RU2299179C2 - Нанопористые сверхмелкие порошки из альфа оксида алюминия и способ их приготовления при помощи сублимационной сушки - Google Patents

Нанопористые сверхмелкие порошки из альфа оксида алюминия и способ их приготовления при помощи сублимационной сушки Download PDF

Info

Publication number
RU2299179C2
RU2299179C2 RU2005130530/15A RU2005130530A RU2299179C2 RU 2299179 C2 RU2299179 C2 RU 2299179C2 RU 2005130530/15 A RU2005130530/15 A RU 2005130530/15A RU 2005130530 A RU2005130530 A RU 2005130530A RU 2299179 C2 RU2299179 C2 RU 2299179C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
alpha alumina
powder
approximately
nanoporous
alumina
Prior art date
Application number
RU2005130530/15A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2005130530A (ru
Inventor
Юху ВАНГ (US)
Юху ВАНГ
Original Assignee
Сэнт-Гобэн Керамикс Энд Пластикс, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сэнт-Гобэн Керамикс Энд Пластикс, Инк. filed Critical Сэнт-Гобэн Керамикс Энд Пластикс, Инк.
Publication of RU2005130530A publication Critical patent/RU2005130530A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2299179C2 publication Critical patent/RU2299179C2/ru

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01F—COMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
    • C01F7/00—Compounds of aluminium
    • C01F7/02—Aluminium oxide; Aluminium hydroxide; Aluminates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01F—COMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
    • C01F7/00—Compounds of aluminium
    • C01F7/02—Aluminium oxide; Aluminium hydroxide; Aluminates
    • C01F7/021—After-treatment of oxides or hydroxides
    • C01F7/023—Grinding, deagglomeration or disintegration
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/10—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
    • C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
    • C09K3/1409—Abrasive particles per se
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
    • C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
    • C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
    • C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/01—Particle morphology depicted by an image
    • C01P2004/03—Particle morphology depicted by an image obtained by SEM
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/51—Particles with a specific particle size distribution
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/60—Particles characterised by their size
    • C01P2004/64—Nanometer sized, i.e. from 1-100 nanometer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/12—Surface area
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/16—Pore diameter
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
    • Y10T428/2982—Particulate matter [e.g., sphere, flake, etc.]

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geology (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)

Abstract

Изобретения относятся к получению нанопористых порошков из альфа оксида алюминия и их использование в способах полирования. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия, содержащий взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше чем 100 нм, и взаимопроникающую сетку пор или пустот готовят способом, который включает операции: использование неорганического золя, который содержит, по меньшей мере, один предшественник оксида алюминия и множество затравочных частиц из альфа оксида алюминия, добавление, по меньшей мере, одного растворимого в воде органического полимера к неорганическому золю для получения органического - неорганического золя, сублимационную сушку органического - неорганического золя для получения твердого геля и обжиг твердого геля. Для получения наноразмерных порошков его готовят вышеуказанным способом с дополнительным измельчением нанопористого порошка из альфа оксида алюминия после обжига. Суспензию, содержащую наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия, используют для полирования основы путем нанесения суспензии на поверхность раздела между основой и полировальником. Изобретения позволяют получать более мелкие гомогенные порошки высокой чистоты. 6 н. и 65 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Область применения изобретения
Настоящее изобретение относится к созданию наноразмерных частиц из альфа оксида алюминия и способов их изготовления, а более конкретно, к созданию наноразмерных частиц из альфа оксида алюминия, имеющих средний размер частиц ориентировочно меньше чем 100 нм. Настоящее изобретение также имеет отношение к созданию гелей из наноразмерных частиц из альфа оксида алюминия. Кроме того, настоящее изобретение имеет отношение к созданию химико-механических полировальных композиций (паст) (СМР), содержащих частицы из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением, и к созданию СМР способов полирования с их использованием.
Предпосылки к созданию изобретения
Сверхмелкий порошок из оксида алюминия (глинозема) представляет собой один из наиболее широко используемых керамических материалов в различных отраслях промышленности. В качестве примеров применения сверхмелкого порошка из оксида алюминия можно привести абразивы для полирования полупроводников и прецизионных оптических компонентов, носители катализаторов, в том числе структуры носителей для автомобильных каталитических дожигателей выхлопных газов, наполнители для полимеров, пигменты для красок и т.п. Оксид алюминия имеет свыше двенадцати (12) различных кристаллических фаз, каждая из которых имеет различное строение кристаллической решетки и различные физические параметры. Однако наиболее хорошо известны и чаще всего используются порошки из такого оксида алюминия, как гамма оксид алюминия и альфа оксид алюминия. Низкотемпературная фаза гамма оксид алюминия является термодинамически метастабильной и преобразуется в термодинамически стабильную фазу альфа оксид алюминия при температурах свыше ориентировочно 1100°С или ориентировочно 1200°С, в зависимости от различных условий. При дефектной структуре шпинели порошок из гамма оксида алюминия может иметь очень малые размеры частиц, например размеры частиц ориентировочно меньше чем 20 нм, и чрезвычайно высокую площадь поверхности, например ориентировочно свыше 300 м2/г. Более того, гамма оксид алюминия может быть обработан при помощи технологий обработки как паровой, так и жидкой фаз. Сверхмелкий гамма оксид алюминия имеет средний размер частиц меньше чем 40 нм, причем в продаже имеются полировальные суспензии с (таким) гамма оксидом алюминия.
Плотность альфа оксида алюминия ориентировочно на 20% выше, чем плотность гамма оксида алюминия, причем альфа оксид алюминия является более химически и механически стойким, чем гамма оксид алюминия. Таким образом, наноразмерные частицы из альфа оксида алюминия подходят для более широкого диапазона применений, чем наноразмерные частицы из гамма оксида алюминия. Однако во время фазового превращения, за счет реорганизации кислорода в кристаллической решетке, размер частиц из оксида алюминия радикально возрастает, так что альфа оксид алюминия, приготовленный из гамма оксида алюминия, обычно имеет размер частиц свыше 100 нм.
Задача изготовления наноразмерного альфа оксида алюминия, например частиц из альфа оксида алюминия с размерами ориентировочно меньше, чем 100 нм, стоит вот уже в течение длительного времени. Ключом к решению этой задачи является предотвращение быстрого роста зерен. Хорошо известно, что мелкие порошки из альфа оксида алюминия, которые имеют средний размер частиц свыше 100 нм, могут быть приготовлены при помощи процесса затравки золь-гелем. В этом процессе бемит сначала пептизируют в кислотном водном растворе, содержащем азотную кислоту или уксусную кислоту, а затем в раствор во время пептизапии добавляют несколько процентов по весу затравки из альфа оксида алюминия, обычно в виде мелких частиц из оксида алюминия, чтобы создать условия для осуществления фазового превращения при более низкой температуре. Золь сушат в печи ориентировочно при 100°С и преобразуют в сухой гель. После размалывания до гранул микронного размера их обжигают при высокой температуре, обычно ориентировочно свыше 1000°С, чтобы получить частицы из альфа оксида алюминия. Температуру следует строго контролировать, чтобы предотвращать рост частиц. Однако в этом процессе зерна микронного размера остаются нетронутыми во время фазового превращения, что приводит к получению механически прочных твердых зерен из альфа оксид алюминия после завершения превращения. Для изготовления наноразмерных частиц из оксида алюминия требуется высокая механическая энергия для размалывания или разрушения зерен, чтобы получить первичные частицы, которые обычно имеют средний размер частиц свыше 100 нм. Более того, процесс размалывания часто приводит к высокому уровню загрязнения примесями.
В патенте США No.5312791 предложен измененный подход к приготовлению зерен и волокон из оксида алюминия. Исходным материалом является бемит, который пептизируют и затем диспергируют в воде, чтобы образовать золь оксида алюминия. Полученный золь быстро охлаждают в жидком азоте или, альтернативно, медленно охлаждают при помощи сублимационной сушки. Вода сублимируется в вакууме из золя с образованием (из него) геля, содержащего чешуйки (хлопья), имеющие толщину ориентировочно от 1 до 3 мкм. При помощи способа, приведенного в '791 патенте, могут быть получены более мелкие порошки, чешуйки, волокна и зерна из оксида алюминия, имеющие самые малые микронные размеры. Однако, так как сами порошки не имеют пористости, требуется высокая механическая энергия для их размалывания до более мелких размеров, причем процесс размалывания часто приводит к высоким уровням загрязнения примесями продукта из альфа оксида алюминия.
Принимая во внимание указанные и другие недостатки известного уровня техники, было бы крайне желательно получить более мелкие и более гомогенные порошки из альфа оксида алюминия высокой чистоты и создать способы их приготовления.
Краткое изложение изобретения
В соответствии с настоящим изобретением предлагается техника изготовления стабильных нанопористых порошков из альфа оксида алюминия и наноразмерных порошков из альфа оксида алюминия. В соответствии с настоящим изобретением предлагаются также суспензии порошков, которые не содержат или содержат очень мало химических добавок для повышения стабильности суспензии. Суспензия в соответствии с настоящим изобретением обеспечивает высокие скорости удаления материала на диоксиде кремния (SiO2), а также обеспечивает очень хорошую чистоту поверхности. Способы изготовления нанопористых порошков из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением предусматривают затравливание водного раствора предшественника оксида алюминия наноразмерными затравочными частицами из альфа оксида алюминия, добавление растворимого в воде полимера для приготовления органического/неорганического золя, сублимационную сушку золя и обжиг высушенного золя для образования нанопористого порошка из альфа оксида алюминия. Наноразмерные порошки из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением приготавливают путем измельчения или размалывания нанопористых порошков из альфа оксида алюминия.
В соответствии с настоящим изобретением предлагаются нанопористые порошки из альфа оксида алюминия, которые содержат взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 100 нм, и взаимопроникающую сетку пор или пустот. Термин "нанопористый порошок из альфа оксида алюминия" используют здесь для обозначения порошка из альфа оксида алюминия, образованного из пористых составных частиц из альфа оксида алюминия, например из вторичных поликристаллических частиц из оксида алюминия, причем каждая такая пористая частица содержит множество взаимосвязанных первичных частиц, имеющих средний размер частиц меньше, чем 100 нм, и множество пустот или пор. Размер нанопористых частиц из альфа оксида алюминия может быть различным. Типичные нанопористые порошки из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением имеют широкое распределение поликристаллических составных частиц в диапазоне от 500 нм до ориентировочно 100 мкм.
В соответствии с настоящим изобретением предлагается наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия, который содержит частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 100 нм, а также предлагаются суспензии, которые содержат такой порошок. Наноразмерные порошки из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением обычно приготавливают путем размалывания, измельчения или дробления иным образом нанопористых порошков из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением, чтобы получить (освободить) первичные частицы из альфа оксида алюминия из пористых частиц из альфа оксида алюминия.
Использованный здесь термин "наноразмерные порошки из альфа оксида алюминия" относится к порошкам из альфа оксида алюминия, которые образованы из частиц из альфа оксида алюминия, имеющих средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 100 нм. Предпочтительнее, главным образом все частицы из альфа оксида алюминия наноразмерных порошков из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением имеют размер меньше, чем 100 нм.
В соответствии с настоящим изобретением предлагается также способ производства нанопористых порошков из альфа оксида алюминия, который включает в себя следующие операции:
использование неорганического золя, который содержит по меньшей мере один предшественник оксида алюминия и множество затравочных частиц из альфа оксида алюминия;
добавление по меньшей мере одного растворимого в воде органического полимера к неорганическому золю, чтобы образовать органический - неорганический золь;
сублимационная сушка органического - неорганического золя, чтобы образовать твердый гель; и
обжиг твердого геля при температуре, позволяющей осуществить выгорание органического полимера и вызвать (инициировать) образование нанопористого порошка из альфа оксида алюминия, который содержит взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия.
В соответствии с другим вариантом осуществления настоящего изобретения предлагается способ производства наноразмерного порошка из альфа оксида алюминия, который содержит частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 100 нм, причем способ включает в себя следующие операции:
использование нанопористого порошка из альфа оксида алюминия, который содержит взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 100 нм, и взаимопроникающую сетку пор или пустот; и
измельчение нанопористого порошка из альфа оксида алюминия для образования наноразмерного порошка из альфа оксида алюминия, который содержит первичные частицы из альфа оксида алюминия нанопористого порошка из альфа оксида алюминия.
В соответствии с настоящим изобретением предлагаются также способы полирования, которые предусматривают использование порошков и суспензий из альфа оксида алюминия в качестве полировочного состава. Способ полирования включает в себя следующие операции:
использование суспензии, содержащей наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия, который содержит частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 100 нм; и
нанесение суспензии на поверхность раздела между основой и полировальником.
Далее обсуждаются другие аспекты и варианты настоящего изобретения.
Краткое описание чертежей
На фиг.1 показана полученная на растровом электронном микроскопе микрофотография нанопористого порошка из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением;
На фиг.2 показана другая полученная на растровом электронном микроскопе микрофотография нанопористого порошка из альфа оксида алюминия, показанного на фиг.1.
На фиг.3 показана микрофотография наноразмерных частиц из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением, приготовленных путем размалывания нанопористого порошка из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением.
Подробное описание изобретения
Порошки из альфа оксида алюминия и содержащие их суспензии в соответствии с настоящим изобретением подходят для использования в различных применениях, в том числе, например, для полирования, СМР применений, в качестве материалов носителей катализаторов и т.п. Нанопористые порошки из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением особенно хорошо подходят для использования в качестве материалов носителей катализаторов, изоляционных материалов, фильтрующих сред, а также в других применениях, в которых желательно использование материалов, имеющих наноразмерные поры или пустоты. Наноразмерные порошки и суспензии из альфа оксида алюминия особенно хорошо подходят для использования при полировании и в СМР применениях, так как частицы из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением обладают исключительной твердостью и имеют средний размер частиц ориентировочно от 10 нм до 100 нм. Более того, частицы из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением обеспечивают более высокие скорости удаления материала с минимальными дефектами основы
Наноразмерные порошки из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением подходят для полирования различных твердых материалов, в том числе (но без ограничения) сапфира, шнинели, кремния, корунда и других материалов, имеющих структуру корунда. Наноразмерные порошки из альфа оксида алюминия могут быть также использованы в сочетании с одной или несколькими химическими добавками для химико-механического полирования (СМР). Предпочтительными основами для СМР с использованием наноразмерных порошков из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением являются полупроводниковые основы (подложки), на которые нанесены один или несколько металлов. Предпочтительными металлами являются платина, палладий, тантал, вольфрам, медь, серебро, золото, нанесенные на основу из диоксида кремния.
Как уже было упомянуто здесь выше, в соответствии с настоящим изобретением предлагаются нанопористые порошки из альфа оксида алюминия, которые имеют взаимосвязанную сетку (матрицу) первичных частиц из альфа оксида алюминия, имеющих средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 100 нм, и взаимопроникающую сетку пор или пустот. Предпочтительнее, первичные частицы из альфа оксида алюминия во взаимосвязанной сетке имеют средний размер ориентировочно от 10 до 100 нм, ориентировочно от 20 до 90 нм, ориентировочно от 25 до 80 нм, или ориентировочно от 30 до 70 нм. Другие предпочтительные нанопористые порошки из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением имеют взаимосвязанную сетку первичных частиц из альфа оксида алюминия, причем по меньшей мере 99% первичных частиц из альфа оксида алюминия имеют распределение со средним размером около 10 нм.
Обычно взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия соединены при помощи шеек (участков с уменьшенной площадью поперечного сечения). То есть первичные частицы из альфа оксида алюминия увеличиваются в размерах во время фазового превращения, в результате чего смежные частицы соединяются. В соответствии с предпочтительными вариантами, "шейка," то есть область соединения смежных частиц, имеет поперечное сечение, составляющее ориентировочно от 10% до 90% поперечного сечения первичных частиц из альфа оксида алюминия.
Размер и форма пор или пустот пористых частиц из альфа оксида алюминия, образующих нанопористые порошки из альфа оксида алюминия, могут быть любыми. В некоторых предпочтительных вариантах, например в случае носителей катализаторов и т.п., желательно, чтобы поры или пустоты были достаточно крупными, для того, чтобы один или несколько реагентов или продуктов могли входить в пористые частицы или выходить из них. Поры или пустоты любого размера, который позволяет легко измельчать или размалывать нанопористые порошки из альфа оксида алюминия, подходят для использования при производстве наноразмерных порошков из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением. Предпочтительные нанопористые порошки из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением содержат пористые частицы, в которых поры или пустоты имеют минимальный размер ориентировочно от 20 нм до 400 нм. Минимальный размер пор или пустот преимущественно составляет ориентировочно от 50 нм до 300 нм. В наиболее предпочтительном варианте поры или пустоты имеют минимальный размер ориентировочно от 100 нм до 200 нм.
Объемный процентный состав нанопористых порошков из альфа оксида алюминия может варьировать в зависимости от применения. Обычно первичные частицы из альфа оксида алюминия составляют от 1 до 75 процентов от объема нанопористого порошка из альфа оксида алюминия. Преимущественно, первичные частицы из альфа оксида алюминия составляют ориентировочно от 10 до 75% или ориентировочно от 10 до 50% от объема нанопористого порошка из альфа оксида алюминия.
Конфигурация и расположение пустот и пор в нанопористых частицах из альфа оксида алюминия не имеет особого значения. Не желая связывать себя какой-либо конкретной теорией, все же можно сказать, что конфигурация, размер и расположение пустот или пор обычно зависят от размера и физических свойств растворимого в воде органического полимера. В соответствии с некоторыми предпочтительными вариантами, взаимопроникающая сетка пор или пустот имеет столбчатую или трубчатую структуру. Более конкретно, столбчатая или трубчатая структура имеет диаметр ориентировочно от 20 нм до 250 нм или ориентировочно от 50 нм до 150 нм.
В соответствии с настоящим изобретением предлагается также наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия, который содержит частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше чем 100 нм, и суспензии, которые содержат этот порошок. Наноразмерные порошки из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением обычно приготовляют путем размалывания, измельчения или дробления иным образом нанопористых порошков из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением, чтобы получить (освободить) первичные частицы из альфа оксида алюминия из пористых частиц из альфа оксида алюминия. Преимущественно, первичные частицы из альфа оксида алюминия во взаимосвязанной сетке имеют средний размер ориентировочно от 10 до 100 нм, ориентировочно от 20 до 90 нм, ориентировочно от 25 до 80 нм, или ориентировочно от 30 до 70 нм. Другие предпочтительные нанопористые порошки из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением содержат взаимосвязанную сетку первичных частиц из альфа оксида алюминия, причем по меньшей мере 99% первичных частиц из альфа оксида алюминия имеют распределение со средним размером около 10 нм.
Предпочтительные суспензии в соответствии с настоящим изобретением содержат один или несколько наноразмерных порошков из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением. Предпочтительными наноразмерными порошками из альфа оксида алюминия являются все описанные здесь наноразмерные порошки из альфа оксида алюминия. Предпочтительными суспензиями являются такие суспензии, в которых частицы из альфа оксида алюминия наноразмерного порошка из альфа оксида алюминия диспергированы в водной смеси. Предпочтительные водные смеси содержат воду, в особенности деионизированную или дистиллированную воду, водные растворы, которые содержат одно или несколько поверхностно-активных веществ, органических кислот или других добавок. Предпочтительные добавки являются химически инертными по отношению к альфа оксиду алюминия в условиях хранения или полирования. Кроме того, предпочтительные добавки позволяют тормозить агрегацию частиц из альфа оксида алюминия в водной смеси. Особенно предпочтительные добавки к водной смеси содержат органические кислоты, такие как уксусная кислота, муравьиная кислота, молочная кислота, гликолевая кислота, лимонная кислота, щавелевая кислота, а также другие карбоновые кислоты, имеющие ориентировочно меньше, чем 6 атомов углерода.
Другие предпочтительные суспензии в соответствии с настоящим изобретением содержат один или несколько наноразмерных порошков из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением. То есть суспензии в соответствии с настоящим изобретением могут содержать частицы из альфа оксида алюминия одного среднего размера или могут содержать смесь двух или нескольких наноразмерных порошков из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением, имеющих два или несколько различных средних размеров частиц, которые после перемешивания образуют мономодальное, бимодальное или полимодальное распределение частиц по размерам. Обычно предпочтительными являются суспензии, которые содержат частицы из альфа оксида алюминия, имеющие распределение с единственным средним размером частиц.
Водные суспензии в соответствии с настоящим изобретением обычно имеют рН ориентировочно от 2 до 11. В некоторых предпочтительных вариантах желательны суспензии, имеющие кислотный рН, а в других - имеющие щелочной рН. Таким образом, наиболее предпочтительные водные суспензии в соответствии с настоящим изобретением имеют рН ориентировочно от 1 или 2 до 6 или ориентировочно от 8 до 10.5.
Суспензии в соответствии с настоящим изобретением подходят для использования в различных применениях, в том числе в качестве абразивов при полировании или в СМР применениях, в качестве носителей для металлических катализаторов и т.п.
В способах изготовления в соответствии с настоящим изобретением в качестве предшественника альфа оксид алюминия может быть использовано любое растворимое в воде соединение алюминия, которое способно образовывать альфа оксид алюминия. Типичные предпочтительные исходные материалы включают в себя бемит и молекулярные предшественники оксида алюминия. Источник получения бемита не имеет значения при условии, что бемит позволяет получить Al(O)OH высокой чистоты, причем бемит может быть как природным, так и синтетическим. Молекулярные предшественники оксида алюминия могут быть неорганическими (нитрат алюминия, хлорид алюминия, сульфат алюминия и т.п.) или органическими (алкоксиды алюминия, ацетат алюминия и т.п.). Бемит является особенно предпочтительным исходным материалом для осуществления способов в соответствии с настоящим изобретением.
В соответствии с предпочтительными вариантами настоящего изобретения, предлагается способ производства нанопористых порошков из альфа оксида алюминия, который включает в себя следующие операции:
использование неорганического золя, который содержит по меньшей мере один предшественник оксида алюминия и множество затравочных частиц из альфа оксида алюминия;
добавление по меньшей мере одного растворимого в воде органического полимера к неорганическому золю, чтобы образовать органический - неорганический золь;
сублимационная сушка органического - неорганического золя, чтобы образовать твердый гель; и
обжиг твердого геля при температуре, позволяющей выжигать органический полимер и вызывать (инициировать) образование нанопористого порошка из альфа оксида алюминия, который содержит взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия.
Обычно желательно иметь затравочные частицы, главным образом гомогенно диспергированные в объеме геля, чтобы обеспечить эффективное затравливание геля во время обжига.
Для способов в соответствии с настоящим изобретением, которые предусматривают использование молекулярного соединения алюминия в качестве предшественника альфа оксида алюминия, может быть использован любой растворимый в воде органический или неорганический координационный комплекс соли алюминия. Обычно предпочтительные молекулярные предшественники оксида алюминия выбирают из солей алюминия, которые содержат один или несколько анионов, выбранных из группы, в которую входят алкоксиды, арилоксиды, карбоксилаты, галогениды, сульфат, нитрат, оксалаты и ацетоацетонаты. Особенно предпочтительные молекулярные предшественники оксида алюминия содержат алкоксиды, карбоксилаты, галогениды и нитраты алюминия.
Предпочтительные водные растворы, полученные или приготовленные по способам в соответствии с настоящим изобретением, содержат воду, бемит и/или молекулярный предшественник оксида алюминия, и затравочные частицы из альфа оксида алюминия. Когда используют молекулярный предшественник оксида алюминия, иногда желательно, чтобы водный раствор содержал по меньшей мере одну кислоту. Предпочтительные кислоты выбирают из группы, в которую входят азотная кислота, серная кислота, соляная кислота, бромисто-водородная кислота, йодисто-водородная кислота, уксусная кислота, муравьиная кислота, пропионовая кислота и т.п.
В предпочтительных водных растворах затравочные частицы из альфа оксида алюминия имеют средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 125 нм, или преимущественно ориентировочно меньше, чем 100 нм. Особенно предпочтительные затравочные частицы имеют средний размер частиц ориентировочно от 30 нм до 100 нм, ориентировочно от 40 нм до 80 нм, или ориентировочно от 50 нм до 70 нм.
Затравочные частицы из альфа оксида алюминия хорошо диспергируют в воде, а затем добавляют соединения алюминия в водную дисперсию затравочных частиц. Желательно повышать эффективность затравливания водной дисперсии. Таким образом, концентрация затравки является относительно высокой для повышения степени затравливания раствора; например, отношения атомов алюминия в продукте в виде исходных затравочных частиц из альфа оксида алюминия к молекулярному предшественнику оксида алюминия типично составляет ориентировочно от 1:3 до 1:1000 или больше, а преимущественно ориентировочно от 1:6 до 1:20. В соответствии с предпочтительными вариантами, затравочные частицы составляют ориентировочно от 0.1 до 25 вес.% продукта в виде порошка из альфа оксида алюминия. В соответствии с особенно предпочтительными вариантами, концентрация затравки составляет ориентировочно от 1 до 15% или от 1 до 10% по весу продукта из альфа оксида алюминия.
Не желая связывать себя какой-либо конкретной теорией, все же можно сказать, что растворимый в воде органический полимер, который добавляют в водный раствор предшественника оксида алюминия и затравки, создает домены органического материала внутри золя. Таким образом, органический - неорганический золь, образующийся из водной смеси, который содержит затравочные частицы из альфа оксида алюминия, предшественник альфа оксида алюминия и растворимый в воде органический полимер, имеет дискретные домены, которые образованы из осажденного предшественника оксида алюминия и затравочных частиц, и домены растворенного органического полимера. Сублимационная сушка органического - неорганического золя позволяет получить высушенный гель, имеющий домены предшественника оксида алюминия и затравочных частиц, а также домены органического полимера. Обжиг высушенного геля пиролизует органический полимер, создавая пустоты и преобразуя предшественник оксида алюминия в альфа оксид алюминия.
В соответствии с настоящим изобретением предусмотрено использование любого растворимого в воде органического полимера, который полностью выгорает при температуре ниже температуры фазового превращения оксида алюминия и который способен образовывать органические - неорганические золи. Предпочтительные растворимые в воде органические полимеры выбирают из группы, в которую входят полиолы, сахара, полиалкилен оксиды, поли(мет)акриловая кислота, поли(мет)акрилаты, а также их смеси. Особенно предпочтительными растворимыми в воде органическими полимерами являются поливиниловый спирт и полиэтиленгликоль, а также их смеси.
Способы в соответствии с настоящим изобретением включают в себя операцию сублимационной сушки, в которой органический - неорганический золь быстро замораживают, при этом вода и другие летучие вещества удаляются при пониженном давлении. Обычно золь помещают в контейнер с высоким отношением площади поверхности к массе, чтобы обеспечить быстрое охлаждение и затем быстрое замораживание за счет контакта с атмосферой, имеющей температуру ниже 0°С, а преимущественно ниже -20°С, -30°С или -40°С.
После замораживания органического - неорганического золя вода возгоняется (сублимируется) из замороженного золя и получают сухой органический - неорганический золь. Для ускорения процесса сушки замороженный золь обычно помещают в сосуд, из которого откачивают воздух, чтобы создать пониженное давление. Пониженные давления, которые обычно подходят для возгонки, составляют 400 торр или меньше, 200 торр или меньше, 100 торр или меньше, или 50 торр или меньше. Как правило, чем ниже давление, тем выше скорость возгонки воды. В соответствии с предпочтительной операцией сублимационной сушки в соответствии с настоящим изобретением, замороженный золь нагревают до температуры ориентировочно от 0°С до 100°С после создания пониженного давления. Преимущественно, замороженный золь нагревают до температуры ориентировочно от 20°С до 80°С или ориентировочно от 40°С до 80°С. Обычно скорость возгонки обратно пропорциональна давлению в резервуаре для возгонки и прямо пропорциональна температуре.
В соответствии с настоящим изобретением предлагаются новые способы приготовления нанопористых порошков из альфа оксида алюминия и наноразмерных порошков из альфа оксида алюминия, которые предусматривают обжиг геля предшественника при температуре ориентировочно меньше, чем 1200°С. Преимущественно, температура обжига составляет ориентировочно от 1000°С до 1200°С, а еще лучше, составляет ориентировочно меньше, чем 1100°С. Преимущественно, обжиг проводят при температуре ориентировочно от 750°С до 1050°С, а предпочтительнее ориентировочно от 800°С до 1000°С, в зависимости от молекулярного предшественника оксида алюминия. Обжиг обычно проводят в условиях окружающей среды, то есть на воздухе. Однако при некоторых обстоятельствах могут быть желательны и другие газовые среды, в том числе обогащенные кислородом газовые среды.
Предпочтительные способы в соответствии с настоящим изобретением позволяют получать нанопористые порошки из альфа оксида алюминия, которые содержат взаимосвязанную сетку первичных частиц из альфа оксида алюминия, имеющих средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 100 нм, и взаимопроникающую сетку пор или пустот. Способы в соответствии с настоящим изобретением преимущественно позволяют получать нанопористые порошки из альфа оксида алюминия, в которых первичные частицы из альфа оксида алюминия взаимосвязанной сетки имеют средний размер ориентировочно от 10 до 100 нм, ориентировочно от 20 до 90 нм, ориентировочно от 25 до 80 нм или ориентировочно от 30 до 70 нм. В соответствии с другими предпочтительными способами в соответствии с настоящим изобретением предлагаются нанопористые порошки из альфа оксида алюминия, в которых по меньшей мере 99% первичных частиц из альфа оксида алюминия имеют распределение со средним размером около 10 нм.
Предпочтительные способы в соответствии с настоящим изобретением позволяют получать нанопористые порошки из альфа оксида алюминия, в которых поры или пустоты имеют минимальный размер ориентировочно от 20 нм до 400 нм. Предложенные способы преимущественно позволяют получать нанопористые порошки, в которых минимальный размер пор или пустот составляет ориентировочно от 50 нм до 300 нм, или, предпочтительнее, ориентировочно от 100 нм до 200 нм.
Предложенные способы позволяют получать нанопористые порошки из альфа оксида алюминия, в которых объемное процентное содержание альфа оксида алюминия в пересчете на полный объем нанопористого порошка из альфа оксида алюминия может варьировать в зависимости от применения. Обычно предложенные способы позволяют получать порошки, в которых первичные частицы из альфа оксида алюминия составляют от 1 до 75 процентов от объема нанопористого порошка из альфа оксида алюминия. Предложенные способы позволяют получать порошки, в которых первичные частицы из альфа оксида алюминия преимущественно составляют ориентировочно от 10 до 75% или ориентировочно от 10 до 50% от объема нанопористого порошка из альфа оксида алюминия (причем объем нанопористого порошка из альфа оксида алюминия является суммой объема первичных частиц из альфа оксида алюминия и объема пустого пространства).
В особенно предпочтительных вариантах способы в соответствии с настоящим изобретением позволяют получать нанопористые порошки из альфа оксида алюминия, которые содержат частицы из альфа оксида алюминия, имеющие взаимопроникающую сетку пор или пустот, которые имеют столбчатую или трубчатую структуру. Столбчатые или трубчатые поры преимущественно имеют диаметр ориентировочно от 20 нм до 250 нм, или, предпочтительнее, имеют диаметр ориентировочно от 50 нм до 150 нм.
В соответствии с настоящим изобретением предлагается также способ производства наноразмерного порошка из альфа оксида алюминия, который содержит частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 100 нм, причем способ включает в себя следующие операции:
использование нанопористого порошка из альфа оксида алюминия, который содержит взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 100 нм, и взаимопроникающую сетку пор или пустот; и
измельчение нанопористого порошка из альфа оксида алюминия, чтобы образовать наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия, который содержит первичные частицы из альфа оксида алюминия нанопористого порошка из альфа оксида алюминия.
Несмотря на то, что любой нанопористый порошок из альфа оксида алюминия, имеющий первичные частицы с размером меньше, чем 100 нм, подходит для использования в способе в соответствии с настоящим изобретением, предпочтительные нанопористые порошки из альфа оксида алюминия готовят по способам в соответствии с настоящим изобретением.
Нанопористые порошки из альфа оксида алюминия в соответствии с настоящим изобретением измельчают, размалывают или дробят иным образом, чтобы получить наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия, который содержит первичные частицы нанопористого порошка. Любое средство разрушения взаимосвязанной сетки первичных частиц из альфа оксида алюминия подходит для использования в способах в соответствии с настоящим изобретением, в том числе механические и ультразвуковые средства. Механическое средство измельчения обычно является предпочтительным. Наиболее предпочтительные способы в соответствии с настоящим изобретением предусматривают размалывание нанопористого порошка, чтобы разрушить взаимосвязанную сетку его первичных частиц.
Далее настоящее изобретение дополнительно поясняется при помощи приведенных ниже примеров, которые не имеют ограничительного характера. Следует иметь в виду, что все приведенные публикации включены в данное описание в качестве ссылки. Осуществление настоящего изобретения включает в себя, если специально не указано иное, обычные технические решения (технологии), которые известны специалистам и полностью описаны в литературе.
ПРИМЕР 1
Поликристаллические частицы из альфа оксида алюминия, диспергированные в деионизированной воде за счет размалывания во фрикционной мельнице, были использованы в качестве затравки. 47.6 г затравки из оксида алюминия в суспензии (33.5 вес.% твердых частиц) были диспергированы в 5400 г деионизированной воды в пластиковом контейнере. 575 г азотной кислоты (7%) были добавлены в раствор, куда затем были добавлены 600 г имеющегося в продаже бемитного порошка (Siral-1.5, Condea). Раствор интенсивно перемешивали в течение 2 часов, чтобы полностью пептизировать бемит. 200 г поливинилового спирта (PVA, молекулярный вес 11,000~31,000, J. Т. Baker) были сначала растворены в 800 г воды для приготовления раствора 20 вес.% PVA. Раствор PVA добавляли в бемитный раствор и хорошо перемешивали с использованием мешалки в течение одного часа.
Раствор был разделен на поддонах их нержавеющей стали и введен в камеру сублимационной сушилки для проведения сублимационной сушки. Раствор был сначала заморожен до -45°С и затем был подвергнут возгонке при температуре 60°С в вакууме. Весь процесс сублимационной сушки занимает около 72 часов. Высушенный при помощи сублимационной сушки материал похож на губку белого цвета. Полученный порошок обжигали в камерной печи при 1190°С в течение одного часа. После обжига порошок становится очень пушистым и пористым, причем он легко может быть размолот в ступке. При помощи рентгеновского анализа (дифракции рентгеновских лучей) и Не измерений плотности было подтверждено, что обожженный материал ориентировочно на 98 - 100% является порошком из альфа оксида алюминия. Растровая электронная микроскопия показывает, что материал является нанопористым и имеет сотовую структуру. Поры ориентированы в направлении охлаждения и нагревания внутри сублимационной сушилки, причем предположительно поры играют роль туннелей для возгонки воды. Растровая электронная микроскопия также показывает, что поры имеют диаметр около 150 нм (см. фиг.1 и 2). BET измерение показывает, что площадь поверхности материала составляет 38.5 м2/г.
За счет наличия нанопористой сотовой структуры этот материал может быть легко размолот с использованием фрикционной мельницы в течение короткого промежутка времени (6 часов) в наноразмерные частицы альфа оксида алюминия. На фиг.3 показано полученное на растровом электронном микроскопе изображение суспензии после размалывания.
ПРИМЕР 2
Поликристаллические частицы из альфа оксида алюминия, диспергированные в деионизированной воде за счет размалывания во фрикционной мельнице аналогично Примеру 1 были использованы в качестве затравки для последующей обработки. 47.6 г затравки из оксида алюминия в суспензии (33.5 вес.% твердых частиц) были диспергированы в 5400 г деионизированной воды в пластиковом контейнере. 300 г азотной кислоты (7%) были добавлены в раствор, куда затем были добавлены 600 г имеющегося в продаже бемитного порошка (Р2К, Condea). Раствор интенсивно перемешивали в течение 2 часов, чтобы полностью пептизировать и диспергировать бемит.2000 г раствора поливинилового спирта (PVA, молекулярный вес 11,000~31,000, 20 вес.%) были добавлены в бемитный раствор и хорошо перемешаны с использованием мешалки в течение одного часа.
Раствор был разделен на поддонах их нержавеющей стали и введен в камеру сублимационной сушилки для проведения сублимационной сушки. Раствор был сначала заморожен до -45°С и затем был подвергнут возгонке при температуре 60°С в вакууме. Весь процесс сублимационной сушки занимает около 72 часов. Высушенный при помощи сублимационной сушки материал похож на губку белого цвета. Полученный порошок обжигали в камерной печи при 1000°С в течение полутора часов. После обжига порошок становится очень пушистым и пористым. При помощи рентгеновского анализа (дифракции рентгеновских лучей) и Не измерений плотности было подтверждено, что обожженный материал ориентировочно на 100% является порошком из альфа оксида алюминия. Растровая электронная микроскопия показывает, что материал является нанопористым и имеет сотовую структуру. Поры ориентированы в направлении охлаждения и нагревания внутри сублимационной сушилки аналогично Примеру 1. Растровая электронная микроскопия также показывает, что столбчатые поры имеют диаметр около 150 нм.
За счет наличия открытой нанопористой структуры материал после обжига легко может быть измельчен и размолот во фрикционной мельнице с использованием оксида алюминия высокой чистоты в качестве средства размалывания. Измерение на анализаторе размера частиц показывает, что размолотый материал имеет средний размер частиц D50=90 нм.
Несмотря на то, что были описаны предпочтительные варианты осуществления изобретения, совершенно ясно, что в него специалистами в данной области могут быть внесены изменения и дополнения, которые не выходят однако за рамки приведенной далее формулы изобретения.

Claims (71)

1. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия, содержащий взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше чем 100 нм, и взаимопроникающую сетку пор или пустот, который приготовлен способом, включающим следующие операции:
использование неорганического золя, который содержит, по меньшей мере, один предшественник оксида алюминия и множество затравочных частиц из альфа оксида алюминия;
добавление, по меньшей мере, одного растворимого в воде органического полимера к неорганическому золю для получения органического - неорганического золя;
сублимационную сушку органического - неорганического золя для получения твердого геля; и
обжиг твердого геля при температуре, позволяющей осуществить выгорание органического полимера и вызвать образование нанопористого порошка из альфа оксида алюминия, содержащего взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия.
2. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.1, в котором первичные частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 10 до 100 нм.
3. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.1, в котором первичные частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 20 до 90 нм.
4. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.1, в котором первичные частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 25 до 80 нм.
5. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.1, в котором первичные частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 30 до 70 нм.
6. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.1, в котором, по меньшей мере, 99% первичных частиц из альфа оксида алюминия имеют распределение со средним размером около 10 нм.
7. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.1, в котором поры или пустоты имеют минимальный размер ориентировочно от 20 до 400 нм.
8. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.1, в котором поры или пустоты имеют минимальный размер ориентировочно от 50 до 300 нм.
9. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.1, в котором поры или пустоты имеют минимальный размер ориентировочно от 100 до 200 нм.
10. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.1, в котором ориентировочно от 10 до 75% объема порошка составляет альфа оксид алюминия.
11. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.1, в котором ориентировочно от 10 до 50% объема порошка составляет альфа оксид алюминия.
12. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.1, в котором взаимопроникающая сетка пор или пустот имеют столбчатую или трубчатую структуру.
13. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.12, в котором столбчатая или трубчатая структура имеет диаметр ориентировочно от 20 до 250 нм.
14. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.12, в котором столбчатая или трубчатая структура имеет диаметр ориентировочно от 50 до 150 нм.
15. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.1 в котором взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия соединены шейками.
16. Нанопористый порошок из альфа оксида алюминия по п.15, в котором поперечное сечение шейки составляет ориентировочно от 10 до 90% поперечного сечения первичных частиц из альфа оксида алюминия.
17. Наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия, содержащий частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше чем 100 нм, приготовленный при помощи способа, включающего следующие операции:
использование неорганического золя, который содержит, по меньшей мере, один предшественник оксида алюминия и множество затравочных частиц из альфа оксида алюминия;
добавление, по меньшей мере, одного растворимого в воде органического полимера к неорганическому золю для получения органического неорганического золя;
сублимационную сушку органического - неорганического золя для получения твердого геля;
обжиг твердого геля при температуре, позволяющей осуществить выгорание органического полимера и вызвать образование нанопористого порошка из альфа оксида алюминия, который содержит взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия; и
измельчение нанопористого порошка из альфа оксида алюминия для получения наноразмерного порошка из альфа оксида алюминия, который содержит первичные частицы из альфа оксида алюминия нанопористого порошка из альфа оксида алюминия.
18. Наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия по п.17, полученный измельчением, размалыванием или дроблением нанопористого порошка из альфа оксида алюминия.
19. Наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия по п.17, в котором частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 10 до 100 нм.
20. Наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия по п.17, в котором частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 20 до 90 нм.
21. Наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия по п.17, в котором частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 25 до 80 нм.
22. Наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия по п.17, в котором частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 30 до 70 нм.
23. Суспензия, содержащая наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия, содержащий частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше чем 100 нм, приготовленные способом, включающим следующие операции:
использование неорганического золя, который содержит, по меньшей мере, один предшественник оксида алюминия и множество затравочных частиц из альфа оксида алюминия;
добавление, по меньшей мере, одного растворимого в воде органического полимера к неорганическому золю для получения органического - неорганического золя;
сублимационную сушку органического - неорганического золя для получения твердого геля;
обжиг твердого геля при температуре, позволяющей осуществить выгорание органического полимера и вызвать образование нанопористого порошка из альфа оксида алюминия, который содержит взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия; и
измельчение нанопористого порошка из альфа оксида алюминия для получения наноразмерного порошка из альфа оксида алюминия, который содержит первичные частицы из альфа оксида алюминия нанопористого порошка из альфа оксида алюминия.
24. Суспензия по п.23, в которой наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия получен измельчением, размалыванием или дроблением нанопористого порошка из альфа оксида алюминия.
25. Суспензия по п.23, в которой частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 10 до 100 нм.
26. Суспензия по п.23, в которой частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 20 до 80 нм.
27. Суспензия по п.23, в которой частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 25 до 80 нм.
28. Суспензия по п.23, в которой частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 30 до 70 нм.
29. Суспензия по п.23, которая дополнительно содержит воду.
30. Суспензия по п.23, которая дополнительно содержит деионизированную воду.
31. Суспензия по п.23, которая дополнительно содержит одну или несколько добавок.
32. Суспензия по п.31, в которой добавки являются химически инертными по отношению к альфа оксиду алюминия в условиях хранения или полирования.
33. Суспензия по п.31, в которой добавки тормозят агрегацию частиц из альфа оксида алюминия в условиях хранения или полирования.
34. Суспензия по п.23, имеющая pH ориентировочно от 2 до 11.
35. Суспензия по п.23, имеющая рН ориентировочно от 1 до 6.
36. Суспензия по п.23, имеющая рН ориентировочно от 8 до 10.5.
37. Способ производства нанопористых порошков из альфа оксида алюминия, включающий следующие операции:
использование неорганического золя, который содержит, по меньшей мере, один предшественник оксида алюминия и множество затравочных частиц из альфа оксида алюминия;
добавление, по меньшей мере, одного растворимого в воде органического полимера к неорганическому золю, для получения органического неорганического золя;
сублимационную сушку органического - неорганического золя для получения твердого геля; и
обжиг твердого геля при температуре, позволяющей осуществить выгорание органического полимера и вызвать образование нанопористого порошка из альфа оксида алюминия, который содержит взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия.
38. Способ по п.37, в котором предшественник оксида алюминия представляет собой бемит.
39. Способ по п.37, в котором предшественник оксида алюминия представляет собой молекулярное соединение алюминия.
40. Способ по п.37, в котором молекулярный предшественник оксида алюминия выбирают из солей алюминия, которые содержат один или несколько анионов, выбранных из группы, в которую входят алкоксиды, арилоксиды, карбоксилаты, галогениды, сульфат, нитрат, оксалаты и ацетоацетонаты
41. Способ по п.37, в котором затравочные частицы из альфа оксида алюминия гомогенно диспергированы в твердом геле.
42. Способ по п.37, в котором операция сублимационной сушки предусматривает замораживание органического - неорганического золя до температуры 0°С или ниже и возгонку воды из замороженного золя при температуре ориентировочно от 0 до 80°С при пониженном давлении.
43. Способ по п.37, в котором операция сублимационной сушки предусматривает замораживание органического - неорганического золя до температуры -20°С или ниже и возгонку воды из замороженного золя при температуре ориентировочно от 20 до 80°С и при давлении ориентировочно 200 торр или меньше.
44. Способ по п.37, в котором операция сублимационной сушки предусматривает замораживание органического - неорганического золя до температуры -30°С или ниже и возгонку воды из замороженного золя при температуре ориентировочно от 40 до 80°С и при давлении ориентировочно 50 торр или меньше.
45. Способ по п.37, в котором обжиг проводят при температуре ориентировочно меньше чем 1200°С.
46. Способ по п.37, в котором обжиг проводят при температуре ориентировочно меньше чем 1100°С.
47. Способ по п.37, в котором обжиг проводят при температуре ориентировочно от 750 до 1050°С.
48. Способ по п.37, в котором обжиг проводят при температуре ориентировочно от 800°С до 1000°С.
49. Способ по п.37, в котором затравочные частицы из альфа оксида алюминия имеют средний размер частиц ориентировочно меньше чем 125 нм.
50. Способ по п.37, в котором первичные частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 10 до 100 нм.
51. Способ по п.37, в котором первичные частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 20 до 90 нм.
52. Способ по п.37, в котором первичные частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 25 до 80 нм.
53. Способ по п.37, в котором первичные частицы из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 30 до 70 нм.
54. Способ по п.37, в котором, по меньшей мере, 99% первичных частиц из альфа оксида алюминия имеют распределение со средним размером около 10 нм.
55. Способ по п.37, в котором поры или пустоты имеют минимальный размер ориентировочно от 20 до 400 нм.
56. Способ по п.37, в котором поры или пустоты имеют минимальный размер ориентировочно от 50 до 300 нм.
57. Способ по п.37, в котором поры или пустоты имеют минимальный размер ориентировочно от 100 до 200 нм.
58. Способ по п.37, в котором ориентировочно от 10 до 75% объема порошка составляет альфа оксид алюминия.
59. Способ по п.37, в котором ориентировочно от 10 до 50% объема порошка составляет альфа оксид алюминия.
60. Способ по п.37, в котором взаимопроникающая сетка пор или пустот имеет столбчатую или трубчатую структуру.
61. Способ по п.60, в котором столбчатая или трубчатая структура имеет диаметр ориентировочно от 20 до 250 нм.
62. Способ по п.60, в котором столбчатая или трубчатая структура имеет диаметр ориентировочно от 50 до 150 нм.
63. Способ по п.37, в котором взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия соединены при помощи шеек.
64. Способ по п.63, в котором поперечное сечение шейки составляет ориентировочно от 10 до 90% поперечного сечения первичных частиц из альфа оксида алюминия.
65. Способ по п.37, в котором полученный нанопористый порошок альфа оксид алюминия содержит ориентировочно от 0,1 до 25 вес.% затравочных частиц из альфа оксида алюминия.
66. Способ по п.65, в котором полученный нанопористый порошок альфа оксид алюминия содержит ориентировочно от 1 до 15 вес.% затравочных частиц из альфа оксида алюминия.
67. Способ по п.37, в котором растворимый в воде органический полимер выбирают из группы, в которую входят полиолы, сахара, полиалкилен оксиды, поли(мет)акриловая кислота, поли(мет)акрилаты, а также их смеси.
68. Способ по п.67, в котором растворимый в воде органический полимер представляет собой поливиниловый спирт, полиэтиленгликоль или их смеси.
69. Способ производства нанопористого порошка из альфа оксида алюминия, который содержит частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше чем 100 нм, включающий следующие операции:
использование неорганического золя, который содержит, по меньшей мере, один предшественник оксида алюминия и множество затравочных частиц из альфа оксида алюминия;
добавление, по меньшей мере, одного растворимого в воде органического полимера к неорганическому золю для получения органического - неорганического золя;
сублимационную сушку органического - неорганического золя для получения твердого геля;
обжиг твердого геля при температуре, позволяющей осуществить выгорание органического полимера и вызвать образование нанопористого порошка из альфа оксида алюминия, который содержит взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия; и
измельчение нанопористого порошка из альфа оксида алюминия для получения наноразмерного порошка из альфа оксида алюминия, который содержит первичные частицы из альфа оксида алюминия нанопористого порошка из альфа оксида алюминия.
70. Способ полирования основы, включающий операции:
использования суспензии, содержащей наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия, который содержит частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер частиц ориентировочно меньше чем 100 нм; и
нанесения суспензии на поверхность раздела между основой и полировальником,
причем наноразмерный порошок из альфа оксида алюминия получают способом, включающим операции:
использования неорганического золя, который содержит, по меньшей мере, один предшественник оксида алюминия и множество затравочных частиц из альфа оксида алюминия;
добавления, по меньшей мере, одного растворимого в воде органического полимера к неорганическому золю для получения органического - неорганического золя;
сублимационной сушки органического - неорганического золя для получения твердого геля;
обжига твердого геля при температуре, позволяющей осуществить выгорание органического полимера и вызвать образование нанопористого порошка из альфа оксида алюминия, который содержит взаимосвязанные первичные частицы из альфа оксида алюминия; и
измельчения нанопористого порошка из альфа оксида алюминия для получения наноразмерного порошка из альфа оксида алюминия, который содержит первичные частицы из альфа оксида алюминия нанопористого порошка из альфа оксида алюминия.
71. Способ по п.70, в котором нанопористый порошок из альфа оксида алюминия размалывают для получения наноразмерного порошка из альфа оксида алюминия.
RU2005130530/15A 2003-04-02 2004-03-31 Нанопористые сверхмелкие порошки из альфа оксида алюминия и способ их приготовления при помощи сублимационной сушки RU2299179C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/406,060 2003-04-02
US10/406,060 US20040198584A1 (en) 2003-04-02 2003-04-02 Nanoporous ultrafine alpha-alumina powders and freeze drying process of preparing same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2005130530A RU2005130530A (ru) 2006-03-10
RU2299179C2 true RU2299179C2 (ru) 2007-05-20

Family

ID=33097238

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005130530/15A RU2299179C2 (ru) 2003-04-02 2004-03-31 Нанопористые сверхмелкие порошки из альфа оксида алюминия и способ их приготовления при помощи сублимационной сушки

Country Status (13)

Country Link
US (2) US20040198584A1 (ru)
EP (1) EP1608593B1 (ru)
JP (1) JP4347884B2 (ru)
KR (1) KR100726113B1 (ru)
CN (1) CN1856443B (ru)
AU (1) AU2004228649B2 (ru)
BR (1) BRPI0409138A (ru)
CA (1) CA2519420C (ru)
MX (1) MXPA05010568A (ru)
NZ (1) NZ542626A (ru)
RU (1) RU2299179C2 (ru)
WO (1) WO2004089828A2 (ru)
ZA (1) ZA200507850B (ru)

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100467811B1 (ko) * 2002-01-04 2005-01-24 주식회사 엘지화학 α-알루미나 나노입자의 제조방법
US7141086B2 (en) * 2002-06-03 2006-11-28 Ricoh Company, Ltd. Abrasive grain and method for producing it, polishing tool and method for producing it, grinding wheel and method for producing it, and polishing apparatus
US7422730B2 (en) * 2003-04-02 2008-09-09 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Nanoporous ultrafine α-alumina powders and sol-gel process of preparing same
DE102005039435A1 (de) * 2005-08-18 2007-03-01 Clariant International Limited Verfahren zur Herstellung von mit Silanen oberflächenmodifiziertem Nanokorund
CN1903724A (zh) * 2005-07-25 2007-01-31 住友化学株式会社 微粒α氧化铝
US20070068901A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 Wang Yuchun Composition and method for enhancing pot life of hydrogen peroxide-containing CMP slurries
US7955519B2 (en) * 2005-09-30 2011-06-07 Cabot Microelectronics Corporation Composition and method for planarizing surfaces
CN100364892C (zh) * 2006-06-29 2008-01-30 上海东升新材料有限公司 一种超细白云石的制备方法
US7998866B2 (en) * 2006-09-05 2011-08-16 Cabot Microelectronics Corporation Silicon carbide polishing method utilizing water-soluble oxidizers
US20080176075A1 (en) 2007-01-15 2008-07-24 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Ceramic particulate material and processes for forming same
KR100843190B1 (ko) * 2007-08-01 2008-07-02 요업기술원 저온 동결건조에 의한 나노 산화아연의 제조방법
EA018285B1 (ru) * 2007-08-31 2013-06-28 Китозим Са Протез для стимулирования восстановления in vivo полого органа или части полого органа
KR100879127B1 (ko) 2007-11-01 2009-01-20 재단법인서울대학교산학협력재단 동결성형을 이용한 다공체의 기공 제어방법 및 그에 의해제조된 다공체
CN101429050B (zh) * 2008-12-04 2011-04-13 北京航空航天大学 一种采用冷冻干燥法制备具有定向结构多孔陶瓷的方法
JP2011203991A (ja) * 2010-03-25 2011-10-13 Sony Corp 情報処理装置、情報処理方法、およびプログラム
MY170361A (en) * 2010-04-28 2019-07-24 Baikowski Japan Co Ltd Sapphire polishing slurry and sapphire polishing method
CN101824279B (zh) * 2010-05-10 2013-01-23 上海高纳粉体技术有限公司 高精度氧化铝抛光粉及其生产方法
ES2374479B1 (es) * 2010-08-06 2012-12-26 Universitat De Valencia Procedimiento de obtención de corindón nanocristalino a partir de alumbres naturales o sintéticos.
WO2012021259A1 (en) 2010-08-09 2012-02-16 W. R. Grace & Co.-Conn. Attrition resistant supports for fischer-tropsch catalysts and process for making the same
US8492306B2 (en) * 2011-10-04 2013-07-23 GM Global Technology Operations LLC Method and apparatus for preparing a catalyst
ITMI20121634A1 (it) * 2012-10-01 2014-04-02 Fond Istituto Italiano Di Tecnologia Materiale composito comprendente allumina porosa anodica ed una matrice polimerica, e suo uso per il restauro dentale
US9581042B2 (en) * 2012-10-30 2017-02-28 United Technologies Corporation Composite article having metal-containing layer with phase-specific seed particles and method therefor
EP2938573A1 (en) * 2012-12-28 2015-11-04 Albemarle Europe Sprl. Production method of a novel polishing alumina
KR101592633B1 (ko) * 2013-08-12 2016-02-11 나노폴리(주) 정수기
CN103693664B (zh) * 2013-12-11 2015-12-30 北京世纪地和控股有限公司 一种利用沉淀法制备抛光氧化铝的方法
KR101579890B1 (ko) * 2014-09-22 2015-12-23 한국세라믹기술원 나노사이즈의 고분산성 α-알루미나의 합성방법 및 이에 의해 합성된 절연성 고열전도성 α-알루미나졸
CN105060918A (zh) * 2015-07-30 2015-11-18 湖北工业大学 一种高开口气孔率α晶型纳米氧化铝多孔陶瓷及其制备方法
US10688621B2 (en) * 2016-08-04 2020-06-23 Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. Low-defect-porous polishing pad
WO2018152236A1 (en) 2017-02-15 2018-08-23 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Alumina abrasive particles used for automotive finishing compositions
CN112708928B (zh) * 2019-10-25 2021-10-08 中国石油化工股份有限公司 一种氧化铝晶粒及其制备方法
CN112980334B (zh) * 2021-03-03 2021-12-31 杭州智华杰科技有限公司 一种提高氧化铝抛光粉悬浮性的方法
CN116655392B (zh) * 2022-04-21 2024-10-11 苏州瑞瓷新材料科技有限公司 一种制备氧化铝浆料的方法及制成的氧化铝浆料在制备生瓷片中的应用

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US98529A (en) * 1870-01-04 Improvement in cartridge-loading apparatus
US4657754A (en) * 1985-11-21 1987-04-14 Norton Company Aluminum oxide powders and process
DE3873377T2 (de) * 1987-02-26 1992-12-10 Sumitomo Chemical Co Verfahren zur darstellung von leicht monodispergierbarem aluminiumoxid.
AU650382B2 (en) 1992-02-05 1994-06-16 Norton Company Nano-sized alpha alumina particles
US6258137B1 (en) * 1992-02-05 2001-07-10 Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc. CMP products
US5312791A (en) * 1992-08-21 1994-05-17 Saint Gobain/Norton Industrial Ceramics Corp. Process for the preparation of ceramic flakes, fibers, and grains from ceramic sols
US5626715A (en) * 1993-02-05 1997-05-06 Lsi Logic Corporation Methods of polishing semiconductor substrates
US5389352A (en) 1993-07-21 1995-02-14 Rodel, Inc. Oxide particles and method for producing them
US5516347A (en) * 1995-04-05 1996-05-14 Saint-Gobain/Norton Industrial Ceramics Corp. Modified alpha alumina particles
US6194317B1 (en) * 1998-04-30 2001-02-27 3M Innovative Properties Company Method of planarizing the upper surface of a semiconductor wafer
TW555696B (en) * 1998-01-08 2003-10-01 Nissan Chemical Ind Ltd Alumina powder, process for producing the same and polishing composition
DE19922492A1 (de) 1999-05-14 2000-11-16 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Herstellugn von Aluminiumoxiden und daraus hergestellten Produkten
TW530030B (en) * 1999-08-16 2003-05-01 Nat Science Council The manufacturing process of untrafine alpha-Al2O3 powders
US20020111027A1 (en) * 1999-12-14 2002-08-15 Vikas Sachan Polishing compositions for noble metals
US6364920B1 (en) * 2000-04-21 2002-04-02 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. CMP formulations
US6391072B1 (en) * 2000-05-04 2002-05-21 Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc. Abrasive grain
DE10035679A1 (de) * 2000-07-21 2002-01-31 Inst Neue Mat Gemein Gmbh Nanoskalige Korundpulver, daraus gefertigte Sinterkörper und Verfahren zu deren Herstellung
US6399528B1 (en) 2000-09-01 2002-06-04 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. Porous aluminum oxide structures and processes for their production
US6596042B1 (en) 2001-11-16 2003-07-22 Ferro Corporation Method of forming particles for use in chemical-mechanical polishing slurries and the particles formed by the process
US7422730B2 (en) * 2003-04-02 2008-09-09 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Nanoporous ultrafine α-alumina powders and sol-gel process of preparing same

Also Published As

Publication number Publication date
US20050135995A1 (en) 2005-06-23
EP1608593B1 (en) 2016-10-26
US8080231B2 (en) 2011-12-20
KR100726113B1 (ko) 2007-06-12
BRPI0409138A (pt) 2006-03-28
MXPA05010568A (es) 2005-12-14
WO2004089828A2 (en) 2004-10-21
ZA200507850B (en) 2006-10-25
RU2005130530A (ru) 2006-03-10
CN1856443B (zh) 2011-09-07
JP2006522005A (ja) 2006-09-28
CA2519420C (en) 2009-05-26
JP4347884B2 (ja) 2009-10-21
CN1856443A (zh) 2006-11-01
AU2004228649A1 (en) 2004-10-21
AU2004228649B2 (en) 2006-11-16
EP1608593A2 (en) 2005-12-28
KR20050121231A (ko) 2005-12-26
WO2004089828A3 (en) 2005-02-10
CA2519420A1 (en) 2004-10-21
NZ542626A (en) 2009-01-31
US20040198584A1 (en) 2004-10-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2299179C2 (ru) Нанопористые сверхмелкие порошки из альфа оксида алюминия и способ их приготовления при помощи сублимационной сушки
RU2302374C2 (ru) Нанопористые сверхмелкие порошки из альфа оксида алюминия и золь-гель, способ их приготовления
JP2886725B2 (ja) コロイドベーマイトの製造方法
EP1931597B1 (en) Cerium oxide powder for one-component cmp slurry, preparation method thereof, one-component cmp slurry composition comprising the same, and method of shallow trench isolation using the slurry
JPH07100608B2 (ja) アルミナの粉末及び焼結体の製法
KR19990028228A (ko) 실리카 및 산화철을 함유하는 알파 알루미나 기제 연마 입자
Lin et al. Preparation of Nanometer‐Sized α‐Alumina Powders by Calcining an Emulsion of Boehmite and Oleic Acid
JPH08695B2 (ja) β”―アルミナの製造方法
US6461584B1 (en) Process of making α-alumina powder
JP2006225178A (ja) 含炭素金属酸化物の製造方法
JPH06321534A (ja) 微結晶アルミナ研磨材粒子の製造方法
Qin et al. Grain growth and microstructural evolution of yttrium aluminum garnet nanocrystallites during calcination process
KR102510280B1 (ko) 고순도 및 고밀도 이트륨 알루미늄 가넷 소결체 및 이의 제조방법
WO2001083373A2 (en) Boehmite powder

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20120401