RU1809373C - Способ оптического контрол отражающей поверхности и устройство дл его осуществлени - Google Patents
Способ оптического контрол отражающей поверхности и устройство дл его осуществлениInfo
- Publication number
- RU1809373C RU1809373C SU4898523A RU1809373C RU 1809373 C RU1809373 C RU 1809373C SU 4898523 A SU4898523 A SU 4898523A RU 1809373 C RU1809373 C RU 1809373C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- light
- scattered
- reflecting surface
- light beam
- polarization
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 206010051602 Laziness Diseases 0.000 abstract 1
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Использование: измерительна техника и может быть использовано в средствах контрол в оптико-механической промышленности . Сущность изобретени : падающий и рассе нный вблизи нормального угла свет пол ризуют, фиксируют направление пол ризации , вращают отражающую поверхность в ее плоскости на 360°, регистрируют минимальную и максимальную интенсивности рассе нного от поверхности света, определ ют их отношение и соответствующие азимуты поверхности по лимбу, которые соответствуют этим экстремальным значени м интенсивности, причем на основе этого отношени и азимутов суд т о структурной анизотропии и ориентации ее выделенной оси относительно направлени пол ризации . В устройство введены пол роид и два отсчетных угловых лимба, в одном из которых между источником света и предметным столиком установлен пол роид (пол ризатор ), а на другом - предметный столик, с возможностью вращени этих лимбов на 360° вокруг нормали к столику. 2 с.п.ф-лы, 1 ил.
Description
Изобретение относитс к измерительной технике, св занной с оценкой структурной анизотропии отражающих плоских поверхностей на основе рефлектометриче- ского измерени параметров отраженного от поверхности света вблизи нормального угла падени , и может быть использовано в средствах контрол в оптико-механической промышленности.
Целью изобретени вл етс обеспечение возможности определени параметров структурной анизотропии отражающих ме таллических поверхностей.
На чертеже показана оптическа схема устройства дл измерени структурной анизотропии и ее пространственной ориентации в плоскости отражающей поверхности.
Устройство содержит источник 1 света, фотоприемник 2, пол роид (пол ризатор) 3, лимб 4, предметный столик 5 дл креплени образца, лимб 6 и регистрирующее устройство 7. Источник 1 света и фотоприемник 2 конструктивно выполнены в виде одного блока и установлены над предметным столиком 5. Пол роид 3 закреплен на лимбе 4, а предметный столик - на лимбе 6.
Способ осуществл ют следующим образом . Исследуемый образец помещают на предметный столик 5 и фиксируют по лимбу 6 выбранное направление (ориентацию)
00
о
О
ы VJ ы
столика с закрепленным на нем образцом как нулевое. Через пол ризатор 3, установленный на лимбе 4, пропускают свет от источника 1, фиксиру при этом направление пол ризации света по лимбу 4 в виде нулевой отметки. Попавший на исследуемый образец световой поток от источника 1 рассеиваетс на поверхности под углом, близким к нормальному и, пройд через пол ризатор 3 в обратном к падающему пучку направлении, попадает на фотоприемник 2, фототоки с которого регистрируют устройством 7, Враща лимб 6 вокруг оси, по направлению совпадающей с нормалью к предметному столику с установленным в плоскости этого столика образцом на 360° фиксируют с помощью регистрирующего устройства 8 максимальный и минимальный фототоки, а также отмеча по лимбу 6 соответствующие азимуты относительно его ну- левой отметки при этих фототоках, фиксируют направление структурной анизотропии по углу поворота лимба 6 относительно его нулевой отметки. По отношению максимального и минимального фототоков определ ют степень структурной анизотропии поверхности и ориентацию одной из осей (соответствующей максимальному фототоку) такой анизотропии по отношению к выделенному на поверхности образца направлению, которое по лимбу 6 было отмечено как нулевое.
Пример конкретного исполнени . В качестве источника света использовали стандартный светодиод АЛ-307, а в качестве фотоприемника - фртосопротивление кольцевого типа ФСК-6. Регистрацию фототоков проводили на микроамперметре типа М24, Испытуемой поверхностью была аморфна лента сплава Ni 9Si6Bi6, продольна ось ленты, вл сь характерным дл ориентации поверхности направлением, размещалась в вертикальном направлении, выбранном на лимбе 6 как нулевое. Направление пол ризации пол роидной пленки (пол ризатора) также размещалось в вертикальном направлении и по лимбу 4 пол ризатора фиксировалось также в качестве нулевого. При вращении лимба б совместно с закрепленными на нем предметным столиком с плоской испытуемой поверхностью ленты аморфного сплава вышеуказанного состава определены азимуты по лимбу б, соответствующие максимальному и минимальному фототокам, а именно 60° и 150°. Отношение минимального значени к максимальному значению фототока составило 0,56. Таким образом, структурна анизотропи аморфной ленты указанного аморфного сплава вл етс одноосной , причем ось выт нутости составл ет 60° по отношению к продольной оси самой ленты. Аналогичные измерени были проведены и дл аморфных лент других составов , например, FegoBisMns (ось выт нутости также не совпадает с осью ленты и составл ет примерно 50°, а отношение минимального фототока к максимальному - 0,85), FegiB SIsCia (здесь соответствующа ,
0 пара величин: 70° и 0,77).
Таким образом, применение способа на конкретном примере дает возможность определить параметры структурной анизотропии отражающей поверхности, что выгодно
5 отличает этот способ и устройство дл его осуществлени от известных.
Claims (2)
- Формула изобретени 1. Способ оптического контрол отражающей поверхности, заключающийс в том,0 что пучок света направл ют нормально к поверхности и регистрируют рассе нный от нее в обратном направлении вблизи нор- ,мальногоугла падени пучок света фотоприемником кольцевой формы, отличают, и5 и с тем, что, с целью обеспечени возможности определени параметров структурной анизотропии металлических поверхностей, при направлении светового пучка к поверхности фиксируют азимуталь0 ное направление отражающей поверхности , пол ризуют падающий и рассе нный световые пучки в одном и том же направлении , фиксируют азимут направлени пол ризации , а при регистрации рассе нного от5 отражающей поверхности светового пучка вращают отражательную поверхность в ее плоскости на 360°, измер ют минимальную и максимальную интенсивности рассе нного от поверхности света, фиксируют соотО ветствующие этим интенсивност м азимуты отражающей поверхности по отношению к азимутальному направлению пол ризации света и по значени м отношени минимальной и максимальной интенсивности рассе5 нного света и азимуту отражающей поверхности относительно направлени пол ризации света суд т о параметрах структурной анизотропии поверхности и ее ориентации в плоскости поверхности.0
- 2. Устройство оптического контрол отражающей поверхности, содержащее источник света и последовательно установленные по ходу пучка света предметный столик дл закреплени на нем испытуемой повер5 хности и фотоприемник кольцевого типа, причем источник света и фотоприемник выполнены в виде одного блока, отличающеес тем, что, с целью обеспечени возможности определени параметров структурной анизотропии металлическихповерхностей, в него введены два соосно расположенных лимба и пол ризатор, при этом лимбы установлены последовательнопо,ходу пучка света, при этом на первом лимбе установлен пол ризатор, на втором - предметный столик.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4898523 RU1809373C (ru) | 1991-01-03 | 1991-01-03 | Способ оптического контрол отражающей поверхности и устройство дл его осуществлени |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4898523 RU1809373C (ru) | 1991-01-03 | 1991-01-03 | Способ оптического контрол отражающей поверхности и устройство дл его осуществлени |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU1809373C true RU1809373C (ru) | 1993-04-15 |
Family
ID=21553301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU4898523 RU1809373C (ru) | 1991-01-03 | 1991-01-03 | Способ оптического контрол отражающей поверхности и устройство дл его осуществлени |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU1809373C (ru) |
-
1991
- 1991-01-03 RU SU4898523 patent/RU1809373C/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 1352201, кл. G 01 N 21/55, 1988. И. А. Вечкасев и др. Приборы и методы анализа в ближней инфракрасной области, М., Хими , 1977, с. 169. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0678892B2 (ja) | 被膜厚さ測定器 | |
| FR2657163B1 (fr) | Capteur de detection et de mesure de l'angle de rotation d'un plan de polarisation de la lumiere. | |
| US3645631A (en) | Apparatus and method for measuring the carrier concentration of semiconductor materials | |
| JPH0663867B2 (ja) | 波面状態検出用の干渉装置 | |
| US4560272A (en) | Three-axis angle sensor | |
| JPS6483135A (en) | Measuring apparatus of polarized infrared ray for thin film | |
| US4171910A (en) | Retroreflectance measurement system | |
| RU1809373C (ru) | Способ оптического контрол отражающей поверхности и устройство дл его осуществлени | |
| US3158675A (en) | Apparatus for measuring the thickness of thin transparent films | |
| CA1192286A (en) | Three-axis angle sensor | |
| SU1727105A1 (ru) | Автоколлимационное устройство | |
| JPH0783828A (ja) | 角度可変絶対反射率測定装置 | |
| JP2712987B2 (ja) | 偏光測定装置の調整方法 | |
| SU1262280A1 (ru) | Способ измерени параметров шероховатости сверхгладких поверхностей изделий | |
| SU1647242A1 (ru) | Бесконтактный оптический способ определени среднеквадратичной высоты шероховатости поверхности | |
| JPH01277740A (ja) | 水中濁度計装置 | |
| SU1717976A1 (ru) | Способ контрол температуры | |
| SU1383108A1 (ru) | Спектрофотометр | |
| SU1226197A1 (ru) | Способ рефрактометрического определени ориентации оптической оси кристалла | |
| RU2109256C1 (ru) | Способ определения коэффициента линейной поляризации света при отражении и устройство для его осуществления | |
| RU2107903C1 (ru) | Способ контроля формы оптической поверхности | |
| SU1330463A1 (ru) | Бесконтактный оптический способ определени высоты шероховатости поверхности | |
| JPH01182737A (ja) | 複屈折測定方法 | |
| RU2033603C1 (ru) | Способ измерения коэффициента отражения | |
| SU868493A1 (ru) | Способ измерени оптической активности |