SU1486792A1 - Device for recording interferograms - Google Patents

Device for recording interferograms Download PDF

Info

Publication number
SU1486792A1
SU1486792A1 SU874297362A SU4297362A SU1486792A1 SU 1486792 A1 SU1486792 A1 SU 1486792A1 SU 874297362 A SU874297362 A SU 874297362A SU 4297362 A SU4297362 A SU 4297362A SU 1486792 A1 SU1486792 A1 SU 1486792A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
mirror
mirrors
light beam
light
holder
Prior art date
Application number
SU874297362A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Nikolaj M Mikhajlov
Pavel M Podvigalkin
Original Assignee
Nikolaj M Mikhajlov
Pavel M Podvigalkin
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikolaj M Mikhajlov, Pavel M Podvigalkin filed Critical Nikolaj M Mikhajlov
Priority to SU874297362A priority Critical patent/SU1486792A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1486792A1 publication Critical patent/SU1486792A1/en

Links

Landscapes

  • Lenses (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Description

Изобретение относится к области рптического приборостроения, а именно к интерферометрам, применяемым для измерения характеристик светочувствительных материалов. Цель изобретения - упрощение конструкции устройства путем совмещения функцийThe invention relates to the field of optical instrumentation, in particular to interferometers used to measure the characteristics of photosensitive materials. The purpose of the invention is to simplify the design of the device by combining the functions

22

фокусировки и отражения одним' элементом - зеркалом (выпуклым или вогнутым) . Световой поток от когерентного источника 1 излучения разделяется светоделительным зеркалом 2 на первый прошедший и второй отраженный световые пучки. Первый световой пучок отражается последовательно от первого вогнутого зеркала 3 и второго вогнутого зеркала 4 и направляется на светочувствительный материал, закрепленный на держателе 6, второй световой пучок отражается от выпуклого зеркала 5 и интерферирует с первым. Полученная таким образом интерференционная картина записывается на светочувствительном материале. 1 ил.focusing and reflecting with one element - a mirror (convex or concave). The light flux from the coherent radiation source 1 is divided by the beam-splitting mirror 2 into the first transmitted and the second reflected light beams. The first light beam is reflected sequentially from the first concave mirror 3 and the second concave mirror 4 and is directed to the photosensitive material attached to the holder 6, the second light beam is reflected from the convex mirror 5 and interferes with the first one. The interference pattern thus obtained is recorded on the photosensitive material. 1 il.

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к интерферометрам, применяемым для измерения характеристик светочувствительных материалов. , ;The invention relates to an optical instrument, namely the interferometers used to measure the characteristics of photosensitive materials. ,;

Цель изобретения - упрощение кон' струкции устройства путем совмещения? функций фокусировки и отражения од— The purpose of the invention is to simplify the design of the device by combining? focus and reflection functions

ним элементом - зеркалом (выпуклым . и вогнутым).the element is a mirror (convex and concave).

На чертеже представлена схема устройства.The drawing shows a diagram of the device.

Устройство содержит оптически связанные когерентный источник 1 света и светоделительное зеркало 2 для разделения светового потока на первый световой пучок, прошедшийThe device contains an optically coupled coherent light source 1 and a beam-splitting mirror 2 for dividing the light flux into the first light beam transmitted

'сквозь зеркало и Еторой световой пучок, отраженный, установленные последовательно по ходу первого светового пучка первое выпуклое зеркало'through the mirror and the second light beam, reflected, installed first successively in the course of the first light beam, the first convex mirror

3 и второе вогнутое зеркало 4, установленное по ходу второго светового пучка третье выпуклое зеркйло 5 и держатель 6 светочувствительного материала, установленный в месте пересечения осей первого и второго световых пучков, отраженных соответственно от второго и третьего зеркал3 and the second concave mirror 4, installed along the second light beam, the third convex mirror 5 and the holder 6 of the photosensitive material mounted at the intersection of the axes of the first and second light beams reflected from the second and third mirrors, respectively

4 и 5. Второе и третье зеркала 4 и4 and 5. The second and third mirrors 4 and

5 устанавливаются с возможностью вращения вокруг держателя в плоскости, проходящей через оси первого и второго световых пучков, отраженных5 are installed with the possibility of rotation around the holder in the plane passing through the axes of the first and second light beams, reflected

14867921486792

33

14867921486792

4four

соответственно от зеркал 4 и 5. Соотношения радиусов кривизны зеркал удовлетворяют условиюrespectively from mirrors 4 and 5. The ratios of the radii of curvature of the mirrors satisfy the condition

; Кй; Кз= £§ ---ь; K th ; Kz = £ § --- s

и;and;

_8аЬ_8a

2а+Ъ2a + b

где К, , К5,, К.а - радиусы кривизныwhere K,, K5 ,, K. a - the radii of curvature

соответственно первого, второго и третьего зеркал 3,4 и 5;respectively the first, second and third mirrors 3,4 and 5;

а - расстояние от второго зеркала 4 до места установки держателя 6, равное расстоянию от третьего зеркала 5 до места установки держателя 6;a is the distance from the second mirror 4 to the place of installation of the holder 6, equal to the distance from the third mirror 5 to the place of installation of the holder 6;

Ъ - расстояние, от первого зеркала 3 до второго зеркала 4;B is the distance from the first mirror 3 to the second mirror 4;

и - апертурный угол схождения первого светового пучка, отраженного от второго зеркала 4, равный углу расхождения второго светового пучка, отраженного от третьего зеркала 5.and - the aperture angle of convergence of the first light beam reflected from the second mirror 4, equal to the divergence angle of the second light beam reflected from the third mirror 5.

Устройство работает следующим образом.The device works as follows.

Световой поток от когерентного йстойника 1 излучения посредством светоделительного зеркала 2, работающего по принципу деления фронта световой волны, разделяется на первый световой пучок, прошедший сквозь зеркало 3, и второй световой пучок, отраженный от зеркала 3, с одинаковыми амплитудами. Первый световой пучок, отражаясь последовательно от зеркалф 3 к 4, и второй световой пучок, 'отражаясь от*зеркала 5, направляются на исследуемый материал, расположенный в держателе 6.The light flux from the coherent radiation 1 of radiation by means of a beam-splitting mirror 2, operating according to the principle of dividing the front of a light wave, is divided into the first light beam passing through the mirror 3 and the second light beam reflected from the mirror 3 with the same amplitudes. The first light beam, reflected in series from the mirrors 3 to 4, and the second light beam, reflecting from mirror 5, are directed to the material under study, which is located in the holder 6.

Зеркала 4 и 5, направляя световые пучки на исследуемый материал, одновременно выполняют функции оптических систем фокусировки и расхождения световых·пучков, благодаря чему упрощается конструкция устройства.Mirrors 4 and 5, directing light beams on the material under study, simultaneously perform the functions of optical focusing systems and diverging light beams, which simplifies the design of the device.

В интерференционной картине, записанной на поверхности светочувст30In the interference pattern recorded on the surface of photosensitive30

10ten

1515

2020

2525

3535

4040

4545

5050

5555

вительного исследуемого материала, период полос изменяется в диапазоне °Т 2 8Ϊη (у-и)material studied, the period of the bands varies in the range of ° T 2 8 2η (y-i)

до а,= _2“5Ϊπ"(ί+ΰ3 ’to a, = _ 2 “5Ϊπ" (ί + ΰ3 '

где 8, и - период интерференционных полос;where 8, and is the period of interference fringes;

- угол наклона осевого пучка;- the angle of inclination of the axial beam;

и - апертурный угол расхож дения (схождения) пучка;and - aperture angle of divergence (convergence) of the beam;

Ά - длина волны излучения. Совместным поворотом зеркал 4 иΆ - radiation wavelength. Joint rotation of mirrors 4 and

5 вокруг держателя 6 в плоскости, проходящей через оси первого и второго световых пучков, отраженных соответственно от зеркал 4 и 5 и зеркал 2 и 3, вокруг оси первого светового пучка выполняется изменение периода интерференционных полос. При этом точка В, из которой расходится один пучок, и точка С, в которую схо дится другой пучок, остаются симметричными отнбсительно поверхности исследуемого материала. Если изменение угла наклона <У к поверхности све точувствитёльного материала выполнено на величину йо( =2и в сторону увеличения (уменьшения), то самая низкая (высокая) частота, которая записывается при этой установке, равна наиболее высокой (низкой) частоте предыдущей установки. Дополнительное расширение диапазона частот регистрируемых интерферограмм обеспечивается поворотом держателя5 around the holder 6 in the plane passing through the axes of the first and second light beams, reflected respectively from mirrors 4 and 5 and mirrors 2 and 3, around the axis of the first light beam, the period of interference fringes is changed. In this case, point B, from which one beam diverges, and point C, to which another beam converges, remain symmetrical with respect to the surface of the material under study. If the change in the angle of inclination <Y to the surface of the light-sensitive material is made by the value yo (= 2 and upward (decrease), then the lowest (high) frequency, which is recorded at this setting, is equal to the highest (low) frequency of the previous installation. Additional the extension of the frequency range of the recorded interferograms is provided by turning the holder

6 на 90°.6 to 90 °.

Claims (1)

Формула изобретенияClaim Устройство для записи интерферограмм, содержащее оптически связанные когерентный источник света и светоделительное зеркало для разделения светового потока на первый световой пучок, проходящий сквозь светоделительное зеркало, и второй световой пучок, отраженный от светоделительного зеркала, установленные последовательно по ходу первого светового пучка первое и второе зеркала установленное по ходу второго светового пучка третье зеркало и держатель, предназначенный для установки, светочувствительного материала вA device for recording interferograms containing an optically coupled coherent light source and a beam-splitting mirror for dividing the light flux into the first light beam passing through the beam-splitting mirror, and a second light beam reflected from the beam-splitting mirror mounted in series along the first light beam first and second mirrors in the course of the second light beam, the third mirror and the holder, designed for installation, of a photosensitive material in 5 14867925 1486792 месте пересечения осей первого и второго световых пучков так, чтобы нормаль к поверхности материала являлась биссектрисой угла между осями первого и второго световых пуч- ® ков, второе и третье зеркала установлены с возможностью синхронного вращения вокруг держателя в плоскости, проходящей через оси первого и ιθ второго световых пучков, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, первое и третье зеркала выполнены выпуклыми, второе зеркало - вогнутым, соотноше- 15 ния радиусов кривизны зеркал удовлетворяют условиюthe intersection of the axes of the first and second light beams so that the normal to the material surface is the bisector of the angle between the axes of the first and second light beams ®, the second and third mirrors are installed with the possibility of synchronous rotation around the holder in the plane passing through the axes of the first and ιθ of the second light beams, characterized in that, in order to simplify the design, the first and third mirrors are convex, the second mirror is concave, and the ratio of the radii of curvature of the mirrors satisfy the condition Κ,ί к,; ЕЪ.С§ -2- и; .Κ, ί k ,; E b . Cg -2- and; . 2020 Г8 и/2,G8 and / 2, где К<9 К3 - радиусы кривизныwhere K <9 K3 - the radii of curvature соответственно περ6respectively περ6 вого, второго и третьего·зеркал; расстояние от второго зеркала до места установки держателя, равное расстоянию от третьего зеркала до места установки держателя, расстояние от первого зеркала до'второго зеркала, апертурный угол схождения первого светового пучка, . отраженного от второго зеркала, равный углу расхождения второго светового пучка, отраженного от третьего зеркала.second, third and third mirrors; the distance from the second mirror to the place of installation of the holder, equal to the distance from the third mirror to the place of installation of the holder, the distance from the first mirror to the second mirror, the aperture angle of convergence of the first light beam,. reflected from the second mirror, equal to the angle of divergence of the second light beam reflected from the third mirror. ίί
SU874297362A 1987-07-01 1987-07-01 Device for recording interferograms SU1486792A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874297362A SU1486792A1 (en) 1987-07-01 1987-07-01 Device for recording interferograms

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874297362A SU1486792A1 (en) 1987-07-01 1987-07-01 Device for recording interferograms

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1486792A1 true SU1486792A1 (en) 1989-06-15

Family

ID=21324393

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874297362A SU1486792A1 (en) 1987-07-01 1987-07-01 Device for recording interferograms

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1486792A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4872756A (en) Dual path interferometer with varying difference in path length
US5715057A (en) Reference interferometer with variable wavelength and folded measurement beam path
US3966324A (en) Laser doppler anemometer
US6611379B2 (en) Beam splitter and method for generating equal optical path length beams
US4690565A (en) Optical apparatus for the detection of scattered light
SU1486792A1 (en) Device for recording interferograms
US4576447A (en) Compact, single piece laser beam analyzer
US4179219A (en) Revolving mirror scanning interferometer
US3402633A (en) Long path multiple beam interferometer
SU1429084A1 (en) Device for recording interferograms
SU1048307A1 (en) Scanning interferential device having background compensation capability
RU2001386C1 (en) Multistroke optical system
RU1791701C (en) Interferometer for testing quality of surface of optical parts
SU1619014A1 (en) Interferometer
SU1656365A1 (en) Aligning device
SU953451A2 (en) Interferrometer for checking spherical surfaces
SU1613849A2 (en) Interferometer for checking deflections of quasiflat surfaces of parts
SU1578456A1 (en) Device for multiple reflections in double-reflecting interferometer
SU1370453A1 (en) Interferometer for checking shape of concave elliptic surfaces
SU1582039A1 (en) Device for determining position of focal plane of lens
SU1343242A1 (en) Interferometer for checking shape of spherical surfaces
SU1587327A1 (en) Interferometer
SU1315794A1 (en) Null-indicator
KR930016774A (en) Infrared Gas Analyzer Optical System
SU1362949A1 (en) Spectrometer with interference selective amplitude modulation