RU93043116A - Датчик температуры - Google Patents
Датчик температурыInfo
- Publication number
- RU93043116A RU93043116A RU93043116/10A RU93043116A RU93043116A RU 93043116 A RU93043116 A RU 93043116A RU 93043116/10 A RU93043116/10 A RU 93043116/10A RU 93043116 A RU93043116 A RU 93043116A RU 93043116 A RU93043116 A RU 93043116A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- temperature sensor
- thermistor
- copper
- layer
- protective layer
- Prior art date
Links
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims 1
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 claims 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 claims 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims 1
Claims (1)
- Изобретение относится к производству изделий микроэлектроники и может быть использовано в технологии изготовления термочувствительных элементов термопреобразователей сопротивления. Задача, решаемая изобретением, - расширение областей применения, повышение быстродействия и стабильности параметров датчика температуры на основе медного терморезистора. Датчик температуры содержит изолирующую подложку, на поверхности которой сформирован в виде меандра медный терморезистор, закрытый сверху защитным слоем толщиной 0,03-0,05 мкм. В качестве материала слоя могут быть использованы Сr, W, Mo, Ti. Контактные площадки к терморезистору выполнены, например, из меди, и расположены на подложке на адгезионном слое, образующем области перекрытия с защитным слоем. В качестве материала слоя может быть использован Сr.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU9393043116A RU2065143C1 (ru) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Датчик температуры |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU9393043116A RU2065143C1 (ru) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Датчик температуры |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU93043116A true RU93043116A (ru) | 1996-06-10 |
| RU2065143C1 RU2065143C1 (ru) | 1996-08-10 |
Family
ID=20147022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU9393043116A RU2065143C1 (ru) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Датчик температуры |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2065143C1 (ru) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2513654C2 (ru) * | 2012-06-14 | 2014-04-20 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение измерительной техники" | Термометр сопротивления |
| CN104807554B (zh) | 2015-03-03 | 2019-01-01 | 江苏多维科技有限公司 | 一种铜热电阻薄膜温度传感器芯片及其制备方法 |
| RU2756800C1 (ru) * | 2020-12-08 | 2021-10-05 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Сверхпроводящий термометр сопротивления |
-
1993
- 1993-08-31 RU RU9393043116A patent/RU2065143C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR920003339A (ko) | SiC 박막더어미스터 및 그 제조방법 | |
| US5831512A (en) | Resistance thermometer | |
| KR970705743A (ko) | 온도 측정 기판(a temperature calibration substrate) | |
| GB1501959A (en) | Resistors for resistance thermometers | |
| JPH0868699A (ja) | サーミスタセンサ | |
| KR870005801A (ko) | 단열판넬 구조물 | |
| RU93043116A (ru) | Датчик температуры | |
| FI70786B (fi) | Matberedningskaerl | |
| KR900701545A (ko) | 감열기록방법, 이것에 사용하는 감열기록매체 및 그 제조방법 | |
| JP2929204B2 (ja) | サーモパイル | |
| JPS5725974A (en) | Thermal head | |
| JPH06258149A (ja) | 薄膜型熱電対素子 | |
| JPS5685832A (en) | Semiconductor device | |
| JPH11354302A (ja) | 薄膜抵抗素子 | |
| RU2065143C1 (ru) | Датчик температуры | |
| JPS5763831A (en) | Semiconductor device | |
| JPS57125333A (en) | Temperature sensor | |
| KR900013606A (ko) | 브레이징재 | |
| SU670893A1 (ru) | Термопреобразователь | |
| JPS55117934A (en) | Thermosensitive element | |
| KR920007515Y1 (ko) | 칩형 ntc 서미스터소자 | |
| JP2001203399A (ja) | 赤外線センサ | |
| JPS56130620A (en) | Temperature sensor having heat collecting structure | |
| KR900012765A (ko) | 써멀 헤드 | |
| JPS622770Y2 (ru) |