RU97108626A - Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме - Google Patents
Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакуумеInfo
- Publication number
- RU97108626A RU97108626A RU97108626/02A RU97108626A RU97108626A RU 97108626 A RU97108626 A RU 97108626A RU 97108626/02 A RU97108626/02 A RU 97108626/02A RU 97108626 A RU97108626 A RU 97108626A RU 97108626 A RU97108626 A RU 97108626A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- product
- cathode
- ions
- graphite
- metal
- Prior art date
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims 16
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title claims 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims 4
- 239000000047 product Substances 0.000 claims 15
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 10
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims 8
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 8
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 claims 6
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims 2
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000005275 alloying Methods 0.000 claims 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminum Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 claims 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 claims 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N oxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 claims 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims 1
Claims (1)
1. Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме, заключающийся в том, что осуществляют предварительную подготовку поверхности изделия, помещают изделие в вакуумную камеру, обрабатывают поверхность изделия ускоренными ионами, наносят на обработанную поверхность изделия подслой материала, осуществляют электродуговое вакуумное распыление графитового катода из катодного пятна и получают углеродную плазму, ускоряют ионную компоненту углеродной плазмы, осаждают полученную углеродную плазму на поверхности изделия и получают углеродное алмазоподобное покрытие, отличающийся тем, что для получения, ускорения и осаждения углеродной плазмы используют импульсный электродуговой разряд, посредством которого возбуждают множество катодных пятен на торцевой поверхности графитового катода, перемещающихся по торцевой поверхности катода со скоростью 10 - 30 м/с и генерирующих углеродную плазму с энергией ионов 40 - 100 эВ и концентрацией ионов в плазме 1012 - 1014 см-3, при этом изделие в вакуумной камере электроизолируют, поддерживают температуру изделия в пределах от 200 до 450К посредством регулирования частоты следования импульсов разряда.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что при обработке металлического изделия в качестве ускоренных ионов используют ионы металла.
3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что в качестве материала подслоя используют металл толщиной 
в качестве которого используют металл, выбранный из группы, состоящей из титана, хрома, молибдена, циркония, ниобия, вольфрама.
4. Способ по пп. 2 и 3, отличающийся тем, что при обработке поверхности изделия ускоренными ионами металла повышают температуру изделия до 473 - 573К, затем охлаждают изделие до температуры 293 - 300К, повторно обрабатывают поверхность изделия ускоренными ионами металла до достижения температуры 323К.
5. Способ по пп. 2 - 4, отличающийся тем, что способ осуществляют в атмосфере аргона при давлении 10-2 - 10-1Па.
6. Способ по п. 1, отличающийся тем, что при обработке изделия из диэлектрика в качестве ускоренных ионов используют ионы газа, выбранного из группы, состоящей из аргона, азота, кислорода или их смеси.
7. Способ по п. 1, отличающийся тем, что при обработке изделия из стекла на него предварительно наносят слой нитрида алюминия толщиной 
8. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве графитового катода используют графит высокой степени очистки, в котором количество пор составляет около 0,5%.
8. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве графитового катода используют графит высокой степени очистки, в котором количество пор составляет около 0,5%.
9. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве графитового катода используют графит с примесью легирующего элемента, в качестве которого используют элемент, выбранный из группы, состоящей из кремния, германия, осмия, висмута, фосфора, сурьмы.
10. Способ по п. 1, отличающийся тем, что осуществляют распыление дополнительного катода, выполненного из металла, выбранного из группы, состоящей из титана, хрома, алюминия, циркония, кремния и германия.
11. Способ по п. 1, отличающийся тем, что обрабатывают сформированное на изделии алмазоподобное покрытие ускоренными ионами газа или металла.
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU97108626A RU2114210C1 (ru) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме |
| US09/424,763 US6261424B1 (en) | 1997-05-30 | 1998-05-28 | Method of forming diamond-like carbon coating in vacuum |
| CN98805586.4A CN1258322A (zh) | 1997-05-30 | 1998-05-28 | 在真空中生成金刚石般碳涂层的方法 |
| JP50054099A JP2002501575A (ja) | 1997-05-30 | 1998-05-28 | 真空内でダイヤモンド質のカーボン薄膜を成膜する方法 |
| PCT/NO1998/000158 WO1998054376A1 (en) | 1997-05-30 | 1998-05-28 | Method of forming diamond-like carbon coating in vacuum |
| KR1019997010940A KR20010012970A (ko) | 1997-05-30 | 1998-05-28 | 진공하에 다이아몬드형 탄소 코팅막의 형성방법 |
| EP98924681A EP0985057A1 (en) | 1997-05-30 | 1998-05-28 | Method of forming diamond-like carbon coating in vacuum |
| AU76785/98A AU7678598A (en) | 1997-05-30 | 1998-05-28 | Method of forming diamond-like carbon coating in vacuum |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU97108626A RU2114210C1 (ru) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2114210C1 RU2114210C1 (ru) | 1998-06-27 |
| RU97108626A true RU97108626A (ru) | 1998-11-27 |
Family
ID=20193334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU97108626A RU2114210C1 (ru) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6261424B1 (ru) |
| EP (1) | EP0985057A1 (ru) |
| JP (1) | JP2002501575A (ru) |
| KR (1) | KR20010012970A (ru) |
| CN (1) | CN1258322A (ru) |
| AU (1) | AU7678598A (ru) |
| RU (1) | RU2114210C1 (ru) |
| WO (1) | WO1998054376A1 (ru) |
Families Citing this family (75)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3555844B2 (ja) | 1999-04-09 | 2004-08-18 | 三宅 正二郎 | 摺動部材およびその製造方法 |
| US6280834B1 (en) | 1999-05-03 | 2001-08-28 | Guardian Industries Corporation | Hydrophobic coating including DLC and/or FAS on substrate |
| US6475573B1 (en) | 1999-05-03 | 2002-11-05 | Guardian Industries Corp. | Method of depositing DLC inclusive coating on substrate |
| US6368664B1 (en) | 1999-05-03 | 2002-04-09 | Guardian Industries Corp. | Method of ion beam milling substrate prior to depositing diamond like carbon layer thereon |
| US6277480B1 (en) | 1999-05-03 | 2001-08-21 | Guardian Industries Corporation | Coated article including a DLC inclusive layer(s) and a layer(s) deposited using siloxane gas, and corresponding method |
| DE19933707A1 (de) * | 1999-07-19 | 2001-01-25 | Johannes Moeller Hamburg Engin | Beschickungsvorrichtung für feinteiliges oder pulverförmiges Material |
| JP4560964B2 (ja) | 2000-02-25 | 2010-10-13 | 住友電気工業株式会社 | 非晶質炭素被覆部材 |
| US6359388B1 (en) | 2000-08-28 | 2002-03-19 | Guardian Industries Corp. | Cold cathode ion beam deposition apparatus with segregated gas flow |
| EP1184119A1 (en) * | 2000-08-31 | 2002-03-06 | N.V. Bekaert S.A. | Tool for cutting organic material comprising a twisted cutting wire having a sharp pointed cross-section |
| US6566983B2 (en) * | 2000-09-02 | 2003-05-20 | Lg Electronics Inc. | Saw filter using a carbon nanotube and method for manufacturing the same |
| US6602371B2 (en) | 2001-02-27 | 2003-08-05 | Guardian Industries Corp. | Method of making a curved vehicle windshield |
| US6797336B2 (en) * | 2001-03-22 | 2004-09-28 | Ambp Tech Corporation | Multi-component substances and processes for preparation thereof |
| US6613198B2 (en) | 2001-04-18 | 2003-09-02 | James F. Garvey | Pulsed arc molecular beam process |
| US20050034668A1 (en) * | 2001-03-22 | 2005-02-17 | Garvey James F. | Multi-component substances and apparatus for preparation thereof |
| KR100465738B1 (ko) * | 2002-07-04 | 2005-01-13 | 한국과학기술연구원 | 다층 경질 탄소박막과 그 제조방법 |
| US6815690B2 (en) * | 2002-07-23 | 2004-11-09 | Guardian Industries Corp. | Ion beam source with coated electrode(s) |
| KR20040022639A (ko) * | 2002-09-09 | 2004-03-16 | 주식회사 네오바이오텍 | 탄소계 물질 박막 형성방법 |
| US6988463B2 (en) * | 2002-10-18 | 2006-01-24 | Guardian Industries Corp. | Ion beam source with gas introduced directly into deposition/vacuum chamber |
| US6812648B2 (en) | 2002-10-21 | 2004-11-02 | Guardian Industries Corp. | Method of cleaning ion source, and corresponding apparatus/system |
| US6969198B2 (en) | 2002-11-06 | 2005-11-29 | Nissan Motor Co., Ltd. | Low-friction sliding mechanism |
| FR2849867B1 (fr) * | 2003-01-10 | 2005-03-25 | Centre Nat Rech Scient | Croissance diamant a grande vitesse par plasma micro-onde en regime pulse. |
| US7416786B2 (en) * | 2003-02-26 | 2008-08-26 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Amorphous carbon film, process for producing the same and amorphous carbon film-coated material |
| US20040172832A1 (en) * | 2003-03-04 | 2004-09-09 | Colin Clipstone | Razor blade |
| RU2240376C1 (ru) * | 2003-05-22 | 2004-11-20 | Ооо "Альбатэк" | Способ формирования сверхтвердого аморфного углеродного покрытия в вакууме |
| JP2005008851A (ja) * | 2003-05-29 | 2005-01-13 | Nissan Motor Co Ltd | 硬質炭素薄膜付き機械加工工具用切削油及び硬質炭素薄膜付き機械加工工具 |
| US7781063B2 (en) | 2003-07-11 | 2010-08-24 | Siemens Energy, Inc. | High thermal conductivity materials with grafted surface functional groups |
| US7033670B2 (en) * | 2003-07-11 | 2006-04-25 | Siemens Power Generation, Inc. | LCT-epoxy polymers with HTC-oligomers and method for making the same |
| JP4863152B2 (ja) | 2003-07-31 | 2012-01-25 | 日産自動車株式会社 | 歯車 |
| KR101003865B1 (ko) | 2003-08-06 | 2010-12-30 | 닛산 지도우샤 가부시키가이샤 | 저마찰 접동 기구, 저마찰제 조성물 및 마찰 감소 방법 |
| JP4973971B2 (ja) | 2003-08-08 | 2012-07-11 | 日産自動車株式会社 | 摺動部材 |
| US7771821B2 (en) | 2003-08-21 | 2010-08-10 | Nissan Motor Co., Ltd. | Low-friction sliding member and low-friction sliding mechanism using same |
| EP1508611B1 (en) | 2003-08-22 | 2019-04-17 | Nissan Motor Co., Ltd. | Transmission comprising low-friction sliding members and transmission oil therefor |
| US20080050580A1 (en) * | 2004-06-15 | 2008-02-28 | Stevens Gary C | High Thermal Conductivity Mica Paper Tape |
| US7309526B2 (en) * | 2004-06-15 | 2007-12-18 | Siemens Power Generation, Inc. | Diamond like carbon coating on nanofillers |
| US7553438B2 (en) * | 2004-06-15 | 2009-06-30 | Siemens Energy, Inc. | Compression of resin impregnated insulating tapes |
| US7592045B2 (en) * | 2004-06-15 | 2009-09-22 | Siemens Energy, Inc. | Seeding of HTC fillers to form dendritic structures |
| US20050277721A1 (en) | 2004-06-15 | 2005-12-15 | Siemens Westinghouse Power Corporation | High thermal conductivity materials aligned within resins |
| US7776392B2 (en) * | 2005-04-15 | 2010-08-17 | Siemens Energy, Inc. | Composite insulation tape with loaded HTC materials |
| US20050274774A1 (en) * | 2004-06-15 | 2005-12-15 | Smith James D | Insulation paper with high thermal conductivity materials |
| US8216672B2 (en) * | 2004-06-15 | 2012-07-10 | Siemens Energy, Inc. | Structured resin systems with high thermal conductivity fillers |
| US7553781B2 (en) * | 2004-06-15 | 2009-06-30 | Siemens Energy, Inc. | Fabrics with high thermal conductivity coatings |
| DE102004033321B4 (de) * | 2004-07-09 | 2006-03-30 | Brueninghaus Hydromatik Gmbh | Axialkolbenmaschine mit Verschleißschutzschicht |
| US7846853B2 (en) * | 2005-04-15 | 2010-12-07 | Siemens Energy, Inc. | Multi-layered platelet structure |
| US7651963B2 (en) * | 2005-04-15 | 2010-01-26 | Siemens Energy, Inc. | Patterning on surface with high thermal conductivity materials |
| US20060280946A1 (en) * | 2005-05-20 | 2006-12-14 | United Technologies Corporation | Metal-containing diamond-like-carbon coating compositions |
| US7955661B2 (en) * | 2005-06-14 | 2011-06-07 | Siemens Energy, Inc. | Treatment of micropores in mica materials |
| US20070026221A1 (en) * | 2005-06-14 | 2007-02-01 | Siemens Power Generation, Inc. | Morphological forms of fillers for electrical insulation |
| US7655295B2 (en) | 2005-06-14 | 2010-02-02 | Siemens Energy, Inc. | Mix of grafted and non-grafted particles in a resin |
| US8357433B2 (en) * | 2005-06-14 | 2013-01-22 | Siemens Energy, Inc. | Polymer brushes |
| US7851059B2 (en) * | 2005-06-14 | 2010-12-14 | Siemens Energy, Inc. | Nano and meso shell-core control of physical properties and performance of electrically insulating composites |
| US7781057B2 (en) * | 2005-06-14 | 2010-08-24 | Siemens Energy, Inc. | Seeding resins for enhancing the crystallinity of polymeric substructures |
| WO2007070026A1 (en) * | 2005-12-13 | 2007-06-21 | United Technologies Corporation | Process for deposition of amorphous carbon |
| EP1884978B1 (en) * | 2006-08-03 | 2011-10-19 | Creepservice S.à.r.l. | Process for the coating of substrates with diamond-like carbon layers |
| US7547847B2 (en) * | 2006-09-19 | 2009-06-16 | Siemens Energy, Inc. | High thermal conductivity dielectric tape |
| US7879203B2 (en) * | 2006-12-11 | 2011-02-01 | General Electric Company | Method and apparatus for cathodic arc ion plasma deposition |
| CN101200802B (zh) * | 2006-12-13 | 2010-05-12 | 上海坤孚企业(集团)有限公司 | 发动机内壁陶瓷化处理方法 |
| US8076617B2 (en) * | 2007-04-06 | 2011-12-13 | Norwood Robert A | Nanoamorphous carbon-based photonic crystal infrared emitters |
| WO2010020274A1 (en) * | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Metso Paper, Inc. | Coating for lowering friction effect and improving wear resistance of a component in a fibre web machine and process of producing the same |
| DE102009003232A1 (de) * | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Gleitelement eines Verbrennungsmotors, insbesondere Kolbenring |
| CN102498232B (zh) * | 2009-08-07 | 2014-04-16 | 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫) | 包括含类金刚石层的基底及其制备方法 |
| CN101806928B (zh) * | 2010-03-31 | 2011-11-16 | 西安交通大学 | 一种树脂镜片、有机玻璃镜片表面超硬涂层镀膜方法 |
| JP5360603B2 (ja) * | 2010-05-27 | 2013-12-04 | 住友電気工業株式会社 | 非晶質炭素被覆部材の製造方法 |
| JP5640942B2 (ja) * | 2011-10-06 | 2014-12-17 | トヨタ自動車株式会社 | 摺動部材およびその製造方法 |
| US8575565B2 (en) | 2011-10-10 | 2013-11-05 | Guardian Industries Corp. | Ion source apparatus and methods of using the same |
| JP2016101658A (ja) * | 2013-03-06 | 2016-06-02 | 株式会社ニコン | 金属光沢を有する装飾膜を備えた複合部材 |
| RU2542912C2 (ru) * | 2013-07-18 | 2015-02-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" | Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах генераторных ламп |
| JP5997417B1 (ja) * | 2015-06-24 | 2016-09-28 | キヤノンアネルバ株式会社 | 真空アーク成膜装置および成膜方法 |
| WO2016208094A1 (ja) * | 2015-06-24 | 2016-12-29 | キヤノンアネルバ株式会社 | 真空アーク成膜装置および成膜方法 |
| CZ306607B6 (cs) | 2016-02-05 | 2017-03-22 | Platit A.S. | Způsob nanášení otěruvzdorné DLC vrstvy |
| RU2651837C1 (ru) * | 2017-03-21 | 2018-04-24 | Олег Андреевич Стрелецкий | Способ нанесения антиадгезивного, биосовместимого и бактериостатичного покрытия на основе углерода на металлические, полимерные и текстильные изделия медицинского назначения |
| RU2651836C1 (ru) * | 2017-04-13 | 2018-04-24 | Олег Андреевич Стрелецкий | Способ нанесения антиадгезивного, биосовместимого и бактериостатичного покрытия на основе углерода на изделия медицинского назначения из материала с термомеханической памятью формы |
| RU2656312C1 (ru) * | 2017-08-14 | 2018-06-04 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики металлов имени М.Н. Михеева Уральского отделения Российской академии наук (ИФМ УрО РАН) | Способ нанесения твердых износостойких наноструктурных покрытий из аморфного алмазоподобного углерода |
| CN110205589B (zh) * | 2019-07-12 | 2023-12-08 | 江苏徐工工程机械研究院有限公司 | 一种脉冲碳离子激发源装置 |
| RU2757303C1 (ru) * | 2020-08-18 | 2021-10-13 | Общество с ограниченной ответственностью "ТехноТерм-Саратов" | Способ получения аморфного наноструктурированного алмазоподобного покрытия |
| RU2760018C1 (ru) * | 2020-11-03 | 2021-11-22 | ООО "ТехноТерм-Саратов" | Способ получения аморфного наноструктурированного алмазоподобного покрытия |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5527596A (en) * | 1990-09-27 | 1996-06-18 | Diamonex, Incorporated | Abrasion wear resistant coated substrate product |
| GB9224697D0 (en) | 1992-11-25 | 1993-01-13 | Amaratunga Gehan A J | Doping of highly tetrahedral diamond-like amorphous carbon |
| US5401543A (en) * | 1993-11-09 | 1995-03-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method for forming macroparticle-free DLC films by cathodic arc discharge |
| TW353758B (en) * | 1996-09-30 | 1999-03-01 | Motorola Inc | Electron emissive film and method |
-
1997
- 1997-05-30 RU RU97108626A patent/RU2114210C1/ru active
-
1998
- 1998-05-28 AU AU76785/98A patent/AU7678598A/en not_active Abandoned
- 1998-05-28 WO PCT/NO1998/000158 patent/WO1998054376A1/en not_active Application Discontinuation
- 1998-05-28 CN CN98805586.4A patent/CN1258322A/zh active Pending
- 1998-05-28 JP JP50054099A patent/JP2002501575A/ja active Pending
- 1998-05-28 EP EP98924681A patent/EP0985057A1/en not_active Withdrawn
- 1998-05-28 KR KR1019997010940A patent/KR20010012970A/ko not_active Application Discontinuation
- 1998-05-28 US US09/424,763 patent/US6261424B1/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU97108626A (ru) | Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме | |
| RU2114210C1 (ru) | Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме | |
| EP0363648B1 (en) | Method and apparatus for forming or modifying cutting edges | |
| US5503725A (en) | Method and device for treatment of products in gas-discharge plasma | |
| JPH0633451B2 (ja) | 被加工物の表面処理方法 | |
| JPS61201769A (ja) | 酸化物、窒化物、酸化窒化物および炭化物からなる層の反応的蒸着法 | |
| JPS62180069A (ja) | 管内面の被覆方法 | |
| US5192578A (en) | Method of producing coating using negative dc pulses with specified duty factor | |
| US3772174A (en) | Deposition of alloy films | |
| EP1639149A4 (en) | METHOD FOR PRODUCING A SUPERHARD COATING FROM AMORPHIC CARBON IN THE VACUUM | |
| CN1028546C (zh) | 加弧辉光离子渗金属技术及设备 | |
| RU2003115309A (ru) | Способ формирования сверхтвердого аморфного углеродного покрытия в вакууме | |
| EP0061906B1 (en) | A method of, and an apparatus for, processing a workpiece with energetic particles and a product processed thereby | |
| RU2238999C1 (ru) | Способ импульсно-периодической имплантации ионов и плазменного осаждения покрытий | |
| CN1013886B (zh) | 锯切工具离子渗金属技术 | |
| JPS6154869B2 (ru) | ||
| AU734117B2 (en) | Rotary apparatus for plasma immersion-assisted treament of substrates | |
| RU2205893C2 (ru) | Способ и устройство нанесения покрытий методом плазмохимического осаждения | |
| RU2052540C1 (ru) | Способ нанесения пленочного покрытия | |
| RU2026413C1 (ru) | Способ нагрева электропроводящих изделий в рабочей камере | |
| JPS6196721A (ja) | 被膜形成方法 | |
| KR20100116618A (ko) | 입방정 질화붕소 함유 피막의 형성 방법 | |
| CN101195905A (zh) | 磁控溅射-激光加热复合渗镀工艺及设备 | |
| WO2012150877A2 (ru) | Способ модификации поверхностных свойств материалов и изделий | |
| RU2725941C1 (ru) | Способ вакуумной карбидизации поверхности металлов |