. Отражатель при использовании в качестве оптического собирающего элемента линзы размещен на пр мой, проход щей через центры зеркала и линзы на рассто нии от центра линзы, равном R=F/(A-F)[D 2+Y 2] 1/2, где F - фокусное рассто ние линзы, A - рассто ние между зеркалом и линзой, Y - рассто ние от зеркала до оптической оси линзы. При использовании в устройстве вогнутого зеркала плоский отражатель размещен на рассто ни х: R=F/(A-F)√Y 2+A 2 - от центра вогнутого зеркала и Y 1=-YF/(A-F) - от его оптической оси. Конкретный вид отражател определ етс необходимостью обеспечени совпадени лучевых путей информативного и опорного пучков при их сложении. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.The invention relates to a measurement technique and can be used in interference devices for measuring movements and speeds of movements. The aim of the invention is to increase the vibration resistance and spatial resolution due to the concentration of radiation along the direction of propagation. The radiation of the source is divided by the beam splitter into two beams, and after multiple reflections from the mirror, the beam hits the beam splitter, where it is combined with the reference signal coming from the reflector and forms an interference pattern. When used as an optical collecting element, the reflector is placed on a straight line passing through the centers of the mirror and lenses at a distance from the center of the lens equal to R = F / (AF) [D 2 + Y 2] 1/2, where F is the focal length of the lens, A is the distance between the mirror and the lens, Y is the distance from the mirror to the optical axis of the lens. When a concave mirror is used in the device, the flat reflector is placed at distances x: R = F / (AF) √ Y 2 + A 2 is from the center of the concave mirror and Y 1 = -YF / (AF) from its optical axis. The specific form of the reflector is determined by the need to ensure coincidence of the ray paths of the informative and reference beams when they are added together. 1 hp f-ly, 2 ill.
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано D интерференционных устройствах дл измерени перемещений и скорости перемещений, преимущественно дл регистрации быстро протекающих процессов - ультразвуковых колебаний, сигналов акустической эмиссии, ударных волн.The invention relates to a measuring technique and can be used D interference devices for measuring displacements and speeds of displacements, mainly for registering rapidly occurring processes — ultrasonic vibrations, acoustic emission signals, shock waves.
Цель изобретени - повышение виброустойчивости и пространственного разрешени за счет концентрации излучени вдоль направлени распространени .The purpose of the invention is to increase vibration resistance and spatial resolution by concentrating the radiation along the propagation direction.
На фиг. 1 приведена схема интерферометра Майкельсона с устройством дл многократных отражений, содержащим собирающую линзу; на фиг. 2 - вопгутое зеркало.FIG. 1 is a diagram of a Michelson interferometer with a device for multiple reflections containing a collecting lens; in fig. 2 - a mirror in the opposite direction.
Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучени , например , гелийнеоновын лазер, светоделитель 2 5 устройство 3 многократных отражений, содержащее собирающий элемент 4 в виде линзы (фиг. 1) или вогнутого зеркала (фиг. 2), плоский от ражатель 5 и зеркало б, св зываемое с контролируемым объектом 7. Отражатель 5 при использовании в качестве оптического собирающего элемента линзы (фиг, 1) размещен на пр мой, про- ход щей через центры зеркала 6 и линзы 4 на рассто нии от центра линзы, равномThe interferometer contains a source of monochromatic radiation, for example, a helium laser, a beam splitter 2 5 device 3 multiple reflections containing a collecting element 4 in the form of a lens (Fig. 1) or a concave mirror (Fig. 2), a flat reflector 5 and mirror b, St. with a controlled object 7. The reflector 5, when used as an optical collecting element of a lens (Fig. 1), is placed on a straight line passing through the centers of the mirror 6 and lens 4 at a distance from the center of the lens equal to
f Г l г-f g l g-
г г а + У Jg g a + u j
а f , u -1and f, u -1
/2./ 2.
где f - фокусное рассто ние-линзы; а - рассто ние между зеркалом иwhere f is the focal length of the lens; a is the distance between the mirror and
ЛИНЗОЙ;LENS;
j - рассто ние от зеркала до j is the distance from the mirror to
ческой оси линзы. При использовании в устройство, вогнутого зеркала (фиг. 2) плоский оiражатель 5 размещен на рассто ни х25the lens axis. When using a concave mirror (Fig. 2) in the device, the flat reflector 5 is placed at a distance x25
-,.„Ј-,. „Ј
-: f-N-: f-N
уг i- агcorner i-ag
от центра вогнутого зеркала иfrom the center of the concave mirror and
j fj f
УHave
а - fa - f
;го оптической оси. ; go optical axis.
Интерферометр также содержит от- рсохатель 8 в виде уголкового отража- ед (фиг. 1) или в виде плоского гркала (фиг. 2) и блок 9 приема и оггистрации интерференционного сигнала . Конкретный вид отражател 8 определ етс необходимостью обеспечени совпадени лучевых путей информативного и опорного пучков при их сложении Дл согласовани оптических схем устройства и интерферометра могут быть использованы дополнительные плоские зеркала 10 и 11 (фиг. 1).The interferometer also contains a reflector 8 in the form of an angular reflection unit (Fig. 1) or in the form of a flat grcal (Fig. 2) and a block 9 for receiving and containing the interference signal. The specific type of reflector 8 is determined by the need to ensure coincidence of the ray paths of the informative and reference beams when they are added. Additional flat mirrors 10 and 11 can be used to match the optical schemes of the device and the interferometer (Fig. 1).
Излучение источника 1 делитс светоделителем на два пучка, один из которых направл етс на отражатель 6, а другой - в устройство 3 многократ- ных отражений на зеркало 6. После отражени от зеркала это т пучок отклон етс собирающим оптическим эле- кентом 4, попадает на отражатель 5 и возвращаетс после вторичного отклонени собирающий эленен-ром 4 на зеркало 6. После многократного отражени от зеркала 6 пучок попадает на .светоделитель 2, где совмещаетс сThe radiation from source 1 is divided by a beam splitter into two beams, one of which is directed to the reflector 6, and the other into the device 3 multiple reflections on the mirror 6. After reflection from the mirror, this beam is deflected by the collecting optical element 4, falls on the reflector 5 and returning after the secondary deflection the collecting element 4 to mirror 6. After multiple reflections from the mirror 6, the beam hits the splitter 2, where it is combined with
00
5five
00
$ 0 5 $ 0 5
Q Q
опорным сигналом, пришедшим с отражател 8, и образует интерференционную картину, котора регистрируетс .блоком 9.the reference signal coming from the reflector 8, and forms the interference pattern, which is recorded by block 9.
Изобретение позвол ет повысить виброустойчивость интерферометра за счет того, что лучи, отражаемые зеркалом 6, собираютс оптическим элементом 4 на зеркале,.благодар чему уменьшаетс веро тность ухода интерферирующих лучей за пределы чувствительной площадки фотоприемника. Одновременно повышаетс пространственное разрешение устройства, поскольку отражение всех лучей происходит от небольшого участка поверхности зеркала 6.The invention makes it possible to increase the vibration resistance of the interferometer by reflecting the rays reflected by the mirror 6 to be collected by the optical element 4 on the mirror, thanks to which the probability of interfering rays leaving the sensitive area of the photodetector is reduced. At the same time, the spatial resolution of the device is increased, since the reflection of all rays comes from a small portion of the surface of the mirror 6.
Поворотом отражател и его поворотом совместно с собирающим элементом 4 относительно центров зеркал 5 и 6 по вл етс возможность измен ть количество отражений от зеркала 6,и, тем самым, измен ть чувствительность интерферометра .By turning the reflector and turning it together with the collecting element 4 relative to the centers of mirrors 5 and 6, it is possible to vary the number of reflections from mirror 6, and thereby change the sensitivity of the interferometer.
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874207849A SU1578456A1 (en) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | Device for multiple reflections in double-reflecting interferometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874207849A SU1578456A1 (en) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | Device for multiple reflections in double-reflecting interferometer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1578456A1 true SU1578456A1 (en) | 1990-07-15 |
Family
ID=21289966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874207849A SU1578456A1 (en) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | Device for multiple reflections in double-reflecting interferometer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1578456A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103292689A (en) * | 2013-06-21 | 2013-09-11 | 江南大学 | Optical interference measurement device design and method thereof based on TRIZ (Theory of the Solution of Inventive Problems) |
-
1987
- 1987-03-09 SU SU874207849A patent/SU1578456A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1399644, кл. G 01 В 9/02, 1986. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103292689A (en) * | 2013-06-21 | 2013-09-11 | 江南大学 | Optical interference measurement device design and method thereof based on TRIZ (Theory of the Solution of Inventive Problems) |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1248058C (en) | Position measuring device | |
SU1578456A1 (en) | Device for multiple reflections in double-reflecting interferometer | |
JPH03218442A (en) | Differential refractometer | |
JP2605528Y2 (en) | Lens meter | |
SU1399644A1 (en) | Apparatus for multiple reflection in double-beam interferometer | |
SU1379610A1 (en) | Spherometer | |
SU1196686A1 (en) | System for object angular displacement compensation of double-reflecting interferometric displacement meters | |
SU1364866A1 (en) | Interference device for measuring angular displacements | |
RU1779913C (en) | Interferometer for measuring motions of object | |
RU2055309C1 (en) | Device for measuring oscillations of object | |
SU756194A1 (en) | Device for measuring object motion parameters | |
SU1471065A1 (en) | Spectrointerferometer | |
SU1245878A1 (en) | Interference protractor | |
SU1048307A1 (en) | Scanning interferential device having background compensation capability | |
SU1620823A1 (en) | Arrangement for measuring vibration | |
SU1343242A1 (en) | Interferometer for checking shape of spherical surfaces | |
SU1486792A1 (en) | Device for recording interferograms | |
SU1578462A1 (en) | Method of measuring angular rotations of object | |
SU1589059A1 (en) | Apparatus for adjusting the axis of radiator of optical unit relative to surfaces of the base | |
SU1315794A1 (en) | Null-indicator | |
SU1732147A1 (en) | Device for measuring diameter of elongated objects | |
SU1268947A1 (en) | Interferometer of rotational shift | |
SU1165880A1 (en) | Device for measuring displacements | |
SU1272105A1 (en) | Laser interferometer for measuring dynamic deformations of specimens | |
SU1587327A1 (en) | Interferometer |