SU1272108A1

SU1272108A1 - Рефлектометрический способ измерени параметра шероховатости анизотропных поверхностей металлических тел

Info

Publication number: SU1272108A1
Application number: SU853888833A
Authority: SU
Inventors: Юрий Рувимович Витенберг; Алексей Дмитриевич Терехов; Исаак Александрович Торчинский
Original assignee: Северо-Западный Заочный Политехнический Институт
Priority date: 1985-04-29
Filing date: 1985-04-29
Publication date: 1986-11-23

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике. Цель изобретени расширение измер емых параметров и измерение их абсолютных величин за счет измерени кроме параметра шероховатости - высоты неровности, еще и следующих параметров - среднего квадратического отклонени , длины коррел ции , среднего угола наклона боковых сторон неровностей, среднего шага неровностей , а также за счет исключени при измерении эталонных образцов. На контролируемую шероховатую поверхность направл ют световой поток с длиной волны известной интенсивности и регистрируют интенсивность отраженного светового потока. По отношению интенсивности падающего и отраженного светового потока определ ют коэффициент отражени р. Световой поток направл ют нормально к контролируемой поверхности и в этом положении измер ют коэффициенты отражени р вдоль и р поперек борозд шероховатости (при повороте образца на 90&deg; вокруг оси, перпендикул рной к контролируемой поверхности). Затем при расположении борозд шероховатости в плоскости пол ризации света по шкале измер ют угол Q (угол Ьрюстера), при котором коэффициент отражени минимален. По измеренным величинам р , р , 0 рассчитывают параметры шероховатости 6, l,et , Т из следующих соотношений: (Л ( P./PaJO Cbseg-CosX 1 /JL с в ву Т( 1) -, 2(l-/2Cos0g -Coseg) ,,-/

Description

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения параметров шероховатости обработанных поверхностей металлических тел, преимущественно с малой высотой 5 неровностей, например, менее 0,5 мкм.

Цель изобретения - расширение из-

меряемых параметров и измерение их абсолютных величин, за счет измерения кроме параметра шероховатости - высоты неровности,,еще и следующих параметров - среднего квадратического отклонения, длины корреляции, среднего угла наклона боковых сторон неровностей, среднего шага неровностей, а также за счет исключения при измерении эталонных образцов.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства, реализующего предлагаемый рефлектометрический способ.

Устройство содержит источник 1 монохроматического света, поляризатор 2, приемник 3 зеркально отраженного света, регистрирующую аппаратуру 4, угловую шкалу 5.

Рефлектометрический способ измереtg = /2~;

¹

1=2/71, где 6 - среднее квадратическое откло нение шероховатости;

- длина корреляции;

О¹- - средний угол наклона боковых сторон неровностей;

Т - средний шаг неровностей;

А - длина волны монохроматическо· го света;

► - коэффициент зеркального отра· ^вх жения вдоль борозд шероховатости;

' - коэффициент зеркального отра· жения поперек борозд шероховатости.

Claims

12 Изобретение относитс к измеритель ной технике и предназначено дл измерени параметров шероховатости обработанных поверхностей металлических тел, преимущественно с малой высотой неровностей, например, менее 0,5 мкм. Цель изобретени - расширение измер емых параметров и измерение их абсолютных величин, за счет измерени кроме параметра шероховатости - высоты неровности ,, еще и cлeдyюш ix параметров - среднего квадратического отклонени , длины коррел ции, среднего угла наклона боковых сторон неровностей , среднего шага неровностей, а также за счет исключени при измерении эталонных образцов. На чертеже изображена принципиальна схема устройства, реализующего предлагаемый рефлектометрический способ. Устройство содержит источник 1 монохроматического света, пол ризатор 2, приемник 3 зеркально отраженного света, регистрирующую аппаратуру 4, угловую шкалу 5. Рефлектометрический способ измерени шероховатости анизотропных поверхностей металлических тел осуществл ют следующим образом, На контролируемую шероховатую поверхность 6 из источника I монохроматического света через пол ризатор 2, пол ризующий свет в вертикальной плоскости, направл ют световой поток с длиной волны известной интенсивности и регистрируют интенсивность отраженного светового потока, попавшего в приемник 3. По отношению интенсивности падающего и отраженного светового потока определ ют с помощью регистрирующей аппаратуры коэффи:циент отражени р. Вначале оператор направл ет световой поток нормально к контролируемой поверхности бив этом положении измер ют коэффициенты отражени вдоль и поперек борозд шероховатости (при повороте образца 7 на 90° вокруг оси 8, перпендикул р ной к контролируемой поверхности 6). Затем при расположении борозд шерохо ватости в плоскости пол ризации свет по щкале 5 измер ют угол (угол Брюстера), при котором коэффициент отражени минимален. tlo измеренным величинам Pg РЙУ ®8 Рассчитывают параметры шероховатости 6 , 1, из следующих соотношений: 8 ,j(uy2(bs9,-Co54 .V 1 2(l-V2Cose,Cose,.) ОЬ I б/ ° --ьi 2®e) 8 /(T-i-7 b5s©-+cos r) ; i ev ак g /24; , где В - среднее квадратическое отклонение шероховатости; 1 - длина коррел ции; средний угол наклона боковьж сторон неровностей; Т - средний шаг неровностей; А - длина волны монохроматического света; р - коэффициент зеркального отра жени вдоль борозд шероховатости; р - коэффициент зеркального отражени поперек борозд шероховатости . Формула изобретени Рефлектометрический способ измерени параметра шероховатости анизотропных поверхностей металлических тел, заключающийс в том, что направл ют на поверхность монохроматический пол ризованный световой поток с определенной длиной волны известной интенсивности , регистрируют интенсивность зеркально отраженного от поверхности светового потока и по отношению интенсивностей определ ют измер емый параметр, отличающийс тем, что, с целью расширени измер емых параметров и измерени их абсолютных величин, направл ют световой поток нормапьно к поверхности, измер ют коэффициенты отражени светового потока вдоль и поперек борозд шероховатости поверхности,измер ют угол падени ,при котором коэффициент отражени минимален,и рассчитывают параметры шероховатости из соотношений 4 ( 7ТТ/ 2(l-v/2CGS0 +Cose, ) DО (1-/rcos9 -f-co s2e6) 8 .) 1 6 y -ex

7.4

igcA

1

среднее квадратическое откло-j

нение;

длина коррел ции;

средний угол наклона боковых

сторон неровностей;

средний шаг неровностей; длина волны монохроматического света;

коэффициент зеркального отражени вдоль борозд шероховагости;

коэффициент зеркального отражени поперек борозд шероховатости .