SU766225A1

SU766225A1 - Способ измерени шероховатости поверхности

Info

Publication number: SU766225A1
Application number: SU782590093A
Authority: SU
Inventors: В.М. Суминов; Н.Н. Катомин; А.Н. Мухин; А.А. Гребнев; Е.И. Гребенюк; Е.Б. Зайчикова
Original assignee: Московский авиационный технологический институт им.К.Э.Циолковского
Priority date: 1978-03-16
Filing date: 1978-03-16
Publication date: 1984-01-23

Abstract

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОБЕРХНОСТИ, заключающийс в том, что луч когерентного монохроматического света направл ют на исследуемую поверхность под заданным углом и анализируют интенсивность диффузной составл ющей отраженного светового пол при взаимном перемещении луча и исследуемой поверхности, отличающийс тем, что, с целью расширени диапазона измер емых высот микронеровностей с различными видами обработки, осуществл ют предварительно пространственную фильтрацию отраженного светового пол , а анализ ведут по текущему изменению интенсивности светового пол единич- S ного элемента зоны диффузной состав (Л л квдей, невозмущенного вли нием дифракции. о Oi to to ел А иг.1

Description

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения шероховатости поверхности бесконтактным рефлексометрйческим методом.

Известен способ измерения шерохо- 5 ватости, заключающийся в том, что луч когерентного монохроматического света направляют на исследуемую поверхность под.заданным углом и анализируют интенсивность диффузной составля- 10 ющей· светового поля, по которой судят о величине шероховатости С 1J.

Этот способ может быть применен только для измерения шероховатости поверхности с регулярной составляю- J5 _хщей определяемой видом обработки, например, после операции доводки.

• Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является способ измерения шероховатости поверхности, заключающийся в том, что луч когерентного монохроматического света направляют на исследуемою поверхность под заданным углом и анализируют интенсивность диффузной составляющей отраженного светового поля при взаимном перемещении луча и ис- следуемой поверхности· f2J'. ¹

Этот способ ограничен в диапазоне контролируемых высот. 30

Целью изобретения является расширение диапазона измеряемых высот, микронеровностей с различными видами обработки.

Это достигается тем, что осущест- 35 вляют предварительно пространственную фильтрацию отраженного светового поля, а анализ ведут по текущему изменению интенсивности светового поля единичного элемента зоны диффуз-до ной составляющей, невозмущенного влиянием дифракции.

На фиг. 1 изображено устройство, реализующее предлагаемый способ; на фиг. 2 -картина отраженного светового поля.

Устройство содержит источник 1 света, объектив 2, расположенный соосно источнику 1 света, регистрирующий элемент 3,размещенный в плоскости наблюдения 4. При этом ось объектива 2 расположена под фиксированным (заданным) углом cL. к исследуемой поверхности ,5.

Луч когерентного монохроматического света от источника 1 света направляют объективом на исследуемую поверхность 5 под фиксированным (заданным) углом сС. Перемещают, например, исследуемую поверхность 5 в направлении стрелки А. При этом отраженный исследуемой поверхностью световой поток 6, однозначно связанный с освещенным участком поверхности 5 в плоскости наблюдения 4, перпендикулярной к направлению зеркального отражения, состоит из зеркальной I, диффузной II составляющих и зоны дифракции III. При перемещении поверхности 5 происходит перераспределение энергии отраженного светового потока 6 соответственно состоянию поверхности, выражающееся в перемещении единичного элемента IV зоны диффузной составляющей, невоэмущенной влиянием дифракции, относительно регистрирующего элемента 3.

Между интенсивностью единичного элемента зоны диффузной составляющей, невозмущенной влиянием дифракции, так называемой спекл-структуры, и высотными параметрами имеется зависимость, в результате которой в формировании спекл-структуры участвует каждая точка освещаемого участка, поверхности, а поэтому единичный элемент спекл-структуры является источником объективной информации о поверхности в целом.

Предложенный способ позволяет измерять шероховатость поверхностей широкого диапазона измеряемых высот микронеровностей и практически всех видов обработки.

, ющем элемента.

Фиг.2

Claims

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ, заключающийся в том, что луч когерентного монохрома'тического света направляют на исследуемую поверхность под заданным углом и анализируют интенсивность диффузной составляющей отраженного светового поля при взаимном перемещении луча и исследуемой поверхности, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых высот микронеровностей с различными видами обработки, осуществляют предварительно пространственную фильтрацию отраженного светового поля, а анализ ведут по текущему изменению _еинтенсивности светового поля единич- S ного элемента зоны диффузной составляющей, невоэмущенного влиянием дифракции.

Λ ьэ ю Си л

Фиг.1