KR970705743A - 온도 측정 기판(a temperature calibration substrate) - Google Patents

온도 측정 기판(a temperature calibration substrate)

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KR970705743A
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렌켄 웨인 지.
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Abstract

온도 측정을 정확하게 하기 위한 측정 기판(10), 상기 온도 측정 기판은 상기 기판의 표면하에 위치하는 공동 수단(13) 및 상기 공동내에 배치되는 것으로, 상기 기판의 온도를 측정하기 위한 열전대 수단(15)을 포함한다. 상기 공동 수단을 공동 개구, 내주변 및 길이를 가진다. 열 전달 수단이 상기 기판으로부터 상기 열전대 수단으로 열을 전달시키기 위해 상기 열전대 수단 및 상기 공동 수단의 상기 내주변 사이의 상기 공동 수단내에 배치된다. 상기 공동 수단을 상기 열전대 수단이 상기 기판에 최근접하게 놓일 수 있는 형상을 가지고, 상기 열전대 와이어(14)가 상기 공동 수단의 내주변에 실질적으로 인접하고 상기 공동 수단의 길이를 가로지르므로써 상기 기판으로부터 상기 열전대 수단(15)으로의 열 전달 효율을 향상시킨다.

Description

온도 측정 기판(A TEMPERATURE CALIBRATION SUBSTRATE)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1a도 및 제1b도는 각각 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 온도 측정 웨이퍼를 보여주는 평면도 및 측면도이다. 제1c도는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 온도 측정 웨이퍼를 보여주는 평면도이다. 제2a도및 제2b도는 각각 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 온도 측정 웨이퍼를 보여주는 평면도 및 측면도이다.제3a도 및 제3b는 각각 본 발명의 바람직한 제3실시예에 따른 호(壕)형상 재삽입 공동을 구비하는 온도 측정 웨이퍼를 보여주는 평면도 및 측면도이다. 제4a도 및 제4b도는 각각 본 발명의 바람직한 제4실시예에 따른 온도 측정 웨이퍼를 보여주는 평면도 및 측면도이다. 제4c도는 본 발명의 바람직한 제4실시예에 따른 온도 측정 웨이퍼의 단면도이다. 제4d도는 본 발명의 바람직한 제4실시예에 따른 온도 측정 웨이퍼의 실리콘 캡 및 용접 영역의 평면도이다. 제5a도 및 제5c는 각각 본 발명의 바람직한 제5실시예에 따른 온도 측정 웨이퍼를 보여주는 평면도 및 측면도이다.

Claims (6)

  1. 온도 측정을 정확하게 하기 위한 온도 측정 기판에 있어서, 상기 기판의 표면하에 위치하는 것으로, 공동 개구, 내주변 및 길이를 가지는 공동 수단; 상기 공동내에 배치되는 것으로, 상기 기판의 온도를 측정하기 위한 열전대 수단; 및 상기 열전대 수단 및 상기 공동 수단의 내주변 사이의 공동 수단내에 배치되는 것으로, 상기 기판으로부터 상기 열전대 수단으로 열을 전달시키기 위한 열 전달 수단;으로 이루어지고, 상기 공동 수단은 상기 열전대 수단이 상기 기판에 최근접하게 놓일 수 있는 형상을 가지고, 상기 열전대 수단은 상기 공동 수단의 내주변에 실질적으로 인접하고 상기 공동 수단의 길이를 가로지르므로써 상기 기판으로부터 상기 열전대 수단으로의 열 전달 효율을 향상시키는 것을 특징으로 하는 온도 측정 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 열전대 수단이 직경을 가지고 상기 공동 수단의 길이의 가로 세로비가 상기 열전대 수단의 직경에 비해 실질적으로 큰 것을 특징으로 하는 온도 측정 수단.
  3. 제2항에 있어서, 상기 열전대 수단의 직경에 대한 상기 공동 수단의 길이의 가로 세로비가 약 15 내지 1인 것을 특징으로 하는 온도 측정 수단.
  4. 제3항에 있어서, 상기 공동 개구가 상기 열 전달 수단을 덮기 위한 캡으로 덮여 있고, 상기 캡이 상기 기판의 표면의 발산 및 흡수 특성과 같은 것을 특징으로 하는 온도 측정 수단.
  5. 제4항에 있어서, 상기 열전대 수단은 열전대 와이어 및 열전대 접점으로 이루어지고, 상기 열전대 와이어는 상기 캡의 표면으로부터 연장되는 것을 특징으로 하는 온도 측정 수단.
  6. 제5항에 있어서, 상기 열 전달 수단이 상기 열전대 수단 주위에 형성되는 것으로, 상기 열전대 수단이 상기 기판과 화학적으로 반응하는 것을 막기 위한 절연 코팅; 상기 절연 코팅 및 상기 기판 사이에 형성되는 것으로, 상기 기판과 같은 열팽창계수를 가지는 접합재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 온도 측정 수단.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970701347A 1994-09-01 1995-08-28 온도 측정 기판 KR100228449B1 (ko)

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