SU1330463A1

SU1330463A1 - Бесконтактный оптический способ определени высоты шероховатости поверхности

Info

Publication number: SU1330463A1
Application number: SU864045614A
Authority: SU
Inventors: Юрий Григорьевич Шкуратов; Людмила Яковлевна Мелкумова
Original assignee: Харьковский государственный университет им.А.М.Горького; Институт радиофизики и электроники АН УССР
Priority date: 1986-04-03
Filing date: 1986-04-03
Publication date: 1987-08-15

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике и предназначено дл контрол качества обработки поверхности , измерени размеров частиц запыленных поверхностей, измерени высоты шероховатости. Цель изобретени расширение класса исследуемых объектов - достигаетс благодар использоЛ ванию тарировочной зависимости cpejo;- ней высо ты шероховатости поверхности от отношени Брюстеровского максимума коэффициента пол ризации, возникающей при отражении света от исследуемой поверхности к дополнительному максимуму на фазовых углах, больших Брюстеровского. Исследуемую поверхность 2 освещают с помощью осветител 1 под различными углами падени i в отраженном излучении вьщел ют па- раллельную и перпендикул рную компоненты пол ризации дл различных зна чений угла падени , определ ют зави- симость коэффициента пол ризации от угла между падающим и отраженным пучками и по тарировочной, зависимости средней высоты шероховатости от отношени Брюстеровского максимума коэффициента пол ризации к дополнительному мakcимyмy определ ют высоту шероховатости исследуемой поверхности. ,3 ил. (Л с фиг{

Description

1

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол качества обра ботки поверхности, измерени разме- ров частиц запыленных поверхностей ,и измерени средней высоты шероховатости .

Цель изобретени - расширение класса исследуемых объектов измере- .ни - достигаетс благодар использованию тарированной зависимости средней в 1соты шероховатости поверх ности от отношени Брюстеровского максимума коэффициента пол ризации Р , возникающей при отражении света от исследуемой поверхности к дополнительному максимуму Р, .

I . . . .

На фиг, 1 изображена схема устройства , дл осуществлени предлагаемого способа; на фиг. 2 - фазова зависимость коэффициента Р пол ризации дл шероховатой поверхности; на фиг. 3 - пример тарировочной зависимости отношени Брюстеровского максимума коэффициента пол ризации к дополнительному .

Способ осуществл ют следующим образом .

Исследуемую поверхность (фиг,1) освещают с помощью осветител 1. Отраженный от поверхности 2 свет пропускают через вращающийс анализатор 3, получа в зависимости от его положени перпендикул рную либо параллельную компоненты отраженного света, и с помощью фоторегис-Ератора 4, который расположен под малым углом oi к поверхности, регистрируют интенсивности перпендикул рной Р, и параллельной Р„ компонент, получа затем

30463 . 2

по известной формуле коэффициент пол ризации отраженного света;

.РИ

Р +р

5

Измен положение осветител 1,

подобным образом получают значени коэффициента пол ризации Р во всем диапазоне фазовых углов if, вычисл ют

1Q- отношение , а затем по тарировочной зависимости определ ют среднюю высоту шероховатости.

Предлагаемый способ пригоден дл измерени шероховатости поверхности

-15 как прозрачных, так и непрозрачных объектов и. не накладывает ограничений на размеры поверхностей измер ,е- мых объектов.

ормула изобретени.

30

20

Бесконтактный оп тический способ определени высоты шероховатости поверхности , заключающийс в том, что 25 на контролируемую поверхность объекта направл ют пучок света, регистрируют отраженное излучение и определ ют высоту шероховатости поверхности, о т л ичающийс тем, что, с целью расширени класса объектов измерени , пучок света направл ют под различными углами падени к поверхности , в отраженном излучении выдел ют параллельную и перпендикул рную компоненты пол ризации дл различных значений угла падени , определ ют зависимость коэффициента пол ризации от угла между падающим и отраженным пучками, а высоту шероховатости поверхности определ ют по тарировочной зависимости средней высоты шероховатости от отношени Брюстеровского максимума коэффициента пол ризации к дополнительному максимуму.

35

40

Л ff

во raff 1М т Уеа/f jv/, ejffafycif Фиг.г

QN

вь/сото u/e/yey Gfffafrroc rytj ФигЪ

Claims

2Q Формула изобретения

Бесконтактный оптический способ определения высоты шероховатости поверхности, заключающийся в том, что 25 на контролируемую поверхность объекта направляют пучок света, регистрируют отраженное излучение и определяют высоту шероховатости поверхности, о т л ичающийся тем, что, ₃0 с целью расширения класса объектов измерения, пучок света направляют под различными углами падения к поверхности, в отраженном излучении выделяют параллельную и перпендикулярную компоненты поляризации для раз³⁵ личных значений угла падения, определяют зависимость коэффициента поляризации от угла между падающим и отраженным пучками, а высоту шероховатости поверхности определяют по тарировочной зависимости средней высоты шероховатости от отношения Брюстеровского максимума коэффициента поляризации к дополнительному максимуму.

О/тюшеяие мамсималышх коэффициент^ /эаиюризации P₂/P_f фиг.З