SE470501B - Förfarande vid montering på ett substrat av en TAB-krets, varvid TAB-strukturens anslutningar utgörs av ett elektriskt ledande anslutningsmönster som framställts på en filmremsa och vilket är anslutet till TAB-strukturens halvledarkretsbricka - Google Patents

Förfarande vid montering på ett substrat av en TAB-krets, varvid TAB-strukturens anslutningar utgörs av ett elektriskt ledande anslutningsmönster som framställts på en filmremsa och vilket är anslutet till TAB-strukturens halvledarkretsbricka

Info

Publication number
SE470501B
SE470501B SE9202943A SE9202943A SE470501B SE 470501 B SE470501 B SE 470501B SE 9202943 A SE9202943 A SE 9202943A SE 9202943 A SE9202943 A SE 9202943A SE 470501 B SE470501 B SE 470501B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
substrate
tab structure
tab
connections
connection pattern
Prior art date
Application number
SE9202943A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9202943D0 (sv
SE9202943L (sv
Inventor
Pontus Lundstroem
Guenther Buestrich
Original Assignee
Ericsson Telefon Ab L M
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ericsson Telefon Ab L M filed Critical Ericsson Telefon Ab L M
Priority to SE9202943A priority Critical patent/SE470501B/sv
Publication of SE9202943D0 publication Critical patent/SE9202943D0/sv
Priority to DE4333956A priority patent/DE4333956A1/de
Priority to FR9311910A priority patent/FR2696582B1/fr
Priority to GB9320702A priority patent/GB2272104B/en
Publication of SE9202943L publication Critical patent/SE9202943L/sv
Publication of SE470501B publication Critical patent/SE470501B/sv
Priority to US08/620,950 priority patent/US5728247A/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/86Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using tape automated bonding [TAB]
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/328Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by welding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • H01L2224/818Bonding techniques
    • H01L2224/81801Soldering or alloying
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01005Boron [B]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01006Carbon [C]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01014Silicon [Si]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01019Potassium [K]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01033Arsenic [As]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01057Lanthanum [La]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01058Cerium [Ce]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01082Lead [Pb]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/102Material of the semiconductor or solid state bodies
    • H01L2924/1025Semiconducting materials
    • H01L2924/10251Elemental semiconductors, i.e. Group IV
    • H01L2924/10253Silicon [Si]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1901Structure
    • H01L2924/1904Component type
    • H01L2924/19043Component type being a resistor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19107Disposition of discrete passive components off-chip wires
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3025Electromagnetic shielding
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10431Details of mounted components
    • H05K2201/10439Position of a single component
    • H05K2201/10477Inverted
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10613Details of electrical connections of non-printed components, e.g. special leads
    • H05K2201/10621Components characterised by their electrical contacts
    • H05K2201/10681Tape Carrier Package [TCP]; Flexible sheet connector
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/04Soldering or other types of metallurgic bonding
    • H05K2203/049Wire bonding
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10Methods of surface bonding and/or assembly therefor
    • Y10T156/1002Methods of surface bonding and/or assembly therefor with permanent bending or reshaping or surface deformation of self sustaining lamina
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10Methods of surface bonding and/or assembly therefor
    • Y10T156/1052Methods of surface bonding and/or assembly therefor with cutting, punching, tearing or severing
    • Y10T156/1062Prior to assembly
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/4913Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49147Assembling terminal to base

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Description

2 Dokumentet visar tràdbondning mot TAB-strukturen som ett alternativ till massbondning för halvledarkretsbrickan mot TAB- strukturen.
Redogörelse för uppfinningen Ett ändamål med den föreliggande uppfinningen är att till- handahålla ett förfarande vid användning av kretsar med TAB- struktur som utnyttjar TAB-teknikens möjlighet till rationell utprovning av kretsbrickan före det slutliga applicerandet av kretsbrickan i den slutliga kretskonfigurationen på ett substrat, men genom vilket förfarande kravet på speciella klipp- och bockverktyg liksom speciella termoder undviks vid anslutningen av den speciella TAR-strukturen i den slutliga kretskonfiguratio- nen .
I enlighet med förfarandet enligt den föreliggande uppfinningen klipps TAB-strukturens anslutningsben längs dess fyra sidor, efter testning av kretsbrickan, medelst ett generellt klipp- verktyg, vilket klippverktyg därvid används för olika före- kommande utföringsstorlekar av TAB-strukturen.
Vidare i enlighet med förfarandet enligt den föreliggande uppfinningen limmas därefter kretsbrickan i TAB-strukturen mot substratet i den slutliga kretskonfigurationen, endera genom limning av själva kretsbrickan mot denna och/eller genom limning av den resterande kvarvarande delen av TAB-strukturens avklippta anslutningsben mot substratet, varvid om önskvärt mellanliggande skärmande eller dielektriska skikt enkelt anordnas, och varefter samtliga anslutningar tràdbondas mot substratet med den slutliga kretskonfigurationen enligt gängse använd teknik.
Vidare i enlighet med förfarandet enligt den föreliggande uppfinningen krävs i normalfallet ingen bockning av 'I'AB-struktu- rens anslutningsledare eftersom bockning normalt görs för att få dessa anslutningsledare att fjädra för att ta upp mekaniska spänningsrörelser, varvid i enlighet med förfarandet dessa mekaniska spänningsrörelser även naturligt upptas dels av de i 3 enlighet med förfarandet utförda trådbondningarna för anslut- ningarna av kretsbrickan till kretskonfigurationens substrat och dels genom användning av ett något eftergivligt lim.
I enlighet med förfarandet enligt den föreliggande uppfinningen klipps vid så kallad "face-down"-montering benen för TAB- strukturen så att mycket korta ben återstår mot vilka tråd- bondningen sedan sker mot motsvarande näraliggande bondningsytor på substratet och vilka bondningstrådar därvid anordnas så korta som möjligt, varvid samtidigt tillhandahålls att genom att bondningen sker nära halvledarkretsbrickan erhålls en sub- stratyteinbesparing.
I enlighet med förfarandet enligt den föreliggande uppfinningen klipps benen vid så kallad "face-up"-montering, dvs med dess aktiva sida riktad uppåt, så nära kanten av kretsbrickan som möjligt och trådbondning sker vid anslutningarna på TAB-struktu- rens ovansida över anslutningarna på kiselbrickan.
Genom förfarandet i enlighet med den föreliggande uppfinningen tillhandahålls en möjlighet att använda kretsbrickor med TAB- struktur även vid små produktionsvolymer där investering i olika speciella verktyg är en betydande faktor i produktionskostnaden.
Figurbeskrivning Förfarandet i enlighet med uppfinningen kommer att beskrivas med hjälp av de bifogade ritningarna där lika hänvisningsbeteckningar används för motsvarande element i de olika ritningarna och vilka visar: Fig. la visar i en planvy en typisk utföringsform av en kretsbricka med TAB-struktur med ett etsat anslut- ningsmönster med en mångfald anslutningar anordnade längs kretsbrickans fyra sidor, Fig. lb visar i en planvy TAB-strukturen enligt fig. la efter klippning för montering med den aktiva sidan nedåt, Fig.
Fig.
Fig.
Fig.
Fig.
Fig.
Fig.
Fig. 3b 4a 4b Sa 4 vid så kallad 'face-down'-montering, visar i en planvy TAB-strukturen enligt fig. la efter klippning för montering med den aktiva sidan uppåt, vid så kallad 'face-up'-montering, visar i en planvy TAB-strukturen enligt fig. l efter klippning men med bibehållande av ringen av exempelvis polyimid, visar en sidovy med ett snitt genom kretsbrickan i TAB-strukturen i fig. lb vid montering med den aktiva sidan nedåt och med korta bondningstrådar, visar en sidovy med ett snitt genom kretsbrickan i TAB-strukturen i fig. lc vid montering med den aktiva sidan uppåt, visar en sidovy med ett snitt genom kretsbrickan i TAB-strukturen. vid montering' med den aktiva sidan uppåt och där anslutningsbenen klippts långa och bockats mot substratet och anslutits analogt med sättet visat i fig. 2, visar i förstoring en grundmässig utföringsform av monteringen med den aktiva sidan nedåt enligt fig. 2, visar i förstoring en utföringsform med montering av den aktiva sidan nedåt vid användning av flera skikt för kontaktering, visar en utföringsform motsvarande den visad i fig. 4a men med en bockning av anslutningarna för att erhålla ytterligare fjädring t.ex. vid användning av en kylkropp mot halvledarbrickans baksida, och 5 Fig. 5b visar en utföringsform motsvarande den visad i fig. 4b med exempelvis en extra skärmning vid anslutningarna och vidare med en bockning av anslutningarna för att erhålla ytterligare fjädring t.ex. vid användning av en kylkropp mot halvledarbrickans baksida.
Belvsande beskrivning av förfarandet Till att börja med visas i fig. lA ett exempel på en typisk TAB- struktur betecknad generellt med 1 sedd uppifrån i en plan vy, varvid en halvledarkretsbricka 2 centralt inplacerats vid och anslutits till ett elektriskt ledande anslutningsmönster 3 framställt t. ex. fotografiskt och/eller etsat över en tunn till- räckligt hållfast yta av till exempel polyimid eller liknande plastfilm vilken därvid tjänar som bärare för halvledarkrets- brickan 2. Denna typ av TAB-struktur l uppvisar vidare standard- mässigt öppningar i den bärande filmen med dels en öppning 4 för kretsbrickan 2 och dels öppningar 5 vilka ligger under an- slutningsmönstret 3 och avgränsar en ring av bärmaterialet, av t.ex. polyimid.
I fig lb visas hur anslutningsmönstret 3 för kretsen visad i fig. la klipps en bit från halvledarkretsbrickan 2, lämpligen vid den inre begränsningslinjen av ringen bildad genom öppningarna 4 och 5 i den bärande filmen, för montering av TAB-strukturen 1 på ett substrat i. enlighet med förfarandet enligt den föreliggande uppfinningen för montering med den aktiva sidan nedåt, dvs., så kallad 'face-down'-montering. Vid en klippning längs denna inre begränsningslinjen av ringen mellan öppningarna 4 och 5 kommer en liten bit av anslutningsmönstret 3a att friläggas för anslutning, varvid det även är möjligt att bocka anslutningarna något :mn en sådan montering skulle vara önskvärd. En sådan kretsmontering exemplifieras i fig. 2, vilket är ett centralt snitt genom den klippta kretsen visad i fig lB där ll anger en limklick som håller anslutningarna 3a mot substratet 40 vilket i sin tur uppvisar anslutningsytor 12 mot vilka anslutningarna 3a bondas med bondningstrådar 15. Som limmaterial används 6 lämpligen ett något fjädrande eller eftergivligt material varvid kretsen inte helt stumt vilar på anslutningarna 3a.
På samma sätt visar Fig. lc hur anslutningsmönstret 3 resp. filmen för kretsen visad i fig. la klipps så nära halvledar- kretsbrickan 2 som möjligt, lämpligen vid begränsningslinjen för öppningen 4 i den bärande filmen, för montering av TAB-strukturen 1 på ett substrat i enlighet med förfarandet enligt den före- liggande uppfinningen för montering med den aktiva sidan uppåt, dvs., så kallad 'face-up'-montering. En sådan kretsmontering exemplifieras i fig. 3a, vilket är ett centralt snitt genom den klippta kretsen visad i fig lc där 11 anger en limklick som håller halvledarkretsbrickan 2 mot substratet 40 vilket i sin tur uppvisar anslutningsytor l2 mot vilka anslutningarna 3b vid brickupphöjningarna 10 bondas med bondningstrådar 15 till anslutningsytorna 12 på substratet 40. Som limmaterial används lämpligen ett något fjädrande eller eftergivligt material varvid halvledarkretsbrickan inte helt stumt vilar mot substratet.
I fig. 3b visas en motsvarande montering med så kallad 'faoe-up'- montering där istället anslutningarna 3b klippts längre varvid dessa med ett lämpligt bockningsverktyg bockas ned.mot substratet och med korta bondningstrådar 15 bondas mot kontaktytor 12 på substratet. TAB-kretsen kan exempelvis för denna typ av montering klippas i enlighet med fig. ld varvid en ring av bärfilmen bibe- hålles runt kretsbrickan och anslutningarna klipps i jämnhöjd med den yttre begränsningslinjen av hålen 5 i den bärande filmen. Om önskvärt klipps därvid även de resterande hörbitarna bort så att en helt fyrkantig ring bildas runt kretsbrickan som ett extra stöd för anslutningarna.
Fig. 4a 'visar i förstoring en, grundmässig 'utföringsform av monteringen med den aktiva sidan nedåt, varvid kretsen genom en viss fjädrande verkan av limmassan principiellt ej sitter helt stumt och eventuella små rörelser upptas relativt den elektriska förbindningen mot substratet genom bondningstràdarna 15. I en föredragen utföringsform anordnas ändarna av anslutningarna 3a 7 näraliggande bondningsytorna 12, varvid enrmycket kort bondnings- tråd används för sammankopplingen.
I fig. 4b visas en ytterligare utföringsform av monteringen visad i fig. 4a. Här är anslutningen 3a försedda med en ytterligare ledande skärm 25 mellan anslutningen 3a och substratet. Skärmen 25 är isolerad från anslutningen 3a genom ett isolerande skikt 20, exempelvis ytterligare en tunn plastfilm likande den bärande filmen 4 (Fig. la). Anslutningarna 3a bondas som tidigare med bondningstrådar 15 mot respektive anslutningsytor 12 på sub- stratet medan skärmen 25 ansluts med separata bondningstrådar 16 till kontakteringsytor 13 med lämplig potential på substratet 40. Det är även möjligt att ansluta skärmen 25 via en separat brickupphöjning lOb mot halvledarkretsbrickan 2. Med detta förfarande är det också möjligt att anordna en flerlagrig TAB- anslutning genom dubblering av ledningsmönstret 3 på en flerlag- rig bärfilm 4, varvid anslutningen genom bondningstrådar till substratet enkelt möjliggör detta genom att bondningstrådarna enligt fig. 4b ger enkelt möjligheten till anslutning av bakom varandra liggande anslutningsytor 12 och 13 på substratet 40.
Ytterligare en möjlig utföringsform av montering med den aktiva sidan nedåt visas i fig. 5a. Här bockas dessutom anslutningarna 3a något för att erhålla ytterligare fjädring vid exempelvis anslutning av halvledarkretsbrickans baksida mot en lämplig kylkropp 30. Vid en sådan montering kan förmånligt en klippning av kretsen i enlighet med fig ld användas med extra stöd för anslutningarna genom den i fig. ld omkringliggande ringen av bärarmaterial. På samma sätt visar fig. 5b motsvarande arrange- mang med användning av en skärm 25 analogt med fig. 4b mellan anslutningarna 3a och limklickarna 11 på substratet 40. Skärmen 25 ansluts i detta fall följaktligen på motsvarande sätt som demonstrerats i fig 4b.
Appliceringen av en TAB-struktur i enlighet med förfarandet enligt den föreliggande uppfinningen sker alltså enligt ett tillvägagångssätt beskrivet nedan. Först klipps TAB-strukturen 8 enligt fig. lb, fig. lc eller fig. ld beroende av hur kretsen skall monteras. För klippningen används lämpligen en skäranord- ning med två mot varandra vinkelrätt placerade skäreggar, vilka därvid ger ett skärsnitt med ett 90° hörn. Genom detta förfarande skärs två näraliggande sidor samtidigt och TAB-strukturen behöver inplaceras i endast två olika skärlägen för att åstadkomma en krets skuren enligt fig lb, fig. lc eller fig. ld. De två mot varandra vinkel-räta skäreggarnas längd är därvid oberoende av TAB-kretsens dimensioner, varför ett enda skärverktyg krävs för alla förekommande TAB-strukturer.
Därefter inplaceras kretsbrickan med den skurna TAB-strukturen på substratet med lämpligt lim, som företrädesvis inte stelnar till en helt hård massa, i enlighet med vad som demonstrerats i figurerna 2, 3a, 3b, 4a eller 4b, och beroende av om kretsen monteras med den aktiva sidan uppåt eller nedåt. Om kretsen skall monteras med den aktiva sidan nedåt och med halvledarkrets- brickans baksida mot en. kylkropp är det möjligt att före limningen med ett bockverktyg bocka anslutningarna enligt exempelvis fig 5a. Ett sådant bockverktyg är enkelt att åstad- komma eftersom varje sida av den klippta TAB-strukturen enligt fig. lb eller ld kan separat bockas. För en klippt TAB-struktur enligt fig. ld avlägsnas lämpligen även hörnbitarna enligt ovan varvid ingen film kommer att bockas vilket väsentligt förenklar förfarandet vid bockning och själva bockverktygets bredd blir därmed oberoende av'kretsens bredd- och längddimensioner och.blir alltså generellt användbar för alla kretsar.
Efter det att kretsbrickan. med den klippta TAB-strukturen, alternativt samtliga kretsbrickor, fixerats pà substratet utförs tràdbondningen enligt känt mönster, vilket om önskvärt enkelt tillåter mjukvarustyrning av denna kontakteringsprocess.
Sammanfattningsvis kan uppradas följande fördelar som erhålls genom förfarandet vid montering av kretsbrickor med TAB-struktur med förfaringssättet i enlighet den föreliggande uppfinningen: M (w a) b) c) d) e) f) 9) h) 9 endast ett generellt klippverktyg behövs för många olika storlekar och utföranden av TAB-strukturerna, alla tillgängliga TAB-strukturer enligt standard kan direkt användas, bockning av benen för att få dessa något fjädrande behövs normalt inte, trådbondningen är möjlig att utföras mycket flexibelt genom t.ex. mjukvarustyrning av'bondningsutrustningen, själva bondningspunkterna är enkla att styra, varför inplaceringen av kretsbrickan med TAB-strukturen förenklas jämfört med ordinarie montering av TAB- strukturen där det är viktigt att alla benen träffar substratets bondningskuddar med mycket hög noggrann- het, det är lätt att korrigera eller att ändra varje separat bondning med tråd, mycket god signaltransmission erhålls vid montering av halvledarbrickan med den aktiva ytan nedåt, så kallad 'face-down'-montering, bondning sker mycket nära halvledarkretsbrickan, varför denna krets kommer att kräva litet utrymme på substratet, alla på substratet ingående halvledarkretsbrickor kan limmas som vanliga kretsbrickor och därefter tråd- bondas alla brickorna i en enda sekvens, varvid olika kretsbrickor, dvs inte bara TAB-strukturer, kan bondas i samma process utan användning av flera olika verk- tY9f j) k) 10 kretsbrickor med TAB-struktur* kan. fördelaktigt an- vändas även vid små produktionsnivàer utan fördyrande investeringar i speciella olika verktyg för de respek- tive kretsarna, och förfarandet tillåter utan problem introduktion av framtida utveckling av trådbondning som t. ex. rek- tangulär tråd, andra tràdmaterial för utökade möjlig- heter vid tráddragningen eller andra material för bondningsytorna.

Claims (8)

ll PATENTKRAV
1. Förfarande vid montering på ett substrat av så en kallad TAB- krets vilken företrädesvis levereras på ett löpande underlag i form av ett bärande filmskikt eller en filmremsa, varvid TAB- strukturens anslutningar utgörs av ett elektriskt ledande an- slutningsmönster som framställts på filmremsan och vilket är anslutet till TAB-strukturens halvledarkretsbricka, k ä n n e - t e c k n a t av avskärande av TAB-strukturens bärande filn|och.dess elektriskt ledande anslutningsmönster nära halvledarkretsbrickans sidokan- ter, infästande av halvledarkretsbrickan mot det slutliga sub- stratet genom företrädesvis limning, elektriskt ledande kontaktering av TAB-strukturens resterade mönster på den bärande filmen genom trådbondning mellan detta anslutningsmönster och på substratet motsvarande elektriskt ledande anslutningar.
2. Förfarande enligt krav l, k ä n n e t e c k n a t av att vid limningen. lamineras isolerat ett skärmande skikt mellan substratet och halvledarkretsbrickan och/eller TAB- strukturens resterade mönsteranslutningar på den bärande filmen för skärmad anslutning vid trådbondning av detta anslutnings- mönster, varvid skärmen anslutes genom en separat bondningstråd till lämplig potential på substratet.
3. Förfarande enligt krav 1 eller 2, k ä n n e t e c k n a t av att vid så kallad "face-down"-montering av kretsbrickan med TAB-struktur, dvs med dess aktiva sida riktad nedåt, dess elekt- riskt ledande anslutningsmönster klipps så långt (3a, fig. lb) att det når ut något från kretsbrickan (fig. 2a) och ansluts genom trådbondning mot motsvarande anslutningar (12) på sub- stratet med en bondtråd (15) som därvid företrädesvis görs så kort som möjligt. 12
4. Förfarande enligt krav 1 eller 2, k ä n n e t e c k n a t av att vid så kallad "face-up"-montering av kretsbrickan med TAB- struktur, dvs med dess aktiva sida riktad uppåt, dess elektriska ledande anslutningsmönster klipps så nära halvledarkretsbrickan (2) som möjligt, varvid tràdbondningen. mot motsvarande an- slutningar (12) på substratet sedan sker på det resterade mönstrets ovansida över anslutningen på kiselbrickan (fig. Sa).
5. Förfarande enligt krav l eller 2, k ä n n e t e c k n a t av att vid så kallad "face-up"-montering av kretsbrickan med TAB- struktur, dvs med dess aktiva sida riktad uppåt, dess elektriska ledande anslutningsmönster klipps tillräckligt långa och med eller utan bibehållande av ringen av bärmaterial (fig. ld) för att därefter bockas i riktning ned mot substratet varefter det ansluts genom trådbondning mot motsvarande anslutningar (12) på substratet med en bondtråd (15) som därvid företrädesvis görs så kort som möjligt.
6. Förfarande enligt krav 3, 4 eller 5, k ä n n e t e c k n a t av att limmet som fäster kretsbrickan med TAB-struktur och/eller det ledande anslutningsmönstret är något eftergivligt för att åstadkomma en liten fjädring eller rörlighet exempelvis vid anläggning av halvledarkretsbrickan mot en lämplig kylare.
7. Förfarande enligt krav 3, k ä n n e t e c k n a t av att den del av det elektriskt ledande anslutningsmönstret som sticker ut efter klippningen av TAB-strukturen bockas något före infästning mot substratet för att åstadkomma en liten fjädring eller rörlighet exempelvis vid anläggning av halvledarkrets- brickan mot en lämplig kylare.
8. Förfarande enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a t av att två närstående sidor av TAB-strukturens anslutningsmönster klipps samtidigt genom ett klippverktyg som har en 90° vinklad skäregg.
SE9202943A 1992-10-07 1992-10-07 Förfarande vid montering på ett substrat av en TAB-krets, varvid TAB-strukturens anslutningar utgörs av ett elektriskt ledande anslutningsmönster som framställts på en filmremsa och vilket är anslutet till TAB-strukturens halvledarkretsbricka SE470501B (sv)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9202943A SE470501B (sv) 1992-10-07 1992-10-07 Förfarande vid montering på ett substrat av en TAB-krets, varvid TAB-strukturens anslutningar utgörs av ett elektriskt ledande anslutningsmönster som framställts på en filmremsa och vilket är anslutet till TAB-strukturens halvledarkretsbricka
DE4333956A DE4333956A1 (de) 1992-10-07 1993-10-05 Verfahren zur Anbringung von integrierten Schaltungschips mit TAB-Struktur auf ein Substrat
FR9311910A FR2696582B1 (fr) 1992-10-07 1993-10-06 Procede de montage d'un circuit sur un substrat.
GB9320702A GB2272104B (en) 1992-10-07 1993-10-07 Circuit mounting method
US08/620,950 US5728247A (en) 1992-10-07 1996-03-25 Method for mounting a circuit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9202943A SE470501B (sv) 1992-10-07 1992-10-07 Förfarande vid montering på ett substrat av en TAB-krets, varvid TAB-strukturens anslutningar utgörs av ett elektriskt ledande anslutningsmönster som framställts på en filmremsa och vilket är anslutet till TAB-strukturens halvledarkretsbricka

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9202943D0 SE9202943D0 (sv) 1992-10-07
SE9202943L SE9202943L (sv) 1994-04-08
SE470501B true SE470501B (sv) 1994-06-06

Family

ID=20387415

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9202943A SE470501B (sv) 1992-10-07 1992-10-07 Förfarande vid montering på ett substrat av en TAB-krets, varvid TAB-strukturens anslutningar utgörs av ett elektriskt ledande anslutningsmönster som framställts på en filmremsa och vilket är anslutet till TAB-strukturens halvledarkretsbricka

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5728247A (sv)
DE (1) DE4333956A1 (sv)
FR (1) FR2696582B1 (sv)
GB (1) GB2272104B (sv)
SE (1) SE470501B (sv)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3061017B2 (ja) * 1997-10-31 2000-07-10 日本電気株式会社 集積回路装置の実装構造およびその実装方法
JP4107417B2 (ja) 2002-10-15 2008-06-25 日東電工株式会社 チップ状ワークの固定方法
JP4283596B2 (ja) * 2003-05-29 2009-06-24 日東電工株式会社 チップ状ワークの固定方法
EP2063460A4 (en) * 2006-09-12 2011-08-03 Nitto Denko Corp Dicing / CHIP BOND FILM
US8362609B1 (en) 2009-10-27 2013-01-29 Xilinx, Inc. Integrated circuit package and method of forming an integrated circuit package
US8810028B1 (en) 2010-06-30 2014-08-19 Xilinx, Inc. Integrated circuit packaging devices and methods
JP6238121B2 (ja) * 2013-10-01 2017-11-29 ローム株式会社 半導体装置

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3666588A (en) * 1970-01-26 1972-05-30 Western Electric Co Method of retaining and bonding articles
DE2151765C2 (de) * 1970-11-05 1983-06-16 Honeywell Information Systems Italia S.p.A., Caluso, Torino Verfahren zum Kontaktieren von integrierten Schaltungen mit Beam-Lead-Anschlüssen
JPS5449066A (en) * 1977-09-27 1979-04-18 Nec Corp Semiconductor device
US4620215A (en) * 1982-04-16 1986-10-28 Amdahl Corporation Integrated circuit packaging systems with double surface heat dissipation
JPS59224152A (ja) * 1983-06-03 1984-12-17 Nec Ic Microcomput Syst Ltd 集積回路装置
US4967261A (en) * 1987-07-30 1990-10-30 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Tape carrier for assembling an IC chip on a substrate
FR2629272B1 (fr) * 1988-03-22 1990-11-09 Bull Sa Support de circuit integre de haute densite et appareil d'etamage selectif des conducteurs du support
US5036380A (en) * 1988-03-28 1991-07-30 Digital Equipment Corp. Burn-in pads for tab interconnects
US4903118A (en) * 1988-03-30 1990-02-20 Director General, Agency Of Industrial Science And Technology Semiconductor device including a resilient bonding resin
US4967260A (en) * 1988-05-04 1990-10-30 International Electronic Research Corp. Hermetic microminiature packages
FR2641102B1 (sv) * 1988-12-27 1991-02-22 Ebauchesfabrik Eta Ag
US5002818A (en) * 1989-09-05 1991-03-26 Hughes Aircraft Company Reworkable epoxy die-attach adhesive
JPH03167836A (ja) * 1989-11-28 1991-07-19 Seiko Epson Corp 半導体装置
JPH03227541A (ja) * 1990-02-01 1991-10-08 Hitachi Ltd 半導体装置
US5152054A (en) * 1990-05-25 1992-10-06 Seiko Epson Corporation Method of making film carrier structure for integrated circuit tape automated bonding
US5114880A (en) * 1990-06-15 1992-05-19 Motorola, Inc. Method for fabricating multiple electronic devices within a single carrier structure
US5061988A (en) * 1990-07-30 1991-10-29 Mcdonnell Douglas Corporation Integrated circuit chip interconnect
US5086335A (en) * 1990-07-31 1992-02-04 Hewlett-Packard Company Tape automated bonding system which facilitate repair
JPH04124846A (ja) * 1990-09-14 1992-04-24 Nippon Steel Corp テープキャリヤ
US5140404A (en) * 1990-10-24 1992-08-18 Micron Technology, Inc. Semiconductor device manufactured by a method for attaching a semiconductor die to a leadframe using a thermoplastic covered carrier tape
US5146662A (en) * 1991-12-30 1992-09-15 Fierkens Richard H J Lead frame cutting apparatus for various sized integrated circuit packages and method therefor
US5210936A (en) * 1992-01-06 1993-05-18 Microelectronics And Computer Technology Corporation Method and apparatus for the excise and lead form of TAB devices

Also Published As

Publication number Publication date
FR2696582B1 (fr) 1995-06-30
GB2272104A (en) 1994-05-04
GB2272104B (en) 1996-11-27
SE9202943D0 (sv) 1992-10-07
DE4333956A1 (de) 1994-04-21
US5728247A (en) 1998-03-17
FR2696582A1 (fr) 1994-04-08
SE9202943L (sv) 1994-04-08
GB9320702D0 (en) 1993-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101233751B1 (ko) 마이크로피드 스택 다이 컴포넌트 어셈블리
KR930010086B1 (ko) 반도체 집적회로장치
JPH06103698B2 (ja) 多数の回路要素を取り付けうる両面回路板
SE470501B (sv) Förfarande vid montering på ett substrat av en TAB-krets, varvid TAB-strukturens anslutningar utgörs av ett elektriskt ledande anslutningsmönster som framställts på en filmremsa och vilket är anslutet till TAB-strukturens halvledarkretsbricka
JPH0513504A (ja) 垂直半導体相互接続方法及び構成体
USH1267H (en) Integrated circuit and lead frame assembly
US5406119A (en) Lead frame
US5113580A (en) Automated chip to board process
US20020153619A1 (en) Semiconductor chip having pads with plural junctions for different assembly methods
US5086335A (en) Tape automated bonding system which facilitate repair
JPS62104056A (ja) 半導体部品の実装構造
KR910019222A (ko) 고집적 반도체 장치 및 이를 사용한 반도체 모듈
JP2004104122A (ja) 半導体デバイス
JPH04129250A (ja) 薄型混成集積回路基板
KR970024055A (ko) 동시에 절단된 반도체 칩을 이용한 고밀도 실장형 패키지 및 그 제조 방법
JPS62134957A (ja) 半導体装置
JPS6225444A (ja) 連続配線基板
JP4229086B2 (ja) 半導体装置
KR100301096B1 (ko) 반도체 디바이스 및 그 제조방법
KR0134479Y1 (ko) 기판고정이 용이한 히트싱크
JPH0714938A (ja) 混成集積回路装置
JPH0346504Y2 (sv)
JPH04359464A (ja) 半導体装置
JPH10335370A (ja) 電子部品搭載用基板
JPH06349981A (ja) 樹脂封止型半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
NAL Patent in force

Ref document number: 9202943-8

Format of ref document f/p: F

NUG Patent has lapsed

Ref document number: 9202943-8

Format of ref document f/p: F