RU98108172A

RU98108172A - Способ контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в реальном времени и устройство его осуществления

Info

Publication number: RU98108172A
Application number: RU98108172/28A
Authority: RU
Inventors: А.М. Баранов; П.Е. Кондрашов; И.С. Смирнов
Original assignee: А.М. Баранов; П.Е. Кондрашов; И.С. Смирнов
Filing date: 1998-04-29
Publication date: 2000-02-10

Claims

1. Способ контроля параметров пленочных покрытий и шероховатости поверхности в реальном времени, включающий облучение объекта контроля потоком рентгеновского излучения под углом θ с расходимостью Δθ, выходящего из источника рентгеновского излучения и регистрацию отраженного от поверхности образца излучения, отличающийся тем, что облучение образца осуществляется потоком рентгеновского излучения одновременно двух или более длин волн.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что одновременно с регистрацией отраженного излучения регистрируется степень его поляризации и вторичные электромагнитный и электронный потоки, поочередно на каждой длине волны направленного на образец рентгеновского излучения.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что регистрацию отраженного излучения проводят под несколькими различными углами внутри телесного угла 0-π/2.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что облучение образца осуществляется потоком расходящегося рентгеновского излучения, сфокусированного в плоскость поверхности образца с одновременной регистрацией степени его поляризации и вторичных электромагнитного и электронного потоков, поочередно на каждой длине волны направленного на образец рентгеновского излучения.

5. Устройство для контроля параметров пленочных покрытий и шероховатости поверхности в реальном времени, включающее источник рентгеновского излучения, систему формирования рентгеновского луча и систему его регистрации, имеющие возможность плоскопараллельного перемещения в плоскости образца (x-y сканирование) и углового перемещения Θ сканирование), соединенные с технологической системой, обеспечивающей изменение параметров пленочных покрытий и поверхностей, отличающееся тем, что источник рентгеновского излучения излучают две или большее число длин волн, а система регистрации регистрирует отраженное излучение двух или более длин волн, под одним или несколькими различными углами внутри телесного угла 0-π/2 одновременно и независимо.

6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что используются два независимых источника рентгеновского излучения, расположенных под углами α₁ и α₂, в произвольных плоскостях.

7. Устройство по пп.5 и 6, отличающееся тем, что оно содержит дополнительные детекторы, регистрирующие вторичное световое излучение и вторичный поток электронов.