RU98112755A - Устройство и способ для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода (варианты) - Google Patents

Устройство и способ для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода (варианты)

Info

Publication number
RU98112755A
RU98112755A RU98112755/28A RU98112755A RU98112755A RU 98112755 A RU98112755 A RU 98112755A RU 98112755/28 A RU98112755/28 A RU 98112755/28A RU 98112755 A RU98112755 A RU 98112755A RU 98112755 A RU98112755 A RU 98112755A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
optical fiber
fiber
planar substrate
cavity
optical
Prior art date
Application number
RU98112755/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2161323C2 (ru
Inventor
Сео Фил-Сеунг
Ли Хиунг-Дзае
Рхи Тае-Хиунг
Ким Хиоун-Соо
Йи Санг-Иун
Original Assignee
Самсунг Электроникс Ко., Лтд.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1019970030824A external-priority patent/KR100265789B1/ko
Application filed by Самсунг Электроникс Ко., Лтд. filed Critical Самсунг Электроникс Ко., Лтд.
Publication of RU98112755A publication Critical patent/RU98112755A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2161323C2 publication Critical patent/RU2161323C2/ru

Links

Claims (8)

1. Устройство для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода в интегральном оптическом устройстве, отличающееся тем, что оно содержит световод, сформированный на планарной подложке в ее продольном направлении, имеющий сердечник, который короче планарной подложки, и установочную часть для оптического волокна, выполненную с заданной длиной на планарной подложке в ее продольном направлении, так что световод и оптическое волокно контактируют друг с другом, предназначенную для приема оптического волокна, а также полость, расположенную между установочной частью для оптического волокна и сердечником световода, заполненную материалом, показатель преломления которого несколько возрастает при облучении УФ-лучами, в результате чего показатель преломления материала не отличается существенно от показателя преломления сердечника оптического волокна.
2. Устройство для пассивного совмещения оптического волокна по п.1, отличающееся тем, что оптическое волокно имеет один или несколько сердечников.
3. Устройство для пассивного совмещения оптического волокна по п.2, отличающееся тем, что поперечное сечение полости имеет треугольную, прямоугольную, полукруглую или многоугольную форму.
4. Устройство для пассивного совмещения оптического волокна по п.1, отличающееся тем, что полость выполнена способом, выбранным из группы, включающей травление кремниевой подложки, механическую прецизионную обработку и прецизионное прессование.
5. Способ пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода в интегральном оптическом устройстве, отличающийся тем, что он включает следующие операции: (а) формируют световод в виде слоя в продольном направлении на планарной подложке; (b) формируют установочную часть для оптического волокна на планарной подложке, на которой должно размещаться оптическое волокно в целях его стыковки со световодом; (с) формируют полость заданного размера между установочной частью для оптического волокна и световодом; (d) размещают оптическое волокно на установочной части для оптического волокна; (е) вводят в полость материал, показатель преломления которого возрастает при облучении УФ лучами; и (f) соединяют оптическое волокно со световодом посредством облучения УФ лучами материала, заполняющего полость.
6. Способ пассивного совмещения оптического волокна по п.5, отличающийся тем, что на этапе (b) формирования установочной части для оптического волокна удаляют часть слоя световода, сформированного на планарной подложке, для формирования установочной части для оптического волокна в целях стыковки оптического волокна со световодом.
7. Способ пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода в интегральном оптическом устройстве, отличающийся тем, что он включает следующие операции: (а) формируют световод в продольном направлении на планарной подложке; (b) формируют установочную часть для оптического волокна на планарной подложке, на которой должно размещаться оптическое волокно в целях его стыковки со световодом; (с) размещают оптическое волокно на установочной части для оптического волокна вблизи световода и фиксируют оптическое волокно; (d) разрезают оптическое волокно, размещенное на установочной части для оптического волокна вблизи световода, и световод, одновременно выполняя шлифовку поперечных сечений оптического волокна и световода, чтобы образовать полость заданного размера между установочной частью для оптического волокна и световодом; (е) вводят в полость материал, показатель преломления которого возрастает при облучении УФ лучами; и (f) соединяют оптическое волокно со световодом посредством облучения УФ лучами материала, заполняющего канавку.
8. Способ пассивного совмещения оптического волокна по п.7, отличающийся тем, что на этапе (b) формирования установочной части для оптического волокна удаляют часть слоя световода, сформированного на планарной подложке, для образования установочной части для оптического волокна в целях стыковки оптического волокна со световодом.
RU98112755/28A 1997-07-03 1998-07-02 Устройство и способ для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода (варианты) RU2161323C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR97-30824 1997-07-03
KR1019970030824A KR100265789B1 (ko) 1997-07-03 1997-07-03 광섬유수동정렬방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU98112755A true RU98112755A (ru) 2000-05-20
RU2161323C2 RU2161323C2 (ru) 2000-12-27

Family

ID=19513286

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU98112755/28A RU2161323C2 (ru) 1997-07-03 1998-07-02 Устройство и способ для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода (варианты)

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6157759A (ru)
JP (1) JP2958305B2 (ru)
KR (1) KR100265789B1 (ru)
DE (1) DE19829692A1 (ru)
FR (1) FR2765693A1 (ru)
GB (1) GB2326951A (ru)
RU (1) RU2161323C2 (ru)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100277695B1 (ko) * 1998-09-12 2001-02-01 정선종 에스 오 아이 광도파로를 이용한 하이브리드 광집적회로용 기판 제조방법
EP0989430A3 (en) * 1998-09-24 2000-05-24 LG Cable & Machinery Ltd. Method for manufacturing laser diode chip, optical transmitting/receiving module and method for aligning positions thereof
US6788853B2 (en) * 2000-06-28 2004-09-07 Shipley Company, L.L.C. Method for cleaving integrated optic waveguides to provide a smooth waveguide endface
GB2368658A (en) * 2000-10-31 2002-05-08 Mitel Semiconductor Ab Aligning optical waveguide with receiver via optical taper
JP3712934B2 (ja) * 2000-11-01 2005-11-02 株式会社日立製作所 光導波路部材、その製造方法及び光モジュール
AUPR174200A0 (en) * 2000-11-28 2000-12-21 Redfern Integrated Optics Pty Ltd Method and apparatus for attaching an optical fibre to an optical device
US6628865B2 (en) * 2000-12-15 2003-09-30 Intel Corporation Alignment of optical fibers to an etched array waveguide
KR20020077078A (ko) * 2001-03-28 2002-10-11 주식회사일진 광도파로가 구비된 소형형상요소형 광모듈
US6788847B2 (en) * 2001-04-05 2004-09-07 Luxtera, Inc. Photonic input/output port
KR100558887B1 (ko) * 2001-09-01 2006-03-10 마이크로솔루션스 주식회사 광소자 제조방법
US6661955B1 (en) 2002-02-04 2003-12-09 Siwave, Inc. Kinematic and non-kinematic passive alignment assemblies and methods of making the same
US6674585B1 (en) 2002-02-04 2004-01-06 Siwave, Inc. Flexure assemblies and methods of making the same
US7813634B2 (en) 2005-02-28 2010-10-12 Tessera MEMS Technologies, Inc. Autofocus camera
US6850675B1 (en) 2002-02-04 2005-02-01 Siwave, Inc. Base, payload and connecting structure and methods of making the same
US8971679B2 (en) 2002-08-28 2015-03-03 Optonet Inc. Apparatus and method for passive alignment of optical devices
US6853778B2 (en) * 2002-09-18 2005-02-08 Agilent Technologies, Inc. Optical module with alignment waveguide
KR100944310B1 (ko) 2003-01-24 2010-02-24 닛토덴코 가부시키가이샤 광 도파로의 제조 방법 및 광 디바이스의 접속 구조물
JP4213573B2 (ja) * 2003-01-24 2009-01-21 日東電工株式会社 光導波路の製造方法および光デバイスの接続構造
KR20070001202A (ko) * 2004-03-31 2007-01-03 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 광소자 결합 구조체 및 광화이버 구조체
TWI235857B (en) * 2004-06-01 2005-07-11 Ind Tech Res Inst Coupling structure between fiber and optical waveguide
KR20090130153A (ko) * 2004-06-16 2009-12-17 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 광도파로구조체, 광도파로형 광모듈 및 광파이버 어레이
US20050284181A1 (en) * 2004-06-29 2005-12-29 Smith Terry L Method for making an optical waveguide assembly with integral alignment features
JP5250165B2 (ja) * 2005-02-23 2013-07-31 ジョージア テック リサーチ コーポレーション 端面視光検出器
US7738753B2 (en) * 2008-06-30 2010-06-15 International Business Machines Corporation CMOS compatible integrated dielectric optical waveguide coupler and fabrication
US8724937B2 (en) 2011-12-20 2014-05-13 International Business Machines Corporation Fiber to wafer interface
US8534927B1 (en) 2012-03-23 2013-09-17 International Business Machines Corporation Flexible fiber to wafer interface
US9243784B2 (en) 2012-12-20 2016-01-26 International Business Machines Corporation Semiconductor photonic package
US9400356B2 (en) 2013-03-14 2016-07-26 International Business Machines Corporation Fiber pigtail with integrated lid
US8923665B2 (en) 2013-03-15 2014-12-30 International Business Machines Corporation Material structures for front-end of the line integration of optical polarization splitters and rotators
EP3983840A4 (en) 2019-06-17 2023-03-15 Aayuna Inc. PASSIVELY ALIGNED FIBER ARRAY TO WAVEGUIDE CONFIGURATION
CN112327420B (zh) * 2020-11-03 2022-06-28 中航光电科技股份有限公司 一种波导通过光纤对准耦合传输结构及生产工艺

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6324204A (ja) * 1986-07-17 1988-02-01 Fujitsu Ltd 光導波路の接続方法
FR2612301B1 (fr) * 1987-03-12 1991-08-23 Corning Glass Works Composant optique integre et sa fabrication
CA1300311C (en) * 1987-04-28 1992-05-05 William Buck Brod Method for treating resin in a purge vessel
US5015059A (en) * 1988-01-15 1991-05-14 E. I. Du Pont De Nemours And Company Optical fiber connector assemblies and methods of making the assemblies
US4883743A (en) * 1988-01-15 1989-11-28 E. I. Du Pont De Nemours And Company Optical fiber connector assemblies and methods of making the assemblies
FR2661516B1 (fr) * 1990-04-27 1992-06-12 Alcatel Fibres Optiques Composant d'optique integree et procede de fabrication.
US5150440A (en) * 1990-10-11 1992-09-22 E. I. Du Pont De Nemours And Company Coupling of optical fiber to optical waveguide device
JPH04204704A (ja) * 1990-11-30 1992-07-27 Hitachi Cable Ltd 光ファイバと光導波路との結合方法
US5175781A (en) * 1991-10-11 1992-12-29 United Technologies Corporation Attaching optical fibers to integrated optic chips
US5231683A (en) * 1991-10-11 1993-07-27 United Technologies Corporation Attaching optical fibers to integrated optic chips
WO1993018422A1 (de) * 1992-03-07 1993-09-16 Robert Bosch Gmbh Integriertes optisches bauelement
US5515464A (en) * 1992-07-06 1996-05-07 Sheem Sang K Optical fiber interconnections using self-aligned core-extensions
JPH0651155A (ja) * 1992-07-28 1994-02-25 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバと光導波路の接続方法
KR0126247B1 (en) * 1992-11-09 1997-12-26 Fujitsu Ltd Method of coupling optical parts and refractive index imaging material
AU668648B2 (en) * 1993-05-26 1996-05-09 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Optical waveguide module and method of manufacturing the same
JP3259742B2 (ja) * 1993-06-22 2002-02-25 住友電気工業株式会社 光導波路モジュール
US5343544A (en) * 1993-07-02 1994-08-30 Minnesota Mining And Manufacturing Company Integrated optical fiber coupler and method of making same
JPH0720358A (ja) * 1993-07-05 1995-01-24 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光ファイバ付平面導光路部品およびその製造方法
US5359687A (en) * 1993-08-23 1994-10-25 Alliedsignal Inc. Polymer microstructures which facilitate fiber optic to waveguide coupling
US5357593A (en) * 1993-10-12 1994-10-18 Alliedsignal Inc. Method of attaching optical fibers to opto-electronic integrated circuits on silicon substrates
DE69330563T2 (de) * 1993-11-08 2002-06-27 Corning Inc., Corning Kopplung von planaren optischen Wellenleitern und optischen Fasern mit geringer Rückreflexion
DE4344179C1 (de) * 1993-12-23 1994-10-27 Krone Ag Koppelvorrichtung zwischen einer Glasfaser und einem auf einem Substrat integrierten dielektrischen Wellenleiter
JPH0829638A (ja) * 1994-05-12 1996-02-02 Fujitsu Ltd 光導波路・光ファイバ接続構造及び光導波路・光ファイバ接続方法並びに光導波路・光ファイバ接続に使用される光導波路基板及び同基板の製造方法並びに光導波路・光ファイバ接続に使用されるファイバ基板付き光ファイバ
US5854868A (en) * 1994-06-22 1998-12-29 Fujitsu Limited Optical device and light waveguide integrated circuit
US5600745A (en) * 1996-02-08 1997-02-04 Industrial Technology Research Institute Method of automatically coupling between a fiber and an optical waveguide

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU98112755A (ru) Устройство и способ для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода (варианты)
RU2161323C2 (ru) Устройство и способ для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода (варианты)
US3994559A (en) Bidirectional guided mode optical film-fiber coupler
JP4732356B2 (ja) パターニングされたクラッドを有する平板導波路及びその製造方法
CN1218199C (zh) 波分复用器/分用器光学装置
TW342458B (en) Optical fiber grating and method of manufacturing the same
DE3276917D1 (en) Light waveguide with a submicron aperture, method for manufacturing the waveguide and application of the waveguide in an optical memory
US5394495A (en) Optical waveguide connectors and methods of making same
JP2005352453A (ja) 光ファイバ部品及び光導波路モジュール並びにこれらの製造方法
DE19545164B8 (de) Optische Halbleitervorrichtung mit vergrabenem Wellenleiter und Herstellungsverfahren dafür
JPH06250035A (ja) モールド導波路の作成方法
DE69521556D1 (de) Herstellungsverfahren für eine optische Halbleitervorrichtung
JPS5420747A (en) Photo coupling element
US5799117A (en) Integrated optical structural element, and method of producing the same
JP2007183468A (ja) ミラー付光導波路の製造方法
JP3266424B2 (ja) 光導波路モジュール
JPH10221547A (ja) レンズ付き光ファイバおよびその製造方法
JPH04140702A (ja) 光ファイバと光導波路の接続方法及び接続装置
JPH0610686B2 (ja) ジオデツジツク光学部品
KR100662796B1 (ko) 광도파로용 시트재 및 그의 제조방법
JP2687145B2 (ja) 光ファイバ接続具の製造方法
JPS6095409A (ja) コネクタ付き光導波路板
JP2002071993A (ja) 光導波路基板とその製造方法、及び光導波路部品とその製造方法
JPS61254912A (ja) 光合波器及びその製造方法
JP2004302325A (ja) 光電気複合基板の製造方法