JPS60233600A - Ｘ線レンズ - Google Patents
Ｘ線レンズInfo
- Publication number
- JPS60233600A JPS60233600A JP8912384A JP8912384A JPS60233600A JP S60233600 A JPS60233600 A JP S60233600A JP 8912384 A JP8912384 A JP 8912384A JP 8912384 A JP8912384 A JP 8912384A JP S60233600 A JPS60233600 A JP S60233600A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray beam
- ray
- group
- zone plate
- diffraction grating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）０Ｍ業上の利用分野
この出願の発明は、Ｘ線光源から放射されるＸ線光束を
、例えば分析試料の配置された位置に収束させるもので
、口径が大きくかつ明るいＸ線レンズに関するものであ
る。
、例えば分析試料の配置された位置に収束させるもので
、口径が大きくかつ明るいＸ線レンズに関するものであ
る。
（ロ）、従来技術
オングストロームオーダの波長を持つＸ線の波長領域に
おいては、一般の光学系におけるレンズやミラーに相当
する通過あるいは反射効率のよい光学素子を得ることは
非常に困難である。
おいては、一般の光学系におけるレンズやミラーに相当
する通過あるいは反射効率のよい光学素子を得ることは
非常に困難である。
使用目的は相違するが、分光を行なうだめのミラーの如
きわん曲結晶はミラーと同様な光の収束作用を有してい
るが、Ｘ線光束がわん曲結晶に入射し、反射して折シ返
されるときに、Ｘ線光束の大部分がわん曲結晶に吸収さ
れ、入射されたＸ線光束の／ｘｏｏｏ程度のものしか分
析試料に照射させることができず、極めて効率の悪いも
のである。
きわん曲結晶はミラーと同様な光の収束作用を有してい
るが、Ｘ線光束がわん曲結晶に入射し、反射して折シ返
されるときに、Ｘ線光束の大部分がわん曲結晶に吸収さ
れ、入射されたＸ線光束の／ｘｏｏｏ程度のものしか分
析試料に照射させることができず、極めて効率の悪いも
のである。
極く最近の新技術として、凸レンズと同様の作用を持つ
ゾーンプレートと呼ばれる同心円状の格子を持つレンズ
を用いてＸ線光束を収束させようとする技術が提案され
ているが、いまだ実用化の域には達していない。
ゾーンプレートと呼ばれる同心円状の格子を持つレンズ
を用いてＸ線光束を収束させようとする技術が提案され
ているが、いまだ実用化の域には達していない。
かかる提案によるものは、Ｘ線光源から発散されるＸ線
光束をゾーンプレートに入射させ、ゾーンプレートを通
過する時に成る特定方向に回折させ、成る特定波長のＸ
線光束を一点に収束させようとするものである。
光束をゾーンプレートに入射させ、ゾーンプレートを通
過する時に成る特定方向に回折させ、成る特定波長のＸ
線光束を一点に収束させようとするものである。
これを第１図（ロ）、 Ｃｂ）によシ説明する。
同図（ａ）にはＸ線光束が入射される側から眺めたゾー
ンプレート１が模式的に示されており、白い部分がＸ線
光束を通過させる格子である。同図（ｂ）において、ゾ
ーンプレート１から距離αの位置Ｐに配置されたＸ線光
源から発散されたＸ線光束はゾーンプレート１によ構成
る特定方向に回折され、ゾーンプレート１から距離すの
位置の点Ｑに収束される。
ンプレート１が模式的に示されており、白い部分がＸ線
光束を通過させる格子である。同図（ｂ）において、ゾ
ーンプレート１から距離αの位置Ｐに配置されたＸ線光
源から発散されたＸ線光束はゾーンプレート１によ構成
る特定方向に回折され、ゾーンプレート１から距離すの
位置の点Ｑに収束される。
現在の技術レベルにおいては、前記″したような単一の
ゾーンプレートの製作可能な口径は、Ｘ線光束の波長か
ら決定されるもので、１００Ａ程度の波長では口径がせ
いぜい３ｍｍ程度であシ、１０人程度の波長で１１１Ｉ
＋１程度である。このように、製作可能なゾーングレー
トの口径が小であるだめ、レンズとして非常に暗いもの
であシ、実用に値する程度の明るさが得られないという
欠点がある０（ハ）、目的 この出願の発明は、前記した従来技術の有する欠点を解
消するものであって、その第１の発明はＸ線光源から発
生される平行Ｘ線光束を回折格子群に入射させ、その透
過Ｘ線光束を焦点距離の円周上の位置に配列したゾーン
プレート群に入射させ、一点に収束させる構成により、
明るくかつ口径の大きなＸ線レンズを提供し、そして波
長純度の高いＸ線を得ようとすることを目的とし、第２
の発明はＸ線光源から発散されるＸ線光束を、焦点距離
の円周上の位置に配列した第１のゾーンプレート群に入
射させ、これを通過したＸ線光束を回折格子群に入射さ
せ、これを通過したＸ線光束を焦点距離の円周上の位置
に配列された第２のゾーンプレート群に入射させ、一点
に収束させる構成により、明るくかつ口径の大きなＸ線
レンズを提供し、そして波長純度の高いＸ線を得ようと
することを目的とする。
ゾーンプレートの製作可能な口径は、Ｘ線光束の波長か
ら決定されるもので、１００Ａ程度の波長では口径がせ
いぜい３ｍｍ程度であシ、１０人程度の波長で１１１Ｉ
＋１程度である。このように、製作可能なゾーングレー
トの口径が小であるだめ、レンズとして非常に暗いもの
であシ、実用に値する程度の明るさが得られないという
欠点がある０（ハ）、目的 この出願の発明は、前記した従来技術の有する欠点を解
消するものであって、その第１の発明はＸ線光源から発
生される平行Ｘ線光束を回折格子群に入射させ、その透
過Ｘ線光束を焦点距離の円周上の位置に配列したゾーン
プレート群に入射させ、一点に収束させる構成により、
明るくかつ口径の大きなＸ線レンズを提供し、そして波
長純度の高いＸ線を得ようとすることを目的とし、第２
の発明はＸ線光源から発散されるＸ線光束を、焦点距離
の円周上の位置に配列した第１のゾーンプレート群に入
射させ、これを通過したＸ線光束を回折格子群に入射さ
せ、これを通過したＸ線光束を焦点距離の円周上の位置
に配列された第２のゾーンプレート群に入射させ、一点
に収束させる構成により、明るくかつ口径の大きなＸ線
レンズを提供し、そして波長純度の高いＸ線を得ようと
することを目的とする。
に）、構成
この出願の第１の発明は、Ｘ線光源から発散される平行
Ｘ線光束を回折格子群により成る特定波長のＸ線光束の
みを通過させ、次に多数のゾーンプレート群に入射させ
、そのゾーンプレート群の焦点に収束させるものであシ
、第２の発明はＸ線光源から発散されるＸ線光束を第１
のゾーンプレート群に入射させ、これを通過したＸ線光
束を回折格子群に入射させ、成る特定波長のＸ線光束の
みを通過させ、これを第２のゾーンプレート群に入射さ
せ、その焦点に収束させるものである。
Ｘ線光束を回折格子群により成る特定波長のＸ線光束の
みを通過させ、次に多数のゾーンプレート群に入射させ
、そのゾーンプレート群の焦点に収束させるものであシ
、第２の発明はＸ線光源から発散されるＸ線光束を第１
のゾーンプレート群に入射させ、これを通過したＸ線光
束を回折格子群に入射させ、成る特定波長のＸ線光束の
みを通過させ、これを第２のゾーンプレート群に入射さ
せ、その焦点に収束させるものである。
（ホ）実施例
以下において、この出願の第１の発明と第２の発明とを
実施例により説明する。
実施例により説明する。
第２図はこの出願の第１の発明に係わるものを示し、同
図（→は第１の発明のＸ線レンズの実施例４す 眺めた回折格子の模式図を、同図（Ｃ）は入射されたＸ
ｍ光束が回折され、特定波長のＸ線光束のみを通過させ
る状態を示すものである。
図（→は第１の発明のＸ線レンズの実施例４す 眺めた回折格子の模式図を、同図（Ｃ）は入射されたＸ
ｍ光束が回折され、特定波長のＸ線光束のみを通過させ
る状態を示すものである。
第２図（αンにおいて、Ｂは不図示のＸ線光源から発生
される平行Ｘ線光束であり、２は透過型回折格子群であ
り、この回折格子群２は不要な回折光や散乱光をシール
ドするシールド板２１．．２１ｓ 、・・・２１ｒＬに
より挟持される回折格子２．．２２．・・・２．−１か
らなシ、かつＸ線光束Ｂに対し直交する方向に配列され
ている。１は多数のゾーンプレート群を示し、シールド
板１１． 、 ｌｌｂ 、・・・１玩により挟持された
ゾーンプレート１□、１□、・・・ｔｎ−１からなり、
焦点Ｆ１を中心とした焦点距離ｆ１の位置の円周上の位
置に配列されている。なお、ゾーンプレート１１゜１□
、・・・１ｒＬ−１は回折格子２１，２□、・・・２レ
−１を通過する主光束の進行方向に対し直交する方向に
配列される。
される平行Ｘ線光束であり、２は透過型回折格子群であ
り、この回折格子群２は不要な回折光や散乱光をシール
ドするシールド板２１．．２１ｓ 、・・・２１ｒＬに
より挟持される回折格子２．．２２．・・・２．−１か
らなシ、かつＸ線光束Ｂに対し直交する方向に配列され
ている。１は多数のゾーンプレート群を示し、シールド
板１１． 、 ｌｌｂ 、・・・１玩により挟持された
ゾーンプレート１□、１□、・・・ｔｎ−１からなり、
焦点Ｆ１を中心とした焦点距離ｆ１の位置の円周上の位
置に配列されている。なお、ゾーンプレート１１゜１□
、・・・１ｒＬ−１は回折格子２１，２□、・・・２レ
−１を通過する主光束の進行方向に対し直交する方向に
配列される。
かかる構成のＸ線レンズの作用について説明すると、不
図示のＸ線光源から発生される平行Ｘ線折光や散乱光は
回折格子群２のシールド板２１ｏ。
図示のＸ線光源から発生される平行Ｘ線折光や散乱光は
回折格子群２のシールド板２１ｏ。
２１ｂ、・・・２１．Ｌによりシールドされ、回折格子
２１゜２２、・・・２ニー１に入射する。
２１゜２２、・・・２ニー１に入射する。
第２図＜ｂ）、 ＜ｃ＞に示すように、いま不図示のＸ
線光源からの平行Ｘ線光束Ｂは黒線で模式的に示した回
折格子２．に入射し、成る特定波長のＸ線光束Ｂのみを
β角度回折させ、次段のゾーンプレートＩＩに入射させ
る。他の回折格子２□、２３．・・・２ｎ−。
線光源からの平行Ｘ線光束Ｂは黒線で模式的に示した回
折格子２．に入射し、成る特定波長のＸ線光束Ｂのみを
β角度回折させ、次段のゾーンプレートＩＩに入射させ
る。他の回折格子２□、２３．・・・２ｎ−。
も同様にして成る特定波長のＸ線光束Ｂのみを焦点Ｆ１
の向きに通過させ、ゾーンプレート１□、１３゜・・・
’ｎ−１に入射させる。それぞれのゾーンプレート１．
．１２．・・・１１−１を通過するＸ線光束Ｂの主光束
がゾーンプレートの持つ収束作用により、例えば不図示
の分析試料の配置されている焦点Ｆ１に収束される。
の向きに通過させ、ゾーンプレート１□、１３゜・・・
’ｎ−１に入射させる。それぞれのゾーンプレート１．
．１２．・・・１１−１を通過するＸ線光束Ｂの主光束
がゾーンプレートの持つ収束作用により、例えば不図示
の分析試料の配置されている焦点Ｆ１に収束される。
次に、この出願の第２の発明のＸ線レンズの実施例を説
明する。第３図（α）はその実施例の側面を、同図（ｈ
）はＸ線光源から発散されるＸ線光束が収束点に収束さ
れる原理を説明する図である。
明する。第３図（α）はその実施例の側面を、同図（ｈ
）はＸ線光源から発散されるＸ線光束が収束点に収束さ
れる原理を説明する図である。
第３図（ロ）において、Ｆｌは不図示のＸ線光源の配置
された焦点であり、ここから発散されたＸ線光束Ｂは図
面の右方向に向って進行して行く。１は焦点Ｆ１を中心
とし焦点距離ムの円周上の位置に、発散しながら進行し
てくるＸ線光束Ｂに対し直交する方向に多数のゾーンプ
レー）１．．１２．・・・１ｎ−＋と、これらのゾーン
プレートを挟持するシールド板ＩＬ＋１１ｈ＋・・・１
１４とからなる第１のゾーンプレート群である。２は回
折格子群でアシ、回折格子２．．２２．・・・２ニー１
と、これらの回折格子を挟持するシールド板２１．．２
１．、・・・２１．とからなるものである。３は第２の
ゾーングレート群であシ、回折格子群２を通過したＸ線
光束Ｂの進行方向に対し直交する方向に配置され、かつ
焦点Ｆ２を中心とする焦点距離ｆ２の円周上の位置に配
列されたゾーンプレート３１＋３２＋・・・３ルー１と
、これらのゾーンプレートを挟持するシールド板”ａ
＋ ３１Ａ 、・・・３１ユとからガる。
された焦点であり、ここから発散されたＸ線光束Ｂは図
面の右方向に向って進行して行く。１は焦点Ｆ１を中心
とし焦点距離ムの円周上の位置に、発散しながら進行し
てくるＸ線光束Ｂに対し直交する方向に多数のゾーンプ
レー）１．．１２．・・・１ｎ−＋と、これらのゾーン
プレートを挟持するシールド板ＩＬ＋１１ｈ＋・・・１
１４とからなる第１のゾーンプレート群である。２は回
折格子群でアシ、回折格子２．．２２．・・・２ニー１
と、これらの回折格子を挟持するシールド板２１．．２
１．、・・・２１．とからなるものである。３は第２の
ゾーングレート群であシ、回折格子群２を通過したＸ線
光束Ｂの進行方向に対し直交する方向に配置され、かつ
焦点Ｆ２を中心とする焦点距離ｆ２の円周上の位置に配
列されたゾーンプレート３１＋３２＋・・・３ルー１と
、これらのゾーンプレートを挟持するシールド板”ａ
＋ ３１Ａ 、・・・３１ユとからガる。
かかる構成のＸ線レンズの作用について説明する０
゛ 焦点Ｆ、に配置された不図示のＸ線光源から発散占
１ されるＸ線光束Ｂは図面の右方向に向けて発散しながら
進行し、焦点距離ｆ１の円周上の位置に配列された第１
のゾーンプレート群１に入射する。第１のゾーンプレー
ト群１により成る特定波長を持つＸ線光束Ｂのみがそれ
ぞれに対応する回折格子２に平行に通過させられ、回折
格子群２に向って進行する。回折格子群２のシールド板
２１．．２１．。
１ されるＸ線光束Ｂは図面の右方向に向けて発散しながら
進行し、焦点距離ｆ１の円周上の位置に配列された第１
のゾーンプレート群１に入射する。第１のゾーンプレー
ト群１により成る特定波長を持つＸ線光束Ｂのみがそれ
ぞれに対応する回折格子２に平行に通過させられ、回折
格子群２に向って進行する。回折格子群２のシールド板
２１．．２１．。
・・・２１．、により不要な回折光や散乱光がシールド
され、それ以外のＸ線光束Ｂが回折格子２１ ＋２２
＋・・・２ニー１に入射される。回折格子２．．２□、
・・・４−１によシ入射されたＸ線光束Ｂのうち特定波
長を持つＸ線光束Ｂのみがそれぞれに対応する第２のゾ
ーンプレート群３の方向に回折され、焦点Ｆ２を中心と
した焦点距離ｆ２の円周上の位置に配列された第２のゾ
ーンプレート群３に入射される。第２のゾーンプレート
群３により、入射されたＸ線光束Ｂは、例えば分析試料
の配置された焦点Ｆ２に収束される。
され、それ以外のＸ線光束Ｂが回折格子２１ ＋２２
＋・・・２ニー１に入射される。回折格子２．．２□、
・・・４−１によシ入射されたＸ線光束Ｂのうち特定波
長を持つＸ線光束Ｂのみがそれぞれに対応する第２のゾ
ーンプレート群３の方向に回折され、焦点Ｆ２を中心と
した焦点距離ｆ２の円周上の位置に配列された第２のゾ
ーンプレート群３に入射される。第２のゾーンプレート
群３により、入射されたＸ線光束Ｂは、例えば分析試料
の配置された焦点Ｆ２に収束される。
第３図（ｂ）において、Ｘ線光源から発散されるＸ線光
束Ｂは第１のゾーンプレート群１のゾーンプレート１１
に入射され、このゾーンプレート１．を通過したＸ線光
束Ｂ、はシールド板２１４と２１ｈとにより挟持される
回折格子２１−８に入射角０１にて入射され、射出角θ
２だけ回折されて第２のゾーンプレート群３のゾーンプ
レート３．に向けて射出される。回折格子２、に対する
入射角θ１、射出角θ２、射出されたＸ線光束Ｂの波長
をλ、回折格子２１−１と２．−２との間隔、回折次数
をＰとすると、それらの関係は回折の基本形式としてよ
く知られているように、ノ堀θ２− ｉｎｎθ１＝ Ｐ
（）ｙｄ）、（Ｐ＝ ｏ 、±１．±２．・・・）の関
係式で示される。
束Ｂは第１のゾーンプレート群１のゾーンプレート１１
に入射され、このゾーンプレート１．を通過したＸ線光
束Ｂ、はシールド板２１４と２１ｈとにより挟持される
回折格子２１−８に入射角０１にて入射され、射出角θ
２だけ回折されて第２のゾーンプレート群３のゾーンプ
レート３．に向けて射出される。回折格子２、に対する
入射角θ１、射出角θ２、射出されたＸ線光束Ｂの波長
をλ、回折格子２１−１と２．−２との間隔、回折次数
をＰとすると、それらの関係は回折の基本形式としてよ
く知られているように、ノ堀θ２− ｉｎｎθ１＝ Ｐ
（）ｙｄ）、（Ｐ＝ ｏ 、±１．±２．・・・）の関
係式で示される。
焦点光から発散されたＸ線光束Ｂ１を焦点Ｆ２の方向に
回折させるためには、入射角θ、と、射出角θ２と、格
子間隔ｄとが前記した式を満足させることが必要となる
。その第１の手段として回折格子２ ．２ ．２ 、・
・・の間隔をｄ、 、 ｄ、２．・・・とそ１−１１−
２１−３ れぞれ異ならせるか、又は第２の手段として格子間隔ｄ
を一定とした場合に入射角θ１と射出角θ２とがそれぞ
れ異なるように、回折格子２１−１１２１−２ ＋・・
・をそれぞれ傾むけるようにしなげればならない。
回折させるためには、入射角θ、と、射出角θ２と、格
子間隔ｄとが前記した式を満足させることが必要となる
。その第１の手段として回折格子２ ．２ ．２ 、・
・・の間隔をｄ、 、 ｄ、２．・・・とそ１−１１−
２１−３ れぞれ異ならせるか、又は第２の手段として格子間隔ｄ
を一定とした場合に入射角θ１と射出角θ２とがそれぞ
れ異なるように、回折格子２１−１１２１−２ ＋・・
・をそれぞれ傾むけるようにしなげればならない。
この出願の第１の発明と第２の発明の詳細な説明におい
て、焦点と回折格子とを結ぶ中心軸線上にもゾーンプレ
ートを設ける場合について述べであるが、前記した中心
軸線上に位置するゾーンプレートのみは省略してもよい
。
て、焦点と回折格子とを結ぶ中心軸線上にもゾーンプレ
ートを設ける場合について述べであるが、前記した中心
軸線上に位置するゾーンプレートのみは省略してもよい
。
このようにこの出願の第１の発明と第２の発明のＸ線レ
ンズは口径が犬で、明るく、かつこれにより波長純度の
高いＸ線光束が得られるので、これを試料に照射した場
合は精度の高い分析結果が得られる。
ンズは口径が犬で、明るく、かつこれにより波長純度の
高いＸ線光束が得られるので、これを試料に照射した場
合は精度の高い分析結果が得られる。
（へ）、効果
以上説明したようにこの出願の第１の発明によると、平
行Ｘ線光束を回折格子群に入射させ、特定波長のＸ線光
束のみをゾーンプレート群に入射させ、収束させるもの
であるから、口径が大で、明るいＸ線レンズを提供する
ことができ、かつこれによシ波長純度の高いＸ線光束を
得ることができ、また第２の発明によると、Ｘ線光源か
ら発散されたＸ線光束を第１のゾーンプレート群に入射
させ、これを通過したＸ線光束を回折格子群に入射させ
、特定波長のＸ線光束のみを第２のゾーンプレート群に
入射させ、収束させるものであるから、口径が犬で、明
るいＸ線レンズを提供することができ、かつ波長純度の
高いＸ線光束を得ることができる。
行Ｘ線光束を回折格子群に入射させ、特定波長のＸ線光
束のみをゾーンプレート群に入射させ、収束させるもの
であるから、口径が大で、明るいＸ線レンズを提供する
ことができ、かつこれによシ波長純度の高いＸ線光束を
得ることができ、また第２の発明によると、Ｘ線光源か
ら発散されたＸ線光束を第１のゾーンプレート群に入射
させ、これを通過したＸ線光束を回折格子群に入射させ
、特定波長のＸ線光束のみを第２のゾーンプレート群に
入射させ、収束させるものであるから、口径が犬で、明
るいＸ線レンズを提供することができ、かつ波長純度の
高いＸ線光束を得ることができる。
第１図は従来技術のゾーンプレートを示し、同図（→は
ゾーンプレートの模式図を、同図＜ｂ＞はゾーンプレー
トを用いた光学系を示す図、第２図はこの出願の第１の
発明に係わるものを示し、同図（α）はその実施例の側
面図、同図＜ｂ＞は回折格子を正面から眺めた模式図、
同図（Ｃ）は回折格子を通過するＸ線光束が回折される
状態を説明する図、第３図はこの出願の第２の発明に係
わるものを示し、同図（ａ）はその実施例の側面図、同
図（ｂ）はその原理を説明する図である。 図中、１は第１の発明においてはゾーンプレート群を、
第２の発明においては第１のゾーンプレート群、２は回
折格子群、３は第２のゾーンプレート群、１１ａ、ｌｌ
ｂ、・・・１１．はゾーンプレートのシールド板、１．
、１２．・・・１ニー１はゾーンプレート、２１ａ
’、 ２１ｂ 、・・・２１．、は回折格子のシールド
板、２□。 ２２、・・−２，、は回折格子、３１． 、、３ｂ ＋
・・−３１ｎはゾーンプレートのシールド板、３□、３
２．・・・３ニー１ハソーンプレートを示す。 第１図 （０’ （ｂ） 第２図 （ｂ） （Ｃ） １ ＼Ｂ
ゾーンプレートの模式図を、同図＜ｂ＞はゾーンプレー
トを用いた光学系を示す図、第２図はこの出願の第１の
発明に係わるものを示し、同図（α）はその実施例の側
面図、同図＜ｂ＞は回折格子を正面から眺めた模式図、
同図（Ｃ）は回折格子を通過するＸ線光束が回折される
状態を説明する図、第３図はこの出願の第２の発明に係
わるものを示し、同図（ａ）はその実施例の側面図、同
図（ｂ）はその原理を説明する図である。 図中、１は第１の発明においてはゾーンプレート群を、
第２の発明においては第１のゾーンプレート群、２は回
折格子群、３は第２のゾーンプレート群、１１ａ、ｌｌ
ｂ、・・・１１．はゾーンプレートのシールド板、１．
、１２．・・・１ニー１はゾーンプレート、２１ａ
’、 ２１ｂ 、・・・２１．、は回折格子のシールド
板、２□。 ２２、・・−２，、は回折格子、３１． 、、３ｂ ＋
・・−３１ｎはゾーンプレートのシールド板、３□、３
２．・・・３ニー１ハソーンプレートを示す。 第１図 （０’ （ｂ） 第２図 （ｂ） （Ｃ） １ ＼Ｂ
Claims (2)
- （１）、Ｘ線光源から放射される平行Ｘ線光束から特定
波長を持つＸ線光束を通過させる回折格子群と、前記回
折格子群を通過した特定波長のＸ線光束が入射される、
焦点距離ｆ、の円周上の位置に配列されたゾーンプレー
ト群とを備えるＸ線レンズ。 - （２）、Ｘ線光源を中心とした焦点距離ｆ、の円周上の
位置に配列された第１のゾーンプレート群と、前記第１
のゾーンプレート群を通過したＸ線光束から特定波長の
Ｘ線光束のみを通過させる回折格子群と、前記回折格子
群を通過した特定波長のＸ線光束が入射され、焦点距離
ｆ２を中心とした円周上の位置に配列された第２のゾー
ンプレート群とを備え不Ｘ線レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8912384A JPS60233600A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | Ｘ線レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8912384A JPS60233600A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | Ｘ線レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60233600A true JPS60233600A (ja) | 1985-11-20 |
| JPH0519680B2 JPH0519680B2 (ja) | 1993-03-17 |
Family
ID=13962107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8912384A Granted JPS60233600A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | Ｘ線レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60233600A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62126334A (ja) * | 1985-11-28 | 1987-06-08 | Fujitsu Ltd | Ｘ線顕微鏡 |
| JPH02216100A (ja) * | 1989-02-16 | 1990-08-28 | Shimadzu Corp | Ｘ線集光器 |
| US5869841A (en) * | 1996-12-10 | 1999-02-09 | University Of Chicago | 3-dimensional imaging system using crystal diffraction lenses |
| JP2002195963A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Ours Tex Kk | Ｘ線分光装置およびｘ線分析装置 |
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-
1984
- 1984-05-02 JP JP8912384A patent/JPS60233600A/ja active Granted
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| JPS62126334A (ja) * | 1985-11-28 | 1987-06-08 | Fujitsu Ltd | Ｘ線顕微鏡 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0519680B2 (ja) | 1993-03-17 |
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