SE465845B - Maetarrangemang foer optisk och mekanisk uppmaetning av ett maetobjekt - Google Patents
Maetarrangemang foer optisk och mekanisk uppmaetning av ett maetobjektInfo
- Publication number
- SE465845B SE465845B SE9001066A SE9001066A SE465845B SE 465845 B SE465845 B SE 465845B SE 9001066 A SE9001066 A SE 9001066A SE 9001066 A SE9001066 A SE 9001066A SE 465845 B SE465845 B SE 465845B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- measuring
- measurement
- probe
- optical
- arrangement
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 17
- 238000011326 mechanical measurement Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title abstract description 10
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
465 845 10 15 20 25 30 35 fig. 4 visar en schematisk perspektivvy av' en fjärde 'utfö- ringsform av ett mätarrangemang enligt uppfinningen.
Fig. 1 visar en användning av en sond av mekanisk typ. som kan ge indikering i åtminstone en riktning, när sonden är förd till anliggning mot ett föremål, tillsammans med en optisk som undersöker avståndet till ett x.y-mätbord 1 genonx att med en lins 2 mot x,y-bordet fokusera ett strål- knippe från en enkel laseravståndsmätare 3 med fokuseringsjus- tering av den typ, som finns i en del kameror. För fokusering- mätanordning. en behövs framför allt randstrålarna i ljuspaketet, vilka ger en bättre, dvs skarpare, fokusering än de lågt vinklade, cen- trala strålarna. injusteras medelst en lins- hållardel 31, som är rörlig i z-riktningen. Mekaniska sonder med anliggningindikering är välkända och kan exempelvis vara av den typ, som används i CORDIMATIC-maskiner marknadsförde av JOHANSSON, svenska Fokuseringen det svenska företaget C. I. eller av den typ. som beskrivs i den 9001064-6. samlöpande patentansökningen nr Enligt en första utföringsform av uppfinningen kan då den fokuserande linsen 2 förses med ett centralt genomgående hål 4, och en sond 5 av den ovan beskrivna typen placeras så, att dess stav 6 med mätspets 7 går genom hålet 4. Därigenom blir sonden 5 helt centralt placerad i. den optiska mätanordningen sonden kan då sänkas ner för att ge mekanisk uppmätning av objektet med hjälp av en som ger noggrannt bestämbart avstånd i förhållande till laseravståndsmätaren 3. Dylika drivenheter är välkända inom tekniken och behöver därför inte beskrivas när- utan att den skymmer för fokuseringen. drivenhet (icke visad), mare. Eftersom avståndet mellan mätspetsen 7 och sondhuvudet 5 liksom mellan sondhuvudet 5 och avståndsmätarhuvudet 3 är kän- da kan fokuseringspunkten bestämmas noggrannt med den mekanis- ka mätningen och injustering av fokuseringspunkten ske ytterst när mekanisk mätning sker genom nedsänkning av son- den 5. Det noggranna mätresultatet kan också utnyttjas för att noggrant, kalibrera den optiska avståndsmätaren, varigenom efterföljande beröringsfri mätning med enbart den optiska enheten 3 och den mekaniska sonden i upplyftat läge får förhöjd noggrannhet. 10 15 465 845 Kombínationsarrangemanget med en optisk mätanordning kan utfö- ras i ett flertal varianter. I fig. 2 visas sondens huvud 8 placerad utanför ljusknippet från enheten 3 och försedd med en krökt mätstav 9, som ansluter till den utmed 2-axeln genom det centrala hålet 4 i linsen löpande del 6' av staven med mät- kulan 7'.
Fig. 3 visar ett vid sidan av' det optiska mätarrangemanget placerat sondhuvud 10 med en krökt avkänningsstav 11 med en under linsen placerad axíell del 6" med måtkula 7".
Fig. 4 visar att det vid sidan placerade sondhuvudet 12 även kan vara förbundet med mätkulan 13 med en snedställd och av- böjd stav 14. Den snedställda staven kan även ha mätkulan di- rekt på sin ände (icke visat).
Många modifieringar är möjliga inom ramen för uppfinningen.
Claims (4)
1. Mätarrangemang för optisk och mekanisk uppmätning av ett mätobjekt (3,2,3l) med en linsenhet (2) och arrangemang (31) för att ge fokusering på mätobjektet och en mekanisk sond (5,6,7) för innefattande en optisk avstândsgivníngsenhet uppmätníng av mätobjektets läge, k ä n n e t e c k n a t av att sonden har en mätspets (7), som vid mekanisk mätning mot objektet är förskjutbar mot mätobjektet utmed linsenhetens op- tiska axel och däremellan är placerad på optiska axeln retar- derat från objektet.
2. Mätarrangemang enligt krav 1, k å n n e t e c k n a t av att hela sonden är placerad på den optiska axeln (fig. 1).
3. Mätarrangemang enligt krav 2, k ä n n e t e c k n a t av att mätspetsen är placerad på en stav (6,6'), vilken löper ge- nom ett centralt genomgäende hål (4) i linsenheten (2), och att sondens huvud (5) är placerad på motstâende ände om staven mot mätspetsen (7) och placerad nära linsenheten (fig. 1).
4. Mätarrangemang enligt krav 1. k ä n n e t e c k n a t av att själva sondhuvudet (8: 10; 12) är placerat bredvid det op- tiska arrangemanget och är förenat med sin mätspets (7', 7", 13) med en arm (9: 11; 14), som är antingen rak eller vinklad på minst ett ställe (fig. 2, 3, 4).
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9001066A SE465845B (sv) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | Maetarrangemang foer optisk och mekanisk uppmaetning av ett maetobjekt |
US07/924,008 US5326982A (en) | 1990-03-23 | 1991-03-22 | Analogue displacement sensor |
EP91907121A EP0521092B1 (en) | 1990-03-23 | 1991-03-22 | Analogue displacement sensor |
DE69127277T DE69127277T2 (de) | 1990-03-23 | 1991-03-22 | Analoger abweichungssensor |
JP3506528A JPH05505240A (ja) | 1990-03-23 | 1991-03-22 | アナログ型変位センサ |
PCT/SE1991/000224 WO1991014923A1 (en) | 1990-03-23 | 1991-03-22 | Analogue displacement sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9001066A SE465845B (sv) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | Maetarrangemang foer optisk och mekanisk uppmaetning av ett maetobjekt |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE9001066D0 SE9001066D0 (sv) | 1990-03-23 |
SE9001066A SE9001066A (sv) | 1991-09-24 |
SE465845B true SE465845B (sv) | 1991-11-04 |
Family
ID=20378973
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE9001066A SE465845B (sv) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | Maetarrangemang foer optisk och mekanisk uppmaetning av ett maetobjekt |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SE (1) | SE465845B (sv) |
-
1990
- 1990-03-23 SE SE9001066A patent/SE465845B/sv not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE9001066D0 (sv) | 1990-03-23 |
SE9001066A (sv) | 1991-09-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3749500A (en) | Optical caliper and edge detector-follower for automatic gaging | |
JP2663560B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JPH0516954B2 (sv) | ||
KR20080067285A (ko) | 척 테이블에 유지된 피가공물의 계측 장치 및 레이저가공기 | |
EP0282549A4 (en) | Laser probe | |
SE508228C2 (sv) | Anordning för detektering och beräkning av en laserstråles fokusläge, form och effektfördelning | |
JP5220081B2 (ja) | 撮像式工具測定装置および撮像式工具測定における刃先進入検出方法 | |
EP0234562A2 (en) | Displacement sensor | |
SE465845B (sv) | Maetarrangemang foer optisk och mekanisk uppmaetning av ett maetobjekt | |
US3263087A (en) | Electro-optical distance gage | |
US4306811A (en) | Device for contactless measurement of dimensions | |
JPH06190578A (ja) | レーザー加工装置 | |
EP0019941B1 (en) | Reduction projection aligner system | |
JP3413503B2 (ja) | 変位検出装置 | |
JP2001198690A (ja) | レーザ加工装置 | |
JPH06213635A (ja) | 実装済みプリント基板の検査装置 | |
JP2020104168A (ja) | 光学調整装置および光学調整方法 | |
US3597092A (en) | Instrument for measuring a projected distance | |
JPH0745116B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2638356B2 (ja) | 集光スポット同軸度測定装置 | |
JPH0552517A (ja) | スペツクル変位計 | |
JPH0236082Y2 (sv) | ||
JP2591504B2 (ja) | 高さ測定装置 | |
JP2002148074A (ja) | 光学式位置検出装置 | |
JPH01213557A (ja) | リード検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 9001066-1 Effective date: 19941010 Format of ref document f/p: F |