SU1627827A2 - Device for multiple reflection in double-beam interferometer - Google Patents
Device for multiple reflection in double-beam interferometer Download PDFInfo
- Publication number
- SU1627827A2 SU1627827A2 SU884457961A SU4457961A SU1627827A2 SU 1627827 A2 SU1627827 A2 SU 1627827A2 SU 884457961 A SU884457961 A SU 884457961A SU 4457961 A SU4457961 A SU 4457961A SU 1627827 A2 SU1627827 A2 SU 1627827A2
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- mirror
- cherkay
- double
- beam interferometer
- multiple reflection
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измери- тельной технике и усовершенствованием изобретени по an-i.cn, № 1399644. Цель изобретени - уне- пиченне точности измерений ча CMPI увеличепил эффективно anepr- рн лчн- зы.Луч 0 света,ицуший in интерферометр проходит через фокусирующий элемент 3 и с помощью черкала 5, установленного с возможностью попорота, направл етс на зеркало 1, ртчмещеппое на контролируемом объекте 2, отр.гжает- с от зеркала 1 (луч Т() и чоре i юркало 5 почир чпае гг па фокусируют,-, элемент 3. После этого он отражаетс уголковым отрадечеиом 4 и снова проходит фокуснрукичип элемент 3, черкало 5, черкало 1, черкало 5 и i фокусирующий элемент 3 вочврагаае i н в интерферонеiр. 1 пл. eg со сThe invention relates to a measurement technique and an improvement of the invention according to an-i.cn, No. 1399644. The purpose of the invention is to limit the measurement accuracy of the CMPI to effectively increase the efficiency of the light, its in-interferometer passes through the focusing element 3 and with the help of a cherkala 5, installed with the possibility of turning, it is directed to the mirror 1, horned on the object to be monitored 2, otrgzha- from mirror 1 (the beam T () and Choré i whirk 5 element 3. After that, it is reflected by corner angle 4 and dreams passes fokusnrukichip element 3 Cherkay 5 Cherkay 1 Cherkay 5 and the focusing element 3 i i n vochvragaae in interferoneir. 1 pl. eg with a
Description
Изобретение относитс к измерительной технике.This invention relates to a measurement technique.
Цель изобретени - увеличение точности измерений за счет увеличени эффективной апертуры линзы.The purpose of the invention is to increase the measurement accuracy by increasing the effective aperture of the lens.
На чертеже представлена принципиальна схема предлагаемого устройства дл многократных отражений в двухлучевом инт ерфероме.тре.The drawing shows a schematic diagram of the proposed device for multiple reflections in a two-beam interferome.tre.
Устройство содержит плоское зеркало 1, установленное на контролируемом объекте 2, фокусируюгций элемент 3 в виде собирающей линзы, уголковый отражатель 4 и плоское зеркало 5, установленное на пуги лучей между линзой 3 и зеркалом 1 с возможностью поворота и направл ющее сход щиес на зеркале 1 лучи.The device contains a flat mirror 1 mounted on the object to be controlled 2, a focusing element 3 in the form of a collecting lens, an angle reflector 4 and a flat mirror 5 mounted on the pugs of rays between the lens 3 and the mirror 1 can be rotated and the rays converging on the mirror 1 .
Устройство работае СЛСДУКМЧНМ образом .The device works in a very SLd manner.
Входной луч света 1, идущий из интерферометра (не показано), падает на линзу 3 параллельно ее оптической оси, проходит ее и с попош-ю зеркала 5 направл етс на черкало 1, отражаетс от зеркала 1 (луч 1 и зеркалом 5 возвращаетс нл линчу 3, после которой отражаетс уголковым отражателем 4, проходит линзу Т, отражаетс последовательно от зеркала 5, плоского зеркала 1, сноьа от черкала 5 и черьз линзу 3 (луч 12) го - вращаетс в интерферометр, в KOTI ром используетс предлагаемое устроит;но многократных отражений.The input beam of light 1, coming from the interferometer (not shown), falls on the lens 3 parallel to its optical axis, passes it, and from the mirror of the mirror 5, directs to glass 1, reflects from mirror 1 (beam 1 and mirror 5 returns nl lynch) 3, after which it is reflected by the corner reflector 4, passes the lens T, is reflected successively from the mirror 5, the flat mirror 1, the remnant from Cherkala 5, and the yellow lens 3 (beam 12) go to the interferometer, the proposed arrangement is used in KOTI rum, but multiple reflections.
CUCU
toto
0000
РR
N5N5
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884457961A SU1627827A2 (en) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | Device for multiple reflection in double-beam interferometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884457961A SU1627827A2 (en) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | Device for multiple reflection in double-beam interferometer |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1399644 Addition |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1627827A2 true SU1627827A2 (en) | 1991-02-15 |
Family
ID=21388657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU884457961A SU1627827A2 (en) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | Device for multiple reflection in double-beam interferometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1627827A2 (en) |
-
1988
- 1988-07-11 SU SU884457961A patent/SU1627827A2/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 1399644, кл. О 01 И 9/0, . * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SU1627827A2 (en) | Device for multiple reflection in double-beam interferometer | |
| US3002419A (en) | Alignment theodolite | |
| SU151063A1 (en) | Reflexometric measurement method | |
| SU411356A1 (en) | ||
| JPH0518893A (en) | Refractive index measuring device | |
| SU1290233A2 (en) | Device for checking optical catъs eye | |
| SU1416865A1 (en) | Device for monitoring small angular displacements | |
| SU1490463A1 (en) | Device for multiple reclections in two-beam interferometer | |
| JPH05500853A (en) | Method and apparatus for determining glass tube wall thickness | |
| SU450077A1 (en) | Device for controlling the shape of a parabolic surface | |
| SU1515039A2 (en) | Photoelectric autocollimator for fixing angular position of object | |
| SU410243A1 (en) | ||
| SU1453188A1 (en) | Spectrophotometric installation for measuring reflection factor of spherical concave mirrors | |
| SU1193542A1 (en) | Reflectometer for checking concave mirrors | |
| SU1543308A1 (en) | Device for measuring absolute coefficients of mirror reflection | |
| RU2018112C1 (en) | Device for measuring reflection and transmission coefficients | |
| SU1315794A1 (en) | Null-indicator | |
| SU419721A1 (en) | OPTICAL SYSTEM OF PHOTOELECTRIC ANGLOMERS OF FOLLOWING DEVELOPMENT | |
| RU1774162C (en) | Method of checking prismatic mirror components for correct right angle in their manufacture | |
| SU1446465A2 (en) | Device for monitoring surface roughness | |
| KR0178434B1 (en) | Absolute measurement method of reflection rate using light splitter | |
| SU1113671A1 (en) | Device for measuring angular displacements | |
| SU143557A1 (en) | The method of controlling the accuracy of processing non-spherical surfaces | |
| SU1504497A1 (en) | Apparatus for measuring linear dimensins and shape of elements on planar objects with diffraction test structures | |
| SU808835A1 (en) | Interferential transducer for measuring rotation angle of an object |