JPH0552517A - スペツクル変位計 - Google Patents
スペツクル変位計Info
- Publication number
- JPH0552517A JPH0552517A JP21694191A JP21694191A JPH0552517A JP H0552517 A JPH0552517 A JP H0552517A JP 21694191 A JP21694191 A JP 21694191A JP 21694191 A JP21694191 A JP 21694191A JP H0552517 A JPH0552517 A JP H0552517A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement
- target object
- speckle
- dimensional image
- image sensor
- Prior art date
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 一次元イメージセンサーの動作速度を低下さ
せることなく、然も対象物体の主変位方向とは直交する
多少の変位成分に拘らず、主変位方向の変位量を高い感
度で測定できるスペックル変位計を提供する。 【構成】 レーザビーム源から対象物体(４)へ至る光路
中に、ビーム照射面(41)上に形成されるビームスポット
(７)の外形を対象物体の主変位方向に長い矩形状或いは
楕円状に整形するためのスリット板(５)、或いはシリン
ドリカルレンズをを配置している。
せることなく、然も対象物体の主変位方向とは直交する
多少の変位成分に拘らず、主変位方向の変位量を高い感
度で測定できるスペックル変位計を提供する。 【構成】 レーザビーム源から対象物体(４)へ至る光路
中に、ビーム照射面(41)上に形成されるビームスポット
(７)の外形を対象物体の主変位方向に長い矩形状或いは
楕円状に整形するためのスリット板(５)、或いはシリン
ドリカルレンズをを配置している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を照射した物
体表面からの拡散光によって生じるスペックルパターン
を利用して、物体の移動量、変形量、移動速度、加速度
等(以下、変位量と総称する)を測定するスペックル変位
計に関するものである。
体表面からの拡散光によって生じるスペックルパターン
を利用して、物体の移動量、変形量、移動速度、加速度
等(以下、変位量と総称する)を測定するスペックル変位
計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体レーザから出射されるレー
ザビームを対象物体に照射し、該物体表面からの拡散光
によって生じるスペックルパターンを検知し、物体の移
動、変形に伴うスペックルパターンの変化に基づいて、
物体の変位量を測定するスペックル変位計が知られてい
る(特公昭59-52963号)。
ザビームを対象物体に照射し、該物体表面からの拡散光
によって生じるスペックルパターンを検知し、物体の移
動、変形に伴うスペックルパターンの変化に基づいて、
物体の変位量を測定するスペックル変位計が知られてい
る(特公昭59-52963号)。
【０００３】図７はスペックル変位計の構成例を示して
おり、半導体レーザ(１)からのレーザ光は、コリメータ
レンズ(２)を経て平行レーザビーム(11)に整形され、対
象物体(４)に照射される。対象物体(４)からの反射光
は、ＣＣＤ等の受光素子の配列からなる一次元イメージ
センサー(３)にて検知される。
おり、半導体レーザ(１)からのレーザ光は、コリメータ
レンズ(２)を経て平行レーザビーム(11)に整形され、対
象物体(４)に照射される。対象物体(４)からの反射光
は、ＣＣＤ等の受光素子の配列からなる一次元イメージ
センサー(３)にて検知される。
【０００４】一次元イメージセンサー(３)は、図８に示
すタイミング発生器(95)からバッファアンプ(96)を経て
送られてくるリセット信号、スタート信号及びシフト信
号によってＣＣＤ配列方向の走査を一定周期で繰り返し
つつ、対象物体(４)からの反射光を光電変換する。一次
元イメージセンサー(３)の出力信号は、初段アンプ(９)
を介してサンプルホールド回路(91)へ接続され、これに
よってＣＣＤ特有のノイズが除去される。
すタイミング発生器(95)からバッファアンプ(96)を経て
送られてくるリセット信号、スタート信号及びシフト信
号によってＣＣＤ配列方向の走査を一定周期で繰り返し
つつ、対象物体(４)からの反射光を光電変換する。一次
元イメージセンサー(３)の出力信号は、初段アンプ(９)
を介してサンプルホールド回路(91)へ接続され、これに
よってＣＣＤ特有のノイズが除去される。
【０００５】サンプルホールド回路(91)の出力信号はゲ
イン制御アンプ(92)を経て２値化回路(93)へ送られ、こ
れによってイメージ信号が２値化され、更に該２値化信
号は相関器(94)へ送られて、対象物体の基準位置におけ
るスペックルパターンと物体変位後のスペックルパター
ンとの相互相関関数が、前記基準位置をずらしながら順
次計算され、この結果がマイクロコンピュータ(図示省
略)へ送られて、物体の変位量が算出されるのである。
尚、バッファアンプ(96)、サンプルホールド回路(91)、
２値化回路(93)及び相関器(94)はタイミング発生器(95)
から供給されるタイミング信号によって夫々動作が制御
されている。
イン制御アンプ(92)を経て２値化回路(93)へ送られ、こ
れによってイメージ信号が２値化され、更に該２値化信
号は相関器(94)へ送られて、対象物体の基準位置におけ
るスペックルパターンと物体変位後のスペックルパター
ンとの相互相関関数が、前記基準位置をずらしながら順
次計算され、この結果がマイクロコンピュータ(図示省
略)へ送られて、物体の変位量が算出されるのである。
尚、バッファアンプ(96)、サンプルホールド回路(91)、
２値化回路(93)及び相関器(94)はタイミング発生器(95)
から供給されるタイミング信号によって夫々動作が制御
されている。
【０００６】斯種スペックル変位計によれば、例えば一
方向に搬送される物体の移動距離を高精度に測定出来
る。
方向に搬送される物体の移動距離を高精度に測定出来
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、一般に移動
物体は、振動等の原因によって、測定すべき一方向(主
変位方向)の移動のみならず、主変位方向とは直交する
方向にも僅かな移動を伴うから、一次元イメージセンサ
ー上のスペックルパターンは、受光素子の配列方向とは
直交する向きにも移動することになり、この移動距離が
大きくなると、主変位方向の移動距離とは無関係にスペ
ックパターンが変化して、測定精度が著しく低下し、場
合によっては不能に陥る虞れがある。
物体は、振動等の原因によって、測定すべき一方向(主
変位方向)の移動のみならず、主変位方向とは直交する
方向にも僅かな移動を伴うから、一次元イメージセンサ
ー上のスペックルパターンは、受光素子の配列方向とは
直交する向きにも移動することになり、この移動距離が
大きくなると、主変位方向の移動距離とは無関係にスペ
ックパターンが変化して、測定精度が著しく低下し、場
合によっては不能に陥る虞れがある。
【０００８】そこで、従来は、一次元イメージセンサー
を構成する各受光素子の形状を、その配列方向とは直交
する向きに長い短冊状に形成して、スペックルパターン
が主変位方向とは直交する方向へ僅かに移動した場合で
も、該移動による一次元イメージセンサー上のスペック
ルパターンの変化を最小限に抑えて、測定精度を維持し
ていた(雑誌「オプトエレクロニスクス」1988年No.9、1
21頁)。
を構成する各受光素子の形状を、その配列方向とは直交
する向きに長い短冊状に形成して、スペックルパターン
が主変位方向とは直交する方向へ僅かに移動した場合で
も、該移動による一次元イメージセンサー上のスペック
ルパターンの変化を最小限に抑えて、測定精度を維持し
ていた(雑誌「オプトエレクロニスクス」1988年No.9、1
21頁)。
【０００９】しかしながら、これによって一次元イメー
ジセンサーの動作速度が低下するばかりでなく、スペッ
クルパターンが受光素子の長手方向に平滑化されて、ス
ペックルパターンの主変位方向のコントラストが低下
し、測定感度が落ちる問題を生じていた。
ジセンサーの動作速度が低下するばかりでなく、スペッ
クルパターンが受光素子の長手方向に平滑化されて、ス
ペックルパターンの主変位方向のコントラストが低下
し、測定感度が落ちる問題を生じていた。
【００１０】本発明の目的は、一次元イメージセンサー
の動作速度を低下させることなく、然も対象物体の主変
位方向とは直交する多少の変位成分に拘らず、主変位方
向の変位量を高い感度で測定できるスペックル変位計を
提供することである。
の動作速度を低下させることなく、然も対象物体の主変
位方向とは直交する多少の変位成分に拘らず、主変位方
向の変位量を高い感度で測定できるスペックル変位計を
提供することである。
【００１１】
【課題を解決する為の手段】本発明に係るスペックル変
位計は、レーザビーム源から対象物体へ至る光路中に、
ビーム照射面上に形成されるビームスポット(７)の外形
を対象物体の主変位方向に長い矩形状或いは楕円状に整
形するビームスポット整形手段を配置したものである。
ビームスポット整形手段としては、例えば、主変位方向
に細長いスリットを有するスリット板やシリンドリカル
レンズが採用可能である。
位計は、レーザビーム源から対象物体へ至る光路中に、
ビーム照射面上に形成されるビームスポット(７)の外形
を対象物体の主変位方向に長い矩形状或いは楕円状に整
形するビームスポット整形手段を配置したものである。
ビームスポット整形手段としては、例えば、主変位方向
に細長いスリットを有するスリット板やシリンドリカル
レンズが採用可能である。
【００１２】
【作用】対象物体のビーム照射面上のビームスポット
が、対象物体の主変位方向に長く、主変位方向とは直交
する方向には短い矩形状或いは楕円状に整形されること
によって、該ビームスポットに応じて観測面に表われる
スペックルは、対象物体の主変位方向に短く、主変位方
向とは直交する方向には長い楕円状となる。従って、測
定中にスペックルパターンが主変位方向とは直交する方
向へ移動したとしても、該移動距離が、スペックルパタ
ーンを構成するスペックルの長手方向の外径よりも小さ
ければ、一次元イメージセンサーの検知可能範囲に含ま
れるスペックルパターン、即ち一次元イメージセンサー
の検知信号に大きな変化はなく、スペックパターンの主
変位方向の明暗変化が高いコントラストで検知される。
が、対象物体の主変位方向に長く、主変位方向とは直交
する方向には短い矩形状或いは楕円状に整形されること
によって、該ビームスポットに応じて観測面に表われる
スペックルは、対象物体の主変位方向に短く、主変位方
向とは直交する方向には長い楕円状となる。従って、測
定中にスペックルパターンが主変位方向とは直交する方
向へ移動したとしても、該移動距離が、スペックルパタ
ーンを構成するスペックルの長手方向の外径よりも小さ
ければ、一次元イメージセンサーの検知可能範囲に含ま
れるスペックルパターン、即ち一次元イメージセンサー
の検知信号に大きな変化はなく、スペックパターンの主
変位方向の明暗変化が高いコントラストで検知される。
【００１３】
【発明の効果】本発明に係るスペックル変位計によれ
ば、一次元イメージセンサーの各受光素子を従来の如き
短冊状に形成することなく、従って一次元イメージセン
サーの高速動作を維持したまま、対象物体の主変位方向
とは直交する多少の変位成分に拘らず、主変位方向の変
位量を高感度に測定出来る。
ば、一次元イメージセンサーの各受光素子を従来の如き
短冊状に形成することなく、従って一次元イメージセン
サーの高速動作を維持したまま、対象物体の主変位方向
とは直交する多少の変位成分に拘らず、主変位方向の変
位量を高感度に測定出来る。
【００１４】
【実施例】図１は本発明の第１実施例を示し、図２は本
発明の第２実施例を示している。尚、何れの実施例と
も、対象物体(４)の主変位方向を図中のＸ軸方向に設定
している。又、一次元イメージセンサー(３)は、図４に
示す様に、幅Ｗ(十数μm)のＣＣＤ(31)を一定ピッチＰ
(十数μm)で多数個(例えばＮ＝２５６、５１２或いは１
０２４個)配列して構成したものである。
発明の第２実施例を示している。尚、何れの実施例と
も、対象物体(４)の主変位方向を図中のＸ軸方向に設定
している。又、一次元イメージセンサー(３)は、図４に
示す様に、幅Ｗ(十数μm)のＣＣＤ(31)を一定ピッチＰ
(十数μm)で多数個(例えばＮ＝２５６、５１２或いは１
０２４個)配列して構成したものである。
【００１５】第１実施例においては、従来と同一構成の
半導体レーザ及び光学系(図示省略)から送られてくる平
行レーザビーム(11)を、図１に示す如きスリット板(５)
のスリット(51)によって絞り、ビーム照射面(41)上に
は、Ｘ軸方向の長さＡxが略２ｍｍ、Ｙ軸方向の幅Ａyが
略０.３ｍｍの矩形のビームスポット(７)を形成する。
半導体レーザ及び光学系(図示省略)から送られてくる平
行レーザビーム(11)を、図１に示す如きスリット板(５)
のスリット(51)によって絞り、ビーム照射面(41)上に
は、Ｘ軸方向の長さＡxが略２ｍｍ、Ｙ軸方向の幅Ａyが
略０.３ｍｍの矩形のビームスポット(７)を形成する。
【００１６】一方、第２実施例においては、平行レーザ
ビーム(11)を図２に示す如きシリンドリカルレンズ(６)
を用いてＹ軸方向に集光することによって、第１実施例
と同じ寸法形状のビームスポット(７)を形成している。
ビーム(11)を図２に示す如きシリンドリカルレンズ(６)
を用いてＹ軸方向に集光することによって、第１実施例
と同じ寸法形状のビームスポット(７)を形成している。
【００１７】一般に、一次元イメージセンサー(3)上で
のスペックルのＸ軸方向の径Ｄx及びＹ軸方向の径Ｄy
は、λをレーザ光の波長、Ｌ0をビーム照射面(41)から
一次元イメージセンサー(３)までの距離として、次の数
１及び数２によって表わされる。
のスペックルのＸ軸方向の径Ｄx及びＹ軸方向の径Ｄy
は、λをレーザ光の波長、Ｌ0をビーム照射面(41)から
一次元イメージセンサー(３)までの距離として、次の数
１及び数２によって表わされる。
【数１】Ｄx＝２λＬ0／Ａx
【数２】Ｄy＝２λＬ0／Ａy
【００１８】即ち、一次元イメージセンサー(３)上の１
つのスペックルは、図５に実線で示す如くＹ軸方向に長
い楕円状となり、上記第１及び第２実施例の場合、Ｙ軸
方向の径ＤyはＸ軸方向の径Ｄxの数倍の長さとなる。
つのスペックルは、図５に実線で示す如くＹ軸方向に長
い楕円状となり、上記第１及び第２実施例の場合、Ｙ軸
方向の径ＤyはＸ軸方向の径Ｄxの数倍の長さとなる。
【００１９】スリット板(５)或いはシリンドリカルレン
ズ(６)を配置していない従来のスペックル変位計では、
一次元イメージセンサー上のスペックルが、図５に破線
で示す如く直径Ｄxの略円形となっており、これに対し
て、本発明では、Ｙ軸方向へ１０倍に引き伸ばされた縦
長のスペックル形状となる。
ズ(６)を配置していない従来のスペックル変位計では、
一次元イメージセンサー上のスペックルが、図５に破線
で示す如く直径Ｄxの略円形となっており、これに対し
て、本発明では、Ｙ軸方向へ１０倍に引き伸ばされた縦
長のスペックル形状となる。
【００２０】従って、対象物体(４)がＸ軸方向に移動す
る場合、一次元イメージセンサー(３)上のスペックルパ
ターンがＹ軸方向の径Ｄyの長さ範囲内でＹ軸方向へ移
動したとしても、一次元イメージセンサー(３)にて検知
され得るスペックルパターンには殆ど変化は生じない。
る場合、一次元イメージセンサー(３)上のスペックルパ
ターンがＹ軸方向の径Ｄyの長さ範囲内でＹ軸方向へ移
動したとしても、一次元イメージセンサー(３)にて検知
され得るスペックルパターンには殆ど変化は生じない。
【００２１】尚、上記スペックル変位計において、高い
測定精度を得るためには、ビーム照射面(41)上のビーム
スポット(７)のＸ軸方向の長さＡxが、該ビームスポッ
トによって形成されるスペックルパターンの相関をとる
ことが出来る程度に長く、且つ一次元イメージセンサー
(３)上のスペックルのＸ軸方向の径Ｄxが一次元イメー
ジセンサー(３)のＣＣＤ(31)の配列ピッチＰよりも大き
いことが必要である。又、ビーム照射面(41)上のビーム
スポット(７)のＹ軸方向の長さＡy、及び一次元イメー
ジセンサー(３)上のスペックルのＹ軸方向の径Ｄyは夫
々、一次元イメージセンサー(３)のＣＣＤ(31)の幅Ｗよ
りも十分に大きいことが必要である。
測定精度を得るためには、ビーム照射面(41)上のビーム
スポット(７)のＸ軸方向の長さＡxが、該ビームスポッ
トによって形成されるスペックルパターンの相関をとる
ことが出来る程度に長く、且つ一次元イメージセンサー
(３)上のスペックルのＸ軸方向の径Ｄxが一次元イメー
ジセンサー(３)のＣＣＤ(31)の配列ピッチＰよりも大き
いことが必要である。又、ビーム照射面(41)上のビーム
スポット(７)のＹ軸方向の長さＡy、及び一次元イメー
ジセンサー(３)上のスペックルのＹ軸方向の径Ｄyは夫
々、一次元イメージセンサー(３)のＣＣＤ(31)の幅Ｗよ
りも十分に大きいことが必要である。
【００２２】ところでシリンドリカルレンズ(６)を用い
た上記第２実施例によれば、スペックル径の縦横比の調
整による上述の効果のみならず、後述の効果が得られ
る。
た上記第２実施例によれば、スペックル径の縦横比の調
整による上述の効果のみならず、後述の効果が得られ
る。
【００２３】一般に、図６の如くレーザビームが対象物
体(４)のビーム照射面(41)に対して角度θsにて入射
し、拡散反射光が角度θ0で一次元イメージセンサー
(３)へ向かって出射している光学系において、レーザビ
ーム焦点位置とビーム照射位置との距離をＬs、対象物
体(４)の移動距離をＸ1とすると、一次元イメージセン
サー(３)上でのスペックルパターンの移動距離Ｘ2は数
３で表わされる。
体(４)のビーム照射面(41)に対して角度θsにて入射
し、拡散反射光が角度θ0で一次元イメージセンサー
(３)へ向かって出射している光学系において、レーザビ
ーム焦点位置とビーム照射位置との距離をＬs、対象物
体(４)の移動距離をＸ1とすると、一次元イメージセン
サー(３)上でのスペックルパターンの移動距離Ｘ2は数
３で表わされる。
【数３】 Ｘ2＝｛(Ｌ0・cos2θs／Ｌs・cosθ0)＋cosθ0｝・Ｘ1
【００２４】ここで、上記第２実施例において、図３の
如くシリンドリカルレンズ(６)の焦点Ｐをビーム照射面
(41)の後方に設け、例えばＬ0／Ｌs≒−１、θ0≒０、
θs≒０に設定した場合を考えると、上記数３から、Ｙ
軸方向の移動感度Ａ＝Ｘ2／Ｘ1は略零となり、Ｙ軸方向
へ対象物体(４)が移動しても、一次元イメージセンサー
(３)上のスペックルパターンはＹ軸方向へは殆ど移動し
ないこととなる。
如くシリンドリカルレンズ(６)の焦点Ｐをビーム照射面
(41)の後方に設け、例えばＬ0／Ｌs≒−１、θ0≒０、
θs≒０に設定した場合を考えると、上記数３から、Ｙ
軸方向の移動感度Ａ＝Ｘ2／Ｘ1は略零となり、Ｙ軸方向
へ対象物体(４)が移動しても、一次元イメージセンサー
(３)上のスペックルパターンはＹ軸方向へは殆ど移動し
ないこととなる。
【００２５】これに対し、Ｘ軸方向については、平行レ
ーザビーム(11)が入射している場合と同等であって、Ｌ
sは無限大と考えられるから、上記数３から、Ｘ軸方向
の移動感度Ａは１となり、対象物体(４)の移動に伴って
一次元イメージセンサー(３)上のスペックルパターンも
同一速度で移動することになる。
ーザビーム(11)が入射している場合と同等であって、Ｌ
sは無限大と考えられるから、上記数３から、Ｘ軸方向
の移動感度Ａは１となり、対象物体(４)の移動に伴って
一次元イメージセンサー(３)上のスペックルパターンも
同一速度で移動することになる。
【００２６】即ち、上記第２実施例によれば、対象物体
(４)の主変位方向とは直交する方向の変位に伴うスペッ
クルパターンの同方向の移動感度を低下させることによ
り、対象物体の主変位方向とは直交する多少の変位成分
の影響を打ち消すことが出来、この結果、主変位方向の
変位量を更に高精度で測定出来るのである。
(４)の主変位方向とは直交する方向の変位に伴うスペッ
クルパターンの同方向の移動感度を低下させることによ
り、対象物体の主変位方向とは直交する多少の変位成分
の影響を打ち消すことが出来、この結果、主変位方向の
変位量を更に高精度で測定出来るのである。
【００２７】尚、シリンドリカルレンズ(６)を用いる場
合、シリンドリカルレンズ(６)の向きを図２とは９０度
異なる垂直姿勢に設定し、且つ該シリンドリカルレンズ
(６)の焦点位置をビーム照射面(41)よりも手前に設け
て、Ｘ軸方向の測定感度をＹ軸方向よりも上げることに
よって、上記同様の効果を得ることも可能である。この
場合も、シリンドリカルレンズ(６)とビーム照射面(41)
との距離を調整して、ビーム照射面(41)上のビームスポ
ット(７)は図２の如く横長に整形する。
合、シリンドリカルレンズ(６)の向きを図２とは９０度
異なる垂直姿勢に設定し、且つ該シリンドリカルレンズ
(６)の焦点位置をビーム照射面(41)よりも手前に設け
て、Ｘ軸方向の測定感度をＹ軸方向よりも上げることに
よって、上記同様の効果を得ることも可能である。この
場合も、シリンドリカルレンズ(６)とビーム照射面(41)
との距離を調整して、ビーム照射面(41)上のビームスポ
ット(７)は図２の如く横長に整形する。
【００２８】上記実施例の説明は、本発明を説明するた
めのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を限定
し、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。又、本
発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求の範囲
に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能であることは
勿論である。
めのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を限定
し、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。又、本
発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求の範囲
に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能であることは
勿論である。
【図１】本発明に係るスペックル変位計の第１実施例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図２】本発明に係るスペックル変位計の第２実施例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図３】第２実施例における光学系を説明する図であ
る。
る。
【図４】一次元イメージセンサーの構成を示す図であ
る。
る。
【図５】ビームスポットの形状を示す図である。
【図６】対象物体の移動距離と一次元イメージセンサー
上のスペックルパターンの移動距離との一般的な関係を
説明する光学系を示す図である。
上のスペックルパターンの移動距離との一般的な関係を
説明する光学系を示す図である。
【図７】スペックル変位計の概略構成を示す斜視図であ
る。
る。
【図８】スペックル変位計の回路構成を示すブロック図
である。
である。
(３) 一次元イメージセンサー (４) 対象物体 (５) スリット板 (６) シリンドリカルレンズ (41) ビーム照射面 (７) ビームスポット
Claims (1)
- 【請求項１】 対象物体の表面にレーザビームを照射
し、該照射面に対向した観測面に表われるスペックルパ
ターンを受光してイメージ信号に光電変換し、該イメー
ジ信号の変化に基づいて対象物体の変位量を測定するス
ペックル変位計において、レーザビーム源から対象物体
へ至る光路中に、ビーム照射面上に形成されるビームス
ポット(７)の外形を対象物体の主変位方向に長い矩形状
或いは楕円状に整形するビームスポット整形手段を配置
したことを特徴とするスペックル変位計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21694191A JPH0552517A (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | スペツクル変位計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21694191A JPH0552517A (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | スペツクル変位計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0552517A true JPH0552517A (ja) | 1993-03-02 |
Family
ID=16696335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21694191A Withdrawn JPH0552517A (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | スペツクル変位計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0552517A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1160538A1 (en) * | 2000-06-01 | 2001-12-05 | Mitutoyo Corporation | Speckle-image-based optical position transducer having improved mounting and directional sensitivities |
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| EP1617173A2 (en) | 2004-07-13 | 2006-01-18 | Mitutoyo Corporation | System and method for improving accuracy in a speckle-based image correlation displacement sensor |
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