JP2884583B2 - Ｘ線集光器 - Google Patents
Ｘ線集光器Info
- Publication number
- JP2884583B2 JP2884583B2 JP1037140A JP3714089A JP2884583B2 JP 2884583 B2 JP2884583 B2 JP 2884583B2 JP 1037140 A JP1037140 A JP 1037140A JP 3714089 A JP3714089 A JP 3714089A JP 2884583 B2 JP2884583 B2 JP 2884583B2
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- JP
- Japan
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- ray
- rays
- zone
- point
- zone plate
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- Expired - Lifetime
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、Ｘ線を微小領域に集光させるにＸ線集光器
関する。
関する。
（従来の技術） 微小領域Ｘ線光電子分光分析装置やＸ線顕微鏡やＸ線
露光装置等においては、Ｘ線を微小領域に集中させ、Ｘ
線によって励起されて試料から放射する電子等を検出し
て分析したり、或は微細パターンの焼付けを行ったりし
ているが、Ｘ線を微小領域に照射する方法としては、Ｘ
線を簡単に集光する手段がないために、絞りやマスクで
制限をしているのが普通である。しかし、絞りやマスク
は集光能力を持たないので、Ｘ線の強度を強めることが
できない。数少ないＸ線の集光素子として、ゾーンプレ
ートやＸ線ミラー，凹面分光素子等があるが、Ｘ線を反
射させるには、表面に平行に近い入射角でＸ線を入射さ
せる必要があり、Ｘ線ミラーに入射するＸ線の立体角を
大きくするのは困難である。ゾーンプレートは理論上優
れたＸ線集光能力を有するが、直径の大きいゾーンプレ
ートを製作することは技術的に難しく、小径ゾーンプレ
ートでは、入射するＸ線の立体角が小さくなり、Ｘ線の
強度を上げることが難しい。また、凹面結晶格子をＸ線
集光素子として用いる場合、集光性を持たせるために、
結晶格子面を球面に形成させる必要があるが、結晶格子
は通常平面の板であり、結晶格子面を球面に形成させる
ことは難しく、そのために円筒状に形成した短冊型の結
晶格子を球面状に並べることにより、球面状の結晶格子
を製作している。そのために非常に高価になると云う問
題があった。
露光装置等においては、Ｘ線を微小領域に集中させ、Ｘ
線によって励起されて試料から放射する電子等を検出し
て分析したり、或は微細パターンの焼付けを行ったりし
ているが、Ｘ線を微小領域に照射する方法としては、Ｘ
線を簡単に集光する手段がないために、絞りやマスクで
制限をしているのが普通である。しかし、絞りやマスク
は集光能力を持たないので、Ｘ線の強度を強めることが
できない。数少ないＸ線の集光素子として、ゾーンプレ
ートやＸ線ミラー，凹面分光素子等があるが、Ｘ線を反
射させるには、表面に平行に近い入射角でＸ線を入射さ
せる必要があり、Ｘ線ミラーに入射するＸ線の立体角を
大きくするのは困難である。ゾーンプレートは理論上優
れたＸ線集光能力を有するが、直径の大きいゾーンプレ
ートを製作することは技術的に難しく、小径ゾーンプレ
ートでは、入射するＸ線の立体角が小さくなり、Ｘ線の
強度を上げることが難しい。また、凹面結晶格子をＸ線
集光素子として用いる場合、集光性を持たせるために、
結晶格子面を球面に形成させる必要があるが、結晶格子
は通常平面の板であり、結晶格子面を球面に形成させる
ことは難しく、そのために円筒状に形成した短冊型の結
晶格子を球面状に並べることにより、球面状の結晶格子
を製作している。そのために非常に高価になると云う問
題があった。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は、より大きい立体角のＸ線を一点に集光させ
る方法を提供することを目的とする。
る方法を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段） 複数のゾーンプレートを焦点がＸ線照射点に一致する
ように球面状に配置し、上記夫々のゾーンプレートの外
側にＸ線ファイバーの一端を対向させ、上記夫々のＸ線
ファイバーの他端がＸ線源に対向するように配置し、更
に、集光性及び透過率を向上させるために、上記とは別
の複数のゾーンプレートを焦点がＸ線源に一致するよう
に球面状に配置し、上記Ｘ線ファイバーの他端がこのゾ
ーンプレートの外側に対向するように配置した。
ように球面状に配置し、上記夫々のゾーンプレートの外
側にＸ線ファイバーの一端を対向させ、上記夫々のＸ線
ファイバーの他端がＸ線源に対向するように配置し、更
に、集光性及び透過率を向上させるために、上記とは別
の複数のゾーンプレートを焦点がＸ線源に一致するよう
に球面状に配置し、上記Ｘ線ファイバーの他端がこのゾ
ーンプレートの外側に対向するように配置した。
（作用） ゾーンプレートは小径なので、１枚のゾーンプレート
で集光できるＸ線は少ないけれど、複数枚のゾーンプレ
ートを用いて、一点にＸ線を集光させることができれ
ば、大きい立体角でＸ線を集光でき、大径のゾーンプレ
ートと同じ効果が期待できる。本発明は、上記の発想に
て、複数枚のゾーンプレートを焦点が同一集光点に位置
するように球面状に配置し、上記ゾーンプレートに垂直
にＸ線を照射させる方法として、Ｘ線ファイバーの一端
側がゾーンプレートに垂直となるように配置し、他端側
がＸ線源を臨むように配置させたものである。Ｘ線ファ
イバーはたとえば石英ガラスで製作された管であり、管
内面に沿った小さい入射角でＸ線を入射させれば、Ｘ線
は管内面で反射させることができる。従って、Ｘ線ファ
イバーに入射したＸ線は出口ではほぼ全部がＸ線ファイ
バーの管内面とほゞ平行になるので、Ｘ線ファイバーか
らの出射Ｘ線は小さな発散角のＸ線束となり、全部がゾ
ーンプレートに入射出来て、一点に集光されるから、入
口端をＸ線源に対向させ、出口端をゾーンプレートに対
向させるだけでも、Ｘ線をゾーンプレートの焦点に集光
させることができる。
で集光できるＸ線は少ないけれど、複数枚のゾーンプレ
ートを用いて、一点にＸ線を集光させることができれ
ば、大きい立体角でＸ線を集光でき、大径のゾーンプレ
ートと同じ効果が期待できる。本発明は、上記の発想に
て、複数枚のゾーンプレートを焦点が同一集光点に位置
するように球面状に配置し、上記ゾーンプレートに垂直
にＸ線を照射させる方法として、Ｘ線ファイバーの一端
側がゾーンプレートに垂直となるように配置し、他端側
がＸ線源を臨むように配置させたものである。Ｘ線ファ
イバーはたとえば石英ガラスで製作された管であり、管
内面に沿った小さい入射角でＸ線を入射させれば、Ｘ線
は管内面で反射させることができる。従って、Ｘ線ファ
イバーに入射したＸ線は出口ではほぼ全部がＸ線ファイ
バーの管内面とほゞ平行になるので、Ｘ線ファイバーか
らの出射Ｘ線は小さな発散角のＸ線束となり、全部がゾ
ーンプレートに入射出来て、一点に集光されるから、入
口端をＸ線源に対向させ、出口端をゾーンプレートに対
向させるだけでも、Ｘ線をゾーンプレートの焦点に集光
させることができる。
（実施例） 第１図に本発明の一実施例を示す。第１図において、
電子ビームＢがターゲット１の照射点Ｐに照射され、タ
ーゲット１照射点ＰからＸ線が放射される。２は石英ガ
ラス製の管であるＸ線ファイバーで、一端側の開口部2A
が照射点Ｐを中心とする球面上に配置されており、照射
点Ｐから放射されるＸ線が上記開口部2Aから管内に導入
される。他端側の開口部2Bが集光点Ｏに中心とする球面
上に配置されている。３は開口部2Bの前方に集光点Ｏが
焦点になるように配置されたゾーンプレートで、開口部
2Bからほぼ管側面と平行に出射されるＸ線を集光点Ｏに
集光させる。
電子ビームＢがターゲット１の照射点Ｐに照射され、タ
ーゲット１照射点ＰからＸ線が放射される。２は石英ガ
ラス製の管であるＸ線ファイバーで、一端側の開口部2A
が照射点Ｐを中心とする球面上に配置されており、照射
点Ｐから放射されるＸ線が上記開口部2Aから管内に導入
される。他端側の開口部2Bが集光点Ｏに中心とする球面
上に配置されている。３は開口部2Bの前方に集光点Ｏが
焦点になるように配置されたゾーンプレートで、開口部
2Bからほぼ管側面と平行に出射されるＸ線を集光点Ｏに
集光させる。
上記実施例では、Ｘ線ファイバーを用いているが、第
２図に示すように、Ｘ線ファイバーを用いずに、夫々の
ゾーンプレートに対応するＸ線源を配置し、各Ｘ線源か
ら放射されるＸ線を対応する各ゾーンプレートで直接集
光点に集光させることも可能であるが複数のＸ線源が必
要になる。
２図に示すように、Ｘ線ファイバーを用いずに、夫々の
ゾーンプレートに対応するＸ線源を配置し、各Ｘ線源か
ら放射されるＸ線を対応する各ゾーンプレートで直接集
光点に集光させることも可能であるが複数のＸ線源が必
要になる。
また、第３図に示すように、焦点距離の異なるゾーン
プレートを、集光点が一致するように配置させることに
よっても集光能力を向上させることができる。しかし、
この場合も第２図の場合と同様複数のＸ線源が要る上、
焦点距離の異なるゾーンプレートを用いた場合には、方
向によって輝度が異なったら、測定結果に影響が生じる
測定には用いることができない。
プレートを、集光点が一致するように配置させることに
よっても集光能力を向上させることができる。しかし、
この場合も第２図の場合と同様複数のＸ線源が要る上、
焦点距離の異なるゾーンプレートを用いた場合には、方
向によって輝度が異なったら、測定結果に影響が生じる
測定には用いることができない。
（発明の効果） 本発明によれば、複数枚のゾーンプレートにより一点
に集光させることにより、Ｘ線を広立体角で集光させる
ことが可能になり、集光点のＸ線強度を著しく強めるこ
とが可能になった。
に集光させることにより、Ｘ線を広立体角で集光させる
ことが可能になり、集光点のＸ線強度を著しく強めるこ
とが可能になった。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は第２実施
例の部分構成図、第３図は第３実施例の部分構成図であ
る。 Ｂ……電子ビーム、１……ターゲット、２……Ｘ線ファ
イバー、３……ゾーンプレート。
例の部分構成図、第３図は第３実施例の部分構成図であ
る。 Ｂ……電子ビーム、１……ターゲット、２……Ｘ線ファ
イバー、３……ゾーンプレート。
Claims (1)
- 【請求項１】複数のゾーンプレートを焦点が一致するよ
うに一つの球面状に配置し、上記夫々のゾーンプレート
の外側にＸ線ファイバーの一端を対向させ、上記各Ｘ線
ファイバーの他端を、一つのＸ線源を望むように配置し
たことを特徴とするＸ線集光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1037140A JP2884583B2 (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 | Ｘ線集光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1037140A JP2884583B2 (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 | Ｘ線集光器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02216100A JPH02216100A (ja) | 1990-08-28 |
| JP2884583B2 true JP2884583B2 (ja) | 1999-04-19 |
Family
ID=12489312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1037140A Expired - Lifetime JP2884583B2 (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 | Ｘ線集光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2884583B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6094471A (en) * | 1998-04-22 | 2000-07-25 | Smithsonian Astrophysical Observatory | X-ray diagnostic system |
| JP4492507B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2010-06-30 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線集束装置 |
| JP4837964B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2011-12-14 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線集束装置 |
| JP5046274B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2012-10-10 | 株式会社堀場製作所 | Ｘ線集光装置及びｘ線分析装置 |
| JP5326987B2 (ja) * | 2009-10-20 | 2013-10-30 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線集束装置 |
| DE102012013530B3 (de) * | 2012-07-05 | 2013-08-29 | Helmholtz-Zentrum Berlin Für Materialien Und Energie Gmbh | Vorrichtung zur Messung resonanter inelastischer Röntgenstreuung einer Probe |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60233600A (ja) * | 1984-05-02 | 1985-11-20 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線レンズ |
| JPS61260200A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | 富士通株式会社 | 軟ｘ線用偏向器 |
-
1989
- 1989-02-16 JP JP1037140A patent/JP2884583B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02216100A (ja) | 1990-08-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080212 Year of fee payment: 9 |
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