DE19829692A1

DE19829692A1 - Passive Lichtleiterausrichtungseinrichtung und zugehöriges Verfahren

Info

Publication number: DE19829692A1
Application number: DE19829692A
Authority: DE
Inventors: Phil-Seung Seo; Hyung-Jae Lee; Tae-Hyung Rhee; Hyoun-Soo Kim; Sang-Yun Yi
Original assignee: Samsung Electronics Co Ltd
Current assignee: Samsung Electronics Co Ltd
Priority date: 1997-07-03
Filing date: 1998-07-02
Publication date: 1999-02-11
Also published as: JP2958305B2; RU2161323C2; FR2765693A1; US6157759A; JPH1172649A; GB9814360D0; KR19990008735A; KR100265789B1; GB2326951A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Ausrichtung eines optischen Wellenleiters und eines Lichtleiters, sowie ein zugehöriges Verfahren, und betrifft insbesondere eine passive Lichtleiterausrichtungseinrichtung zum passiven Ausrichten eines Lichtleiters, der mit einem optischen Eingangs/Ausgangs-Wellenleiter eines integrierten optischen Geräts gekoppelt werden soll, in welchem verschiedene optische Wellenleitergeräte mit verschiedenen Funktionen in einem Substrat integriert sind, sowie ein zugehöriges Verfahren.

Im allgemeinen kann ein Lichtleiter an einem optischen Wellenleitergerät durch eins der zwei nachstehend angegebenen Verfahren befestigt werden. Erstens wird nach der Wellenleiterführung einfallenden Lichts in einen Lichtleiter oder in ein optisches Gerät die Position des Lichtleiters exakt eingestellt, und wird die optische Leistung am Ausgangsanschluß des optischen Wellenleiters oder Lichtleiters gemessen, um dann den Lichtleiter und den optischen Wellenleiter im Zustand maximaler optischer Leistung zu befestigen. Dies wird als aktives Ausrichtungsverfahren bezeichnet. Andererseits werden, ohne das Licht auszurichten, der Lichtleiter und der optische Wellenleiter automatisch so ausgerichtet, daß sie miteinander gekoppelt sind, entsprechend der Form oder des Aufbaus der entsprechenden Kopplungsabschnitte, durch ein sogenanntes passives Ausrichtungsverfahren.

Das aktive Ausrichtungsverfahren ist üblich als Verfahren zum Koppeln des optischen Wellenleiters und des Lichtleiters. Das aktive Ausrichtungsverfahren erfordert eine Lichtquelle und einen Photodetektor, um den Lichtleiter und den optischen Wellenleiter auszurichten. Weiterhin können der Lichtleiter und der optische Wellenleiter mit einer Genauigkeit im Submikrometerbereich exakt in Bezug auf eine Ausrichtungsachse ausgerichtet werden, die sechs Freiheitsgrade aufweist. Daher ist die Ausrichtung schwierig und zeitaufwendig.

Die Fig. 1A und 1B sind eine dreidimensionale Ansicht und eine Seitenansicht zur Erläuterung eines herkömmlichen passiven Ausrichtungsverfahrens. Bei diesem Verfahren wird eine Wellenleiterschicht 101 in einem Abschnitt, auf welchem ein Lichtleiter angebracht werden soll, eines ebenen Substrats 100 so ausgebildet, daß ein Kernzentrum des Wellenleiters und ein Kernzentrum des Lichtleiters zusammenpassen, wodurch ein Lichtleitermontageabschnitt 103 mit einer V-förmigen Nut ausgebildet wird. Dann wird eine Nut senkrecht zum Lichtleitermontageabschnitt 103 mit der V-Nut ausgebildet, so daß der Lichtleiter 110 eng gegen den Lichtleitermontageabschnitt 103 gedrückt werden kann, während er parallel zum optischen Wellenleiter verläuft. Der Querschnitt des Lichtleiters 110 ist exakt geschliffen, und der Lichtleiter 110 wird auf dem mit der V-Nut versehenen Lichtleitermontageabschnitt 103 angebracht, und eng gegen den Querschnitt des optischen Wellenleiters angedrückt. Dann werden der Lichtleiter 110 und der optische Wellenleiter aneinander befestigt.

Da bei dem passiven Ausrichtungsverfahren die Durchmesser der Kerne des Lichtleiters und des optischen Wellenleiters im Bereich einiger Mikrometer liegen, sind eine sehr exakte Form und Anordnung des Kopplungsabschnitts, eine exakte Positionierung des Endes des Lichtleiters, und ein exaktes Schleifen des Querschnitts des Lichtleiterendes erforderlich, um Kopplungsverluste zu verringern. Die Ausrichtung ist daher zeitaufwendig und teuer.

Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht in der Lösung der voranstehend geschilderten Schwierigkeiten und in der Bereitstellung einer passiven Lichtleiterausrichtungseinrichtung zum passiven Ausrichten eines Lichtleiters zu einem optischen Eingangs/Ausgangswellenleiter eines integrierten optischen Gerätes, und in der Bereitstellung eines zugehörigen Verfahrens.

Gemäß einer Zielrichtung der Erfindung wird eine passive Lichtleiterausrichtungseinrichtung zum passiven Ausrichten eines Lichtleiters zu einem optischen Eingangs/Ausgangswellenleiter eines integrierten optischen Geräts zur Verfügung gestellt, welche aufweist: einen optischen Wellenleiter, der auf einem Substrat entlang der Längsrichtung des ebenen Substrats angeordnet ist, und einen Kern aufweist, der kürzer als das ebene Substrat ist; einen Lichtleitermontageabschnitt, der mit vorbestimmter Länge auf dem ebenen Substrat in Längsrichtung des ebenen Substrats vorgesehen ist, so daß der optische Wellenleiter und der Lichtleiter einander berühren, zur Aufnahme des Lichtleiters; und einen Hohlraum, der zwischen dem Lichtleitermontageabschnitt und einem Kern des optischen Wellenleiters angeordnet ist, und mit einem Material gefüllt ist, dessen Brechungsindex bei Bestrahlung mit UV-Strahlen leicht zunimmt, so daß sich der Brechungsindex des Materials nicht wesentlich von dem Brechungsindex des Kerns des Lichtleiters unterscheidet.

Vorzugsweise weist der Hohlraum einen Querschnitt in Form eines Dreiecks, eines Quadrats, eines Halbkreises oder eines Polygons auf, und wird der Hohlraum durch ein Verfahren hergestellt, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die das Siliziumsubstratätzen, die mechanische Präzisionsbearbeitung und das Präzisionsausformen umfaßt.

Gemäß einer weiteren Zielrichtung der Erfindung wird ein passives Lichtleiterausrichtungsverfahren zur passiven Ausrichtung eines Lichtleiters zu einem optischen Eingangs/Ausgangswellenleiter eines integrierten optischen Geräts zur Verfügung gestellt, welches folgende Schritte aufweist: (a) Ausbilden eines optischen Wellenleiters als Schicht in Längsrichtung eines ebenen Substrats; (b) Ausbildung eines Lichtleitermontageabschnitts auf dem ebenen Substrat, auf welchem der Lichtleiter angebracht werden soll, um den Lichtleiter und den optischen Wellenleiter zu koppeln; (c) Ausbildung eines Hohlraums mit vorbestimmten Abmessungen zwischen dem Lichtleitermontageabschnitt und dem optischen Wellenleiter; (d) Anbringen des Lichtleiters auf dem Lichtleitermontageabschnitt; (e) Einspritzen eines Materials in den Hohlraum, dessen Brechungsindex bei Bestrahlung mit N:W-Strahlen zunimmt; und (f) Koppeln des Lichtleiters und des optischen Wellenleiters durch Bestrahlung des den Hohlraum füllenden Materials mit UV-Strahlen.

Vorzugsweise wird in dem Schritt (b), bei welchem der Lichtleitermontageabschnitt ausgebildet wird, ein Teil der Schicht des optischen Wellenleiters, die auf dem ebenen Substrat ausgebildet ist, teilweise entfernt, um den Lichtleitermontageabschnitt zum Koppeln des Lichtleiters und des optischen Wellenleiters auszubilden.

Weiterhin wird ein passives Lichtleiterausrichtungsverfahren zur passiven Ausrichtung eines Lichtleiters zu einem optischen Eingangs/Ausgangs-Wellenleiter eines integrierten optischen Geräts zur Verfügung gestellt, welches folgende Schritte aufweist: (a) Ausbildung eines optischen Wellenleiters in Längsrichtung eines ebenen Substrats; (b) Ausbildung eines Lichtleitermontageabschnitts auf dem ebenen Substrat, auf welchem der Lichtleiter angebracht werden soll, um den Lichtleiter und den optischen Wellenleiter zu koppeln; (c) Anbringung des Lichtleiters in dem Lichtleitermontageabschnitt in der Nähe des optischen Wellenleiters und Befestigung des Lichtleiters; (d) Schneiden des auf dem Lichtleitermontageabschnitt angebrachten Lichtleiters nahe an dem optischen Wellenleiter und des optischen Wellenleiters auf solche Weise, daß die Querschnitte des Lichtleiters und des optischen Wellenleiters gleichzeitig geschliffen oder geschnitten werden, wodurch ein Hohlraum mit vorbestimmten Abmessungen zwischen dem Lichtleitermontageabschnitt und dem optischen Wellenleiter ausgebildet wird; (e) Einspritzen eines Materials in den Hohlraum, dessen Brechungsindex bei Bestrahlung mit UV-Strahlen zunimmt; und (f) Koppeln des Lichtleiters und des optischen Wellenleiters durch Einstrahlung von UV-Strahlen auf das Material, welches die Nut füllt.

Die Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch dargestellter Ausführungsbeispiele erläutert, aus welchen weitere Vorteile und Merkmale hervorgehen. Es zeigt:

Fig. 1A und 1B eine dreidimensionale Ansicht bzw. eine Seitenansicht zur Erläuterung eines herkömmlichen passiven Ausrichtungsverfahrens;

Fig. 2A und 2B eine dreidimensionale Ansicht bzw. eine Seitenansicht zur Erläuterung einer passiven Lichtleiterausrichtungseinrichtung, auf welcher ein Lichtleiter angebracht wird, und eines zugehörigen Verfahrens, gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 3A und 3B eine dreidimensionale Ansicht bzw. eine Seitenansicht zur Erläuterung einer passiven Lichtleiterausrichtungseinrichtung und eines zugehörigen Verfahrens gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und

Fig. 4 ein Diagramm mit einer Darstellung des Kopplungsverlustes entsprechend einem Modenfeldradius und einer Horizontalverschiebung.

In den Fig. 2A und 2B weist eine passive Lichtleiterausrichtungseinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung einen optischen Wellenleiter 240 auf, einen Lichtleitermontageabschnitt 210 und einen Hohlraum 220.

Der optische Wellenleiter 240 stellt einen Lichtausrichtungspfad zur Verfügung, und ein Kern 200 des optischen Wellenleiters ist auf einem ebenen Substrat 230 in dessen Längsrichtung vorgesehen, und ist kürzer als das ebene Substrat 230. Der optische Wellenleiter 240 ist als optische Wellenleiterschicht ausgebildet, durch Ablagerung von Siliziumoxid (Silika), auf dem ebenen Substrat 230 aus Silizium.

Der Lichtleitermontageabschnitt 210 ist ein Abschnitt, auf welchem ein Lichtleiter 250 angebracht wird. Der Lichtleitermontageabschnitt 210 wird in vorbestimmter Länge auf dem ebenen Substrat 230 in Längsrichtung des ebenen Substrats 230 so ausgebildet, daß sich der optische Wellenleiter 220 und der Lichtleiter 250 berühren. Zur Herstellung des Lichtleitermontageabschnitts 210 wird ein Abschnitt, auf welchem der Lichtleiter 250 angebracht werden soll, von dem hergestellten optischen Wellenleiter 240 entfernt, und dann wird das kristalline Si-Substrat 230 unter Verwendung einer Kaliumhydroxidlösung (KOH) anisotrop geätzt, was zu einem Lichtleitermontageabschnitt 210 führt, der eine Nut in Form eines V aufweist, so daß das Zentrum eines Lichtleiterkerns 252 das Zentrum des optischen Wellenleiterkerns 200 trifft.

Der Hohlraum 220 befindet sich zwischen dem Lichtleitermontageabschnitt 210 und dem Kern 200 des optischen Wellenleiters, und ist mit einem Material wie beispielsweise einem durch UV-Bestrahlung aushärtbaren Harz gefüllt, dessen Brechungsindex bei Bestrahlung mit UV- Strahlen geringfügig zunimmt, so daß sich der Brechungsindex nicht wesentlich von dem Brechungsindex des Lichtleiterkerns 252 unterscheidet. Hierbei kann der Hohlraum 220 jede Form aufweisen, durch welche der Lichtleiter aufgenommen werden kann, beispielsweise ein Dreieck, ein Quadrat oder einen Halbkreis, und kann durch Siliziumsubstratätzen, mechanische Präzisionsbearbeitung oder Präzisionsformen hergestellt werden.

Die Fig. 3A und 3B sind eine dreidimensionale Ansicht bzw. eine Seitenansicht, die eine passive Lichtleiterausrichtungseinrichtung zum Koppeln eines optischen Wellenleiters und eines Lichtleiters zeigen, sowie ein zugehöriges Verfahren, gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Wie in Fig. 3A gezeigt wird nach Ausbildung der V-Nut auf dem optischen Wellenleiter der Lichtleiter in der V-Nut angebracht, und werden der Lichtleiter und der optische Wellenleiter gleichzeitig vertikal geschnitten.

Wie in Fig. 3A gezeigt wird nach Ablagerung von Silika auf einem Siliziumsubstrat zur Ausbildung eines optischen Wellenleiters 310 als Schicht ein Abschnitt entsprechend dem Abschnitt der Schicht des optischen Wellenleiters entfernt, in welchem der Lichtleiter angebracht wird. Dann wird das kristalline Si-Substrat anisotrop unter Verwendung einer Kaliumhydroxidlösung (KOH) anisotrop geätzt, was zu einem Lichtleitermontageabschnitt 340 führt, der eine V-förmige Nut aufweist, so daß das Zentrum eines Lichtleiterkerns 322 zum Zentrum des Kerns 330 eines optischen Wellenleiters ausgerichtet ist. Dann wird ein Hohlraum 350, in welchen ein Material eingespritzt werden soll, dessen Brechungsindex bei Bestrahlung mit UV-Strahlen zunimmt, unter Verwendung einer Schneidmaschine 360 hergestellt, deren Klinge oder Schneidvorrichtung eine Dicke von einigen Mikrometer aufweist. Dies führt dazu, daß der Lichtleiter und der optische Wellenleiter gleichzeitig geschliffen werden.

Durch Verwendung der voranstehend geschilderten passiven Lichtleiterausrichtungseinrichtung werden der Lichtleiter und der optische Wellenleiter durch folgendes Verfahren ausgerichtet. Ein Material, dessen Brechungsindex sich bei UV-Bestrahlung erhöht, beispielsweise ein unter UV- Bestrahlung aushärtbares Harz, wird in den Hohlraum der passiven Lichtleiterausrichtungseinrichtung eingespritzt, also zwischen dem montierten Lichtleiter und dem optischen Wellenleiter. Dann wird der Lichtleiter mit UV-Strahlen bestrahlt. Der Abschnitt, auf den die UV-Strahlen auftreffen, härtet daher aus, und der Brechungsindex des ausgehärteten Abschnitts steigt stärker als jener des nicht ausgehärteten Abschnitts, was zu einem optischen Wellenleiter führt, dessen Kern einen Übergang zeigt. Ein optimaler optischer Wellenleiter kann durch Steuern der Intensität und der Bestrahlungszeit der UV-Strahlen erhalten werden. Bei einem derartigen optischen Wellenleiter, dessen Kern allmählich einen Übergang zeigt, werden die Kopplungsverluste zwischen dem Lichtleiter und dem optischen Wellenleiter durch eine Horizontalverschiebung relativ weniger beeinträchtigt, welche das Ausmaß der Fehlausrichtung zwischen den Kernachsen des Lichtleiters des optischen Wellenleiters darstellt.

Fig. 4 ist ein Diagramm, in welchem die Änderung der Kopplungsverluste entsprechend dem Modenfeldradius und der Horizontalverschiebung dargestellt ist. Wenn der Modenfeldradius des optischen Wellenleiters durch Bestrahlung mit UV-Strahlen zunimmt, nimmt die Abhängigkeit der Koppelverluste von der Horizontalverschiebung allmählich ab. Der Effekt des optischen Wellenleiters, der einen Kern mit einem allmählichen Übergang aufweist, läßt sich folgendermaßen bestätigen. Nimmt man an, daß das Modenfeld des Lichtleiters und des optischen Wellenleiters eine Gauss- Verteilung zeigt, und daß der Abstand und die Steigung zwischen dem Lichtleiter und dem optischen Wellenleiter gleich Null sind, so werden die Kopplungsverluste zwischen dem Lichtleiter und dem optischen Wellenleiter durch folgende mathematische Formel (1) ausgedrückt.

wobei w₁ und w₂ die Feldmodenradien (Radien bei der Leistung 1/e) des Lichtleiters und des optischen Wellenleiters darstellen, und d die Horizontalverschiebung zwischen dem Lichtleiter und dem optischen Wellenleiter angibt.

Wie in Fig. 4 gezeigt nimmt daher die Änderungsrate der Koppelverluste in Abhängigkeit von der Horizontalverschiebung ab, wenn der Feldmodenradius zunimmt. Hierbei wird angenommen, daß der Feldmodenradius des optischen Wellenleiters 4 µm beträgt.

Bei der voranstehenden Ausführungsform wird ein Lichtleiter mit einem einzigen Kern verwendet, um die Beschreibung nicht unnötig zu komplizieren. Der Lichtleiter kann jedoch mehrere Kerne aufweisen, ohne daß sich hieraus Einschränkungen ergeben.

Im allgemeinen nimmt der Feldmodenradius mit zunehmendem Kerndurchmesser zu. Die Ausbildung des optischen Wellenleiters gemäß der vorliegenden Erfindung, bei welcher der Kern einen allmählichen Übergang aufweist, verringert daher die Abhängigkeit der Koppelverluste von der Horizontalverschiebung. Daher ist es nicht erforderlich, die Form oder Ausbildung des Koppelabschnitts präzise zu steuern.

Insbesondere werden bei der voranstehend geschilderten, zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung der optische Wellenleiter und der Lichtleiter, der einen einzigen Kern oder mehrere Kerne aufweist, gleichzeitig senkrecht zum Substrat geschnitten. Gleichzeitig wird ein Hohlraum, in welchen ein Material eingespritzt wird, dessen Brechungsindex bei UB-Bestrahlung zunimmt, beispielsweise ein unter UV- Bestrahlung aushärtendes Harz, zwischen dem optischen Wellenleiter und dem Lichtleiter mit einem einzelnen Kern oder mehreren Kernen ausgebildet. Zu diesem Zweck wird ein mechanischer Präzisionsbearbeitungsvorgang nach der Montage des Lichtleiters durchgeführt, und erfolgt kein zusätzliches Schleifen des Querschnitts des Lichtleiters. Durch Ausbildung des optischen Wellenleiters, dessen Kern einen allmählichen Übergang zeigt, wird darüber hinaus die Bedeutung einer exakten Positionierung des Lichtleiters verringert.

Claims

1. Passive Lichtleiterausrichtungseinrichtung zum passiven Ausrichten eines Lichtleiters zu einem optischen Eingangs/Ausgangs-Wellenleiter eines integrierten optischen Geräts, welche aufweist:
einen optischen Wellenleiter, der auf einem ebenen Substrat entlang dessen Längsrichtung vorgesehen ist, und einen Kern aufweist, der kürzer ist als das ebene Substrat;
einen Lichtleitermontageabschnitt, der in vorbestimmter Länge auf dem ebenen Substrat in Längsrichtung des ebenen Substrats vorgesehen ist, so daß der optische Wellenleiter und der Lichtleiter einander berühren, zur Aufnahme des Lichtleiters; und
einen Hohlraum, der zwischen dem Lichtleitermontageabschnitt und einem Kern des optischen Wellenleiters liegt, und mit einem Material gefüllt ist, dessen Brechungsindex bei Bestrahlung mit UV-Strahlen geringfügig zunimmt, so daß der Brechungsindex des Materials sich nicht wesentlich von dem Brechungsindex eines Kerns des Lichtleiters unterscheidet.

2. Passive Lichtleiterausrichtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtleiter einen einzelnen Kern oder mehrere Kerne aufweist.

3. Passive Lichtleiterausrichtungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlraum einen Querschnitt in Form eines Dreiecks, eines Quadrats, eines Halbkreises oder eines Polygons aufweist.

4. Passive Lichtleiterausrichtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlraum durch ein Verfahren ausgebildet wird, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Siliziumsubstratätzung, mechanischen Präzisionsbearbeitung und Präzisionsausformung besteht.

5. Passives Lichtleiterausrichtungsverfahren zum passiven Ausrichten eines Lichtleiters zu einem optischen Eingangs/Ausgangs-Wellenleiter eines integrierten optischen Geräts, mit folgenden Schritten:

(a) Ausbildung eines optischen Wellenleiters als Schicht in Längsrichtung eines ebenen Substrats;
(b) Ausbildung eines Lichtleitermontageabschnitts auf dem ebenen Substrat, auf welchem der Lichtleiter angebracht werden soll, um den Lichtleiter und den optischen Wellenleiter zu koppeln;
(c) Ausbildung eines Hohlraums mit vorbestimmten Abmessungen zwischen dem Lichtleitermontageabschnitt und dem optischen Wellenleiter;
(d) Anbringung des Lichtleiters auf dem Lichtleitermontageabschnitt;
(e) Einspritzen eines Materials in den Hohlraum, dessen Brechungsindex bei Bestrahlung mit UV-Strahlen zunimmt; und
(f) Koppeln des Lichtleiters und des optischen Wellenleiters durch Bestrahlung des Materials, welches den Hohlraum ausfüllt, mit UV-Strahlen.

6. Passives Lichtleiterausrichtungsverfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Schritt (b), in welchem der Lichtleitermontageabschnitt hergestellt wird, ein Teil der Schicht des optischen Wellenleiters, die auf dem ebenen Substrat vorgesehen ist, entfernt wird, um den Lichtleitermontageabschnitt zum Koppeln des Lichtleiters und des optischen Wellenleiters herzustellen.

7. Passives Lichtleiterausrichtungsverfahren zum passiven Ausrichten eines Lichtleiters zu einem optischen Eingangs/Ausgangs-Wellenleiter eines integrierten optischen Geräts, mit folgenden Schritten:

(a) Ausbildung eines optischen Wellenleiters in Längsrichtung eines ebenen Substrats;
(b) Ausbildung eines Lichtleitermontageabschnitts auf dem ebenen Substrat, auf welchem der Lichtleiter angebracht werden soll, um den Lichtleiter und den optischen Wellenleiter zu koppeln;
(c) Anbringung des Lichtleiters in dem Lichtleitermontageabschnitt in der Nähe des optischen Wellenleiters, und Befestigung des Lichtleiters;
(d) Schneiden des auf dem Lichtleitermontageabschnitt angebrachten Lichtleiters in der Nähe des optischen Wellenleiters und des optischen Wellenleiters auf solche Weise, daß die Querschnitte des Lichtleiters und des optischen Wellenleiters gleichzeitig geschnitten oder geschliffen werden, wodurch ein Hohlraum mit vorbestimmten Abmessungen zwischen dem Lichtleitermontageabschnitt und dem optischen Wellenleiter ausgebildet wird;
(e) Einspritzen eines Materials in den Hohlraum, dessen Brechungsindex bei Bestrahlung mit UV-Strahlen zunimmt; und
(f) Koppeln des Lichtleiters und des optischen Wellenleiters durch Bestrahlung des die Nut ausfüllenden Materials mit UV-Strahlen.

8. Passives Lichtleiterausrichtungsverfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Schritt (b), in welchem der Lichtleitermontageabschnitt ausgebildet wird, ein Teil der Schicht des optischen Wellenleiters, die auf dem ebenen Substrat vorgesehen ist, entfernt wird, um den Lichtleitermontageabschnitt zum Koppeln des Lichtleiters und des optischen Wellenleiters auszubilden.