JP2688343B2

JP2688343B2 - ウェッブまたはシートのエッジの位置の測定方法および測定装置

Info

Publication number: JP2688343B2
Application number: JP7321964A
Authority: JP
Inventors: ゲオルクシェーデヨハネス; ロルフシュヴィツキーフォルクマール
Original assignee: Koenig and Bauer AG
Current assignee: Koenig and Bauer AG
Priority date: 1994-12-10
Filing date: 1995-12-11
Publication date: 1997-12-10
Anticipated expiration: 2015-12-11
Also published as: JPH08219715A; EP0716287A3; EP0716287A2; EP0716287B1; US5724150A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、請求項１の上位概
念による、ウェッブまたはシートのエッジの位置の測定
方法およびこの方法を実施するための装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ドイツ連邦共和国特許出願公開第２２０
２０８７号公報から、シートエッジの位置を基準線を基
準にして光電的に測定するための測定装置が公知であ
る。照明装置から発した光は光電受信器によって受光さ
れる。照明装置と受信器との間に挿入されたシートエッ
ジの位置に相応してビデオ信号が形成される。

【０００３】光電受信部は近接して順次連続的に配置さ
れた多数の個別ホト素子からなる。

【０００４】ここでの欠点は、非常に小さな損傷または
被測定シートエッジにおける繊維によって測定エラーが
生じてしまうことである。このエラーは測定結果に直接
影響を及ぼす。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、ウェ
ッブまたはシートのエッジの位置を測定する方法および
この方法を実施するための装置を、多数のホト素子の設
けられた光電受信器を用いて次のように構成することで
ある。すなわち、小さな損傷またはエッジの垂直投影を
越えてはみ出る繊維、いわゆる異常性があっても、光電
受信器の測定領域にあるウェッブまたはシートの被測定
エッジのエッジの位置をこの受信器を基準にして正確に
識別することができるよう構成することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この課題は本発明によ
り、ウェッブまたはシートのエッジの位置を測定する方
法であって、光電測定装置を有し、該光電測定装置は照
明装置と光電受信器からなり、該光電受信器は近接して
順次配列された多数のホト素子を有し、光電系を用いて
ウェッブのエッジを、光電受信器の結像面に、ウェッブ
のエッジに対して垂直に延在する横断軸の方向では鮮鋭
に結像し、ウェッブのエッジに対して平行に延在する長
手軸の方向では不鮮鋭に結像する構成によって解決され
る。

【０００７】

【発明の実施の形態】有利には、本発明の方法および装
置によって、ウェッブまたはシートのエッジの異常性が
光電受信器によりエッジとして識別されず、したがって
測定エラーが回避される。エッジの異常性は例えばシー
トまたはウェッブの場合、例えば紙繊維、汚れた切断エ
ッジまたは裂け目の形態で発生する。

【０００８】たとえ異常性の幅が光電受信器の幅よりも
大きくても、この異常性は光電受信器に、被測定エッジ
に対する強度差が存在するようにして示れる。この強度
差があっても評価電子回路は、ウェッブまたはシートの
被測定エッジの正確な位置を検出することができる。

【０００９】さらに特に有利には本発明の方法に基づい
て、エッジの幅が光電受信器の幅に相応して評価される
だけでなく、エッジの格段に大きな領域が評価される
（５０から１０００倍）。これにより、測定確実性が格
段に上昇する。使用される補助手段は安価な標準的部材
である。

【００１０】

【実施例】本発明の方法および相応する装置は図面に示
されており、以下詳細に説明する。

【００１１】被測定ウェッブ１またはシートは少なくと
も測定領域で、その位置を光電受信器２を基準にして検
出するために、直線の形態で延在するエッジ３により画
定される。このウェッブ１またはシートは実質的に光吸
収性である。このウェッブ１またはシートは、輪転印刷
機のペーパーウェッブまたは枚葉紙である。しかしほか
のウェッブ状材料またはボード状材料、例えば薄板や箔
を使用することもできる。以下、これらのウェッブ１ま
たはシートを簡単にウェッブ１と称する。

【００１２】ウェッブ１の被測定エッジ３は測定領域内
に、例えば小さな損傷の形態でエッジ３の垂直投影を越
えて突出する繊維または裂け目を有する。

【００１３】異常性４を有するエッジ３により画定され
るウェッブ１は光学装置７の光ビーム束６の中に入れら
れる。この光ビーム束６は光源８から出て、光電受信器
２に達する。光学的構成素子９または光学的構成素子の
光学系を用いて、ウェッブ１のエッジ３が光電受信器２
の結像面１１に次のように結像される。すなわち、ウェ
ッブ１のエッジ３に対して垂直に延在する横断軸におけ
る結像が横方向結像尺度で鮮鋭であり、ウェッブ１のエ
ッジ３に対して平行に延在する長手軸における結像は不
鮮鋭であるように行われる。

【００１４】特に有利には、横方向結像尺度は１対１と
することができる。なぜならこれにより、測定値を横方
向結像尺度に相応して変換する必要がないからである。
ウェッブ１のエッジ３の位置は選択可能な測定幅ｂ３に
わたって、例えばｂ３＝０．５ｍｍから１０ｍｍにわた
って評価される。この測定幅は絞りを用いて制限するこ
とができる。光学系を用いてウェッブ１のエッジ３をこ
の測定幅ｂ３の領域で不鮮鋭に、すなわち長手軸１３の
方向で結像面にゆがめて結像される。

【００１５】多数のホト素子の設けられた光電受信器２
として例えばそれ自体公知のＣＣＤ走査線センサ２（ch
arge coupled device）を使用することができる。この
ＣＣＤ走査線センサ２は、例えば１本の走査線に配置さ
れた１７２８この測定素子からなる。この測定素子は例
えば１０μｍ×１３μｍの大きさであり、２つの測定素
子間の平均間隔は１０μｍである。すなわち、１ｍｍに
１００個の測定素子がある。これにより、前記ＣＣＤ走
査線センサ２は１７．２８ｍｍの測定長ｌ２が得られ
る。

【００１６】ＣＣＤ走査線センサ２は評価電子回路を用
いてアナログビデオ信号１４を送出する。このビデオ信
号はウェッブ１のエッジ３の長さに相応する振幅経過を
有する。したがって例えばウェッブ１により覆われた領
域はＣＣＤ走査線センサ２の長さｌａ２を有し、その振
幅Ａ３は最小となることができる。一方、ＣＣＤ走査線
センサ２の覆われていない領域は長さｌｕ２であり、照
明装置１６の強度に相応する振幅Ａ１を送出することが
できる。

【００１７】使用可能な動作領域はもちろん、測定長ｌ
２よりも小さくすることができるが、この実施例では動
作領域は測定長ｌ２に相応する。

【００１８】ウェッブ１のエッジ３が測定幅ｂ３の領域
で１つまたは複数の異常性４を有するとき、この異常性
４も結像面１１に長手軸１３の方向で、すなわちＣＣＤ
走査線センサ２に相応して不鮮鋭に結像される。このこ
とによって、長手方向での異常性４の幅に応じて、ＣＣ
Ｄ走査線センサ２に作用する照明装置１６の強度は相応
に変化する。したがって、異常性４の大きさないし異常
性４の数に相応するビデオ信号１４の振幅Ａ２が生じ
る。この振幅Ａ２の大きさは、ＣＣＤ走査線センサ２が
覆われた状態の振幅Ａ３とＣＣＤ走査線センサ２が全く
覆われていない状態の振幅Ａ１との間にある。ただし、
異常性４は測定幅ｂ３全体にわたらないことが前提であ
る。この段付けられたビデオ信号１４から公知の適切な
電子回路を用いて、ウェッブ１のエッジ３の位置を検出
することができる。

【００１９】本発明の方法を実施するための第１の装置
は実質的に、照明装置１６、対象物支持体１７、フィル
タ１８、絞り１９、結像レンズ２１、光電受信器、例え
ばＣＣＤ走査線センサ２からなる。これらの素子１６、
１７、１８、１９、２１、２は光軸２０に沿って配置さ
れている。照明装置１６は実質的に、赤外線（ＩＲ）光
源２３とコンデンサレンズ２４からなる。赤外線光源２
３は拡散光束２６を発射する。赤外線光源２３に対する
間隔ａ２３（２×ｆ２４）でコンデンサレンズ２４の主
平面２５が存在する。間隔ａ２３は、例えはコンデンサ
レンズ２４２重焦点距離ｆ２４の２倍に相応する（ｆ２
４＝２０ｍｍ）。コンデンサレンズ２４として、図示の
実施例では非球面レンズが用いられる。しかしここでコ
ンデンサレンズ２４は複数のレンズ、例えば凸凹レンズ
と１つまたは複数の非球面レンズの組み合わせとするこ
ともできる。

【００２０】コンデンサレンズ２４は光束２６を間隔ａ
１９＝２×ｆ２４でフォーカシングする。ここには絞り
１９が配置されている。結像レンズ２１は、ウェッブ１
のエッジ３に対して垂直に延在する横断軸１２に第１の
焦点距離ｆｑ２１、例えばｆｑ２１＝１０ｍｍを有し、
さらにウェッブ１のエッジ３に対して平行に延在する長
手軸１３に第２の焦点距離ｆｌ２１を有する。コンデン
サレンズ２４と結像レンズ２１との間には対象物支持体
１７が配置されている。この対象物支持体により、ウェ
ッブ１の被測定エッジ３は結像レンズ２１の主平面３０
に対して物距離ｇ３０のところに存在するようになる。
結像レンズ２１の主平面３０に対して像距離ｂ３０のと
ころにはＣＣＤ走査線センサ２の結像面１１が配置され
る。鮮鋭な結像を得るためには、焦点距離ｆｑ２１の逆
数が物距離ｇ３０の逆数と像距離ｂ３０の逆数の和でな
ければならない。すなわち、１/ｆｑ２１＝１/ｇ３０＋１/ｂ３０対象物支持体１７として面平行のガラス板１７が設けら
れている。結像レンズ２１の前には、幅ｂ２７の開口ア
パーチャ２７と長さｌ２７を有する絞り１９とフィルタ
１８、例えば赤外線フィルタが配置されている。エッジ
３における測定幅ｂ３は、ＣＣＤ走査線センサ２を基準
にした絞り１９の開口アパーチャ２７の投影された長さ
ｌ２７によって定められる。

【００２１】この実施例では、結像レンズ２１は円柱レ
ンズ２１として構成されている。この円柱レンズは次の
ようにガラス板１７に対して物距離ｇ３０＝２×ｆｑ２
１で光ビーム２８に配置されている。すなわち、円柱レ
ンズの面側２９がガラス板１７に対して平行であり、円
柱レンズの長手軸３１がウェッブ１の被測定エッジ３に
対して平行であるように配置されている。結像レンズ２
１の代わりに、複数のレンズからなるレンズ系を使用す
ることもできる。

【００２２】円柱レンズ２１の後方には、像距離ｂ３０
＝２×ｆｑ２１で、すなわち円柱レンズ２１の焦点距離
ｆｑ２１の２倍で、結像面１１にＣＣＤ走査線センサ２
がウェッブ１の被測定エッジ３に対して垂直に配置され
ている。したがってこの実施例では横方向結像尺度は１
対１である。

【００２３】面平行なガラス板１７上では、すなわち物
距離ｇ３０では、ウェッブ１の被測定エッジ３が円柱レ
ンズ２１の長手軸３１に対して平行に光りビーム６中に
もたらされる。エッジ３に達した光ビーム６の一部はこ
のエッジにより光ビーム２８へと偏向され、さらに拡散
される。被測定エッジ３から発した光ビーム２８は開口
アパーチャ２７に到達する。ここでは、開口アパーチャ
２７に達して光りビーム２８の一部だけが絞り１９を通
って、円柱レンズ２１に到達する。開口アパーチャ２７
の幅ｂ２７、例えばｂ２７＝０.１ｍｍから２ｍｍ、長
さｌ２７、例えばｌ２７＝０.１ｍｍから２ｍｍは、円
柱レンズ２１の幅ｂ２１、例えばｂ２１＝９ｍｍ、長さ
ｌ２１、例えばｌ２１＝１８ｍｍよりも小さい。円柱レ
ンズ２１により光ビーム２８は横断軸１２の方向に鮮鋭
に、すなわち、ウェッブ１の被測定エッジ３は鮮鋭にＣ
ＣＤ走査線センサ２に結像される。しかしこのとき鏡映
画像として結像される。長手軸１３ないし３１の方向で
は、円柱レンズ２１に入射して拡散した光ビーム２８が
屈折され、ゆがんだ非鮮鋭なエッジ３の結像がＣＣＤ走
査線センサ２に発生する。

【００２４】ウェッブ１の被測定エッジ３がＣＣＤ走査
線センサ２の領域に異常性４を有しているとき、この異
常性４は円柱レンズ２１の横断軸１２の方向では正確に
鏡映像で示されるが、しかし円柱レンズ２１の長手軸１
３ないし３１に沿ってはゆがんで示される。したがって
長手軸１３に沿っては、異常性４を結像する光ビームの
一部だけがＣＣＤ走査線センサ２に達するが、同時に異
常性４の影響を受けない“自由な”光ビームの一部もＣ
ＣＤ走査線センサ２に達する。これによって、ＣＣＤ走
査線センサ２には異常性４によって弱められた強度領域
が発生し、この弱い強度領域が前記の段付けられたビデ
オ信号を引き起こす。このビデオ信号は電子回路によっ
て評価される。

【００２５】本発明の方法を実施するための第２の装置
も実質的に、照明装置１６、対象物支持体１７、フィル
タ１８、絞り３２、結像レンズ３３および光電受信器、
例えばＣＣＤ走査線センサ２からなる。これらの素子１
６、１７、１８、３２、３３、２は第１の装置に相応し
て光軸２０に沿って配置されている。

【００２６】コンデンサレンズ２４の主平面２５に対し
てａ３２＝２×ｆ２４の間隔で絞り３２が配置されてい
る。絞り３２はスリット状の開口アパーチャ３４を有
し、このアパーチャの長さｌ３４は例えばｌ３４＝０．
２ｍｍ〜１０ｍｍ、幅ｂ３４は例えばｂ３４＝０．１ｍ
ｍ〜２ｍｍである。長さｌ３４はウェッブ１の被測定エ
ッジ３に対して平行に延在している。

【００２７】結像レンズ３３は球面レンズ３３として構
成されている。球面レンズ３３はいわゆる収差を有し、
このことにより焦点距離ｆ３３、例えばｆ３３＝１０ｍ
ｍは光軸２０に沿ったところだけが正確である。この領
域の外では、焦点距離ｆ３３がこの正確な値から外れ、
焦点距離ｆ３３’は光軸から同心に外側に向かって減少
する。結像レンズ３３の代わりに、複数のレンズからな
るレンズ系を使用することもできる。

【００２８】コンデンサレンズ２４と球面レンズ３３と
の間には、対象物支持体１７が次のように配置されてい
る。すなわち、ウェッブ１の被測定エッジ３が球面レン
ズ７３３の主平面３７に対して物距離ｇ３７で存在する
ように配置されている。球面レンズ３３の主平面３７に
対して像距離ｂ３７に相応する間隔でＣＣＤ走査線セン
サ２の結像面１１が配置されている。鮮鋭な結像を得る
ためには、焦点距離ｆ３３の逆数は物距離ｇ３７の逆数
と像距離ｂ３７の逆数の和でなければならない。すなわ
ち、１/ｆ３３＝１/ｇ３７＋１/ｂ３７である。球面レ
ンズ３３は、対象物支持体１７に対して、例えば焦点距
離ｆ３３の２倍に相応する物距離ｇ３７に配置されてい
る。球面レンズ３３の後方には、像距離ｂ３７、例えば
ｂ３７＝２×ｆ３３で結像面１１にＣＣＤ走査線センサ
が配置されている。これによりこの実施例でも、横方向
結像尺度は１対１である。

【００２９】ウェッブ１の被測定エッジ３は照明装置１
６の光ビーム中にもたらされる。光ビーム６のエッジ３
に達した部分は光ビーム３７へと偏向され、さらに拡散
する。被測定エッジ３から発した光ビーム３６は開口ア
パーチャ３４に到達する。開口アパーチャ３４を通り抜
けた光ビーム３６の一部は球面レンズ３３に達する。球
面レンズ３３によって、光ビーム３６は光軸２０の近接
領域では鮮鋭に、しかし鏡映像でＣＣＤ走査線センサ２
に結像される。スリット状の絞り３２によって光ビーム
３６は横断軸１２の方向では、光軸を中心にした狭い領
域に制限される。一方、エッジ３に対して平行の方向、
すなわち長手軸３の方向では、光ビームは球面レンズ３
３を、光軸２０から離れた領域でも通り抜ける。この領
域では焦点距離ｆ３３’は縮小され、これにより長手軸
１３の方向ではＣＣＤ走査線センサ２にゆがんだ不鮮鋭
なエッジ３の結像が生じる。

【００３０】ウェッブ１の被測定エッジ３がＣＣＤ走査
線センサ２の領域にある異常性４を有していれば、この
異常性４はエッジ３に対して垂直方向には正確、かつ鏡
映像で示され、エッジ３に対して平行方向にはゆがんで
示される。したがってエッジ３に対して平行には、異常
性４を結像する光ビームの一部がＣＣＤ走査線センサ２
に達し、同時に異常性の影響を受けない“自由な”光ビ
ームの一部もＣＣＤ走査線センサ２に達する。これによ
って、ＣＣＤ走査線センサ２には異常性によって強度の
低減された領域が発生し、この領域で前記の段付けられ
たビデオ信号を引き起こし、このビデオ信号が電子回路
によって評価される。

【図面の簡単な説明】

【図１】ウェッブと光電受信器を有する本発明の装置の
正面図である。

【図２】ウェッブの位置に相応するビデオ信号の経過を
示す線図である。

【図３】ウェッブの被測定エッジに対して平行な、本発
明の第１実施例の装置の側面図である。

【図４】ウェッブの被測定エッジに対して垂直な、本発
明の第１実施例の装置の側面図である。

【図５】ウェッブの被測定エッジに対して平行な、本発
明の第２実施例の装置の側面図である。

【図６】ウェッブの被測定エッジに対して垂直な、本発
明の第２実施例の装置の側面図である。

【符号の説明】

１ウェッブ２ＣＣＤ走査線センサ（光電受信器）３エッジ４異常性６光ビーム束７光学系

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者フォルクマールロルフシュヴィツキードイツ連邦共和国ヴュルツブルクリボリウス‐ヴァーグナー‐シュトラーセ 17 (56)参考文献特開昭58−62504（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェッブ（１）またはシートのエッジ
（３）の位置を測定する方法であって、光電測定装置を有し、該光電測定装置は照明装置（１
６）と光電受信器からなり、該光電受信器は近接して順次配列された多数のホト素子
を有し、光電系（７）を用いてウェッブ（１）のエッジ（３）
を、光電受信器（２）の結像面（１１）に、ウェッブ
（１）のエッジ（３）に対して垂直に延在する横断軸
（１２）の方向では鮮鋭に結像し、ウェッブ（１）のエッジ（３）に対して平行に延在する
長手軸の方向では不鮮鋭に結像する、ことを特徴とする
測定方法。
【請求項２】光学系（７）は、ウェッブ（１）のエッ
ジ（３）に対して垂直に延在する横断軸（１２）を１対
１の縮尺で結像し、したがって横方向結像尺度は１対１である、請求項１記
載の方法。
【請求項３】ウェッブ（１）またはシートのエッジ
（３）の位置を測定するための装置であって、光電測定
装置と光学系（７）を有し、前記光電測定装置は、照明装置（１６）および光電受信
器（２）からなり、前記光電受信器は、近接して順次配置された多数のホト
素子を有し、前記光電系（７）は、ウェッブ（１）のエッジ（３）を
光電受信器（２）の結像面（１１）に、ウェッブ（１）
のエッジ（３）に対して垂直に延在する横断軸（１２）
の方向では鮮鋭に結像し、ウェッブ（１）のエッジ（３）に対して平行に延在する
長手軸（１３）の方向ではゆがめて不鮮鋭に結像し、該光学系（７）は少なくとも１つの結像レンズ（２１）
を有し、該結像レンズは横断軸（１２）を基準にした第１の焦点
距離ｆｑ２１と、長手軸を基準にした第２の焦点距離ｆ
ｌ２１とを有し、第１の焦点距離と第２の焦点距離は異なっており、レンズ主平面（３０）とウェッブ（１）のエッジ（３）
との間の物距離ｇ３０と、レンズ主平面（３０）と結像
面（１１）との間の像距離ｂ３０と、第１の焦点距離ｆ
ｑ２１とに対して次式が当てはまる、１／ｆｑ２１＝１／ｇ３０＋１／ｂ３０ことを特徴とする測定装置。
【請求項４】結像レンズ（２１）として、長手軸がウ
ェッブ（１）の被測定ウエッジ（３）に対して平行に延
在する円柱レンズ（２１）を設ける、請求項３記載の測
定装置。
【請求項５】ウェッブ（１）に対する対象物支持体と
してのガラス板（１７）と結像レンズ（２１）との間
に、幅ｂ２７、長さｌ２７の開口アパーチャを有する絞
り（１９）を配置する、請求項３または４記載の測定装
置。
【請求項６】開口アパーチャ（２７）の幅ｂ２７も長
さｌ２７も、円柱レンズ（２１）の相応する幅ｂ２１お
よび長さｌ２１よりも小さい、請求項４または５記載の
測定装置。
【請求項７】ウェッブ（１）またはシートのエッジ
（３）の位置を測定するための装置であって、光電測定
装置と光学系（７）を有し、前記光電測定装置は、照明装置（１６）および光電受信
器（２）からなり、前記光電受信器は、近接して順次配置された多数のホト
素子を有し、前記光電系（７）は、ウェッブ（１）のエッジ（３）を
光電受信器（２）の結像面（１１）に、ウェッブ（１）
のエッジ（３）に対して垂直に延在する横断軸（１２）
の方向では鮮鋭に結像し、ウェッブ（１）のエッジ（３）に対して平行に延在する
長手軸（１３）の方向ではゆがめて不鮮鋭に結像し、該光学系（７）は結像レンズ（３３）を有し、該結像レンズはその光軸（２０）を中心にした直接領域
に焦点距離に対して一様の値ｆ３３を有し、当該領域の
外では前記値とは異なる焦点距離値を有し、レンズ（３３）の直接前方には、長さ１３４と幅ｂ３４
のスリット状開口アパーチャが配置されており、該開口アパーチャはウェッブ（１）の被測定エッジ
（３）に対して平行に延在し、レンズ主平面（３７）とウェッブ（１）のエッジ（３）
との間の物距離ｇ３７と、レンズ主平面（３７）と結像
面（１１）との間の像距離ｂ３７と、焦点距離ｆ３３と
に対しては次式が当てはまる、１／ｆ３３＝１／ｇ３７＋１／ｂ３７ことを特徴とする測定装置。
【請求項８】結像レンズ（３３）として球面レンズ
（３３）が設けられている、請求項７記載の測定装置。
【請求項９】開口アパーチャ（３４）の幅ｂ３４は
０．２ｍｍから２ｍｍであり、開口アパーチャの長さｌ
３４は２ｍｍよりも大きい、請求項７または８記載の測
定装置。
【請求項１０】結像レンズ（２１；３３）の主平面
（３０；３８）は、光電受信器（２）に対し、結像レン
ズ（２１；３３）の焦点距離（ｆｑ２１；ｆ３３）の２
倍に相当する像距離（ｂ３０；ｂ３７）に配置されてい
る、請求項３から９までのいずれか１項記載の測定装
置。
【請求項１１】面平行なガラス板（１７）が対象物支
持体として、結像レンズ（２１；３３）に対し、結像レ
ンズ（２１；３３）の焦点距離（ｆｑ２１；ｆ３３）の
２倍に相当する物距離（ｇ３０；ｇ３７）に配置されて
いる、請求項３から１０までのいずれか１項記載の測定
装置。
【請求項１２】ガラス板（１７）と結像レンズ（２
１；３３）との間には赤外線フィルタ（１８）が配置さ
れている、請求項１１記載の測定装置。
【請求項１３】結像レンズ（２１；３３）の前方に配
置された照明装置（１６）は、光源（８）およびコンデ
ンサレンズ（２４）からなり、光源（８）は、コンデンサレンズ（２４）の主平面（２
５）に対し、コンデンサレンズ（２４）の焦点距離ｆ２
４の２倍に相当する距離ａ２３に配置されている、請求
項３から１２までのいずれか１項記載の測定装置。
【請求項１４】光電受信器（２）としてＣＣＤ走査線
センサが設けられている請求項３から１３までのいずれ
か１項記載の測定装置。