SU1416865A1 - Device for monitoring small angular displacements - Google Patents
Device for monitoring small angular displacements Download PDFInfo
- Publication number
- SU1416865A1 SU1416865A1 SU864123468A SU4123468A SU1416865A1 SU 1416865 A1 SU1416865 A1 SU 1416865A1 SU 864123468 A SU864123468 A SU 864123468A SU 4123468 A SU4123468 A SU 4123468A SU 1416865 A1 SU1416865 A1 SU 1416865A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- reflector
- dihedral
- beam splitter
- reflected
- mirror
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол малых угловых смещений объектов . Целью изобретени вл етс повышение точности контрол . Пучок лучей источника 1 когерентного излучени отражаетс от зеркала 2 и проходит через светоделители 3 и 4, двугранный отражатель 5, отражаетс от зеркала 6 (система двугранный отражатель 5 и зеркало 6 обеспечивает разделение пучка лучей на два 1д и 1), а затем от отражател 8. Если отражатель 8 перпендикул рен оптической оси устройства. то отраженные от него пучки лучей, пройд в обратном направлении двугранный отражатель 5, отразившись от зеркала 6, пройдут через светоделитель 4 и, отразившись от светоделител 3, сформируют на входе регистратора 7 световое п тно. Поворот отражател 8 на угол а приводит к повороту пучков лучей Ц и 1 после отражени от отражател на угол 2а. Эти пучки лучей после двугранного отражател 5 и зеркала 6 частично проход т через светоделитель 4, а частично отражаютс от него. Прошедшие пучки лучей после отражени от светоделител 3 сформируют на входе регистратора 7 два световых п тна, рассто ние между которыми пропорционально углу а. Отраженные от светоделител 4 пучки лучей повтор ют ход первоначального пучка лучей и после отражени от отражател 8, а затем после двугранного отражател 5, зеркала 6, светоделителей 4 и 3 сформируют на входе регистратора 7 световые п тна, при этом рассто ние между крайними световыми п тнами будет пропорционально углу 4а и т. д. 1 ил. (ЛThe invention relates to a measurement technique and can be used to control small angular displacements of objects. The aim of the invention is to improve the accuracy of the control. The beam of coherent radiation source 1 is reflected from mirror 2 and passes through the beam splitters 3 and 4, the dihedral reflector 5, is reflected from mirror 6 (the system of the dihedral reflector 5 and mirror 6 provides the separation of the beam of rays into two 1d and 1) and then from the reflector 8 If the reflector 8 is perpendicular to the optical axis of the device. then the beams reflected from it, having passed in the opposite direction the dihedral reflector 5, having reflected from mirror 6, will pass through the beam splitter 4 and, having reflected from the beam splitter 3, will form a light spot at the input of the recorder 7. Rotation of the reflector 8 at an angle a causes the beams of the rays C and 1 to rotate after reflection from the reflector at an angle of 2a. These beams of light after the dihedral reflector 5 and the mirror 6 partially pass through the beam splitter 4 and are partially reflected from it. The transmitted beams of light after reflection from the beam splitter 3 will form two light spots at the input of the recorder 7, the distance between which is proportional to the angle a. Reflected from the beam splitter 4, the beam of rays repeats the course of the original beam of rays and after reflection from the reflector 8, and then after the dihedral reflector 5, mirrors 6, the beam splitters 4 and 3 will form light spots at the input of the recorder 7, while the distance between the outermost points of light tami will be proportional to the angle 4a, etc. 1 Il. (L
Description
аbut
00 Од00 od
елate
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол малых угловых смещений объектов.The invention relates to a measurement technique and can be used to control small angular displacements of objects.
Цель изобретени - повышение точности контрол за счет обеспечени с помощью светоделител многократного отражени пучков лучей от отражател , скрепл емого с контролируемым объектом, при этом увеличиваетс линейное смещение световых п тен на входе регистратора.The purpose of the invention is to improve the control accuracy by providing with a beam splitter multiple reflection of the beam of rays from the reflector attached to the object being monitored, while increasing the linear displacement of the light spots at the recorder input.
На чертеже представлена функциональна схема устройства.The drawing shows the functional diagram of the device.
Устройство содержит источник 1 когерентного излучени и последовательно установленные по ходу пучка лучей зеркало 2, расположенное под углом 45° к оптической оси источника 1 когерентного излучени , светоделитель 3, расположенный под углом 45° к оптической оси устройства, светоделитель 4 и расположенный перпендикул рно к оптической оси устройства двугранный отражатель 5 с тупым углом при верщине, грани которого выполнены со светоделитель- ным покрытием, установленный так, что биссектриса двугранного угла перпендикул рна к оптической оси устройства,зеркало 6, оптически св занное с внешними гран ми дву- гранного отражател 5 и установленное так, что нормаль к нему перпендикул рна к оптической оси устройства и ребру двугранного отражател 5, регистратор 7, оптически св занный со светоделителем 3, отражатель 8 предназначенный дл скреплени с контро- лируемым объектом (не показан) и оптически св занный с выходной гранью двугранного отражател 5.The device contains a source of coherent radiation 1 and a mirror 2 mounted successively along the beam, located at an angle of 45 ° to the optical axis of the coherent radiation source 1, a beam splitter 3 located at an angle of 45 ° to the optical axis of the device, a beam splitter 4 and perpendicular to the optical the device axis is a dihedral reflector 5 with an obtuse angle with a vertex, the faces of which are made with a beam-splitting coating, mounted so that the bisector of the dihedral angle is perpendicular to the optical axis device, mirror 6, optically connected with the outer edges of the bi-directional reflector 5 and installed so that the normal to it is perpendicular to the optical axis of the device and the edge of the dihedral reflector 5, the recorder 7, optically connected with the beam splitter 3, the reflector 8 intended for bonding with a controlled object (not shown) and optically coupled to the output face of the dihedral reflector 5.
Устройство работает следующим образом .The device works as follows.
Пучок лучей источника 1 когерентного излучени отражаетс от зеркала 2 и проходит через светоделители 3 и 4. Перва грань двугранного отражател 5 делит пучок лучей на два, первый из них 1д проходит через грани двугранного отражател , не измен своего направлени , а второй Ig отражаетс последовательно от первой грани двугранного отражател 5, затем от зеркала 6 и от второй грани двугранного отражател 5, после чего вместе с пучком лучей 1. отражаетс от отражател 8.The beam of coherent radiation source 1 is reflected from mirror 2 and passes through beam splitters 3 and 4. The first face of the dihedral reflector 5 divides the beam of rays into two, the first one passing through the faces of the dihedral reflector, does not change its direction, and the second Ig reflects sequentially from the first face of the dihedral reflector 5, then from the mirror 6 and from the second face of the dihedral reflector 5, then with the beam of light 1. reflected from the reflector 8.
В начальном положении контролируемого объекта отражатель 8 перпендикул рен к оптической оси устройства. В этом случае пучки лучей 1д, 1 после отражени от отражател 8 пройдут в обратном направлении двугранный отражатель 5, зеркало 6, све- тоделитель 4 и, отразившись от светоделител 3, попадут на вход регистратора 7, где сформируют одно световое п тно.In the initial position of the object under control, the reflector 8 is perpendicular to the optical axis of the device. In this case, beams of rays 1d, 1 after reflecting from reflector 8 will pass in the opposite direction the dihedral reflector 5, mirror 6, beam divider 4 and, reflected from beam splitter 3, will fall on the input of recorder 7, where they will form one light spot.
Регистратор 7 может быть выполнен в виде линейки ПЗС с блоком обработки сигнала .,The recorder 7 can be made in the form of a CCD array with a signal processing unit.,
Угловое смещение контролируемого объекта приводит к повороту отражател 8 на угол 2а. В этом случае пучки лучей IA и 1The angular displacement of the object being monitored causes the reflector 8 to rotate by an angle of 2a. In this case, the beams of the rays IA and 1
0 о 0 o
5 55 5
0 0
00
после отражени от отражател 8 образуют угол 2а с оптической осью устройства. Пройд через двугранный отражатель 5 и зеркало 6, пучок лучей 1 отклонитс от оптической оси устройства на угол 2а, но в другом направлении по отношению к пучку лучей 1д, пройд через светоделитель 4 и отразившись от светоделител 3, эти пучки лучей сформируют на входе регистратора два световых п тна, рассто ние между которыми пропорционально углу а.after reflection from the reflector 8, they form an angle 2a with the optical axis of the device. Having passed through the dihedral reflector 5 and the mirror 6, the beam of rays 1 deviates from the optical axis of the device at an angle of 2a, but in a different direction relative to the beam of rays 1d, passes through the beam splitter 4 and reflected from the beam splitter 3, these beams of rays form two at the recorder input light spots, the distance between which is proportional to the angle a.
Часть пучков лучей при прохождении через светоделитель 4 отразитс в обратном направлении, пройдет через двугранный отражатель 5, отразитс от зеркала 6, отражател 8, затем оп ть пройдут через двугранный отражатель 5, отразитс от зеркала 6, пройдет через светоделитель 4, отразитс от светоделител 3 и сформирует на входе регистратора 7 четыре световых п тна. При этом рассто ние между крайними световыми п тнами пропорционально углу 4а.Part of the beam when passing through the beam splitter 4 will reflect in the opposite direction, pass through the dihedral reflector 5, reflect from mirror 6, reflector 8, then again pass through the dihedral reflector 5, reflect from mirror 6, pass through beam splitter 4, reflect from beam splitter 3 and will form at the input of the recorder 7 four light spots. In this case, the distance between the extreme light spots is proportional to the angle 4a.
Таким образом, за счёт многократного отражени пучков лучей от отражател 8 линейное смещение световых п тен на входе регистратора 7 во много раз превыщает смещение светового п тна при однократном отражении от отражател 8, что приводит к повышению точности контрол . Количество регистрируемых отражений световых пучков от отражател 8 определ етс установкой соответствующего порогового уровн чувствительности регистратора, так как при многократных отражени х уменьшаетс интенсивность пучков лучей.Thus, due to repeated reflection of the beam of rays from the reflector 8, the linear displacement of the light spots at the input of the recorder 7 is many times greater than the offset of the light spot when reflected once from the reflector 8, which leads to an increase in the accuracy of control. The number of recorded reflections of the light beams from the reflector 8 is determined by setting the appropriate threshold sensitivity level of the recorder, since with multiple reflections the intensity of the beam of rays decreases.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864123468A SU1416865A1 (en) | 1986-09-25 | 1986-09-25 | Device for monitoring small angular displacements |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864123468A SU1416865A1 (en) | 1986-09-25 | 1986-09-25 | Device for monitoring small angular displacements |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1416865A1 true SU1416865A1 (en) | 1988-08-15 |
Family
ID=21258844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU864123468A SU1416865A1 (en) | 1986-09-25 | 1986-09-25 | Device for monitoring small angular displacements |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1416865A1 (en) |
-
1986
- 1986-09-25 SU SU864123468A patent/SU1416865A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Патент JP № 57-8403, кл. G 01 В 11/26, 1982. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5038032A (en) | Encoder incorporating a displaceable diffraction grating | |
| US3658426A (en) | Alignment telescope | |
| US3002419A (en) | Alignment theodolite | |
| SU1416865A1 (en) | Device for monitoring small angular displacements | |
| US5049757A (en) | Method for scanning a plurality of optical measuring reflectors and an apparatus for performing the method | |
| SU1587327A1 (en) | Interferometer | |
| SU1515039A2 (en) | Photoelectric autocollimator for fixing angular position of object | |
| SU1647241A1 (en) | Laser interference device | |
| SU1462098A1 (en) | Differential interferometer for measuring angular displacements | |
| SU1055963A1 (en) | Protractor reflector | |
| SU1165880A1 (en) | Device for measuring displacements | |
| SU581272A1 (en) | Device for monitoring angular attitude of self-propelled machine | |
| SU1446465A2 (en) | Device for monitoring surface roughness | |
| SU1113671A1 (en) | Device for measuring angular displacements | |
| SU1437682A1 (en) | Device for measuring angle of displacement of object | |
| SU1744444A1 (en) | Device for measurement of linear dimensions | |
| SU1043486A1 (en) | Device for measuring angular displacement of object | |
| SU1067353A1 (en) | Device for measuring object displacement | |
| SU1569532A1 (en) | Apparatus for measuring roughness | |
| SU406180A1 (en) | TWO-COORDINATE AUTO-COLLIMATOR | |
| SU996862A1 (en) | Mirror-type multiplier | |
| SU539288A1 (en) | Opto-electronic measuring device | |
| SU1627827A2 (en) | Device for multiple reflection in double-beam interferometer | |
| RU1774233C (en) | Method of determining linear displacement of objects with flat mirror-reflection surface | |
| SU1499115A2 (en) | Optronic device for checking non-parallelism |